DE3829159C2 - - Google Patents

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Eberhard 2054 Geesthacht De Zell
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Westdeutsche Quarzschmelze 2054 Geesthacht De GmbH
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Westdeutsche Quarzschmelze 2054 Geesthacht De GmbH
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
    • H10P72/13—Horizontal boat type carrier whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising rod-shaped elements

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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