DE19524865A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer magnetooptischen Masterplatte - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen einer magnetooptischen Masterplatte, mit de­ nen ein einzelner, zur Spurführung dienender Führungsgraben dadurch hergestellt wird, daß mindestens zwei Laserlicht­ strahlen abhängig von Adreßdaten auf einen auf ein Glassub­ strat aufgetragenen Photoresist aufgestrahlt werden.

Unter allen optischen Speichern, die Daten unter Verwendung von Licht aufzeichnen oder abspielen, wurden magnetooptische Platten bereits der praktischen Verwendung zugeführt. Magne­ tooptische Platten verwenden einen Aufzeichnungsfilm mit rechtwinkliger Magnetisierung als Aufzeichnungsmedium, und sie zeichnen Daten auf, wenn sie mit Laserlicht bestrahlt werden, während ein Magnetfeld angelegt wird, um innerhalb eines Lichtflecks zu einer bestimmten Magnetisierungsrich­ tung zu führen. Um magnetooptische Platten in Massen herzu­ stellen, wird zunächst eine Masterplatte hergestellt, die identische Form wie die endgültigen Platten haben.

Wie in den Fig. 2a und 2b dargestellt, die zur Miterläute­ rung der Erfindung dienen, verfügen magnetooptische Platten über an beiden Seiten gewellte Gräben 1, die als Führungs­ gräben zur Spurregelung dienen, um zu gewährleisten, daß ein Lichtfleck 3 den beidseitig gewellten Gräben 1, d. h. den Spuren, folgt. Die Breite jedes beidseitig gewellten Grabens 1 wird abhängig von der Spurganghöhe P bestimmt. Wenn zum Beispiel die Spurganghöhe P 1,6 µm beträgt, ist die Breite eines Grabens 1 auf 1,03-1,2 µm begrenzt. Jeder beidseitig gewellte Graben 1 wird auf solche Weise hergestellt, daß er entlang Radien der magnetooptischen Platte gewellt ist, und Adreßdaten für den Lichtfleck 3 können dadurch berechnet werden, daß die Welligkeitsfrequenzkomponenten eines Spur­ führungssignals entnommen werden.

Die Daten werden in einer Spur aufgezeichnet oder von dieser abgespielt, die mit dem beidseitig gewellten Graben 1 zu­ sammenfällt. Die Spurganghöhe P stimmt ungefähr mit dem Durchmesser des Lichtflecks 3 überein, und dieser Durchmes­ ser des Lichtflecks 3 wird durch die Wellenlänge des Laser­ lichts und die numerische Apertur einer Objektivlinse be­ stimmt, die das Laserlicht zum Lichtfleck 3 fokussiert. Die typische Wellenlänge von Laserlicht und die numerische Apertur einer Objektivlinse betragen 780-830 nm bzw. 0,45-0,6. So beträgt der Durchmesser des Lichtflecks 3 1,2-1,4 µm, und demgemäß ist die Spurganghöhe P auf 1,4-1,6 µm begrenzt, was eine minimale magnetische Aufzeich­ nungsdomäne von ungefähr 0,8 µm ermöglicht.

In den letzten Jahren wurde ein Verfahren zum Verbessern der Aufzeichnungsdichte unter Verwendung eines MSR(Magnetic Super Resolution = magnetische Superauflösung)-Effekts ver­ wendet, bei dem ein Aufzeichnungsfilm mit Mehrschichtstruk­ tur verwendet wird, um eine Aufzeichnungsdomäne auszubilden, die viel kleiner als die Größe des Lichtflecks 3 ist. Genau­ er gesagt, ermöglicht es der MSR-Effekt, eine Domäne von 0,4 µm aufzuzeichnen, was ungefähr die Hälfte des Werts bei der obengenannten Aufzeichnungsdomäne ist. Für weitere In­ formation zum MSR-Effekt wird auf Journal of the Japan Applied Magnetic Society, S. 838-845, Vol. 15, No. 5, 1991 verwiesen.

Die Verwendung des MSR-Effekts schwächt jedoch das Spurfüh­ rungssignal, wenn die Spurganghöhe P ungefähr 0,8 µm ist, was genaue Spurführung unmöglich macht. Darüber hinaus kön­ nen Adreßdaten nicht korrekt berechnet werden, da es die Verwendung des MSR-Effekts auch erschwert, die Welligkeits­ frequenzkomponenten des Spurführungssignals zu entnehmen.

Um diese Schwierigkeit zu überwinden, hat die Anmelderin in der Offenlegung 5-314538/1993 zu einer japanischen Patent­ anmeldung ein Verfahren offenbart, gemäß dem nur eine der Seitenwände des Spurführungsgrabens gemäß Adreßdaten gewellt ist und der Mittelwert der Breiten jedes Grabens und derje­ nige der Breiten des erhabenen Bereichs zwischen zwei Gräben gleich sind.

Eine magnetooptische Masterplatte mit derartigen einseitig gewellten Gräben 2 wird durch ein Verfahren hergestellt, wie es in den Fig. 3a und 3b dargestellt ist, die zur Miterläu­ terung der Erfindung dienen. Das heißt, daß zwei Lichtstrah­ len 5a·5b, die in der Richtung, in der sich der einseitig gewellte Graben 2 erstreckt, nicht voneinander beabstandet sind, eingestrahlt werden, während nur der Lichtstrahl 5a entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte abhän­ gig von Adreßdaten schwingt. Genauer gesagt, durchläuft, wie in Fig. 10 dargestellt, das von einer Laserlichtquelle 11 ausgegebene Laserlicht eine Störunterdrückungsschaltung 12, um zunächst Störsignale zu verringern, und tritt dann in einen Strahlteiler 15 ein, nachdem es durch aufeinanderfol­ gende Spiegel 13·14 reflektiert wurde. Das Laserlicht wird durch den Strahlteiler 15 zweigeteilt: der eine tritt als Lichtstrahl 5a durch eine fokussierende Konvexlinse 16a in einen optischen Modulator 17a ein, während der andere als Lichtstrahl 5b durch einen Spiegel 18 und eine Konvexlinse 16b in einen optischen Modulator 17b eintritt.

Nachdem der Lichtstrahl 5a durch den optischen Modulator 17a gelaufen ist, tritt er durch eine Konvexlinse 19a, einen Ab­ lenker 20a und ein Spiegelprisma 21 in ein Polarisations­ prisma 22 ein. Nachdem der Lichtstrahl 5b durch den opti­ schen Modulator 17b gelaufen ist, tritt er durch eine Kon­ vexlinse 19b und eine Wellenlängenplatte 53 ebenfalls in das Polarisationsprisma 22 ein. Dann werden die Lichtstrahlen 5a·5b durch das Polarisationsprisma 22 zusammengesetzt und auf einen auf ein Glassubstrat 6a aufgetragenen Photoresist 6b fokussiert, der der Träger der magnetooptischen Master­ platte ist, was über einen Strahlaufweiter 23, einen 2-Far­ ben-Spiegel 35 und eine Objektivlinse 36 erfolgt.

Der für den Lichtstrahl 5a vorhandene Ablenker 20a wird un­ ter diesen Bedingungen durch einen Antrieb 25a angetrieben, und dann schwingt alleine der Lichtstrahl 5a entlang dem Radius, abhängig von Adreßdaten, wie in den Fig. 3a und 3b dargestellt, um dadurch die einseitig gewellten Gräben 2 auszubilden, die nur entlang der Seitenwand 2a gewellt sind.

Es ist zu beachten, daß dann, wenn die Spurganghöhe P 1,6 µm ist, die Welligkeitsamplitude für den gesamten Graben ± 30 nm ist, wohingegen sie ± 35-50 nm beträgt, wenn der Graben nur entlang einer Seitenwand gewellt wird.

