DE3431837A1

DE3431837A1 - Vorrichtung zum ausrichten eines halbleiter-leiterrahmens laengs eines arbeitsweges

Info

Publication number: DE3431837A1
Application number: DE19843431837
Authority: DE
Inventors: Syed San Jose Calif. Hussain
Original assignee: National Semiconductor Corp
Current assignee: National Semiconductor Corp
Priority date: 1983-08-31
Filing date: 1984-08-30
Publication date: 1985-03-14
Anticipated expiration: 2004-08-31
Also published as: JPS60100460A; GB8416784D0; GB2148542A; DE3431837C2; US4505225A; FR2551584B1; JPH0543183B2; FR2551584A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Ausrichten eines Halbleiter-Leiterrahmens auf einer von ihm längs eines Arbeitsweges durchlaufenen Bearbeitungsmaschine, insbesondere eines Plattierkopfes zum Plattieren der Anschlußstellen des Leiterrahmens.

Beim Plattieren der Anschlußstellen eines Halbleiter-Leiterrahmens wird ein verhältnismäßig langes Stück des Leiterrahmens schrittweise an einem Plattierkopf vorbeibewegt. Bei jedem Halt wird eine Anzahl von Anschlußstellen gleichzeitig plattiert. Dann wird der Leiterrahmen mittels eines Schrittschaltwerks um eine einstellbare Strekke, beispielsweise etwa 20 bis 30 cm (9 bis 11 Zoll), weitergeschoben, wobei neue zu plattierende Anschlußstellen in den Plattierkopf gelangen. Da die Schrittschaltvorrichtung relativ weit von dem Plattierkopf entfernt ist, können beim Einstellen der Lage der Anschlußstellen relativ zu dem Kopf Fehler entstehen. Diese müssen kompensiert werden, um eine einwandfreie Plattierung der Anschlußstellen zu gewährleisten.

Bisher wurde zur Kompensierung solcher Einstellungsfehler der Plattierkopf genau nach dem Anhalten des Leiterrahmens in Bewegung gesetzt.

Die Bewegung des Plattierkopfes geschah dabei beispielsweise von Hand, etwa durch Drehung einer Vorschub- oder Einstellschraube, durch Drehen einer Handhabe oder mit Hilfe ähnlicher Vorrichtungen. Solche Einstellungen erfordern jederzeit die Aufmerksamkeit der Bedienungsperson während des Betriebs des Plattierkopfes, was die genaue Wiederholbarkeit erschwert und zusätzlichen Arbeitsaufwand erfordert. Außerdem erschwert die Möglichkeit von Bedienungsfehlern eine genaue Ausrichtung der Anschlußstellen gegenüber dem Plattierkopf.

Im Hinblick auf die erwähnten Probleme besteht ein Bedarf nach einer Vorrichtung zum selbsttätigen Ausrichten von Plattierkopf und Anschlußstellen eines Halbleiter-Leiterrahmens, nachdem der Leiterrahmen durch das Schrittschaltwerk bewegt wurde, beispielsweise im Anschluß an das Plattieren einer Gruppe von Anschlußstellen in dem Plattierkopf. Durch die Erfindung wird dieser Bedarf befriedigt und eine Vorrichtung geschaffen, die besonders

einfach und robust gebaut ist, hohe Zuverlässigkeit gewährleistet und praktisch keine Aufmerksamkeit seitens der Bedienungsperson erfordert. Eine Vorrichtung nach der Erfindung enthält einen Antriebsmotor, der von dem Ausgangssignal eines Vergleichers mit zwei Eingängen ge~

speist wird, von denen der eine ein Signal, das einer Bezugsstellung entspricht, und der andere ein Signal von dem Ausgang eines drehbaren optischen Kodierers empfängt. Der optische Kodierer kann durch eine Vorrichtung mit Zahnstange und Ritzel betätigt werden, die durch einen Stift oder Dorn mit einer Stellvorrichtung gekuppelt ist; der Stift oder Dorn ist in ein Bezugsloch an dem einen Rande des Halbleiter-Leiterrahmens einführbar, der durch den Plattierkopf hindurchgelaufen ist. Die Stellvorrichtung wird in der Nähe des Endes einer normalen Schrittbewegung des Leiterrahmens erregt oder eingeschaltet, so daß der Stift und die Zahnstange zusammen mit dem Leiterrahmen um eine Schrittstrecke, etwa um 2,5 bis 5 mm (0,100 bis 0,200 Zoll) bewegt werden.

