DE3875423T2 - Optische platte zur verwendung in optischen speichergeraeten. - Google Patents

Optische platte zur verwendung in optischen speichergeraeten.

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DE3875423T2 DE8888307691T DE3875423T DE3875423T2 DE 3875423 T2 DE3875423 T2 DE 3875423T2 DE 8888307691 T DE8888307691 T DE 8888307691T DE 3875423 T DE3875423 T DE 3875423T DE 3875423 T2 DE3875423 T2 DE 3875423T2
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Description

    Optische Platte zur Verwendung in optischen Speichergeräten
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine optische Platte zur Verwendung bei optischen Speichereinrichtungen, welche eine Aufzeichnungsoperation, eine Regenerierungsoperation oder eine Löschoperation von Informationen mit Hilfe von Laserstrahlen durchführen und auf ein Verfahren für die Herstellung der optischen Platte.
  • In den jüngsten Jahren haben optische Speichereinrichtungen als dichte und Massendaten-Speichereinrichtung die Aufmerksamkeit der Öffentlichkeit gewonnen. Sie können in drei Gruppen eingeteilt werden, die aus regenerativen Speichereinrichtungen, Einmalschreib-Speichereinrichtungen und wiederbeschreibbaren Speichereinrichtungen bestehen. Optische Speichereinrichtungen, die als Einmalschreib-Speichereinrichtungen und wiederbeschreibbare Speichereinrichtungen klassifiziert werden können, haben generell Führungsspuren auf einer Platte, die aus Glas oder Kunststoff hergestellt ist, um auf diese Weise den Lichtstrahl für das Aufzeichnen und/oder Regenerieren von Informationen auf einen gegebenen Teil der optischen Speichereinrichtung zu führen. Ein Teil jeder Führungsspur ist zu einer Vertiefungsgestalt ausgebildet, was zu einer Spuradresse führt, mit Hilfe der die Position der Führungsspur identifiziert werden kann. Wenn die Sektorbildung jeder Führungsspur benötigt wird, um Informationen zu verwalten, dann sind auch Sektoradressen auf der Platte angeordnet.
  • Fig. 10 zeigt eine konventionelle Platte 500 mit Führungsspuren, die durch Rillen 100 gebildet werden. Informationen, wie beispielsweise Spuradressen, Sektoradressen oder dergleichen die auf der Platte 500 angeordnet sind, sind zu der Form von Vertiefungen 200 ausgebildet. Generell wird auf der Platte mit Führungsrillen und Vertiefungen ein Aufzeichnungsmedium durch das Vakuum-Verdampfungsverfahren, das Spin-Beschichtungsverfahren oder dergleichen ausgebildet. Wenn notwendig, wird ein schützendes Substrat und/oder eine Harzschicht auf dein Aufzeichnungsmediwn laminiert, was zu einer optischen Speichereinrichtung führt.
  • Weil Informationen auf den Führungsspuren 100 (Fig. 10) mit Hilfe von Licht, wie beispielsweise Laserstrahlen oder dergleichen aufgezeichnet werden, beeinflußt die Form der Rillen 100 die Nachführ-Servosignal-Kennwerte nennenswert, die wesentlich sind, um einen Lichtstrahlpunkt auf einer gegebenen Führungsspur zu halten. Um gute Nachführ-Servosignal-Kennwerte zu erhalten, wird die Tiefe von Führungsrillen, die in der Platte gebildet werden, gewöhnlich auf rund λ/8n gesetzt (wobei λ die Wellenlänge von Licht und n der Brechungsindex der Platte ist). Andererseits wird, weil solche Informationen, wie Spuradressen, Sektoradressen oder dergleichen, welche zu einer Vertiefungsform auf der Platte ausgebildet sind, durch Nutzung einer Beugungswirkung von Licht in den Vertiefungen gelesen werden, die Tiefe jeder Vertiefung auf rund λ/4n gesetzt. Auf diese Weise ist die Tiefe von Führungsrillen 100 einer Platte 500 für die Verwendung bei optischen Speichereinrichtungen verschieden von der Tiefe der Vertiefungen 200 dieser Platte. Diese Plattenart 500 ist so gestaltet, daß, wie in Fig. 10 gezeigt, eine Oberfläche 300 der Platte 500 bündig mit der hervorstehenden Fläche 400 ist, welche zwischen den angrenzenden Führungsrillen 100 positioniert ist, die auf der Oberfläche 300 der Platte 500 ausgebildet sind.