Beim vorstehend angegebenen Verfahren, bei dem nur eine der Seitenwände der Gräben abhängig von Adreßdaten gewellt wird, wobei der MSR-Effekt verwendet wird und der Mittelwert der Breiten jedes Grabens und derjenige der Breiten des erhabe­ nen Bereichs zwischen den Gräben gleich sind, können Daten sowohl in den erhabenen Bereichen als auch den Gräben ge­ speichert werden, wenn die herkömmliche Spurganghöhe P von 1,6 µm verwendet wird. In diesem Fall kann sowohl dem erha­ benen Bereich als auch dem Graben auf einfache Weise gefolgt werden, wenn die Polarität des Spurführungssignals umge­ schaltet wird.

Wie es erläutert wurde, werden, um nur die eine Seitenwand 2a jedes einseitig gewellten Grabens 2 wellig auszubilden, die zwei Lichtstrahlen 5a·5b eingestrahlt und nur einer, hier der Lichtstrahl 5a, schwingt abhängig von Adreßdaten entlang dem Radius. Hierbei wird ein Ablenker unter Verwen­ dung eines elektrooptischen Effekts oder eines akustoopti­ schen Effekts verwendet, um den Lichtstrahl einzustrahlen, während dieser abhängig von den Adreßdaten entlang des Ra­ dius schwingt.

Das vorstehend angegebene Herstellverfahren für eine magne­ tooptische Masterplatte ermöglicht es tatsächlich, einseitig gewellte Gräben 2 herzustellen; jedoch macht es dieses Ver­ fahren unmöglich, einen gesamten Graben wellig auszubilden, wenn die Spurganghöhe P normal ist, z. B. 1,6 µm.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen einer magnetooptischen Ma­ sterplatte zu schaffen, mit denen in einem Belichtungsprozeß ein Graben hergestellt werden kann, bei dem beide Seitenwän­ de oder nur eine alleine abhängig von Adreßdaten gewellt ist.

Diese Aufgabe wird durch die Lehren der beigefügten neben­ geordneten Ansprüche gelöst.

Die grundsätzliche Vorgehensweise bei der Erfindung ist die folgende:

• - es wird ausgewählt, ob ein Führungsgraben hergestellt wer­ den soll, dessen beide Seitenwände gewellt sind, und zwar durch Einstrahlen zweier Lichtstrahlen, während diese ent­ lang dem Radius einer magnetooptischen Masterplatte schwin­ gen, oder ein Führungsgraben hergestellt werden soll, bei dem nur eine Seitenwand gewellt ist, und zwar durch Ein­ strahlen zweier Lichtstrahlen, während der eine festgehalten wird und der andere entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingt; und
• - es wird ein einzelner Führungsgraben zu Spurregelungszwec­ ken durch Aufstrahlen der zwei Lichtstrahlen abhängig von Adreßdaten auf einen auf ein Glassubstrat aufgetragenen Photoresist hergestellt.

Durch die obige Struktur kann beim Herstellen eines einzel­ nen Führungsgrabens zu Spurregelungszwecken ausgewählt wer­ den, ob ein Führungsgraben hergestellt wird, dessen beide Seitenwände gewellt sind, oder ein solcher, bei dem nur eine Seitenwand alleine gewellt ist. Wenn ersteres ausgewählt wird, werden beide Lichtstrahlen eingestrahlt, während sie entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwin­ gen, und wenn letzteres ausgewählt wird, werden die zwei Lichtstrahlen eingestrahlt, während einer von ihnen festge­ halten wird und der andere entlang dem Radius der magneto­ optischen Masterplatte schwingt.

So können Gräben verschiedener Typen, d. h. Gräben, bei de­ nen beide Seitenwände gewellt sind oder nur eine, konti­ nuierlich beim Belichtungsprozeß hergestellt werden, bei dem die Gräben abhängig von Adreßdaten beim Herstellen einer magnetooptischen Masterplatte wellig ausgebildet werden.

Für ein vollständigeres Verständnis der Art und Vorteile der Erfindung ist auf die folgende detaillierte Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen Bezug zu nehmen.

Fig. 1 ist eine Ansicht, die den Aufbau einer Herstellvor­ richtung für eine magnetooptische Masterplatte gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt.

Fig. 2a ist eine Draufsicht, die den Aufbau einer magneto­ optischen Masterplatte mit Gräben zeigt, die beidseitig ge­ wellt sind.

Fig. 2b ist eine Schnittansicht, die den Aufbau der in Fig. 2a dargestellten magnetooptischen Masterplatte zeigt.

Fig. 3a ist eine Draufsicht, die den Aufbau einer magneto­ optischen Masterplatte mit Gräben zeigt, die einseitig ge­ wellt sind.

Fig. 3b ist eine Schnittansicht, die den Aufbau der in Fig. 3a dargestellten magnetooptischen Masterplatte zeigt.

Fig. 4a zeigt das Eingangssignal in zwei Treiber der Her­ stellvorrichtung für magnetooptische Masterplatten gemäß dem obigen Ausführungsbeispiel, und genauer gesagt, zeigt sie Signalverläufe, wenn zwei phasengleiche Signale, die Adreß­ daten entsprechen, gleichzeitig in die zwei Treiber eingege­ ben werden.

Fig. 4b zeigt Signalverläufe, wenn ein Adreßdaten entspre­ chendes Signal in nur einem Treiber eingegeben wird.

Fig. 5a ist eine Ansicht, die einen Resistauftrageprozeß zum Herstellen einer magnetooptischen Platte unter Verwendung einer magnetooptischen Masterplatte veranschaulicht.

Fig. 5b ist eine Ansicht, die einen Belichtungsprozeß veran­ schaulicht.

Fig. 5c ist eine Ansicht, die einen Entwicklungsprozeß ver­ anschaulicht.

Fig. 5d ist eine Ansicht, die einen Sputterprozeß veran­ schaulicht.

Fig. 5e ist eine Ansicht, die einen Elektroformungsprozeß veranschaulicht.

Fig. 5f ist eine Ansicht, die eine fertiggestellte magneto­ optische Platte zeigt, die durch die durch die Fig. 5a bis 5e veranschaulichte Prozeßfolge hergestellt wurde.

Fig. 6 ist eine Ansicht, die den Aufbau einer Herstellvor­ richtung für magnetooptische Masterplatten gemäß einem ande­ ren Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt.

Fig. 7a zeigt ein Eingangssignal an zwei Treiber der Vor­ richtung des vorstehend genannten Ausführungsbeispiels, und genauer gesagt, zeigt sie Signalverläufe, wenn ein Signal entsprechend Adreßdaten in einen der zwei Treiber eingegeben wird.

Fig. 7b zeigt Signalverläufe, wenn ein Signal entsprechend Adreßdaten in den anderen Treiber eingegeben wird.

Fig. 7c zeigt Signalverläufe, wenn zwei gegenphasige Signa­ le, die Adreßdaten entsprechen, in die zwei Treiber eingege­ ben werden.

Fig. 8 ist eine Ansicht, die den Aufbau einer Herstellvor­ richtung für magnetooptische Masterplatten gemäß einem wei­ teren Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt.

Fig. 9 ist eine Ansicht, die den Aufbau der eben genannten Vorrichtung zeigt.

Fig. 10 ist eine Ansicht, die den Aufbau einer herkömmlichen Herstellvorrichtung für magnetooptische Masterplatten zeigt.

ERSTES AUSFÜHRUNGSBEISPIEL

Im folgenden wird unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 5f ein Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. Nachfolgend sind gleiche Komponenten mit den gleichen Bezugszahlen wie in den Figuren zum Stand der Technik bezeichnet, und die zu­ gehörige Erläuterung wird zum Verkürzen der Beschreibung weggelassen.