Die Bewegung von Zahnstange und Ritzel erzeugt durch Betätigung des drehbaren Kodierers ein Signal, das dem Vergleicher zugeführt und mit der Bezugsspannung verglichen wird. Das Ausgangssignal des Vergleichers wird dem Antriebsmotor über einen Servoverstärker zugeführt, der eine Leitspindel oder eine ähnliche Vorrichtung, die mit dem Plattierkopf selbst gekuppelt ist, in Betrieb setzt. Wenn also der Antriebsmotor eingeschaltet ist, wird der Plattierkopf

um die Schrittstrecke vorgeschoben, so daß er in genauer Ausrichtung mit den Anschlußstellen auf dem Leiterrahmen gelangt. Die Bezugsstellung wird am Anfang durch Handbedienung der Vorrichtung gewählt, und wenn sie einmal festgelegt ist, bleibt sie erhalten, weil die Bezugslöcher, die fortlaufend nacheinander den Stift oder Dorn der Stellvorrichtung aufnehmen, in gleichmäßigen Abständen längs des Leiterrahmens angeordnet sind.

Durch die Erfindung wird die Aufgabe gelöst, eine Vorrichtung zum Ausrichten einer Halbleiter-Bearbeitungsmaschine mit bestimmten Bezugsstellen auf einem Halbleiter-Leiterrahmen zu schaffen, bei der die Ausrichtung selbsttätig und ohne Aufmerksamkeit einer Bedienungsperson erfolgt, so daß der Aufwand möglichst gering gehalten wird, ohne daß die Zuverlässigkeit der Ausrichtung Einbußen erleidet.

. Insbesondere besteht die Aufgabe der Erfindung darin, eine Vorrichtung zum Ausrichten der Anschlußstellen eines Halbleiter-Leiterrahmens mit einem Plattierkopf zu schaffen. Die Vorrichtung enthält erfindungsgemäß die Anordnung eines Stiftes oder Dornes, der sich während eines Schaltschritts des Halbleiter-Leiterrahmens um eine kurze Strecke bewegt und die Betätigung eines

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umlaufenden Kodierer bewirkt. Der Kodierer erzeugt ein Signal, das mit einem Bezugssignal verglichen wird, um ein Eingangssignal eines Antriebsmotors zu bilden. Auf diese Weise kann der Plattierkopf um eine Schrittstrecke bewegt werden, die genügt, um ihn in einwandfreier Ausrichtung mit den Anschlußstellen an dem Halbleiter-Leiterrahmen zu bringen. Dies alles geschieht selsttätig, und ohne die Aufmerksamkeit einer Bedienungsperson zu benötigen.

Im folgenden ist die Erfindung anhand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels mit weiteren Einzelheiten näher erläutert. Es zeigen

F i g. 1 eine vereinfachte schematische Darstellung einer Vorrichtung gemäß der Erfindung zum Ausrichten einer Bearbeitungsmaschine wie beispielsweise des Plattierkopfes zum Plattieren der Anschlußstellen eines Halbleiter-Leiterrahmens;

F i g. 2 eine perspektivische Darstellung des Plattierkopfes und verschiedener Bauteile der zur selbsttätigen Ausrichtung dienenden Vorrichtung gemäß der Erfindung mit einem HaIbleiter-Leiterrahmen, der an dem Plattierkopf vorbei bewegt und mit der Vorrichtung gekuppelt

ist;

F i g. 3 eine Grundrißansicht der Vorrichtung zur Veranschaulichunj der Art und Weise, in welcher die Vorrichtung mit dem Kopf und dem Leiterrahmen gekoppelt wird und

F i g. 4 eine Ansicht eines Halbleiter-Leiterrahmens üblicher Art zur Verwendung in Verbindung mit der Vorrichtung gemäß der Erfindung.

