JPS6120339A - リ−ドフレ−ム供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、半導体を搭載したリードフレームをモールド
装置へ供給するリードフレーム供給装置に関する。

〔発明の技術的背景およびその問題点〕半導体チップを
搭載したリードフレームを樹脂封止するモールド装置は
、例えば、シリンダ等により上下動する上金型とリード
フレームを載置する下金型とを取付けたモールドブレス
本体を備えており、下金型の所定位置に載置したリード
フレームを止金型により固定してリードフレーム上の半
導体チップを樹脂によりモールドするように構成される
。

添ＷＡ図面の第７図はリードフレームの平面図である。

なお、以下の図面の説明において同一要素は同一符号で
示しである。図示の如く第７図（ａ）（ｂ）のリードフ
レーム１はそれぞれ幅方向のサイズＡ、Ｂが異っている
。第７図（ａ）、（ｂ）に示すようなリードフレーム１
．を下金型の所定位置へ供給するためのリードフレーム
供給方法として、従来、例えば次のようなものが知られ
ている。

第１の方法はローディング治具と呼ばれるものを用いる
方式で、第８図はローディング冶具にリードフレームを
配置した平面図であり、第９図はその側面図である。こ
の方法によるリードフレームの供給は次のよらにして行
う。すなわち、ローディング治具２に複数個のリードフ
レーム１を配置し、この日−ディング冶具２を手動また
は移動装置によりモールド装置の方向へ移送し、下金型
上の所定位置にリードフレーム１を載置する。

第２の方法はリードフレーム位置決め整列台と、真空チ
ャックまたは機械式チャック等からなる移動自在のチャ
ックとより構成される装置を用いるものである。すなわ
ち、リードフレーム位置決め整列台に複数個のリードフ
レーム１を配置し、このリードフーム１をチャックを用
いて下金型上の所定位置に順次載置する。

しかしながら最近の半導体装置の製造においては、多種
少量生産に対応する必要が望まれてきたため、上記の第
１．第２の方法では多くの不利不便が生じてぎた。なぜ
ならば、第７図（ａ）のような幅Ａのリードフレーム１
ａの後に、第７図（ｂ）のような幅Ｂのリードフレーム
１ｂをモールドする場合には、第１の方法にあってはロ
ーディング治具２を、第２の方法にあってはリードフレ
ーム位置決め整列台及びチャックを、それぞれリードフ
レーム１ｂの外形（幅方向のりイズ）に合ったものに交
換する必要があった。そして多種少量生産に対応してリ
ードフレーム外形の種類が多くなるほど、予めリードフ
レームの位置決め及び整列するための治具や装置を別に
用意しなければならず、これらの交換のための製造能率
の低下や、保管場所、管理、保守の必要性が生じ、また
そのための価格が高くなる等の欠点があった。

〔発明の目的〕

本発明は上記のような従来技術の欠点を解消するために
なされたもので、半導体装置の多種少量生産に対応して
リードフレームのサイズに合わせて用意していたリード
フレーム位置決め整列台及び治具等を廃止し、リードフ
レームの外形変更に対応する汎用化機能を持たせたリー
ドフレーム供給装置を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

上記の目的を達成するため本発明は、固定の内側ガイド
レールと幅方向に移動自在の外側ガイドレールとの間に
長手方向に移動自在のベルトを張設し、ストッパでリー
ドフレームを係止し整列させるようにしたリードフレー
ム整列装置と、外側ガイドレールの側端部上に配設され
リードフレームの外側端部を把持可能であって、リード
フレームの幅方向移動および上下移動が自在なチャック
爪をモールド装置の所定位置に移送することによりリー
ドフレームを搬送するリードフレーム搬送装置とを備え
たリードフレーム供給装置を提供するものである。

〔発明の実施例〕

以下、添附図面を参照して本発明の一実施例を説明する
。第１図は同実施例に係るリードフレーム供給装置の概
略の構成図である。図示しないベルトコンベア等で運ば
れて来たリードフレーム１はリードフレーム整列装置ｉ
ｏｏにより正確に位置決めされ整列された後、リードフ
レーム搬送装置２００によりモールド装置１３００へと
移送される。モールド装置３００はシリンダ等によりリ
ードフレーム１を載置する下金型３０２と上金型３０１
とを備えており、リードフレーム搬送装置２００によっ
て下金型３０２上の所定位置に載置されたリードフレー
ム１を上金型３０１で固定してリードフレーム１上の半
導体を樹脂によりモールド成形する。