  • Die Fig. 11a bis 11d zeigen einen Herstellungsprozeß für die vorstehend erwähnte Platte 500. Wie in Fig. 11a gezeigt, wird eine fotoempfindliche Schicht 600, die auf einer Scheibe 10 gebildet worden ist, mit einem Laserstrahl 700 beleuchtet, was zu latenten Bildern in Führungsrille und Vertiefung auf der fotoempfindlichen Schicht 600 führt. Die Intensität der Beleuchtung des Laserstrahls 700 für die Bildung von latenten Bildern in der Führungsspur wird geringer eingestellt, als die der Beleuchtung des Laserstrahls für die Bildung von latenten Bildern in der Vertiefung. Dann wird die fotoempfindliche Schicht 600 entwickelt, wie in Fig. 11b gezeigt, was zu einem Bildraster 660 führt, das den Führungsspuren 100 und Vertiefungen 200 entspricht, die in Fig. 10 gezeigt werden, deren Tiefe voneinander verschieden ist. Die Scheibe 10 mit einem Raster 660 wird dann einer Trocken- oder Naß-Ätzbehandlung unterzogen, was zu einer solchen Platte 500 wie jener von Fig. 10 führt. Alternativ wird, wie in Fig. 11c gezeigt, eine Metallschicht 800, die aus Nickel (Ni) oder dergleichen hergestellt wird, auf der Scheibe 10 mit einem Raster 660 mit Hilfe des Ionenstrahlzerstäubungsverfahrens, des Vakuum-Verdampfungsverfahrens und/oder des Galvanoplastikverfahrens gebildet, was zu einer Matrize (d.h. einer Urplatte) 880 führt, wie in Fig. 11d gezeigt. Durch die Verwendung der Matrize 880 kann eine Kunststoffplatte mit einer solchen Struktur, wie sie in Fig. 10 gezeigt wird, mit Hilfe einer Einpreßtechnik gebildet werden.
  • Weil die Gestalt des Bodens jeder auf der Platte 500 gebildeten Spur 100 eine Transkription der Gestalt der Oberseite der gerasterten fotoempfindlichen Schicht 600 ist, wird die Bodenseite jeder Spur der Platte 500 zu einer Unebenheit ausgebildet, welche der Unebenheit der Oberseite der gerasterten fotoempfindlichen Schicht 660 entspricht, was Rauschen verursacht, wenn Informationen, die in die Führungsrillen (d.h. Führungsspuren) 100 der Platte 500 mit Hilfe eines Laserstrahls geschrieben worden sind, mit Hilfe eines Laserstrahls regeneriert werden, was zu mangelhaften regenerierten Signalen führt.
  • DE-A-3620331 offenbart eine Anordnung ähnlich der vorstehend beschriebenen, insofern, als die Tiefe der Führungsspuren von der der Vertiefungen verschieden ist.
  • EP-A-83193 offenbart die Verwendung einer Vielzahl von Laserstrahlen, um vorformatierte Spuren zu verbreitern, wobei ein, zwei oder alle drei Strahlen in der notwendigen Weise verwendet werden können, um die gewünschten Vertiefungen und Spuren zu bilden.
  • Eine optische Platte in Übereinstimmung mit einem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung, welche das Ziel hat, die vorstehend diskutierten und zahlreiche andere Nachteile und Mängel des bisherigen Standes der Technik zu überwinden, umfaßt Führungsspuren und Vertiefungen auf einer Oberfläche derselben, wobei die Tiefe der Führungsspuren von der der Vertiefungen verschieden ist und welche dadurch gekennzeichnet ist, daß der Abstand von der Bodenfläche jeder Führungsspur zur anderen Oberfläche der optischen Platte, die der einen Oberfläche der optischen Platte gegenüberliegt, auf welcher die Führungsspuren und Vertiefungen angeordnet sind, derselbe ist, wie der Abstand von der Bodenfläche jeder Vertiefung bis zur anderen Oberfläche der optischen Platte, die jener einen Oberfläche der optischen Platte gegenüberliegt, auf welcher die Führungsspuren und Vertiefungen angeordnet sind.
