DE4113240A1 - Verfahren und vorrichtung zum transportieren von halbleiterrahmen - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum transportieren von halbleiterrahmenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum
Transportieren oder Fördern von Halbleiterrahmen.
Fig. 3 zeigt eine perspektivische Darstellung einer herkömm
lichen Vorrichtung zum Transportieren von Halbleiterrahmen.
Bei dem Prozeß der Herstellung einer Halbleitereinrichtung
wird ein Halbleiterrahmen 4 von einer Klemmeinheit 5 auf ei
nem beweglichen Führungsschienenbereich 3 in der Richtung
transportiert, die in Fig. 3 mit einem Pfeil angedeutet ist.
Der bewegliche Führungsschienenbereich 3 wird in vertikaler
Richtung bewegt von einem nicht dargestellten vertikalen An
triebsmechanismus, der unter Lagern 3a vorgesehen ist.
Die Klemmeinheit 5 hat obere und untere Klemmbacken 5a und
5b, die auf der stromaufwärtigen Seite in Förderrichtung vor
gesehen sind, sowie obere und untere Klemmbacken 5c und 5d,
die auf der stromabwärtigen Seite in Förderrichtung vorgese
hen sind, um den Halbleiterrahmen 4, der als auch Leiterrah
men bezeichnet wird, vertikal zu haltern. Die Klemmeinheit 5
hat ferner einen horizontalen Antriebsmechanismus, um den
Leiterrahmen 4 in der Förderrichtung zu bewegen, wobei dieser
Antriebsmechanismus eine Gewindebohrung 7a und eine Antriebs
schraube oder Antriebsspindel 7b aufweist, welche durch die
Gewindebohrung 7a hindurchgeht.
Die Klemmbacken 5a und 5b auf der stromaufwärtigen Seite und
die Klemmbacken 5c und 5d auf der stromabwärtigen Seite wer
den synchron betätigt. Ein Heizblock 1 ist vorgesehen, um den
Leiterrahmen 4 in Richtung nach oben zu beheizen, der auf dem
beweglichen Führungsschienenbereich 3 transportiert wird, und
ist an einer nicht dargestellten festen Platte befestigt.
Eine Rahmenpresse 2 arbeitet in der Weise, daß sie den Lei
terrahmen 4 auf dem Heizblock 1 nach unten drückt bzw. hält.
Die Rahmenpresse 2 wird mit vorgegebener Zeitsteuerung von
einem Antriebsmechanismus in vertikaler Richtung angetrieben,
wobei es sich um ein ähnliches System wie beim Antriebsmecha
nismus für den beweglichen Führungsschienenbereich 3 handeln
kann, welches unter einem Lager 2a vorgesehen ist. Die Rah
menpresse 2 ist außerdem mit einem Arbeitsloch 2b versehen.
Die Fig. 4A bis 4G sind Seitenansichten zur Erläuterung des
Verfahrens beim Transport des Leiterrahmens 4; insbesondere
zeigen sie den Betrieb der oberen und unteren Klemmbacken 5a
und 5b der Klemmeinheit 5 auf der stromaufwärtigen Seite in
Förderrichtung.
Die Wirkungsweise wird nachstehend unter Bezugnahme auf Fig.
3 sowie Fig. 4A bis 4G erläutert. Wenn der Leiterrahmen 4 zu
einem Bereich zwischen den oberen und unteren Klemmbacken 5a
und 5b auf der stromaufwärtigen Seite beispielsweise mit ei
nem nicht dargestellten Bandförderer transportiert worden
ist, wie es Fig. 4A zeigt, so wird die untere Klemmbacke 5b
auf der stromaufwärtigen Seite nach oben bewegt, und die
obere Klemmbacke 5a wird nach unten bewegt, so daß der Lei
terrahmen 4 zwischen ihnen gehalten und fixiert wird, wie es
Fig. 4B zeigt.
Die Klemmbacken 5a und 5b werden nach oben bewegt, während
sie den Leiterrahmen 4 zwischeneinander einklemmen, und der
bewegliche Führungsschienenbereich 3 wird ebenfalls auf die
gleiche Höhe wie die Klemmbacken nach oben bewegt, wie es
Fig. 4C zeigt. Die Antriebsspindel 7b wird dann in Drehung
versetzt, so daß der Leiterrahmen 4 über eine vorgegebene
Strecke transportiert wird, wie es Fig. 4D zeigt.