Beim Herstellverfahren für magnetooptische Masterplatten ge­ mäß dem ersten Ausführungsbeispiel kann beim Herstellen eines Führungsgrabens zu Spurregelungszwecken auf einer ma­ gnetooptischen Masterplatte ausgewählt werden, ob ein beid­ seitig gewellter Graben 1, dessen beide Seitenwände 1a·1b gewellt sind, wie in den Fig. 2a und 2b dargestellt, oder ein einseitig gewellter Graben 2 hergestellt wird, bei dem nur die Seitenwand 2a gewellt ist, wie in den Fig. 3a und 3b dargestellt.

Wie in den Fig. 2a und 2b dargestellt, wird die Breite jedes beidseitig gewellten Grabens 1 abhängig von der Spurganghöhe P bestimmt. Beispielsweise sei die Spurganghöhe P zu 1,6 µm angenommen; dann ist die Weite des beidseitig gewellten Gra­ bens 1 auf 1,0-1,2 µm begrenzt. Der beidseitig gewellte Graben 1 wird auf solche Weise hergestellt, daß er entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte gewellt ist, und Adreßdaten für den Lichtfleck 3 können dadurch berechnet werden, daß dem Spurführungssignal Welligkeitsfrequenzkompo­ nenten entnommen werden.

Daten werden in einer Spur aufgezeichnet oder von dieser ab­ gespielt, die mit dem beidseitig gewellten Graben 1 überein­ stimmt. Die Spurganghöhe P entspricht im wesentlichen dem Durchmesser des Lichtflecks 3, und der Durchmesser des Lichtflecks 3 ist durch die Wellenlänge des Laserlichts und die numerische Apertur der Objektivlinse bestimmt, die das Laserlicht zum Lichtfleck 3 fokussiert. Die typische Wellen­ länge des Laserlichts und die typische numerische Apertur der Objektivlinse sind 780 nm-830 nm bzw. 0,45-0,6. So beträgt der Durchmesser des Lichtflecks 3 1,2-1,4 µm, und die Spurganghöhe P ist auf 1,4-1,6 µm begrenzt, was eine minimale magnetische Aufzeichnungsdomäne von 0,8 µm ermög­ licht.

Dagegen sind, wie in den Fig. 3a und 3b dargestellt, im Fall einer magnetooptischen Masterplatte mit einseitig gewellten Gräben 2 der Mittelwert der Breiten jedes einseitig gewell­ ten Grabens 2 und derjenige der Breiten des erhabenen Be­ reichs 4 zwischen zwei einseitig gewellten Gräben 2 jeweils gleich.

Um einen einseitig gewellten Graben 2 herzustellen, werden zwei Lichtstrahlen 5a·5b, die in der Richtung, in der sich der einseitig gewellte Graben 2 erstreckt, nicht voneinander beabstandet sind, aufgestrahlt, während nur der Lichtstrahl 5a abhängig von Adreßdaten entlang dem Radius der magneto­ optischen Masterplatte schwingt, was durch Antreiben des Ablenkers 20a mittels des Treibers 25a erfolgt, was nachfol­ gend erläutert wird. Ein beidseitig gewellter Graben 1 wird dadurch hergestellt, daß beide Lichtstrahlen 5a·5b entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingen.

Es ist zu beachten, daß dann, wenn die Spurganghöhe P 1,6 µm beträgt, die Welligkeitsamplitude ± 30-50 nm im Fall eines einseitig gewellten Grabens 2 beträgt, wohingegen sie ± 30 nm im Fall eines beidseitig gewellten Grabens 1 be­ trägt. Es ist auch zu beachten, daß Daten sowohl in einem einseitig gewellten Graben 2 als auch einem erhabenen Be­ reich 4 gespeichert werden können. In diesem Fall kann so­ wohl dem einseitig gewellten Graben 2 als auch dem erhabenen Bereich 4 dadurch leicht gefolgt werden, daß die Polarität des Spurführungssignals umgeschaltet wird.

Im folgenden wird eine Herstellvorrichtung für eine magneto­ optische Masterplatte mit beidseitig gewelltem Graben 1 oder einseitig gewelltem Graben 2 erläutert, d. h. eine Aufzeich­ nungs/Belichtungs-Vorrichtung (die als Schneidvorrichtung bezeichnet wird) 10 zum Herstellen der Masterplatte.

Wie in Fig. 1 dargestellt, beinhaltet die Schneidvorrichtung 10 zwei Lichtquellen eine Laserlichtquelle 11 (Lichtquel­ le), die einen Lichtstrahl auf den auf dem Glassubstrat 6a, das der Träger der magnetooptischen Platte ist, aufgetrage­ nen Photoresist 6b strahlt, und eine Laserlichtquelle 31, die einen Lichtstrahl zum Einstellen des Brennpunkts ab­ strahlt. Genauer gesagt, emittiert der erstere, z. B. ein Argonlaser, zwei Lichtstrahlen 5a·5b, um entweder den beid­ seitig gewellten Graben 1 oder den einseitig gewellten Gra­ ben 2 auszubilden, während der letztere, z. B. ein He-Ne- Laser, einen Lichtstrahl 7 zum Erzeugen des Lichtflecks 3 emittiert.

Das von der Laserlichtquelle 11 abgestrahlte Laserlicht durchläuft die Störunterdrückungsschaltung 12, um zunächst Störsignale zu verringern, und dann tritt es in den Strahl­ teiler 15 (Optikpfad-Aufteilereinrichtung) ein, nachdem es aufeinanderfolgend durch Spiegel 13·14 reflektiert wurde. Das Laserlicht wird durch den Strahlteiler 15 in zwei Strah­ len unterteilt: der eine tritt als Lichtstrahl 5a durch die zur Fokussierung dienende Konvexlinse 16a in den optischen Modulator 17a ein, während der andere als Lichtstrahl 5b durch den Spiegel 18 und die Konvexlinse 16b in den opti­ schen Modulator 17b eintritt. Die optischen Modulatoren 17a und 17b bestehen z. B. akustooptischen Elementen.

Der Grund, weswegen die zur Fokussierung dienenden Konvex­ linsen 16a·19a sowie 16b·19b jeweils vor und hinter den op­ tischen Modulatoren 17a·17b liegen, ist der, daß die letzte­ ren bei diesem Ausführungsbeispiel aus akustooptischen Ele­ menten bestehen. Daher können die zur Fokussierung dienenden Konvexlinsen 16a·19a und 16b·19b weggelassen werden, wenn ein anderer Typ optischer Modulatoren 17a·17b verwendet wird.

Das Laserlicht, das in zwei Strahlen unterteilt wurde, durchläuft die optischen Modulatoren 17a und 17b und tritt durch die Konvexlinsen 19a bzw. 19b in die Ablenker 20a·20b (Ablenkeinrichtung) ein. Die Ablenker 20a·20b können aus Elementen bestehen, die die Richtung, in die das Licht ge­ richtet ist, unter Verwendung eines elektrooptischen oder akustooptischen Effekts ändern. Bei diesem Ausführungsbei­ spiel ist ein E/O-Element (elektrooptischer Ablenker) unter Verwendung eines elektrooptischen Effekts verwendet.

Der zum Ablenker 20a geführte Lichtstrahl 5a wird durch das Spiegelprisma 21 rechtwinklig in bezug auf die Eintritts­ linie reflektiert und tritt in das Polarisationsprisma 22 ein. Auch wird der Lichtstrahl 5b auf den Ablenker 20b ge­ führt und tritt in das Polarisationsprisma 22 ein. Demgemäß werden die Lichtstrahlen 5a·5b durch das Polarisationsprisma 22 vereinigt. Dann wird der vereinigte Lichtstrahl durch den Strahlaufweiter 23 auf zweckentsprechenden Querschnitt auf­ geweitet, vom 2-Farben-Spiegel 35 reflektiert, und dann tritt er in die Objektivlinse 36 ein. Der in die Objektiv­ linse 36 einfallende Lichtstrahl wird auf den Photoresist 6b auf dem Glassubstrat 6a fokussiert.