Die Vorrichtung gemäß der Erfindung ist in Fig. 3 allgemein mit der Bezugsziffer 10 bezeichnet. Sie kann in Verbindung mit einem Plattierkopf 12 üblicher Art verwendet werden, der zum Plattieren der Anschlußstellen 14 auf einem Halbleiter-Leiterrahmen 16, wie er in Fig. 4 dargestellt ist, dient. In an sich bekannter Weise trägt der Leiterrahmen das Plättchen (the die) und sorgt für passende elektrische Verbindungen zwischen dem Plättchen und einem Sockel einer gedruckten Schaltung oder einer sonstigen Vorrichtung. Nachdem das Plättchen mit dem Leiterrahmen fest verbunden ist und die elektrischen Verbindungen hergestellt sind, wird die gesamte Anordnung häufig in ein Kunststoffmaterial eingekapselt. Leiterrahmen zum Tragen von Halbleiterplättchen sind allgemein bekannt und in verschiedenen Größen und Formen handelsüblich.

Der in Fig. 4 gezeigte Leiterrahmen 16 soll nur ein Beispiel für die Art von Leiterrahmen veranschaulichen, in Verbindung mit denen ein Plattierkopf 12 verwendbar ist.

Wie in Fig. 2 gezeigt, enthält der Plattierkopf 12 einen Support 18, der verschiebbar mit einem festen waagerechten Träger 17 gekuppelt ist. Der Support 18 kann beispielsweise eine senkrechte Platte 20 sein. Der Plattierkopf 12 enthält zwei Kopfteile 22 und 24, die durch eine Endplatte 26 gekuppelt sind. Die Kopfteile 22 und 24 sind gegeneinander und voneinander weg bewegbar, so daß sie sich um einen Halbleiter-Leiterrahmen 16 schließen und eine oder mehrere Anschlußstellen 14 des Leiterrahmens gleichzeitig plattieren können. Im allgemeinen werden vier bis acht Anschlußstellen 14 gleichzeitig plattiert; allerdings hängt die Arbeitsfähigkeit des Plattierkopfes von seiner Bemessung sowie von der Bemessung der Leiterrahmen ab.

Die Endplatte 26 hat einen Schlitz 28, durch den der Leiterrahmen 16 hindurchlaufen kann. In entsprechender Weise hat die Endplatte am entgegengesetzten Ende des Plattierkopfes 12 einen solchen Schlitz (nicht dargestellt) zur Aufnahme des Leiterrahmens, dessen Laufrichtung mit dem

Pfeil 32 angegeben ist.

Plattierköpfe, wie der hier beschriebene Kopf 12, sind an sich bekannt. Der Plattierkopf ist nur ein Beispiel einer Bearbeitungsvorrichtung oder Maschine, die durch Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 10 mit Bezugsstellen an einem Halbleiter-Leiterrahmen genau ausrichtbar ist. Die Vorrichtung 10 ermöglicht eine sehr genaue Ausrichtung der Anschlußstellen 14 eines Halbleiter-Leiterrahmens 16 gegenüber den plattierenden Teilen an den Kopfteilen 22, 24 des Plattierkopfes 12. Wenn die Anschlußstellen nicht genau ausgerichtet sind, können sie nicht einwandfrei von dem Kopf plattiert werden, was defekte Werkstücke, einen geringeren Ausstoß und daher höhere Kosten zur Folge haben würde.

Mit dem Leiterrahmen 16 (am Rande dargestellt) ist ein Schrittschaltwerk 29 gekoppelt, um den Leiterrahmen um jeweils ein Stück ge,genüber dem Plattierkopf 12 vorzuschieben. In der Regel ist das Schrittschaltwerk 12 eine pneumatische Vorrichtung, die selbsttätig betrieben werden kann. Bei den meisten Anwendungen befindet sich das Schrittschaltwerk in einem verhältnismäßig großem Abstand von etwa 7,5 bis 15 m (25 bis 50 Fuß) von dem Plattierkopf entfernt.

Handelsübliche Schrittschaltwerke bewirken einen Vorschub des Leiterrahmens um jeweils einen Schritt in der Größenordnung von 25 bis 30 cm (10 bis 12 Zoll) bei jedem Schaltschritt. Wie in Fig. 3 gezeigt, enthält die Vorrichtung 10 einen Gleichstrom-Servomotor 34 zum Antrieb einer Leitspindel 38 in einem Gehäuse Die Antriebswelle 40 des Motors 34 trägt ein Stirnrad 42, das mit der Leitspindel 38 im Eingriff steht. Wenn der Motor 34 eingeschaltet wird, wird die Leitspindel 38 gedreht und verschiebt einen Lenker 44, der mit dem Plattierkopf 12 gekuppelt ist, um diesen in Richtung des Pfeils 46 zu verschieben. Das Gehäuse 36 ist mit einer Klemmvorrichtung 48 (Fig. 2) an dem starren Supportträger 17 befestigt, längs dessen sich der Support 18 und der Kopf 12 bewegen. Der Motor 34 und die Leitspindel 18 sind also ortsfest bezüglich des Supportträgers 17.