Dann werden der bewegliche Führungsschienenbereich 3 und die
Klemmbacken 5a und 5b nach unten bewegt, wie es Fig. 4E
zeigt. Die Klemmbacken 5a und 5b lassen dann den Leiterrahmen
4 aus seiner Klemmstellung frei, wie es Fig. 4F zeigt. Dann
wird die Antriebsspindel 7b in der entgegengesetzten Richtung
in Drehung versetzt, so daß die Klemmbacken 5a und 5b in ihre
Ausgangsposition zurückgebracht werden, wie es Fig. 4G zeigt.
Die Arbeitsschritte gemäß Fig. 4B bis 4G werden wiederholt,
so daß derartige Leiterrahmen intermittierend oder absatz
weise transportiert werden. Wenn der Leiterrahmen 4 sich auf
dem Heizblock 1 gemäß Fig. 3 befindet, wird die Rahmenpresse
2 nach unten bewegt, so daß der Leiterrahmen 4 auf dem Heiz
block 1 fixiert wird. Drahtbondingarbeiten oder dgl. werden
auf dem Leiterrahmen 4 durch das Arbeitsloch 2b der Rahmen
presse 2 hindurch auf dem Leiterrahmen 4 durchgeführt. Wenn
diese Arbeiten beendet sind, wird die Rahmenpresse 2 nach
oben bewegt. Nach den Arbeitsschritten gemäß Fig. 4B bis 4G
wird die Rahmenpresse 2 wieder nach unten bewegt, und Draht
bondingarbeiten oder dgl. werden in einem nächsten Bereich
des Leiterrahmens 4 durchgeführt.
Die Arbeiten werden fortgesetzt, indem man die oben beschrie
benen Arbeitsschritte wiederholt. Der bewegliche Führungs
schienenbereich 3 wird während des Transportes des Leiterrah
mens nach oben bewegt, um einen Kontakt zwischen der Ober
seite des Heizblockes 1 und der Unterseite des Leiterrahmens
4 zu vermeiden. Die Klemmbacken 5c und 5d auf der stromabwär
tigen Seite in Förderrichtung gemäß Fig. 3 haben die Funk
tion, daß sie den Leiterrahmen 4 fördern oder transportieren,
nachdem die Arbeiten beendet sind. Die Klemmbacken 5c und 5d
werden in gleicher Weise betrieben wie die Klemmbacken 5a und
5b auf der stromaufwärtigen Seite.
Bei der herkömmlichen Vorrichtung zum Transport von Halblei
terrahmen treten die nachstehend erläuterten Probleme auf. Da
der gesamte Führungsschienenbereich in vertikaler Richtung
bewegt wird, wenn ein Halbleiterrahmen von den Klemmbacken
transportiert wird, wird der Transport bzw. die Förderbewe
gung ständig durch die vertikale Bewegung des Führungsschie
nenbereiches beeinträchtigt, was dazu führt, daß die Genauig
keit beim Transport bzw. der Förderbewegung eines Leiterrah
mens verringert wird. Da weiterhin die Klemmeinheit und der
Leiterrahmen gemäß der Bewegung des Führungsschienenbereiches
in vertikaler Richtung bewegt werden müssen, nachdem der Lei
terrahmen von den Klemmbacken eingeklemmt worden ist, ist ein
komplizierter Mechanismus erforderlich.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine nicht kostspielige
Vorrichtung zum Transportieren eines Halbleiterrahmens an
zugeben, die einen einfachen Aufbau hat und in der Lage ist,
eine Verringerung der Genauigkeit beim Transport eines Lei
terrahmens durch die vertikale Bewegung eines Führungsschie
nenbereiches zu verhindern. Weiterhin liegt der Erfindung die
Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Transport von Halbleiter
rahmen anzugeben, das einen zuverlässigen und exakten Trans
port der Halbleiterrahmen gewährleistet.
Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe in zufriedenstellender
Weise gelöst. In vorteilhafter Weise sind dabei Klemmbacken
vorgesehen, die nicht in vertikaler Richtung bewegt werden,
nachdem der Leiterrahmen zwischen den Klemmbacken eingeklemmt
worden ist und von ihnen in vertikaler Richtung gehalten
wird. Somit werden gemäß der Erfindung ein Verfahren und eine
Vorrichtung angegeben, mit denen derartige Halbleiterrahmen
in vorteilhafter Weise transportiert und auf einer Bearbei
tungseinheit positioniert werden können.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist folgendes auf: einen
beweglichen Führungsschienenbereich, der in vertikaler Rich
tung beweglich ist; eine Arbeits- oder Verarbeitungseinheit,
die sich in der Mitte des beweglichen Führungsschienenberei
ches befindet und an einer festen Platte gelagert und befe
stigt ist, um einen entsprechenden Halbleiterrahmen zu bear
beiten oder zu verarbeiten; feste Führungsschienenbereiche,
die jeweils an der festen Platte gelagert und befestigt sind,
und zwar in Positionen in Verlängerungen zu beiden Seiten des
beweglichen Führungsschienenbereiches; und eine Klemmeinheit
mit oberen und unteren Klemmbacken, welche den jeweiligen
Halbleiterrahmen in vertikaler Richtung einklemmen, der zu
den jeweiligen festen Führungsschienenbereichen transportiert
wird, wobei die Klemmbacken längs der festen Führungsschie
nenbereiche bewegt werden können, während sie den Halbleiter
rahmen einklemmen, und wobei die Klemmbacken in Positionen
vorgesehen sind, die den jeweiligen festen Führungsschienen
bereichen zu beiden Seiten des beweglichen Führungsschienen
bereiches entsprechen. Der bewegliche Führungsschienenbereich
ist dabei während des Transportes des Halbleiterrahmens längs
des beweglichen Führungsschienenbereiches nach oben beweg
lich, damit der Halbleiterrahmen mit der Arbeits- oder Verar
beitungseinheit nicht in unerwünschter Weise in Kontakt
kommt.
Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum intermit
tierenden Transportieren von Halbleiterrahmen längs der Füh
rungsschieneneinheit unter Verwendung von oberen und unteren
Klemmbacken, die in Positionen vorgesehen sind, welche den
jeweiligen festen Führungsschienenbereichen in der Führungs
schieneneinheit entsprechen. Die Führungsschieneneinheit ist
in drei Bereiche unterteilt und weist einen beweglichen Füh
rungsschienenbereich, der in vertikaler Richtung beweglich
ist und einen Heizblock hat, der in seinem mittleren Bereich
vorgesehen ist und an einer festen Platte gelagert und befe
stigt ist, sowie zwei feste Führungsschienenbereiche auf, die
zu beiden Seiten des beweglichen Führungsschienenbereiches
vorgesehen sind.
Das Verfahren gemäß der Erfindung umfaßt einen ersten Förder
schritt, bei dem jeweilige Halbleiterrahmen von den oberen
und unteren Klemmbacken auf der stromaufwärtigen Seite in
Transportrichtung festgeklemmt wird und bei dem der Halblei
terrahmen über eine vorgegebene Strecke längs des festen Füh
rungsschienenbereiches auf der stromaufwärtigen Seite zu dem
beweglichen Führungsschienenbereich hin transportiert wird,
woraufhin die Klemmbacken, nachdem sie geöffnet worden sind,
in ihre Ausgangsstellung zurückkehren, so daß der Halbleiter
rahmen erneut eingeklemmt und weitertransportiert wird, bis
das vordere Ende des Halbleiterrahmens eine Position auf dem
beweglichen Führungsschienenbereich erreicht.
Bei diesem Verfahren schließt sich ein Anhebungsschritt an,
bei dem der bewegliche Führungsschienenbereich angehoben
wird, wenn der Halbleiterrahmen eine Position auf dem beweg
lichen Führungsschienenbereich erreicht hat, um zu verhin
dern, daß der Halbleiterrahmen in unerwünschter Weise mit dem
Heizblock in Berührung kommt.
Bei dem Verfahren schließt sich ein Arbeits- oder Verarbei
tungsschritt an, bei dem der Halbleiterrahmen mit der glei
chen Vorgehensweise wie im ersten Schritt transportiert wird,
woraufhin der bewegliche Führungsschienenbereich zusammen mit
dem Halbleiterrahmen nach unten bewegt wird, wenn ein vorge
gebener Bereich des Halbleiterrahmens sich auf dem Heizblock
befindet; anschließend wird der bewegliche Führungsschienen
bereich angehoben, wenn die vorgegebene Bearbeitung oder Verar
beitung beendet ist, woraufhin der Rahmen weitertransportiert
wird, bis sich ein nächster vorgegebener Bereich des Halblei
terrahmens auf dem Heizblock befindet, wobei dieser Schritt
in der Regel mindestens einmal wiederholt wird.