Die optischen Modulatoren 17a·17b und Ablenker 20a·20b wer­ den durch die Treiber 24a·24b bzw. 25a·25b (Treibereinrich­ tung) gesteuert. Es ist zu beachten, daß, da jeder der Ab­ lenker 20a·20b eine andere Empfindlichkeitscharakteristik (Schwingungseigenschaften in Abhängigkeit der angelegten Spannung) aufweist, die Amplituden der Eingangssignale an die Treiber 25a·25b, die die Ablenker 20a bzw. 20b ansteu­ ern, vorab getrennt eingestellt werden müssen. Wenn so vor­ gegangen wird, kann das Schwingungsausmaß der zwei Licht­ strahlen 5a·5b genauer eingestellt werden.

Die Eingangsanschlüsse der Treiber 25a·25b sind mit einem Umschalter 26 verbunden, der ein Eingangssteuersignal auf die Treiber 25b schaltet. Genauer gesagt, ist im Umschalter 26 eine einzelne Signalquelle, entsprechend Adreßdaten, mit den Treibern 25a·25b verbunden, und ein Signal wird zwischen einem der Treiber (hier dem Treiber 25b) und der Signalquel­ le umgeschaltet. Dies macht es sehr einfach, den Treiber 25b ein- oder auszuschalten.

Andererseits durchläuft das aus der Laserlichtquelle 21 aus­ tretende Licht eine Störunterdrückungsschaltung 32 zum Ver­ ringern von Störsignalen, und es wird durch einen polarisie­ renden Strahlteiler 33 abgelenkt. Anschließend durchläuft das Laserlicht aus dem polarisierenden Strahlteiler 33 eine 1/4-Wellenlängenplatte 34 und den 2-Farben-Spiegel 35, um dann durch die Objektivlinse 36 auf den Photoresist 6b kon­ vergiert zu werden. Das vom Photoresist 6b reflektierte Licht tritt auf eine Weise umgekehrt zur vorstehend genann­ ten in den polarisierenden Strahlteiler 33 ein, d. h., daß das vom Photoresist 6b reflektierte Licht durch die Objek­ tivlinse 36 fokussiert wird und durch den 2-Farben-Spiegel 35, die 1/4-Wellenlängenplatte 34 und den polarisierenden Strahlteiler 33 läuft. Anschließend wird das reflektierte Licht durch eine Objektivlinse 37 und eine Zylinderlinse 38 auf einen vierteiligen Photodetektor 39 konvergiert. Demge­ mäß wird ein Fokusregelungssignal auf Grundlage des Signals vom vierteiligen Photodetektor 39 erzeugt. Durch Antreiben der Objektivlinse 36 in Fokusrichtung mittels einer Fokus­ regelung kann die Objektivlinse 36 unabhängig davon, ob sich ein Plattenantriebsmotor 40 dreht oder nicht, den Fokus auf dem Photoresist 6b auf dem Glassubstrat 6a halten.

Nachfolgend wird ein Verfahren zum Herstellen zweier Arten von Masterplatten erläutert, nämlich einer magnetooptischen Masterplatte mit einem beidseitig gewellten Graben 1 und einem solchen mit einem einseitig gewellten Graben 2.

Um den beidseitig gewellten Graben 1 oder den einseitig ge­ wellten Graben 2 herzustellen, werden die Eingangssignale an die Treiber 25a·25b, die die Ablenker 20a bzw. 20b ansteu­ ern, durch die Umschalter 26 umgeschaltet.

Genauer gesagt, wird zum Herstellen eines beidseitig gewell­ ten Grabens 1 der Umschalter 26 so umgeschaltet, daß die gleichphasigen Signale, die den Adreßdaten entsprechen, in beide Treiber 25a·25b eingegeben werden, wie in Fig. 4a dar­ gestellt. Wenn so vorgegangen wird, bewegen sich, wie in den Fig. 2a und 2b dargestellt, beide Lichtstrahlen 5a·5b ent­ lang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte und be­ lichten den Photoresist 6b, um dadurch entsprechend den Adreßdaten einen beidseitig gewellten Graben 1 auszubilden. Das heißt, daß das Schwingungsausmaß der Lichtstrahlen 5a·5b abhängig von der Amplitude der Eingangssignale an die Trei­ ber 25a·25b unter Verwendung eines elektrooptischen oder akustooptischen Effekts gesteuert wird.

Im Fall des Herstellens des einseitig gewellten Grabens 2 wird, wie durch Fig. 4b veranschaulicht, das obengenannte Signal alleine in den Treiber 25a eingegeben. Wenn so vorge­ gangen wird, bewegt sich alleine der Lichtstrahl 5a, wie durch die Fig. 3a und 3b veranschaulicht, entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte und belichtet den Photo­ resist 6b, um dadurch einen einseitig gewellten Graben 2 entsprechend den Adreßdaten zu erzeugen.

Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf die Fig. 5a bis 5f ein Prozeß zur Massenherstellung magnetooptischer Platten unter Verwendung einer so hergestellten Masterplatte, d. h. ein Prägeprozeß, erläutert. Es ist zu beachten, daß die Erläute­ rung den Herstellprozeß für die Masterplatte umfaßt.

Zunächst wird, wie in Fig. 5a dargestellt, der Photoresist 6b, der ein photoempfindlicher Körper ist, auf ein gewasche­ nes Glassubstrat 6a aufgetragen (Resistauftrageprozeß). Da­ nach werden, wie in Fig. 5b dargestellt, die Lichtstrahlen 5a·5b, die Laserlicht in Form von z. B. Ultraviolettstrah­ lung sind, mittels der Objektivlinse 36 auf den Photoresist 6b fokussiert, um diesen zu entwickeln, um dadurch ein fei­ nes Muster als latentes Bild aufzuzeichnen (Belichtungspro­ zeß). Dann wird, wie in Fig. 5c dargestellt, das feine Mu­ ster mit einem Entwickler entwickelt, der beim Ausführungs­ beispiel aus einer alkalischen Lösung besteht (Entwicklungs­ prozeß). Ferner wird, wie in Fig. 5d dargestellt, ein lei­ tender Film 8 aus Ni oder dergleichen auf der Oberfläche mit dem feinen Muster hergestellt (Sputterprozeß). Anschließend wird, wie in Fig. 5e dargestellt, eine Ni-Plattierung auf den leitenden Film 8 aufgetragen, bis eine bestimmte Dicke 9 erzielt ist (Elektroformungsprozeß) Anschließend wird, wie in Fig. 5f dargestellt, eine toroidförmige Metallplatte mit einem feinen Muster, die als Stempel bezeichnet wird, herge­ stellt, nachdem deren Rückseite poliert wurde und der Innen- und Außendurchmesser hergestellt wurden, und durch Spritz­ gießen unter Verwendung des so hergestellten Stempels kann ein Substrat einer magnetooptischen Platte mit gewünschtem Graben hergestellt werden.

Wie es erläutert wurde, kann beim Herstellverfahren für ma­ gnetooptische Masterplatten gemäß dem ersten Ausführungsbei­ spiel ausgewählt werden, ob ein beidseitig gewellter Graben 1 oder ein einseitig gewellter Graben 2 hergestellt wird. Wenn ein beidseitig gewellter Graben 1 hergestellt wird, bei dem beide Seitenwände 1a·1b gewellt sind, werden beide Lichtstrahlen 5a·5b auf die magnetooptische Masterplatte ge­ strahlt, während sie entlang dem Radius derselben schwingen, und wenn der einseitig gewellte Graben 2 hergestellt wird, bei dem nur die Seitenwand 2a gewellt ist, werden die Licht­ strahlen 5a·5b auf die magnetooptische Masterplatte ge­ strahlt, während einer der zwei Lichtstrahlen (hier der Lichtstrahl 5b) festgehalten wird und der andere (hier der Lichtstrahl 5b) entlang dem Radius derselben schwingt.