  • Ein Verfahren für die Herstellung optischer Speicher-Kopierschablonen in Übereinstimmung mit einem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung umfaßt das Bilden eines fotoempfindlichen Films auf einer Scheibe, das Aussetzen dieses fotoempfindlichen Films gegenüber Strahlen, das Entwickeln dieses fotoempfindlichen Filins, was zu einem strukturierten fotoempfindlichen Film führt und das Bilden einer Metallschicht auf der Scheibe und ist dadurch gekennzeichnet, daß während des Belichtungsprozesses eine Anzahl von Strahlen, welche in radialer Richtung der Scheibe angeordnet sind, den fotoempfindlichen Film durch eine Objektlinse belichten, wonach die Anzahl von Strahlen derart radial verlagert wird, daß ein Bereich, der nach dem Verlagern der Strahlen belichtet wird, dem Teil des Bereichs überlagert wird, der vor dem Verlagern der Strahlen belichtet wurde, und dann belichten die Strahlen den fotoempfindlichen Film, wodurch ein belichteter Bereich entsteht, der größer als der belichtete Bereich vor dem Verlagern der Strahlen ist, wobei dieser breiter belichtete Bereich eine latente Führungsspurabbildung darstellt, wobei nach der Entwicklung die Höhe der Bereiche des fotoempfindlichen Films, die zwischen den erweiterten Spuren verbleiben, kleiner ist als die Dicke des fotoempfindlichen Films, der auf der Scheibe aufgebracht wurde.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird die Scheibe aus Glas oder Kunststoff hergestellt. Die vorstehend erwähnte optische Platte wird unter Verwendung der Matrize hergestellt. Ein Verfahren für die Herstellung optischer Speicher- Kopierschablonen in Übereinstimmung mit einem dritten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung umfaßt das Aufbringen eines fotoempfindlichen Films auf eine Scheibe, das Belichten des fotoempfindlichen Films mit Strahlen, das Entwickeln des fotoempfindlichen Films, wodurch ein strukturierter fotoempfindlicher Film entsteht und das Aufbringen einer Metallschicht auf die Scheibe mit dem strukturierten fotoempfindlichen Film und ist dadurch gekennzeichnet, daß während des Belichtungsprozesses ein erster Strahl und ein zweiter Strahl so auf den fotoempfindlichen Film fallen, daß zwischen ihnen in Radiusrichtung der Scheibe ein fester Zwischenraum verbleibt, um so einen ersten belichteten Bereich und einen zweiten belichteten Bereich zu bilden, wonach die Strahlen mit dem festen Zwischenraum so verlagert werden, daß der erste Strahl einen Teil des zweiten belichteten Bereichs überlagert, wonach die ersten und zweiten Strahlen den fotoempfindlichen Film belichten, wonach die oben genannten Schritte wiederholt werden, wodurch nichtbelichtete Bereiche mit einer Breite entsprechend dem festen Zwischenraum und breite belichtete Bereiche entstehen, die sich aus den ersten und zweiten belichteten Bereichen zusammensetzen, wobei der breite belichtete Bereich eine latente Führungsspurabbildung darstellt, wobei nach der Entwicklung die Höhe der Bereiche des fotoempfindlichen Films zwischen den erweiterten Spuren kleiner als die Dicke des fotoempfindlichen Films auf der Scheibe ist.
  • Folglich macht die hierin beschriebene Erfindung folgende Ziele möglich: (1) Bereitstellen einer optischen Platte zur Verwendung bei optischen Speichereinrichtungen, bei welcher die Bodenseite der Führungsspuren so flach und glatt ist, daß man optische Speichereinrichtungen erhalten kann, die regenerierte Signale hoher Qualität erzeugen; und (2) Bereitstellen eines Verfahrens für die Herstellung der optischen Platte, durch welches die Führungsspuren mit Hilfe von Laserstrahlen, die einen verhältnismäßig geringen Intensitätspegel haben, mit Genauigkeit gebildet werden können.