Es schließt sich ein zweiter Förderschritt an, bei dem der
Halbleiterrahmen von den oberen und unteren Klemmbacken auf
der stromabwärtigen Seite in Transportrichtung zu einer Posi
tion auf dem festen Führungsschienenbereich auf der stromab
wärtigen Seite transportiert wird, und zwar mit der gleichen
Vorgehensweise wie beim ersten Förderschritt, wenn die Bear
beitung oder Verarbeitung beendet ist.
Danach erfolgt beim erfindungsgemäßen Verfahren ein Absen
kungsschritt, bei dem der bewegliche Führungsschienenbereich
abgesenkt wird, wenn das rückseitige Ende des Halbleiterrah
mens den festen Führungsschienenbereich auf der stromabwärti
gen Seite in Transportrichtung erreicht hat.
Gemäß der Erfindung kann der Halbleiterrahmen in eine Posi
tion unmittelbar vor dem Heizblock transportiert oder weiter
gefördert werden, ohne daß er Beeinträchtigungen durch die
vertikale Bewegung des Führungsschienenbereiches ausgesetzt
ist. Da außerdem die Führungsschienenbereiche innerhalb des
Bereiches fest sind, in denen die Klemmbacken betätigt wer
den, brauchen die Klemmbacken nicht in vertikaler Richtung
gemäß den Aufwärts- oder Abwärtsbewegungen des Führungsschie
nenbereiches bewegt zu werden, wie es bei herkömmlichen An
ordnungen der Fall ist.
Die Erfindung wird nachstehend, auch hinsichtlich weiterer
Merkmale und Vorteile, anhand der Beschreibung von Ausfüh
rungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegenden
Zeichnungen näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung einer Vorrichtung
zum Transportieren von Halbleiterrahmen gemäß
einer Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 2A bis 2G Seitenansichten zur Erläuterung der Wirkungsweise
der Vorrichtung gemäß Fig. 1;
Fig. 3 eine perspektivische Darstellung einer herkömmli
chen Vorrichtung zum Transport von Halbleiterrah
men; und in
Fig. 4A bis 4G Seitenansichten zur Erläuterung des Betriebes der
Vorrichtung gemäß Fig. 3, wobei ein Führungsschie
nenbereich auf der stromaufwärtigen Seite
weggelassen ist.
Nachstehend wird zunächst auf Fig. 1 Bezug genommen, die eine
perspektivische Darstellung einer Vorrichtung zum Transport
von Halbleiterrahmen zeigt. Dabei tragen gleiche oder ent
sprechende Bereiche oder Teile die gleichen Bezugszeichen wie
in Fig. 3.
Eine Führungsschieneneinheit 30 weist einen beweglichen Füh
rungsschienenbereich 31 in der Mitte sowie feste Führungs
schienenbereiche 32 und 33 zu beiden Seiten auf. Der zentrale
bewegliche Führungsschienenbereich 31 ist über Lager 31b oder
dgl. wie bei der herkömmlichen Vorrichtung an einen Antriebs
mechanismus angeschlossen, der beispielsweise in nicht darge
stellter Form einen Kompressor und entsprechende Kolben auf
weist. Der bewegliche Führungsschienenbereich 31 und der fe
ste Führungsschienenbereich 33 haben sich verjüngende oder
schräg verlaufende Flächen 31a bzw. 33a, die in dieser Weise
ausgebildet sind, damit ein Leiterrahmen 4 auf ihnen sanft
und gleichmäßig gefördert werden kann. Falls erforderlich,
sind derartige sich verjüngende oder schräg verlaufende Flä
chen, die im einzelnen in Fig. 1 dargestellt sind, auch bei
dem festen Führungsschienenbereich 32 vorgesehen. Die Fig.
2A bis 2G zeigen Seitenansichten zur Erläuterung des erfin
dungsgemäßen Verfahrens zum Transportieren von Leiterrahmen 4
bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung gemäß Fig. 1.