Ein Gehäuse 50 wird von einer Stange (Fig. 2 und 3) auf der dem Austritt des Leiterrahmens 16 aus dem Gehäuse 36 gegenüberliegenden Seite getragen. Das Gehäuse 16 enthält eine pneumatische Stellvorrichtung 54. Die Stellvorrichtung 54 weist einen zurückziehbaren

Dorn oder Stift 56 auf, der von dem Gehäuse 50 aus vorsteht und in ein Bezugsloch 58 längs des einen unteren Randes 60 des Leiterrahmens 16 eintreten kann.

Die Stange 52 ist verschiebbar in einem Lager 62 auf einer Seite 64 eines Gehäuses 66 angebracht. Ein drehbarer optischer Kodierer 68 in dem Gehäuse 66 besitzt ein Stirnrad 70, das mit den Zähnen 72 am inneren Ende 74 der Stange 52 im Eingriff steht. Das innere Ende 74 der Stange 52 und das Stirnrad 70 bilden eine Zahnstange mit Ritzel, wobei das Stirnrad sich entgegengesetzt im Uhrzeigerdrehsinn dreht, wenn die Stange 52 sich nach links bewegt. Die Stange 52 bewegt sich nach links, wenn der Stift 56 in ein Loch 58 des Leiterrahmens 16 eingreift und mit dem Leiterrahmen um einen Schaltschritt während des letzten Teils der Schrittschaltbewegung nach der Seite hin gezogen wird.

Der drehbare Kodierer 68 ist mit der Schaltung 76 gekoppelt, welche Impulse zählt und' den Zählwert mit einem Bezugszählwert vergleicht. Der Unterschied zwischen diesen Zählwerten wird einem Digital/Analogwandler zugeführt. Dessen Ausgangsspannung wiederum wird an einen Servoverstärker gelegt (als Stellungsrückkopplung),

der seinerseits den Motor 34 antreibt, was eine Bewegung der Leitspindel 38 zur Folge hat, um den Lenker 44 und den Plattierkopf 12 schrittweise in Richtung des Pfeils 46 (Fig. 3) zu bewegen. Im Betriebe wird der Leiterrahmen 16 zwischen die Kopfteile 22 und 24 eingefädelt, wie in Fig. und 3 gezeigt, und mit einem Schrittschaltwerk 29 gekoppelt, wie in Fig. 3 gezeigt. Angenommen, daß das Schrittschaltwerk 29 den Leiterrahmen in die Lage für den ersten Plattiervorgang gebracht hat, wird der Kopf von Hand zur genauen Ausrichtung der Anschlußstellen 14 des Leiterrahmens 16 mit den Kopfteilen 22 und 24 eingestellt. Dies geschieht durch Betätigung eines mit dem Motor 34 verbundenen Handschalters. Die Stellvorrichtung 54 und der Dorn 56 sind mit dem Schrittschaltwerk 29 verbunden, wie durch die gestrichelte Linie 31 in Fig. 3 angedeutet. Auf diese Weise kann der Schalter 33 in der Leitung 31 die Stellvorrichtung 54 betätigen, um den Stift 56 in ein Bezugs- oder Taktloch 58 in dem Leiterrahmen eintreten zu lassen. Somit verschiebt der Motor 34, wenn er von Hand eingeschaltet wird, den Kopf schrittweise, in aller Regel um eine Strecke von 2,5 bis 5 mm (0,100 bis 0,200 Zoll), wodurch der Lenker 44 die Plattierköpfe in genauer Ausrich-

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tung mit den Anschlußstellen 14 zum Plattieren bringt. Diese kleine Bewegung des Leiterrahmens hat eine seitliche Verschiebung des Gehäuses 50 und damit des Stiftes 56 zur Folge, wodurch der Zahnstangenteil 74 der Stange 52 dazu gebracht wird, das Ritzel 70 um einen bestimmten Winkelschritt in der Größenordnung von 20 bis 30° zu drehen. In der Regel ergibt der Ausgang des Kodierers 68 10.000 Impulse pro volle Umdrehung des Ritzels 70. Bei einer Drehung um 30° liefert also der Kodierer etwa 1.000 Impulse, die von einem Bezugsstellwertzahler 101 gezählt werden. Wenn die Bezugsstellung erreicht ist, wird die Maschine automatisch betrieben, so daß die Anschlußstellen 14 des Leiterrahmens plattiert werden, ohne daß es der Aufmerksamkeit einer Bedienungsperson bedarf.