  • Jetzt soll, nur in Form eines Beispiels, eine spezielle Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Verweis auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben werden, bei welchen:
  • Fig. 1 eine perspektivische Ansicht ist, die einen vergrößerten Teil einer Ausführungsform einer optischen Platte in Übereinstiinmung mit der vorliegenden Erfindung für die Verwendung bei optischen Speichereinrichtungen ist;
  • Fig. 2a bis 2d schematische Darstellungen sind, welche ein Herstellungsverfahren für die optische Platte von Fig. 1 zeigen;
  • Fig. 3 ein Schema ist, das ein optisches System zeigt, das bei dem in den Fig. 2a bis 2d gezeigten Verfahren verwendet wird;
  • Fig. 4 eine schematische Darstellung ist, die einen Belichtungsprozeß für die Herstellung einer optischen Speicher-Kopierschablone zeigt, die für die Herstellung einer optischen Platte, wie sie in Fig. 1 gezeigt wird, verwendet wird;
  • Fig. 5a - 5b und 6a - 6b schematische Darstellungen sind, die die Schritte für die Bildung latenter Führungsspurabbildungen auf dem fotoempfindlichen Film bei dem in Fig. 4 gezeigten Belichtungsprozeß zeigen;
  • Fig. 7a und 7b schematische Darstellungen sind, die die Schritte für die Bildung latenter Vertiefungs-Abbilder auf dem fotoempfindlichen Film bei dem in Fig. 4 gezeigten Belichtungsprozeß zeigen;
  • Fig. 8 eine schematische Darstellung ist, die die Anordnung von Vertiefungen und Spuren auf dem fotoempfindlichen Film zeigen, die dem Vorblock der Kopierschablone gemäß dem Verfahren dieser Erfindung entsprechen;
  • Fig. 9 ein Schema des zeitlichen Verlaufs der modulierenden Signale und der Ablenkungssignale von Laserstrahlen zeigt, mit Hilfe welcher die latenten Vertiefungs-Abbilder und die latenten Führungsspurabbildungen, die den Vertiefungen und den Spuren von Fig. 8 entsprechen, auf dem fotoempfindlichen Film gebildet werden;
  • Fig. 10 eine perspektivische Ansicht ist, die eine konventionelle Platte zeigt; und
  • Fig. 11a bis 11d schematische Darstellungen sind, die einen Produktionsprozeß für eine Matrize der in Fig. 10 gezeigten Platte zeigen.
  • Diese Erfindung sorgt für eine optische Platte, die Vertiefungen und Führungsspuren hat, bei welchen die Bodenfläche jeder Vertiefung mit der Bodenfläche jeder Führungsspur bündig oder eben dazu ist.
  • Beispiel 1
  • Fig. 1 zeigt eine optische Platte dieser Erfindung, welche aus Glas, Kunststoff oder dergleichen hergestellt ist. Die optische Platte 5 hat Rillen 1, welche als Führungsspuren dienen und Vertiefungen 2 auf einer Seite 51 davon. Sowohl die Bodenfläche jeder Rille 1 als auch die Bodenfläche jeder Vertiefung 2 sind in derselben Entfernung von der anderen Seite 52 der optischen Platte 5 untergebracht; das heißt, die Bodenfläche jeder Rille 1 liegt bündig oder eben zu der der Vertiefung 2. Die Tiefe D1 jeder Rille 1 ist von der Tiefe D2 jeder Vertiefung 2 verschieden. Der Wert D1 wird gewöhnlich auf rund λ/8n gesetzt, und der Wert D2 wird gewöhnlich in den Bereich von rund λ/8n bis λ/4n gesetzt (wobei λ eine Wellenlänge von Licht und n der Brechungsindex der optischen Platte ist).
  • Fig. 2a bis 2d zeigen einen Herstellungsprozeß der in Fig. 1 gezeigten optischen Platte. Auf einer Scheibe 10 aus Glas oder Kunststoff wird, wie in Fig. 2a gezeigt, eine fotoempfindliche Schicht 6 gebildet, welche dann mit Licht 7, wie beispielsweise Laserstrahlen oder dergleichen über eine optische Linse 20 belichtet wird, um auf diese Weise latente Strukturen zu bilden, die der gewünschten Form von Führungsspuren 1 und Vertiefungen 2 entspricht, wie sie in Fig. 1 gezeigt werden. Die Herstellung einer solchen Struktur 66 wird nachstehend im Detail beschrieben: Fig. 3 zeigt ein optisches System mit einer Laserapparatur, die