Die Wirkungsweise des Verfahrens und der Vorrichtung gemäß
der Erfindung werden nachstehend unter Bezugnahme auf die
Fig. 1 und Fig. 2A bis 2G erläutert. Wie in Fig. 2A darge
stellt, wird ein Leiterrahmen 4 zu einem Bereich zwischen den
oberen und unteren Klemmbacken 5a und 5b auf der stromaufwär
tigen Seite in Förderrichtung transportiert, beispielsweise
von einem nicht dargestellten Bandförderer. Wie in Fig. 2B
dargestellt, wird die untere Klemmbacke 5b auf der stromauf
wärtigen Seite nach oben bewegt, und die obere Klemmbacke 5a
wird nach unten bewegt, so daß der Leiterrahmen 4 zwischen
ihnen eingeklemmt wird.
Die Antriebsspindel 7b gemäß Fig. 1 wird dann in Drehung ver
setzt, um den eingeklemmten Leiterrahmen 4 in der Förderrich
tung zu bewegen und dadurch den Leiterrahmen 4 über eine vor
gegebene Strecke zu transportieren, wie es Fig. 2C zeigt. Wie
in Fig. 2D dargestellt, lassen die Klemmbacken 5a und 5b dann
den Leiterrahmen 4 aus seiner Klemmhalterung frei. Wie in
Fig. 2E dargestellt, werden dann die Klemmbacken 5a und 5b in
ihre Ausgangsstellung zurückgeführt, wenn die Antriebsspindel
7b in der entgegengesetzten Richtung gedreht wird.
Die Arbeitsschritte gemäß Fig. 2A bis 2E werden wiederholt,
und wenn ein vorderes Ende des Leiterrahmens 4 einen Bereich
auf dem beweglichen Führungsschienenbereich 31 erreicht, wie
es in Fig. 2F dargestellt ist, so wird der Führungsschienen
bereich 31 angehoben, um jeglichen Kontakt zwischen dem Lei
terrahmen 4 und dem Heizblock 1 zu vermeiden, wie es in Fig.
2F und 2G dargestellt ist. Bei dieser Förderbewegung kann der
jeweilige Leiterrahmen 4 in vorteilhafter Weise auf den sich
verjüngenden oder schrägen Flächen 31a des beweglichen Füh
rungsschienenbereiches 31 nach oben aufgleiten.
Während des Transportes des Leiterrahmens 4 auf dem bewegli
chen Führungsschienenbereich 31 wird dann, wenn ein vorgege
bener Bereich des Leiterrahmens seine Position auf dem Heiz
block 1 erreicht hat, der bewegliche Führungsschienenbereich
31 ebenso wie eine Rahmenpresse 2 nach unten bewegt, so daß
der Leiterrahmen 4 auf dem Heizblock 1 fixiert wird. Draht
bondingarbeiten oder dgl. werden auf dem vorgegebenen Bereich
des Leiterrahmens 4 durch ein Arbeitsloch 2b der Rahmenpresse
2 hindurch durchgeführt. Wenn die Arbeiten in dem vorgegebe
nen Bereich beendet sind, werden der bewegliche Führungs
schienenbereich 31 und die Rahmenpresse 2 wieder nach oben
bewegt.
Nach den Arbeitsschritten gemäß Fig. 2A bis 2E werden der be
wegliche Führungsschienenbereich 31 und die Rahmenpresse 2
wieder nach unten bewegt, und Drahtbondingarbeiten oder dgl.
werden in einem nächsten vorgegebenen Bereich des Leiterrah
mens 4 durchgeführt. Diese Arbeiten schreiten fort durch Wie
derholung der oben beschriebenen Arbeitsschritte.
Die Klemmbacken 5c und 5d auf der stromabwärtigen Seite in
Förderrichtung haben die Funktion, daß sie den Leiterrahmen 4
transportieren, nachdem er den Heizblock 1 passiert hat. Die
Klemmbacken 5c und 5d werden in gleicher Weise betrieben wie
die oben beschriebenen Klemmbacken 5a und 5b auf der strom
aufwärtigen Seite. Wenn ein rückseitiges Ende des Leiterrah
mens 4 den festen Führungsschienenbereich 33 auf der stromab
wärtigen Seite in Förderrichtung erreicht hat, wird der be
wegliche Führungsschienenbereich 31 abgesenkt.
Obwohl die oben beschriebene Ausführungsform einen Fall be
trifft, bei dem als Arbeits- bzw. Verarbeitungseinheit ein
Heizblock verwendet wird, um beispielsweise Drahtbondingar
beiten oder dgl. durchzuführen, ist die Erfindung selbstver
ständlich nicht auf diese Anwendung beschränkt. Vielmehr kön
nen auch andere Arbeits- oder Verarbeitungseinheiten verwen
det werden, wobei die gleichen Wirkungen wie oben beschrieben
erzielt werden können.