Im Ergebnis können zwei Typen von Gräben aufeinanderfolgend beim Belichtungsprozeß hergestellt werden, wobei die Gräben beim Herstellen einer magnetooptischen Masterplatte abhängig von Adreßdaten gewellt werden: beim einen Typ sind beide Seitenwände gewellt, und beim anderen ist nur eine Seiten­ wand gewellt.

Außerdem kann die Auswahl, ob ein beidseitig gewellter Gra­ ben 1 oder ein einseitig gewellter Graben 2 hergestellt wird, dadurch erfolgen, daß die Ablenker 20a·20b jeweils durch die Treiber 25a·25b in den optischen Pfaden der Licht­ strahlen 5a·5b betrieben werden, wobei die Strahlen durch Aufteilen des aus der Laserlichtquelle 11 ausgegebenen Lichts erzeugt wurden; durch die Auswahl werden Eingangssi­ gnale auf die Treiber 25a·25b geschaltet.

So kann die vorstehend genannte Auswahl durch ein einfaches Verfahren zum Eingeben von Adreßdaten entsprechenden Signa­ len in die Treiber 25a·25b, die die Ablenker 20a bzw. 20b ansteuern, erfolgen. Da die Ablenker 20a·20b in bezug auf den optischen Pfad parallel angeordnet sind, ist dieses Ver­ fahren insbesondere dann wirkungsvoll, wenn der Platz in der Richtung beschränkt ist, in die die Lichtstrahlen 5a·5b ge­ richtet sind.

Bei diesem Ausführungsbeispiel schwingen die zwei Licht­ strahlen 5a·5b dadurch getrennt, daß die phasengleichen Si­ gnale, die den Adreßdaten entsprechen, jeweils in die Trei­ ber 25a·25b eingegeben werden, die die Ablenker 20a bzw. 20b ansteuern. So wird, damit nur der Lichtstrahl 5a alleine schwingt, das Signal in einen der zwei Treiber 25a·25b ein­ gegeben, hier den Treiber 25a.

Im Ergebnis kann durch ein spezielles und einfaches Verfah­ ren bestimmt werden, ob ein beidseitig gewellter Graben 1 oder ein einseitig gewellter Graben 2 hergestellt wird. Da die Schwingungen der zwei Lichtstrahlen getrennt gesteuert werden, kann auch das Schwingungsausmaß für jeden Licht­ strahl genau eingestellt werden.

ZWEITES AUSFÜHRUNGSBEISPIEL

Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf die Fig. 6 und 7 ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung erläutert. Gleiche Komponenten wie beim ersten Ausführungsbeispiel sind mit denselben Bezugszahlen gekennzeichnet, und eine Erläuterung zu diesen wird weggelassen.

Wie in Fig. 6 dargestellt, beinhaltet eine Schneidvorrich­ tung 50, die eine Vorrichtung zum Herstellen einer magneto­ optischen Masterplatte gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel ist, einen Ablenker 51 und einen Treiber 52. Der Ablenker 51 (erste Ablenkeinrichtung) ist an einer Stelle angeordnet, bevor das vom Spiegel 14 reflektierte Licht zweigeteilt wird, um die von der Laserlichtquelle 11 (Lichtquelle) aus­ gegebenen Lichtstrahlen 5a·5b zu steuern, und der Treiber 52 (erste Treibereinrichtung) ist vorhanden, um den Ablenker 51 anzusteuern. Es ist zu beachten, daß der Ablenker 51 nicht notwendigerweise an einer Stelle angeordnet ist, bevor das aus der Laserlichtquelle 11 ausgegebene Licht zweigeteilt wird, wie vorstehend erläutert. Zum Beispiel kann dieselbe Wirkung erzielt werden, wenn der Ablenker 51 im optischen Pfad nach dem Zweiteilen des Laserlichts und seinem erneuten Zusammensetzen angeordnet ist, d. h. hinter dem Polarisa­ tionsprisma 22 in Fig. 6.

Ebenfalls ist, abweichend vom ersten Ausführungsbeispiel, beim zweiten Ausführungsbeispiel entweder der Ablenker 20a oder 20b für einen der Lichtstrahlen 5a oder 5b vorhanden. Genauer gesagt, ist hier der Ablenker 20 (zweite Ablenkein­ richtung) für den Lichtstrahl 5a vorhanden, während der Treiber 25a (zweite Treibereinrichtung) vorhanden ist, um den Ablenker 20a anzusteuern. Der Ablenker 20a ist in Reihe in bezug auf den Ablenker 51 angeordnet. Es ist zu beachten, daß hier der Ablenker 20b weggelassen ist und statt dessen die Wellenlängenplatte 53 vorhanden ist.

Es wird nun die Funktion der wie vorstehend beschrieben auf­ gebauten Schneidvorrichtung 50 erläutert.

Zunächst tritt das von der Laserlichtquelle 11 ausgegebene Laserlicht über die Spiegel 13·14 in den Ablenker 51 ein.

Wenn ein beidseitig gewellter Graben 1 hergestellt wird, wird das den Adreßdaten entsprechende Signal nur in den Treiber 52 eingegeben, wie in Fig. 7a dargestellt, wohin­ gegen dann, wenn ein beidseitig gewellter Graben 2 herge­ stellt wird, das den Adreßdaten entsprechende Signal nur in den Treiber 25a eingegeben wird, wie in Fig. 7b dargestellt. Alternativ kann dann, wenn alleine der Lichtstrahl 5a schwingen soll, das in Fig. 7a dargestellte Signal dauernd in den Treiber 52 eingegeben werden, während das gegenphasi­ ge Signal in den Treiber 25a eingegeben wird, wie in Fig. 7c dargestellt.

Wie es erläutert wurde, ermöglicht es das Steuern des Ein­ gangssignals für den den Ablenker 51 ansteuernden Treiber 52 nicht nur, die zwei Lichtstrahlen 5a·5b gleichzeitig in Schwingung zu versetzen, sondern es ist auch eine genaue Bestimmung des Schwingungsausmaßes möglich. Auch ermöglicht es das Steuern des Eingangssignals an den den Ablenker 20a ansteuernden Treiber 25a, das Schwingungsausmaß alleine des Lichtstrahls 5a genau zu steuern.

Obwohl es nicht dargestellt ist, kann eine einzelne Signal­ quelle für die Adreßdaten an einen Umschalter angeschlossen sein, der die Signale an die Treiber 52 und 25a von der Signalquelle umschaltet, um die Auswahl zwischen einem beid­ seitig gewellten Graben 1 und einem einseitig gewellten Gra­ ben 2 zu erleichtern.

Da die Ablenker 51·20a in Reihe in bezug auf den optischen Pfad angeordnet sind, ist dieser Aufbau hinsichtlich der Raumausnutzung wirkungsvoll, wenn die körperlichen Abmessun­ gen in der Richtung rechtwinklig zur Richtung begrenzt sind, in der die Lichtstrahlen 5a·5b ausgerichtet sind.

Wie erläutert, werden beim Herstellverfahren für magnetoop­ tische Masterplatten gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel die zwei Lichtstrahlen 5a·5b gleichzeitig zum Schwingen ge­ bracht, wenn ein beidseitig gewellter Graben 1 hergestellt wird, was durch Eingeben des den Adreßdaten entsprechenden Signals in den Treiber 52 erfolgt, der denjenigen Ablenker 51 ansteuert, der im optischen Pfad angeordnet ist, bevor das aus der Laserlichtquelle 11 austretende Licht zweige­ teilt wird oder nachdem das zweigeteilte Licht zusammenge­ setzt wurde.

Ferner kann nur einer der Lichtstrahlen 5a·5b dadurch zum Schwingen gebracht werden, daß das Signal in denjenigen Treiber 25a eingegeben wird, der den Ablenker 20a ansteuert, der im optischen Pfad einer der Lichtstrahlen 5a oder 5b (hier des Lichtstrahls 5a) angeordnet ist.