bei dem vorstehend erwähnten Prozeß für die Herstellung der Struktur 66 benutzt wird. Das optische System umfaßt eine Laserapparatur 11, Strahlteiler 12 und 18, Reflektoren 13 und 19, optische Modulatoren 14 und 15, einen Deflektor 16 und eine 1/2-Wellenlänge-Platte 17. Ein Laserstrahl, der von der Laserapparatur 11 abgestrahlt wird, wird in zwei Laserstrahlen 21 und 22 durch den Strahlteiler 12 aufgeteilt. Der Laserstrahl 21 kommt zu dem Strahlteiler 18 durch den optischen Modulator 14 und den Deflektor 16. Der andere Laserstrahl 22 wird durch den Reflektor 13 reflektiert und kommt zum Reflektor 19 durch den optischen Modulator 15 und die 1/2-Wellenlängen-Platte 17. Der Laserstrahl 22 wird durch den Reflektor 19 reflektiert und kommt zu dem Strahlteiler 18. Die Laserstrahlen 21 und 22 treffen in dem Strahlteiler 18 zusammen und fallen zusammen auf eine Objektlinse 20 ein. Die 1/2-Wellenlängen-Platte funktioniert so, daß sie die Wellenfront des Laserstrahls 22 ändert und dadurch verhütet, daß die Laserstrahlen 22 mit dem Laserstrahl 21 interferieren. Fig. 4 zeigt das Belichten eines fotoempfindlichen Films 6 mit den Laserstrahlen 21 und 22 zu den Zeiten der Herstellung einer optischen Speicher-Kopierschablone. Die Fig. 5a - 5b und 6a - 6b zeigen die Schritte für die Bildung der latenten Führungsspurabbildungen bei dem in Fig. 4 gezeigten Belichtungsprozeß. Die Laserstrahlen 21 und 22, die zu einer Punktform durch die Objektlinse 20 verdichtet worden sind, belichten die Oberseite des fotoempfindlichen Films 6 in einer solchen Weise, daß die Laserstrahlpunkte mit einem festen Abstand d dazwischen in der Radiusrichtung der Scheibe 10 positioniert sind (Fig. 5a und 5b). Der unbelichtete Bereich 23, der sich zwischen den Strahlen 21 und 22 befindet, bildet einen Bereich, der einer vorstehenden Fläche 4 von Fig. 1 entspricht, wenn er entwickelt ist. Die belichteten Bereiche 24 und 25, die den Strahlen 21 und 22 ausgesetzt sind, bilden Bereiche, die den Führungsspuren 1 von Fig. 1 entsprechen, nachdem sie entwickelt sind. Dann wird das optische System in der Radiusrichtung der Scheibe 10 (d.h. in der Richtung von Pfeil A) verschoben, so daß der Lichtpunkt des Laserstrahls 22 einem Teil des vorstehend erwähnten belichteten Bereichs 24 um eine Entfernung L überlagert werden kann. Dann wird die Scheibe 10 gedreht, so daß, wie in Fig. 6a und 6b gezeigt, ein belichteter Bereich 1, der aus dem vorstehend erwähnten belichteten Bereich 24 und einem erneut belichteten Bereich 25a zusammengesetzt ist, welche sich beide um den Bereich 250 mit einer Breite L überlappen, gebildet wird, und gleichzeitig wird ein belichteter Bereich 24a erneut über einen unbelichteten Bereich 23a mit einem Abstand d von dem belichteten Bereich 1 gebildet.
  • Die vorstehend erwähnten Schritte werden wiederholt, und die belichteten Bereiche 1, die breiter als die belichteten Bereiche 24 oder 25 sind, werden auf dem fotoempfindlichen Film 6 gebildet. Die Breite d der unbelichteten Bereiche 23 und 23a hat keine Beziehung zu der Verschiebungsteilung des optischen Systems und kann durch Änderungen in der Lücke zwischen den Laserstrahlen 21 und 22 eingestellt werden, so daß sie genau aufrechterhalten werden kann.
  • Die Fig. 7a und 7b zeigen den Schritt für die Bildung latenter Vertiefungs-Abbilder auf dem fotoempfindlichen Film, die dem Vorblock der optischen Speicher-Kopierschablone entsprechen. Fig. 8 zeigt die Anordnung von Vertiefungen und Führungsspuren auf der fotoempfindlichen Schicht, die dem Vorblock der Kopierschablone entsprechen. Fig. 9 zeigt zeitliche Ablaufbilder von modulierenden Signalen und ablenkenden Signalen der Laserstrahlen 21 und 22, durch welche die belichteten Bereiche von Fig. 8 gebildet werden.