第２図は第１図に示すリードフレーム整列装置１００の
平面図であり、第３図はその左側面図である。ベース板
１０１にはブラケット１０２で保持されたガイドロッド
１０３が設けられ、このガイドロッド１０３により案内
される軸受１０４を介して内側ガイドレール１０５の両
側に外側ガイドレール１０６．１０６が取付けられてい
る。またベース板１０１にはネジ軸受１０７が取付けら
れ、このネジ軸受１０７と内側ガイドレール１０５間に
はスクリュウ１０８が軸支され、このスクリュウ１０８
の一端は継手１０９を介してスクリュウ駆動モータ１１
０に連結されている。さらにスクリュウ１０８に螺合さ
れたナツト１１１が外側ガイドレール１０６．１０６に
それぞれ固着されている。外部からの駆動指令によりス
クリュウ駆動モータ１１０が回転するとスクリュウ１０
８が回転し、ナツト１１１を介して外側ガイドレール１
０６．１０６が内側ガイドレール１０５の両側面に向か
って幅Ａの距離だけ接近し、あるいは内側ガイドレール
１０５の両側面から幅方向に幅Ｂの距離だけ離れ、それ
ぞれ幅Ａ、Ｂのリードフレーム１ａ、１ｂの移動を長手
方向に沿って案内する。

内側ガイドレール１０５の両側面及び外側ガイドレール
１０’６，１０６の各々の内側面にはそれぞれ複数個の
プーリ１１２が軸着されると共に、ベース板１０１には
ベルト用シャフト１１３を軸支するＯラド軸受１１４が
設けられている。ベルト用シャフト１１３には移動可能
な複数個の固定プーリ１１５が取付けられ、固定プーリ
１１５とプーリ１１２とにはそれぞれベルト１１６が無
端状に掛けられている。そしてベルト用シャフト１１３
に継手１１７を介して連結されたベルト駆動モータ１１
８を外部からの駆動指令により回転させると、ベルト用
シャフト１１３を介して固定プーリ１１５が回転し、ベ
ルト１１６が長手方向に回動してこのベルト１１６上に
載置されたリードフレーム１が内側ガイドレール１０５
と外側ガイドレール１０６，１０６で案内されて第２図
の左側から右側へ移送させられる。

ベース板１０１上の所定位置には突出入自在のストッパ
１１９が設けられ、このストッパ１１９によりベルト１
１６上を移動するリードフレーム１が所定位置に順次停
止させて整列させられる。

リードフレーム１の整列が完了すると図示しないセンサ
により検知されてベルト駆動モータ１１８が停止させら
れる。そしてこのリードフレーム１はリードフレーム搬
送装置２００によりモールド装置３００へと移送される
。

第４図は第１図に示すリードフレーム搬送装置２００の
主要部の正面図であり、第５図はその左側面図である。

このリードフレーム搬送装置２００はリードフレーム整
列装置１００上のリードフレーム１を摘み上げる把持装
置と、摘み上げたリードフレーム１をモールド装置３０
０へと移送する摺動装置とより構成される。摺動装置は
第１図に示すように摺動駆動モータ２０１を備えており
、この摺動駆動モータ２０１の回転力は駆動プーリ２０
２、駆動ベルト２０３及び従動プーリ２０４を介して摺
動スクリュウ２０５に伝えられる。これによって摺動ス
クリュウ２０５に螺合されガイドシャフト２０６に摺動
軸受２０７を介して支持された把持装置２０８はモール
ド装置３００へと移動させられる。