Bei dem ersten Arbeitszyklus rückt das Schrittschaltwerk 29 den Leiterrahmen 16 um eine vorbestimmte Strecke vor, beispielsweise 25 bis 30 cm (10 bis 12 Zoll), um neue Anschlußstellen 14 zum Plattieren in den Plattierkopf 12 zu bringen. Nahe dem Ende der Bewegung des Leiterrahmens um diesen Schritt wird der Schalter 33 geschlossen, betätigt die Stellvorrichtung 54, läßt den Stift 56 nach außen vortreten und

bringt ihn zum Eintritt in das nächste Loch 58 am Rande 60 des Leiterrahmens 16. Wenn der Stift in das Loch eintritt, wird die Vorrichtung 54 mit dem Leiterrahmen gekuppelt und um ein kleines Stück nach links verschoben, was zur Folge hat, daß die Stange 52 sich nach links bewegt und eine Drehung des Ritzels 70 verursacht. Diese Drehung erzeugt eine Reihe von Ausgangsimpulsen, die an den Zähler 100 gelegt werden. Der Ausgang des Zählers 100 wird verglichen mit dem Bezugswertzähler 101, was eine Spannung zur Folge hat, die dem Abstand von der zu erreichenden gewünschten Stellung proportional ist. Diese Spannung wird dann am Knotenpunkt 103 mit einer Spannung summiert, die proportional der Gegen-EMK des Motors ist (Geschwindigkeitsrückkopplung) und die an den Servoverstarker 104 gelegt wird, so daß der Motor 34 die Leitspindel 38 dreht. Die Drehung der Leitspindel 38 hat eine Verschiebung des Lenkers 44 in Richtung des Pfeiles 46 und damit eine Bewegung des Plattierkopfes 12 zur genauen Ausrichtung mit den Anschlußstellen 14 des Leiterrahmens 16 zur Folge. Der Plattierkopf wird dann eingeschaltet, um eine Anzahl von Anschlußstellen 14 in dem Kopf zu plattieren.

Das Plattieren kann nur auf einer Seite jeder

Anschlußstelle oder aber auch auf entgegengesetzten Seiten erfolgen, je nachdem der Kopf selbst konstruiert ist. Wenn die Plattierung beendet ist, öffnen sich die Kopfteile und das Schrittschaltwerk 29 wird erneut betätigt, um den Leiterrahmen 16 nach links vorzuschieben, und der ganze Vorgang wiederholt sich.

Wenn die Plattierkopfteile sich nach dem Plattiervorgang öffnen, führt der Motor 34 den Plattierkopf 12 in seine anfängliche Ausgangsstellung zurück. Dadurch wird die Maschine in die Lage gebracht, sich stets in einer Richtung zu bewegen und auf diese Weise Totgang und Klappern der Maschine zu vermeiden. Wenn die Maschine einmal in Gang gesetzt ist, kann der Kopf 12 genau "eingestimmt" werden, um die beste Stellung durch Einstellen des Werts an dem an der Summierstelle 102 anliegenden Bezugszähler zu erhalten.

Die Gegen-EMK-Rückkopplung aus dem Motor 105 regelt die Geschwindigkeit ein und beseitigt die Notwendigkeit eines Tachometers. Es ist also eine ständige Geschwindigkeits- und Stellungsrückkopplung für die Genauigkeit der Höchstgeschwindigkeit und der Stellung des Plattierkopfes vorhanden. Die Stellungsrückkopplung

wird einer Verbindungsstelle 102 summiert und die Geschwindigkeit an der Verbindungsstelle 103.