  • Die modulierenden Signale S1 beziehungsweise S2 (Fig. 9) der Laserstrahlen 21 beziehungsweise 22 werden abgegeben, und die belichteten Bereiche 24 und 25 werden auf dem fotoempfindlichen Film 6 gebildet. Zu einer Zeit t1 sind die modulierenden Signale S1 und S2 der Laserstrahlen 21 und 22 abgeschaltet und ist das ablenkende Signal S3 des Laserstrahls 21 eingeschaltet (Fig. 9), so daß wie in Fig. 7a gezeigt der Laserstrahl 21 in Richtung auf die Position 21a abgelenkt wird und das Auftreffen der Laserstrahlen 21 und 22 auf die Objektlinse 20 abgeschaltet wird. Dann wird während der Zeiträume T1, T2 und T3 das modulierende Signal S1 des Laserstrahls 21 ausgegeben (Fig. 9), und der Laserstrahl 21a belichtet den fotoempfindlichen Film 6, was zu belichteten Bereichen 24a mit schmaler Breite auf dem Vorblock der Kopierschablone führt. Die Ausgangsleistung des Laserstrahls 21a wird geringfügig abgesenkt, und gleichzeitig wird die Streubreite des Laserstrahls 21a durch den Deflektor, der das ablenkende Signal S3 empfängt, in einer solchen Weise abgelenkt, daß der Punkt des Laserstrahls 21a in einer Linie positioniert wird, die sich von der Mitte des vorstehend erwähnten belichteten Bereichs 1 aus erstreckt (Fig. 7b), und dementsprechend trifft der Laserstrahl 21a auf die Objektlinse 20 auf. Dann ist zum Zeitpunkt t2 das ablenkende Signal S3 des Laserstrahls 21 abgeschaltet und sind die modulierenden Signale S1 beziehungsweise S2 der Laserstrahlen 21 beziehungsweise 22 eingeschaltet, so daß die Laserstrahlen 21 und 22 wieder auf die Objektlinse 20 auftreffen, was zu belichteten Bereichen 24 und 25 auf dem fotoempfindlichen Film 6 führt. Die Breite d jeder der vorstehend erwähnten unbelichteten Bereiche kann durch Ablenkung des Laserstrahls 21 mit Hilfe des Deflektors 16 oder durch das Drehen des Reflektors 19 mit Hilfe eines (nicht gezeigten) den Reflektor drehenden Mittels genau eingestellt werden.
  • Die Höhe der unbelichteten Bereiche 23 und 23a, die man durch Entwickeln der fotoempfindlichen Schicht 6 erhält, hängen von der Intensität der Laserstrahlen 21 und 22 und der Länge der Entwicklungszeit oder dergleichen ab. Die Tiefe und die Breite der Vertiefungen kann auf einen gewünschten Wert dadurch eingestellt werden, daß die Intensität des Laserstrahls 21a (Fig. 7a und 7b) zum Zeitpunkt der Bildung von Vertiefungen gesteuert wird. Auf diese Weise wird die gewünschte Struktur 66, der den Führungsspuren 1 und den Vertiefungen 2 der optischen Platte 5 von Fig. 1 entspricht, auf dem fotoempfindlichen Film 6 gebildet.
  • Dann wird auf der Scheibe 10 mit dem Raster 6 (Fig. 2b) wie in Fig. 2c gezeigt eine Metallschicht 8, die aus Nickel (Ni) oder dergleichen hergestellt wird, mit Hilfe des Ionenstrahlzerstäubungsverfahrens, des Vakuum-Verdampfungsverfahrens, des galvanoplastischen Verfahrens oder dergleichen gebildet, was zu einer Matrize (d.h. einer Urplatte) 88 führt, die in Fig. 2d gezeigt wird. Durch die Verwendung der Matrize 88 kann eine optische Platte 5, wie sie in Fig. 1 gezeigt wird, durch eine Einspritztechnik, eine Gießtechnik oder dergleichen hergestellt werden. Die Bodenflächen der Spuren 1 und der Vertiefungen 2 dieser optischen Platte 5 sind sehr flach und glatt, weil sie die Oberfläche der Glas- oder Kunststoff-Scheibe 10 transkribieren, die sehr flach und glatt ist.

Claims (7)

1. Optische Platte für optische Speichereinrichtungen mit Führungsspuren (1) und Vertiefungen (2) auf deren einer Oberfläche (51), wobei die Tiefe (D1) der Führungsspuren (1) im Hinblick auf die radial benachbarten Bereiche (4) geringer ist als die Tiefe (D2) der Vertiefungen (2) im Hinblick auf den umgebenden Bereich (51), dadurch gekennzeichnet, daß die Bodenflächen der Führungsspuren (1) und der Vertiefungen auf gleichem Niveau sind, die Bereiche neben den Spuren und die Bereiche um die Vertiefungen herum aber auf unterschiedlichem Niveau liegen.