Im Ergebnis kann die Herstellung eines beidseitig gewellten Grabens 1 oder eines einseitig gewellten Grabens 2 leicht dadurch ausgewählt werden, daß das Eingangssignal an die Treiber 52·25a umgeschaltet wird.

Auch wird nicht nur das Schwingungsausmaß der zwei Licht­ strahlen 5a·5b gleichzeitig gesteuert, sondern es kann auch leicht dasjenige des Lichtstrahls 5a alleine gesteuert wer­ den.

DRITTES AUSFÜHRUNGSBEISPIEL

Im folgenden wird unter Bezugnahme auf Fig. 8 ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. Dabei sind gleiche Komponenten wie beim ersten und zweiten Ausführungs­ beispiel mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet, und eine Beschreibung zu diesen wird weggelassen.

Wie in Fig. 8 dargestellt, beinhaltet eine Schneidvorrich­ tung 60, die eine Herstellvorrichtung für magnetooptische Masterplatten gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel ist, zu­ sätzlich zur Vorrichtung des zweiten Ausführungsbeispiels einen Strahlteiler 61 zwischen den Spiegeln 13·14, um den optischen Pfad zweizuteilen: der Ablenker 51 (Ablenkeinrich­ tung) ist in einem der zwei aufgeteilten optischen Pfade an­ geordnet, während der Spiegel 14 und ein Polarisationsprisma 62 im anderen angeordnet sind. Der Ablenker 51 wird durch den Treiber 52 (Treibereinrichtung) angesteuert. Die aus der Lichtstrahlquelle 11 austretenden Lichtstrahlen 5a·5b werden durch die vorstehend genannte Struktur gesteuert.

Licht, das durch den Ablenker 51 gelaufen ist, wird durch den Strahlteiler 15 aufgeteilt, und der optische Hauptpfad läuft als Lichtstrahl 5a weiter, während der abgezweigte op­ tische Pfad durch das Polarisationsprisma 62 in die Konvex­ linse 16b eintritt. Wenn das Licht, das durch den Ablenker 51 gelaufen ist, in das Polarisationsprisma 62 eintritt, wird das am Spiegel 14 reflektierte Licht, nachdem es durch den Strahlteiler 16 gelaufen ist, gesperrt, bevor es in das Polarisationsprisma 62 eintritt. Wenn das durch den Ablenker 51 gelaufene Licht dagegen gesperrt wird, bevor es in das Polarisationsprisma 62 eintritt, tritt das vom Spiegel 14 reflektierte Licht in das Polarisationsprisma 62 ein.

Es ist zu beachten, daß die Ablenker 20a·20b, wie sie beim ersten und zweiten Ausführungsbeispiel vorhanden sind, und demgemäß auch die Treiber 25a·25b hier weggelassen sind.

Beim vorstehend angegebenen Aufbau tritt dann, wenn die bei­ den Lichtstrahlen 5a·5b entlang dem Radius schwingen, das am Strahlteiler 61 abgelenkte Licht durch den Ablenker 51 und den Strahlteiler 15 in die Konvexlinse 16a ein, um als Lichtstrahl 5a weiterzulaufen, während das vom Strahlteiler 15 abgelenkte Licht erneut durch das Polarisationsprisma 62 so abgelenkt wird, daß es zur Konvexlinse 16b geführt wird, um als Lichtstrahl 5b weiterzulaufen. Es ist zu beachten, daß das vom Spiegel 14 reflektierte Licht in diesem Fall ge­ sperrt wird, bevor es in das Polarisationsprims 62 eintritt.

Wenn dagegen nur der Lichtstrahl 5a entlang dem Radius schwingt, läuft das vom Spiegel 14 reflektierte Licht durch das Polarisationsprisma 62, während der optische Zweigpfad aus dem Strahlteiler 15 zum Polarisationsprisma 62 gesperrt ist.

Wie es erläutert wurde, erfolgt beim Herstellverfahren für magnetooptische Masterplatten gemäß dem dritten Ausführungs­ beispiel folgendes:

• 1) das aus der Laserlichtquelle 11 austretende Licht wird in zwei optische Pfade aufgeteilt und
• 2) der vom Treiber 52 angesteuerte Ablenker 51 ist in einem der aufgeteilten optischen Pfade vorhanden, um den Licht­ strahl 5a zu erzeugen, während der Lichtstrahl 5b entweder unter Benutzung des optischen Pfads, der abzweigt, nachdem das Licht durch den optischen Ablenker 51 gelaufen ist, oder des anderen aufgeteilten optischen Pfads erzeugt wird.

Um unter diesen Umständen einen beidseitig gewellten Graben 1 zu erzeugen, werden beide Lichtstrahlen 5a·5b gleichzeitig dadurch in Schwingung versetzt, daß ein den Adreßdaten ent­ sprechendes Signal in den den Ablenker 51 ansteuernden Trei­ ber 52 eingegeben wird, während der andere aufgeteilte opti­ sche Pfad gesperrt wird.

Dagegen wird, um den einseitig gewellten Graben 1 herzustel­ len, nur der Lichtstrahl 5b dadurch in Schwingung versetzt, daß ein Adreßdaten entsprechendes Signal in den Treiber 52 eingegeben wird, während der abgezweigte optische Pfad ge­ sperrt wird.

Im Ergebnis können zwei Typen von Gräben aufeinanderfolgend oder wahlweise hergestellt werden: mit zwei gewellten Sei­ tenwänden beim einen Typ und mit nur einer gewellten Seiten­ wand beim anderen Typ.

Die Tatsache, daß hier nur ein Ablenker 51 verwendet wird, ermöglicht es, die Vorrichtung mit weniger Komponenten auf­ zubauen. Beschädigungen oder Beeinträchtigung der Empfind­ lichkeitscharakteristik des Ablenkers 51 können einfach durch Austauschen desselben beseitigt werden, wodurch Feh­ lerbehebung einfacher ist als dann, wenn eine Anzahl von Ab­ lenkern 51·20a·20b verwendet wird. Auch kann jeder einzelne der Lichtstrahlen 5a oder 5b oder beide dadurch entlang dem Radius in Schwingung versetzt werden, daß ein einzelner Ab­ lenker 51 bereitgestellt wird und die optischen Pfade geän­ dert werden. So erfordert jede Komponente einen Raum mit im wesentlichen derselben Größe wie bei einer herkömmlichen Vorrichtung.

VIERTES AUSFÜHRUNGSBEISPIEL

Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf Fig. 9 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. Hierbei sind gleiche Komponenten wie beim ersten bis dritten Ausführungs­ beispiel mit denselben Bezugszeichen versehen und eine Er­ läuterung derselben wird weggelassen.

Wie in Fig. 9 dargestellt, beinhaltet eine Schneidvorrich­ tung 70, die eine Herstellvorrichtung für magnetooptische Masterplatten gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel ist, zu­ sätzlich zum zweiten Ausführungsbeispiel einen Strahlteiler 71 zwischen dem Spiegel 14 und dem Ablenker 51 (Ablenkein­ richtung). Der Strahlteiler 71 nimmt eine Zweiteilung des vom Spiegel 14 reflektierten Lichts vor, um einen dritten Lichtstrahl zu erzeugen. Der vom Strahlteiler 71 erzeugte abgeteilte Lichtstrahl 73 tritt durch einen Spiegel 72, eine Konvexlinse 16c, einen optischen Modulator 17c, eine Konvex­ linse 19c, die Wellenlängenplatte 53 und ein Spiegelprisma 74 in das Polarisationsprisma 22 ein. Der einfallende Licht­ strahl 73 wird durch das Polarisationsprisma 22 mit den bei­ den anderen Lichtstrahlen 5a·5b vereinigt.