把持装置２０８は第４図に示すように摺動輪受２０７に
固着された固定ベース２１０と、固定ペース２１０に連
結され上下用シリンダ２１１ど上下動軸受２１２及び上
下用ガイドシャフト２１３とを介して上下移動可能な可
動ベース板２１４とを備えている。そして可動ベース板
２１４には移動用モータ２１５が搭載され、この移動用
モータ２１５の回転力は移動用プーリ２１６、移動用ベ
ルト２１７及び移動用プーリ２１８を介して移動用スク
リュウ２１９に伝えられる。これによって可動ベース板
２１４に取付けられたリードフレーム１を摘み上げるた
めの一対のチャック爪２２０゜２２０を第５図の横方向
に摺動させる。ここで一対のチャック爪２２０，２２０
は外側ガイドレール１０６．１０６の各々の上に配置さ
れている。

第６図はチャック爪２２０の部分拡大図である。

このチャック爪２２０は、可動ベース板２１４に取付け
られたチャック爪用シリンダ２２１により上下動しかつ
移動用スクリュウ２１９を介して第５図の横方向に摺動
する可動爪２２０ａと、移動用スクリュウ２１９を介し
て可動爪２２０ａと共に横方向に摺動する固定爪２２０
ｂとより構成される。チャック爪２２０によりリードフ
レーム整列ａ＋ｔｔｉｏｏ上に載置されたリードフレー
ム１を摘み上げる場合は、チャック爪用シリンダ２２１
により可動爪２２０ａを降下させ、次いで第６図（ａ）
に一点鎖線で示すように移動用スクリュウ２１９を介し
て可動爪２２０ａ及び固定爪２２０ｂをリードフレーム
１の側虻へ移動させる。次いで第６図（ｂ）に一点鎖線
で示すようにチャック爪用シリンダ２２１により可動爪
２２０ａを上昇さけてリードフレーム１を把持し、しか
る後上下用シリンダ２１１により可動ベース板２１４を
上昇させる。そして摺動スクリュウ２０５を介して把持
装置２０８をモールド装置３００側へ移動し、前述した
摘み上げ動作と逆の動作をさせてり、−ドフレーム１を
下金型３０２上の所定位置に載置させる。

以上のように構成されるリードフレームの供給装置にお
いて、第７図（ａ）のような幅Ａのリードフレーム１ａ
をモールド装置３００中の下金型３０２の所定位置に順
次載置するための動作について更に説明する。まず、第
２図および第３図のリードフレーム整列装＊ｉ　ｏｏに
おいて、外部からの駆動指令によりスクリュウ駆動モー
タ１１８を回転させて外側ガイドレール１０６，１０６
を内側ガイドレール１０５側へ近づけて、両刀イドレー
ル間の距離を略Ａに調整した後、ベルｌ−駆動モータ１
１８を回転させてベルト１１６を回動させる。そしてベ
ルトコンベア等によりリードフレーム１ａを内側ガイド
レール１０５と外側ガイドレール１０６，１０６間に左
方向から順次搬入すると、リードフレーム１ａは内側ガ
イドレール１０５と外側ガイドレール１０６，１０６に
案内されてベルト１１６により右方向へ移動し、ストッ
パ１１９に当接して所定位置に整列する。するとこれが
図示しないセンサにより検知されてベルト駆動モータ１
１８が停止させられると共に、第４図及び第５図に示す
リードフレーム搬送装置２００中の上下用シリンダ２１
１が作動する。

上下用シリンダ２１１により可動ベース板２１４が下降
すると、これが図示しないセンサにより検知されてチャ
ック爪用シリンダ２２１が作動して可動爪２２０ａが下
降する。可動爪２２０ａが下降するとこれが図示しない
センサにより検知され（第６図（ａ）の実線を参照）、
移動用モータ２１５が回転し移動用スクリュウ２１９を
介して可動爪２２０ａ及び固定爪２２０ｂがリードフレ
ーム１ａの側端へ移動させられる（第６図（ａ）の一点
鎖線参照）。次いでチャック爪用シリンダ２２１により
可動爪２２０ａが上昇して可動爪　２２０ａと固定爪２
２０ｂとによりリードフレーム１ａの外側端が把持され
る（第６図（ｂ）の一点鎖線参照）。

可動爪２２０ａと固定爪２２０ｂとによりリードフレー
ム１ａが把持されると、上下用シリンダ２１１により可
動ベース板２１４が上昇する。これによりリードフレー
ム１ａの摘み上げ作動が完了し、これが図示しないセン
サにより検知されて摺動駆動モータ２０１が回転する。