Wie oben erläutert, ist die Führungsschieneneinheit zum
Transport von Leiterrahmen in drei Bereiche unterteilt, so
daß nur der mittlere Führungsschienenbereich, der den Heiz
block aufweist, nach oben bewegt wird, während die anderen
Führungsschienenbereiche zu beiden Seiten stationär sind. So
mit ist es möglich, jegliche Ungenauigkeiten beim Transport
von Leiterrahmen oder dgl. durch eine vertikale Bewegung der
Führungsschiene zu verhindern. Da weiterhin die Klemmbacken
innerhalb der Bereiche der stationären Führungsschienenberei
che betätigt werden, ist es nicht erforderlich, die Klemmein
heit mit einer Aufwärts- oder Abwärtsbewegung der Führungs
schienen aufwärts oder abwärts zu bewegen. Gemäß der Erfin
dung wird in vorteilhafter Weise erreicht, daß der Antriebs
mechanismus vereinfacht werden kann, so daß sich auch die Ko
sten der Vorrichtung verringern lassen. Zugleich wird eine
hohe Genauigkeit beim Transport der Leiterrahmen erzielt.
Claims (6)
1. Verfahren zum Transportieren von Halbleiterrahmen durch
eine Bearbeitungseinrichtung, wobei eine Führungsschie
neneinheit (3) in drei Bereiche unterteilt ist und einen
beweglichen Führungsschienenbereich (31), der in vertika
ler Richtung beweglich ist und einen Heizblock (1) be
sitzt, der in seinem mittleren Bereich vorgesehen und an
einer festen Platte gelagert und befestigt ist, sowie fe
ste Führungsschienenbereiche (32, 33) aufweist, die je
weils an den beiden Seiten des beweglichen Führungsschie
nenbereiches (31) vorgesehen sind, so daß ein Halbleiter
rahmen (4) intermittierend längs der Führungsschienenein
heit (3) transportiert wird, während er von oberen und
unteren Klemmbacken (5a bis 5d) eingeklemmt ist, die in
Positionen vorgesehen sind, die den jeweiligen festen
Führungsschienenbereichen (32, 33) entsprechen,
gekennzeichnet durch folgende Schritte
- - einen ersten Förderschritt, bei dem ein Halbleiterrah men (4) von oberen und unteren Klemmbacken (5a, 5b) auf der stromaufwärtigen Seite in Förderrichtung einge klemmt wird, der Halbleiterrahmen (4) über eine vorge gebene Strecke längs des festen Führungsschienenberei ches (32) auf der stromaufwärtigen Seite zu dem beweg lichen Führungsschienenbereich (31) hin bewegt wird, anschließend die Klemmbacken (5a, 5b) geöffnet und die Klemmbacken (5a, 5b) in ihre Ausgangsstellung zurückge bracht werden, um den Rahmen (4) erneut zu transportie ren, und bei dem diese Arbeitsschritte solange wieder holt fortgesetzt werden, bis das vordere Ende des Halb leiterrahmens (4) einen Bereich auf dem beweglichen Führungsschienenbereich (31) erreicht;
- - einen Anhebungsschritt, bei dem der bewegliche Füh rungsschienenbereich (31) angehoben wird, um einen Kon takt zwischen dem Halbleiterrahmen (4) und dem Heiz block (1) zu vermeiden, wenn der Halbleiterrahmen (4) eine Position auf dem beweglichen Führungsschienenbe reich (31) erreicht;
- - einen Arbeits- oder Verarbeitungsschritt, bei dem der Halbleiterrahmen mit der gleichen Prozedur wie beim er sten Schritt transportiert wird, der bewegliche Füh rungsschienenbereich (31) zusammen mit dem Halbleiter rahmen (4) nach unten bewegt wird, wenn ein vorge gebener Bereich des Halbleiterrahmens (4) eine Position auf dem Heizblock (1) erreicht hat, der bewegliche Führungsschienenbereich (31) anschließend nach oben be wegt wird, wenn die vorgegebene Arbeit oder Verarbeitung beendet ist, der Halbleiterrahmen (4) weitertranspor tiert wird, damit ein nächster vorgegebener Bereich des Halbleiterrahmens (4) auf dem Heizblock (1) positio niert wird, wobei Arbeits- oder Verarbeitungsschritt mindestens einmal wiederholt wird;
- - einen zweiten Förderschritt, bei dem der Halb leiterrahmen (4), der vollständig bearbeitet oder ver arbeitet worden ist, zu dem festen Führungsschienenbe reich (33) auf der stromabwärtigen Seite in Transport richtung transportiert wird, und zwar von den beiden Klemmbacken (5c, 5d) auf der stromabwärtigen Seite in gleicher Weise wie beim ersten Förderschritt; und
- - einen Absenkungsschritt, bei dem der bewegliche Füh rungsschienenbereich (31) abgesenkt wird, wenn das hin tere Ende des Halbleiterrahmens (4) den festen Füh rungsschienenbereich (33) auf der stromabwärtigen Seite in Transportrichtung erreicht hat.