Claims

DIP!..-1 N G. J. RICHTER - P A T -E N T-A N- W Ä L T E

.-ING. F. WERDERMANN

ZÜGEL. VEFiTRETER BEIM EPA ■ PROFESSIONAL REPRESENTATIVES BEFORE EPO · MANDATAIRES AGREES PRES LOEB

aOOO HAMBURG 36 2 ?. AU3. 1984

NEUER WALL IO

Φ (O 4O) 340045/3400

TELEeRAMME: INVENTIUS HAMBURS

TELEX 2163 551 INTU D

UNSER ZEICHEN/OUR FILE N . 8423

Anmelder;

NATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION,

2900 Semiconductor Drive, Santa Clara, Kalif.95051 (V.St.A.)

Vorrichtung zum Ausrichten eines Halbleiter-Leiterrahmens längs eines Arbeitsweges.

Patentansprüche:

Vorrichtung zum Ausrichten eines Halbleiter-Leiterrahmens auf einer von ihm längs eines Arbeitsweges durchlaufenen Bearbeitungsmaschine, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:

eine Stellvorrichtung mit einem zurückziehbarem Dorn oder Stift zum Eintritt in ein Bezugsloch in dem Halbleiter-Leiterrahmen,

eine Haltevorrichtung zur beweglichen Festlegung der Stellvorrichtung längs des Arbeitsweges,

eine Kraftquelle, mit der die Stellvorrichtung

kuppelbar ist, um den Dorn oder Stift in ein Bezugsloch eines benachbarten Leiterrahmens einzudrücken, so daß die Stellvorrichtung sich mit dem Leiterrahmen bewegt, wenn der Dorn oder Stift in das Bezugsloch des Leiterrahmens eingreift, ein mit der Stellvorrichtung gekuppelter Signalgeber, der ein Ausgangssignal als Funktion der Strecke abgibt, um welche sich die Stellvorrichtung zusammen mit dem Leiterrahmen bewegt, und

eine mit der Bearbeitungsmaschine kuppelbare Antriebsvorrichtung, die sich in Abhängigkeit von dem Ausgangssignal relativ zu dem Leiterrahmen bewegt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zur beweglichen Festlegung der Stellvorrichtung dienende Haltevorrichtung eine Zahnstange mit Ritzel aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellvorrichtung eine solche mit pneumatischem Antrieb ist, die einen verschiebbaren Zapfen aufweist, welcher den erwähnten Dorn oder Stift bildet oder trägt.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das eine Ende der zu der Haltevorrichtung gehörenden Zahnstange mit der pneumatischen Stellvorrichtung verbunden

ist und der Signalgeber einen auf die lineare Bewegung der Zahnstange ansprechenden umlaufenden Kodierer aufweist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1

bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Vergleicher zum Aufnehmen des Signals aus dem umlaufenden Kodierer und zur Aufnahme eines zusätzlichen Bezugssignals vorgesehen ist, und daß der Ausgang des Vergleichers mit der Antriebsvorrichtung verbunden ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsvorrichtung einen Motor enthält, dessen Ausgangswelle mit einer Leitspindel gekuppelt ist, welche mit der Bearbeitungsmaschine kuppelbar ist, so daß sie deren Verschiebung aufgrund des Betriebs des Motors bewirkt.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellvorrichtung eine pneumatische ist und einen Dorn oder Stift aufweist, der in ein in dem Leiterrahmen vorgesehenes Loch paßt,

daß die Haltevorrichtung eine verschiebbare Stange mit Zähnen an ihrem einen Ende aufweist, mit denen ein Stirnzahnrad im Eingriff steht,

daß der Signalgeber einen mit dem Stirnzahn-

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rad gekuppelten umlaufenden Kodierer aufweist und bei seiner Drehung ein Ausgangssignal liefert,

daß ein Vergleicher vorgesehen ist, dessen erster Eingang mit dem Kodierer verbunden ist und dessen zweiter Eingang zur Aufnahme eines Bezugssignals dient,

daß der Antriebsmotor mit dem Ausgang des Vergleichers verbunden ist und

daß eine Leitspindel mit dem Antriebsmotor gekuppelt ist und von diesem gedreht wird, die mit der Bearbeitungsmaschine gekuppelt ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie ein Schrittschaltwerk zum Bewegen des Leiterrahmens relativ zu der Bearbeitungsmaschine enthält, welches ein Arbeitsweg-Endsignal zur Einschaltung der Stellvorrichtung liefert.