Der Treiber 52 (Treibereinrichtung) und ein Treiber 24c sind vorhanden, um den Ablenker 51 bzw. den optischen Modulator 17c anzusteuern. Es ist zu beachten, daß hier die beim er­ sten und zweiten Ausführungsbeispiel vorhandenen Ablenker 20a·20b und demgemäß die Treiber 25a·25b nicht vorhanden sind.

Gemäß dem vorstehend angegebenen Aufbau wird ein Adreßdaten entsprechendes Signal in den den Ablenker 51 ansteuernden Treiber 52 eingegeben. Unter diesen Bedingungen schwingen, wenn die Lichtstrahlen 5a·5b aus den drei Lichtstrahlen 5a·5b·73 ausgewählt werden, diese beiden Lichtstrahlen 5a·5b entlang dem Radius, und wenn die Lichtstrahlen 5b·73 ausgewählt werden, schwingt nur einer der Lichtstrahlen 5a·73. Die Auswahl zwischen den Lichtstrahlen 5a·5b sowie 5b·73 kann durch Öffnen und Schließen einer Blende oder der­ gleichen erfolgen.

Wie es erläutert wurde, ist beim vierten Ausführungsbeispiel eines Herstellverfahrens für magnetooptische Masterplatten der vom Treiber 52 angesteuerte Ablenker 51 im optischen Pfad des aus der Laserlichtquelle 11 austretenden Lichts an­ geordnet, und Licht, das durch den Ablenker 51 gelaufen ist, wird in den ersten und zweiten optischen Pfad aufgeteilt, während der optische Zweigpfad erzeugt wird, bevor das aus der Laserlichtquelle 11 austretende Licht in den Ablenker 51 eintritt.

Um beide Lichtstrahlen 5a·5b entlang dem Radius der magneto­ optischen Masterplatten schwingen zu lassen, wird ein Adreß­ daten entsprechendes Signal in den Treiber 52 eingegeben, und der Lichtstrahl 5a und der aufgeteilte optische Pfad, d. h. der Lichtstrahl 5b, werden ausgewählt, während der optische Zweigpfad, d. h. der Lichtstrahl 73, gesperrt wird. Andererseits werden, um nur einen Lichtstrahl entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingen zu las­ sen, der aufgeteilte optische Pfad, d. h. der Lichtstrahl 5b, und der optische Zweigpfad, d. h. der Lichtstrahl 73, ausgewählt, während der Lichtstrahl 5a gesperrt wird.

Im Ergebnis können zwei Arten von Gräben aufeinanderfolgend auf einfache Weise hergestellt werden: sowohl der Typ mit zwei gewellten Seitenwänden als auch der Typ mit nur einer gewellten Seitenwand.

Außerdem ermöglicht es die Tatsache, daß hier nur ein Ablen­ ker 51 verwendet wird, die Vorrichtung mit weniger Komponen­ ten aufzubauen, und Schäden oder eine Beeinträchtigung der Empfindlichkeitscharakteristik des Ablenkers 51 können leicht beseitigt werden. Ferner ermöglicht es das Bereit­ stellen dreier optischer Pfade, das Intervall zwischen zwei Lichtstrahlen vorab zu bestimmen.

Claims (14)

1. Verfahren zum Herstellen einer magnetooptischen Master­ platte, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:

• - Auswählen, ob ein Führungsgraben hergestellt werden soll, dessen beide Seitenwände gewellt sind, was durch Einstrahlen zweier Lichtstrahlen erfolgt, während diese entlang einem Radius der magnetooptischen Masterplatte in Schwingung ver­ setzt werden, oder ein Führungsgraben hergestellt werden soll, bei dem nur eine Seitenwand gewellt ist, was durch Einstrahlen zweier Lichtstrahlen erfolgt, wobei der eine der zwei Lichtstrahlen fixiert wird und der andere entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte in Schwingung ver­ setzt wird; und
• - Ausbilden eines einzelnen Führungsgrabens durch Einstrah­ len der zwei Lichtstrahlen auf einen auf ein Glassubstrat aufgetragenen Photoresist abhängig von Adreßdaten.

2. Herstellverfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch den Schritt des Bereitstellens zweier durch eine jeweilige Treibereinrichtung angesteuerter Ablenkeinrichtungen in zwei optischen Pfaden zweier Lichtstrahlen, wobei die zwei Licht­ strahlen dadurch erzeugt werden, daß das aus einer Licht­ quelle austretende Licht in zwei Teile aufgeteilt wird, wo­ bei eine der zwei genannten Arten von Führungsgräben dadurch ausgewählt wird, daß ein Eingangssignal auf die zwei Trei­ bereinrichtungen geschaltet wird.

3. Herstellverfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die zwei Lichtstrahlen dadurch entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte in Schwingung versetzt werden, daß phasengleiche Signale gleichzeitig in jede An­ steuereinrichtung eingegeben werden, während einer der zwei Lichtstrahlen alleine entlang dem Radius der magnetoopti­ schen Masterplatte in Schwingung versetzt wird, wenn ein Signal in eine der zwei Treibereinrichtungen eingegeben wird.

4. Verfahren zum Herstellen einer magnetooptischen Master­ platte, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:

• - Bereitstellen einer ersten, von einer ersten Treiberein­ richtung angesteuerten Ablenkeinrichtung im optischen Pfad von aus einer Lichtquelle austretendem Licht, bevor das Licht in zwei Lichtstrahlen aufgeteilt wird, und einer durch eine zweite Treibereinrichtung angesteuerten Ablenkeinrich­ tung im optischen Pfad einer der zwei Lichtstrahlen;
• - Auswählen, durch Umschalten eines Eingangssignals auf die zwei Treibereinrichtung, ob ein Führungsgraben hergestellt werden soll, dessen beide Seitenwände gewellt sind, was durch Einstrahlen zweier Lichtstrahlen erfolgt, während diese entlang einem Radius der magnetooptischen Masterplatte in Schwingung versetzt werden, oder ein Führungsgraben hergestellt werden soll, bei dem nur eine Seitenwand gewellt ist, was durch Einstrahlen zweier Lichtstrahlen erfolgt, wobei der eine der zwei Lichtstrahlen fixiert wird und der andere entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte in Schwingung versetzt wird; und
• - Ausbilden eines einzelnen Führungsgrabens durch Einstrah­ len der zwei Lichtstrahlen auf einen auf ein Glassubstrat aufgetragenen Photoresist abhängig von Adreßdaten.

5. Verfahren zum Herstellen einer magnetooptischen Master­ platte, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:

• - Bereitstellen einer ersten, von einer ersten Treiberein­ richtung angesteuerten Ablenkeinrichtung im optischen Pfad einer von zwei Lichtstrahlen, die dadurch erzeugt werden, daß aus einer Lichtquelle austretendes Licht in zwei Teile aufgeteilt wird, und einer zweiten, von einer zweiten Trei­ bereinrichtung angesteuerten Ablenkeinrichtung im optischen Pfad, der durch Vereinigen der zwei Lichtstrahlen erzeugt wird;
• - Auswählen, durch Umschalten eines Eingangssignals auf die zwei Treibereinrichtung, ob ein Führungsgraben hergestellt werden soll, dessen beide Seitenwände gewellt sind, was durch Einstrahlen zweier Lichtstrahlen erfolgt, während diese entlang einem Radius der magnetooptischen Masterplatte in Schwingung versetzt werden, oder ein Führungsgraben hergestellt werden soll, bei dem nur eine Seitenwand gewellt ist, was durch Einstrahlen zweier Lichtstrahlen erfolgt, wobei der eine der zwei Lichtstrahlen fixiert wird und der andere entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte in Schwingung versetzt wird; und
• - Ausbilden eines einzelnen Führungsgrabens durch Einstrah­ len der zwei Lichtstrahlen auf einen auf ein Glassubstrat aufgetragenen Photoresist abhängig von Adreßdaten.