摺動駆動モータ２０１により摺動スクリュウ２０５が回
転して把持装置２０８が下金型３０２の上面位置まで移
動させられると、摺動駆動モータ２０１の回転が停止す
ると共に、上下用シリンダ２１１により可動ベース板２
１４が下金型３０２の上面近くまで下降する。するとチ
ャック爪用シリンダ２２１及び移動用スクリュウ２１９
が作動してリードフレーム１ａがチャック爪２２０から
抜は出し下金型３０２の所定位置に載置される。そして
この可動爪２２０ａ及び固定爪２２０ｂが移動用スクリ
ュウ２１９を介して横方向の原点位置へ戻った後、上下
用シリンダ２１１により可動ベース板２１４が下降し、
囲動駆動モータ２０１により摺動スクリュウ２０５が逆
方向に回転して把持装置２０８がリードフレーム整列装
置１００側へ戻り、リードフレーム１ａの供給作業が終
了する。

その優、モールド装置３００によりリードフレーム１ａ
のモールド作業が行なわれ、これが終了すると成形後の
製品が取り出される。そして金型３０１．３０２のクリ
ーニングの後、リードフレーム搬送装置２００が作動し
て前述した動作により順次リードフレーム１ａがモール
ド装ａｆ３００へ供給される。

次に、第７図（ｂ）のような幅Ｂのリードフレーム１ｂ
をモールド装置１３００へ順次供給する場合には、第２
図および第３図に示すリードフレーム整列装＠１００中
のスクリュウ駆動モータ１１８へ外部から駆動指令を与
え、このスクリュウ駆動モータ１１８を回転させる。そ
して外側ガイドレール１０６．１０６を内側ガイドレー
ル１０５から遠ざけて両ガイドレール間の距離を略Ａに
調整した後、ベルト駆動モータ１１８を回転させてベル
ト１１６を回動させる。そしてベルトコンベア等により
リードフレーム１ｂを内側ガイドレール　１０５と外側
ガイドレール１０６，１０６間に左方向から順次搬入す
ると、上記の説明と同様にしてリードフレーム１ｂがリ
ードフレーム整列装置１００により所定位置に整列され
る。イして外側ガイドレール１０６．１０６の各々の内
側端上に配置されたリードフレーム搬送装置２００の可
動爪２２０ａ、固定爪２２０ｂによりリードフレーム１
ｂの外側端が摘み上げられ、順次モールド装置３００の
所定位置へ載置される。

このように上記の実施例においてモールドするリードフ
レーム１ａ、１ｂの形状を変更する場合には、リードフ
レーム整列装置１００中の外側ガイドレール１０６．１
０６を内側ガイドレール１０５を中心として幅方向に移
動させ、両ノＪイドレール間をリードフレーム１ａ、１
ｂの幅に応じて調整するだけでよいので、リードフレー
ムＩａ。

１ｂの外形変更に簡易的確に対応することができ、多種
少量生産においても作業能率を向上させることができる
。

また、把持装置はリードフレームを外側から（外側ガイ
ドレールの方から）摘み上げるように構成されているた
め、ＭＴＳ　（マルチタブレットシステム）方式でモー
ルドをする場合には内側から摘み上げるようにしたもの
に比べてリードフレーム搬送装置の構成を簡素にするこ
とができる。

さらに外側ガイドレール１０６，１０６の幅方向移動、
チャック爪の移動およびチャック動作等はモータによっ
て行なわれるため、これらをマイクロコンピュータ等で
制御することによって容易にオートメーション化するこ
とができる。

なお、上記実施例では第２図および第３図に図示してい
ないが、リードフレーム１ａ、１ｂの有無確認のための
センナをベース板１０１に設けて有無確認を行なった後
に可動爪２２０ａ、固定爪２２０ｂよりなるチャック爪
による摘み上げ作業を行なわせるようにしてもよい。ま
た内側ノＪイｉ−″レール１０５と外側ガイドレール１
０６，１０６間にフレーム予熱装置を設け、このフレー
ム予熱ＨＥによりリードフレームを予熱した後モールリ
ド装置１３００へ供給するようにして、モールド作業の
円滑化を図るＪ：うにすることもできる。