2. Vorrichtung zum Transportieren von Halbleiterrahmen und
zum Positionieren der jeweiligen Halbleiterrahmen in ei
ner Arbeits- oder Verarbeitungseinheit,
gekennzeichnet durch
- - einen beweglichen Führungsschienenbereich (31), der in vertikaler Richtung beweglich ist;
- - eine Arbeits- oder Verarbeitungseinheit (1, 2), die im mittleren Bereich des beweglichen Führungsschienenbe reiches (31) angeordnet und an einer festen Platte ge lagert und befestigt ist, um den jeweiligen Halbleiter rahmen (4) zu bearbeiten und zu verarbeiten;
- - feste Führungsschienenbereiche (32, 33), die in den Verlängerungen zu beiden Seiten des beweglichen Füh rungsschienenbereiches (31) angeordnet und an der fe sten Platte gelagert und befestigt sind; und
- - eine Klemmeinheit (5), welche die zu den jeweiligen fe sten Führungsschienenbereichen (32, 33) transportierten Halbleiterrahmen (4) festklemmen und obere und untere Klemmbacken (5a bis 5d) aufweisen, die längs der festen Führungsschienenbereiche (32, 33) bewegt werden können, während sie den jeweiligen Halbleiterrahmen (4) fest klemmen, und die jeweils in Bereichen vorgesehen sind, die den festen Führungsschienenbereichen (32, 33) zu beiden Seiten des beweglichen Führungsschienenbereiches (31) entsprechen, wobei der bewegliche Führungsschienenbereich (31) wäh rend des Transportes des Halbleiterrahmens (4) auf dem beweglichen Führungsschienenbereich (31) nach oben be weglich ist, um einen Kontakt zwischen dem Halbleiter rahmen (4) und der Arbeits- oder Verarbeitungseinheit (1, 2) zu vermeiden.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Arbeits- oder Verarbeitungseinheit (1, 2) eine
Drahtbondingeinheit ist, die einen Heizblock (1), der an
der festen Platte gelagert und befestigt ist, um einen
darauf befindlichen Halbleiterrahmen (4) zu beheizen, so
wie eine Rahmenpresse (2) aufweist, die ein Arbeitsloch
(2b) in ihrem mittleren Bereich hat und vertikal beweg
lich ist, um den Halbleiterrahmen (4) auf dem Heizblock
(1) nach unten gegen den Heizblock (1) zu drücken.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Klemmeinheit (5) mindestens eine Gewindebohrung
(7a) und eine hindurchgehende Antriebsspindel (7b) auf
weist, die sich längs des festen Führungsschienenberei
ches (32, 33) erstreckt, wobei die gesamte Klemmeinheit
(5) in Abhängigkeit von der Drehung und der Drehrichtung
der Schraubspindel (7b) in beiden Richtungen längs der
festen Führungsschienenbereiche (32, 33) bewegbar ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß sich verjüngende oder schräg verlaufende Flächen
(31a, 33a) an den Enden von jedem der beweglichen Füh
rungsschienenbereiche (31) und der festen Führungsschie
nenbereiche (33) auf der stromaufwärtigen Seite in Trans
portrichtung der Halbleiterrahmen (4) ausgebildet sind,
um die jeweiligen Halbleiterrahmen (4) sanft und gleich
mäßig zu transportieren.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstand zwischen den beiden Klemmbacken (5a bis
5d) kleiner ist als die Länge des Halbleiterrahmens (4).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2105463A JPH0770550B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 半導体フレームの搬送装置および搬送方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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