6. Verfahren zum Herstellen einer magnetooptischen Master­ platte, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:

• - Aufteilen des von einer Lichtquelle ausgegebenen Lichts in zwei Teile, um zunächst zwei optische Pfade zu erzeugen, und anschließendes Anordnen einer durch eine Treibereinrichtung angesteuerten Ablenkeinrichtung in einem der aufgeteilten optischen Pfade zum Erzeugen eines daraus abzweigenden opti­ schen Pfads, wobei ein Adreßdaten entsprechendes Signal in die Treibereinrichtung eingegeben wird;
• - Auswählen, ob zwei Lichtstrahlen im aufgeteilten optischen Pfad und im optischen Zweigpfad entlang einem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingen sollen, während der andere aufgeteilte optische Pfad gesperrt wird, oder ob einer der Lichtstrahlen in den zwei aufgeteilten optischen Pfaden entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingen soll, während der optische Zweigpfad gesperrt wird; und
• - Ausbilden eines einzelnen Führungsgrabens durch Einstrah­ len der zwei Lichtstrahlen auf einen auf ein Glassubstrat aufgetragenen Photoresist abhängig von Adreßdaten.

7. Verfahren zum Herstellen einer magnetooptischen Master­ platte, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:

• - Bereitstellen einer durch eine Treibereinrichtung ange­ steuerten Ablenkeinrichtung im optischen Pfad des von einer Lichtquelle abgestrahlten Lichts, und Aufteilen des opti­ schen Pfads in einen ersten und einen zweiten optischen Pfad, nachdem das Licht durch die Ablenkeinrichtung gelaufen ist, während ein optischer Zweigpfad erzeugt wird, bevor das Licht in die Ablenkeinrichtung eintritt, wobei ein Adreß­ daten entsprechendes Signal in die Treibereinrichtung einge­ geben wird;
• - Auswählen, ob zwei Lichtstrahlen entlang einem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingen sollen, was durch Auswählen des ersten und zweiten optischen Pfads erfolgt, während der optische Zweigpfad gesperrt wird, oder nur ein Lichtstrahl entlang dem Radius der magnetooptischen Master­ platte schwingen soll, was durch Auswählen des zweiten opti­ schen Pfads und des optischen Zweigpfads erfolgt, während der erste optische Pfad gesperrt wird; und
• - Ausbilden eines einzelnen Führungsgrabens durch Einstrah­ len der zwei Lichtstrahlen auf einen auf ein Glassubstrat aufgetragenen Photoresist abhängig von Adreßdaten.

8. Vorrichtung zum Herstellen einer magnetooptischen Ma­ sterplatte, gekennzeichnet durch:

• - eine einen Lichtstrahl aussendende Lichtquelle (11);
• - eine Optikpfad-Aufteilungseinrichtung (15) zum Aufteilen des Lichtpfads des Lichtstrahls in zwei Teile und zum Erzeu­ gen zweier Lichtstrahlen;
• - zwei Ablenkeinrichtungen (20a, 20b), von denen jeweils eine in einem der zwei optischen Pfade angeordnet ist, um den jeweiligen Lichtstrahl abzulenken;
• - zwei Treibereinrichtungen (25a, 25b) zum jeweiligen An­ steuern der zwei Ablenkeinrichtungen unter Verwendung von Adreßdaten entsprechenden Signalen; und
• - einen Umschalter (26) zum Ein-/Ausschalten von Eingangs­ signalen für die zwei Treibereinrichtungen;
• - wobei die zwei Lichtstrahlen gleichzeitig entlang einem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingen, wenn durch den Umschalter gleichzeitig gleichphasige Signale an die zwei Treibereinrichtungen gegeben werden, und nur einer der zwei Lichtstrahlen entlang dem Radius der magnetoopti­ schen Masterplatte schwingt, wenn durch den Umschalter nur ein Signal an eine der zwei Treibereinrichtungen gegeben wird.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Ablenkeinrichtungen (20a, 20b) parallel in be­ zug auf die Richtung angeordnet sind, in die die zwei Licht­ strahlen ausgerichtet sind.

10. Vorrichtung zum Herstellen einer magnetooptischen Ma­ sterplatte, gekennzeichnet durch:

• - eine Lichtquelle (11) zum Abstrahlen eines Lichtstrahls;
• - eine erste Ablenkeinrichtung (51) zum Ablenken des Licht­ strahls;
• - eine Optikpfad-Aufteileinrichtung (15) zum Aufteilen des optischen Pfads des aus der ersten Ablenkeinrichtung austre­ tenden Lichtstrahls in zwei Teile und zum Erzeugen zweier Lichtstrahlen;
• - eine zweite Ablenkeinrichtung (20a), die in einem der op­ tischen Pfade der zwei Lichtstrahlen vorhanden ist;
• - eine erste und eine zweite Treibereinrichtung (52, 25a) zum Ansteuern der ersten bzw. zweiten Ablenkeinrichtung un­ ter Verwendung von Adreßdaten entsprechenden Signalen; und
• - einem Umschalter zum Ein-/Ausschalten von Eingangssignalen an die erste bzw. zweite Treibereinrichtung;
• - wobei die zwei Lichtstrahlen gleichzeitig entlang einem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingen, wenn durch den Umschalter ein Signal alleine an die erste Trei­ bereinrichtung eingegeben wird, und einer der zwei Licht­ strahlen entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplat­ te schwingt, wenn durch den Umschalter ein Signal alleine an eine zweite Treibereinrichtung gegeben wird.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Lichtstrahlen gleichzeitig entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingen, wenn ein Signal alleine an die erste Treibereinrichtung (51) gegeben wird, während einer der zwei Lichtstrahlen entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingt, wenn gegenphasige Signale an die erste bzw. zweite Treibereinrichtung gegeben werden.

12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite Ablenkeinrichtung (51, 20a) in Reihe in bezug auf diejenige Richtung angeordnet sind, in die die zwei Lichtstrahlen ausgerichtet sind.

13. Vorrichtung zum Herstellen einer magnetooptischen Ma­ sterplatte, gekennzeichnet durch:

• - eine Lichtquelle (11) zum Abstrahlen eines Lichtstrahls;
• - eine Optikpfad-Aufteileinrichtung (61) zum Aufteilen des optischen Pfads des Lichtstrahls in zwei Teile und zum Er­ zeugen zweier Lichtstrahlen;
• - eine erste Ablenkeinrichtung (17a), die in einem der zwei optischen Pfade der zwei Lichtstrahlen angeordnet ist;
• - eine zweite Ablenkeinrichtung (17b), die in einem opti­ schen Pfad angeordnet ist, der durch Vereinigen der zwei Lichtstrahlen erzeugt wird;
• - eine erste und eine zweite Treibereinrichtung (24a, 24b) zum jeweiligen Ansteuern der ersten und zweiten Ablenkein­ richtung unter Verwendung von Adreßdaten entsprechenden Si­ gnalen; und
• - einem Umschalter zum Ein-/Ausschalten von Eingangssignalen für die erste bzw. zweite Treibereinrichtung;
• - wobei die zwei Lichtstrahlen gleichzeitig entlang einem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingen, wenn durch den Umschalter ein Signal alleine an die zweite Trei­ bereinrichtung gegeben wird, und nur einer der zwei Licht­ strahlen entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplat­ te schwingt, wenn ein Signal alleine an die erste Treiber­ einrichtung gegeben wird.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Lichtstrahlen gleichzeitig entlang dem Radius der magnetooptischen Masterplatte schwingen, wenn ein Signal alleine an die zweite Treibereinrichtung (17b) gegeben wird, und einer der zwei Lichtstrahlen entlang dem Radius der ma­ gnetooptischen Masterplatte schwingt, wenn gegenphasige Signale an die erste und zweite Treibereinrichtung gegeben werden.