また内側ガイドレール１０５及び外側ガイドレール１０
６，１０６間の幅調整も寸法Ａ、Ｂに限らず、これ以外
の各種の幅に調整することができ、さらにリードフレー
ムｌａ、１ｂの長手方向に関してもストッパ１１９の位
置を外部からの指令信号に基づいて変更し、リードフレ
ーム１ａ、１ｂの長手方向の各種の長さに対応できるＪ
：うにすることもできる。

さらにまた、第２図および第３図にお【プる内側ガイド
レール１０５と外側ガイドレール１０６゜１０６との間
のリードフレーム数は２枚となっているが、これを１本
または３本以上とし、これに対応する数だけチャック爪
を設けるようにしてもよい。また、内側ガイドレール１
（’）５と外側ノｊイドレール１０６．１０６によるリ
ードフレーム整列の縦列数を１列または複数列とし、こ
れに対応する数だけチャック爪を設けるようにしてもよ
０゜ＩＡ置の生産性向上のため並行動作ができるように
してもよい。

〔発明の効果〕

上記の如く本発明では、固定の内側ガイドレールと幅方
向に移動自在の外側ガイドレールとの間でリードフレー
ムを整列させるリードフレーム整列装置と、幅方向およ
び上下方向に移動可能なチャック爪を外側ガイドレール
の側端部上に配置し、このチャック爪によってリードフ
レームを把持し移送するリードフレーム搬送装置とを備
えたので、半導体装置の多種生伍生産に対応してリード
フレームのサイズに合わせて用意していたリードフレー
ム位置決め整列台及び治具等を廃止し、リードフレーム
の外形変更に対応する汎用化機能を持たせたリードフレ
ーム供給装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の概略の構成図、第２図は第
１図に示すリードフレーム整列装置の平面図、第３図は
第２図に示すリードフレーム整列装置の左側面図、第４
図は第１図に示すリードフレーム搬送装置の主要部の平
面図、第５図は第４図に示す主要部の左側面図、第６図
は第４図および第５図に示すチャック爪の部分拡大図、
第７図はリードフレームの平面図、第８図は従来用いら
れていた０−ディング治具の平面図、第９図は第８図に
示すローディング冶具の側面図である。 １ａ、Ｉｂ・・・リードフレーム、１００・・・リード
フレーム整列装置、１１０，１１８，２０１・・・を−
タ、２００・・・リードフレーム搬送装置、３００・・
・モールド装置、１０５・・・内側ガイドレール、１０
６・・・外側ガイドレール、１１６・・・ベルト、１１
９・・・ストッパ、２０１・・・モータ、２０８・・・
把持装置、２２０・・・チャック爪、２２０ａ・・・可
動爪、２２０ｂ・・・固定爪。 出願人代理人　　猪　　股　　　　清 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体を搭載したリードフームを整列させるリードフー
   ム整列装置と、前記リードフレームをモールド装置に順
   次移送するリードフレーム搬送装置とを備えたリードフ
   レーム供給装置において、前記リードフレーム整列装置
   は、固定された内側ガイドレールと、この内側ガイドレ
   ールの幅方向に移動自在に配置され前記内側ガイドレー
   ルと共に前記リードフレームを両側面から長手方向に向
   つて案内する外側ガイドレールと、前記内側及び外側ガ
   イドレール間にその長手方向に移動自在に張設され前記
   リードフレームを載置して前記内側及び外側ガイドレー
   ル間に沿つて該リードフレームを移動させるためのベル
   トと、前記内側及び外側ガイドレール間に設けられ前記
   リードフレームを所定位置で係止するストッパとを備え
   、前記リードフレーム搬送装置は、前記外側ガイドレー
   ルの側端部上に配設され前記リードフレームの外側端部
   を把持可能であつて該リードフレームの幅方向移動およ
   び上下移動が自在なチャック爪と、このチャック爪を前
   記モールド装置の所定位置に移動させる摺動装置とを備
   えたことを特徴とするリードフレーム供給装置。