2. Verfahren zur Herstellung von optischen Speicher-Kopierschablonen, wobei ein fotoempfindlicher Film (6) auf eine Scheibe (10) aufgebracht wird, der Strahlen (21, 22) ausgesetzt wird, wodurch der fotoempfindliche Film zu einem strukturierten fotoempfindlichen Film (66) wird, und wobei eine Metallschicht (8) auf die Scheibe mit dem strukturierten fotoempfindlichen Film aufgebracht wird, dadurch gekennzeichnet, daß während des Belichtungsprozesses eine Anzahl von Strahlen (21, 22), welche in radialer Richtung der Scheibe (10) angeordnet sind, den fotoempfindlichen Film durch eine Objektivlinse (20) belichten, wonach die Anzahl von Strahlen derart radial verlagert wird, daß ein Bereich (25a), der nach dem Verlagern der Strahlen belichtet wird, dem Teil (250) des Bereichs (24) überlagert wird, der vor dem Verlagern der Strahlen belichtet wurde, und dann belichten die Strahlen den fotoempfindlichen Film (6), wodurch ein belichteter Bereich (24, 25a) entsteht, der größer als der belichtete Bereich (24) vor dem Verlagern der Strahlen ist, wobei dieser breiter belichtete Bereich eine latente Führungsspurabbildung darstellt, wobei nach der Entwicklung die Höhe (D1) der Bereiche des fotoempfindlichen Films, die zwischen den erweiterten Spuren verbleiben, kleiner ist als die Dicke des fotoempfindlichen Films, der auf die Scheibe aufgebracht wurde.
3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei die Scheibe (10) aus Glas oder Kunststoff ist.
4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die optische Scheibe (5) gemäß Anspruch 1 mit einer Matrize hergestellt wird, die durch das Ablösen der Metallschicht entsteht.
5. Verfahren zur Herstellung von optischen Speicher-Kopierschablonen (88) mit den Schritten: Aufbringen eines fotoempfindlichen Films (6) auf eine Scheibe (10), Belichten des fotoempfindlichen Films (6) mit Strahlen (21, 22), Entwikkeln des fotoempfindlichen Films (6), wodurch ein strukturierter fotoempfindlicher Film (66) entsteht und Aufbringen einer Metallschicht (8) auf die Scheibe (10) mit dem strukturierten fotoempfindlichen Film (66), dadurch gekennzeichnet, daß während des Belichtungsprozesses ein erster Strahl (22) und ein zweiter Strahl (21) so auf den fotoempfindlichen Film (6) fallen, daß zwischen ihnen in Radiusrichtung (A) der Scheibe ein fester Zwischenraum (d) verbleibt, um so einen ersten belichteten Bereich (25) und einen zweiten belichteten Bereich (24) zu bilden, wonach die Strahlen (22, 21) mit dem festen Zwischenraum (d) so verlagert werden, daß der erste Strahl (22) einen Teil (250) des zweiten belichteten Bereichs (24) überlagert, wonach die ersten und zweiten Strahlen (22, 21) den fotoempfindlichen Film (6) belichten, wonach die obengenannten Schritte wiederholt werden, wodurch nichtbelichtete Bereiche (23) mit einer Breite (d) entsprechend dem festen Zwischenraum und breite belichtete Bereiche (1) entstehen, die sich aus den ersten (24) und zweiten belichteten (250) Bereichen zusammensetzen, wobei der breite belichtete Bereich eine latente Führungsspurabbildung darstellt, wobei nach der Entwicklung die Höhe (D1) der Bereiche des fotoempfindlichen Films zwischen den erweiterten Spuren kleiner als die Dicke des fotoempfindlichen Films auf der Scheibe ist.
6. Verfahren nach Anspruch 5, wobei die Scheibe (10) aus Glas oder Kunststoff ist.
7. Verfahren nach Anspruch 6, wobei die optische Scheibe (5) gemäß Anspruch 1 mit einer Matrize hergestellt wird, die durch das Ablösen der Metallschicht entsteht.
DE8888307691T 1987-08-21 1988-08-19 Optische platte zur verwendung in optischen speichergeraeten. Expired - Lifetime DE3875423T2 (de)

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