DE8021868U1 - Traegerhorde fuer halbleiterscheiben - Google Patents

Description

- 3 - Hanau, den 4. Juni 1980 ZPL-Dr.Hn/Bö

Heraeus Quarzschmelze GmbH

Gebrauchsmusteranmeldung

"Trägerhorde für Halbleiterscheiben"

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Trägerhorde aus Quarzglas für eine Vielzahl von Halbleiterscheiben, deren Randbereiche in Schlitze von Hordenbauteilen hineinragen, die aus jeweils zwei oberen und zwei unteren mit Schlitzen versehenen, parallel zueinander verlaufenden Stäben bestehen, wobei der Abstand der beiden oberen Stäbe voneinander größer ist als der Abstand der beiden unteren Stäbe voneinander, und wobei die vier Stäbe im Bereich ihrer Enden unverrückbar gehaltert sind.

Trägerhorden der vorcharakterisierten Art sind aus der GB-PS 1 436 503 bekannt. Sie haben sich in der Praxis bewährt.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine einfach zu fertigende Trägerhorde zu schaffen, die unter sparsamem Einsatz von teuerem Quarzglas eine sichere Handhabung von mit Halbleiterscheiben beladenen Horden gewährleistet und auch ein schonendes und schnelles Umladen von Halbleiterscheiben von Plastikhorden auf Quarzglashorden sicherstellt. Außerdem soll der Anwendungsbereich dieser Trägerhorden erweitert werden.

Gelöst wird diese Aufgabe für eine Trägerhorde der eingangs beschriebenen Art erfindungsgemäß dadurch, daß die Halterung aus je einem Quarzglasrohr besteht, das im Endbereich der Stäbe quer zu den Stäben zwischen den oberen und den unteren Stäben angeordnet und mit diesen verschmolzen ist.

Weitere vorteilhafte Merkmale der erfindungsgemäßen Trägerhorde ergeben sich aus den Unteransprüchen.

In der Figur 1 ist in Ansicht ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel dargestellt.

In Figur 2 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel in Ansicht dargestellt.

In Figur 3 ist ein Ausführungsbeispiel eines geschlitzten Stabes in Ansicht dargestellt.

Die Trägerhorde nach Figur 1 besteht aus sechs Bauteilen, und zwar aus den beiden oberen Stäben 1, den beiden unteren Stäben 2 und den zwischen den Stäben 1 und den Stäben 2 in deren Endbereich angeordneten zwei Quarzglasrohren 3, die jeweils mit den oberen und den unteren Stäben verschmolzen sind an den Stellen 4. Die Stäbe 1 und 2 bestehen aus Quarzglas, und sie sind mit Schlitzen 7 gleicher Breite versehen, in die dann Randbereiche der Halbleiterscheiben, mit denen die Trägerhorde beladen wird, hineinragen. Wie aus Figur 1 ersichtlich, können die Enden der Quarzglasrohre 3 nach unten abgeschrägt sein. Die quer zu den Stäben 1, 2 angeordneten Quarzglasrohre 3 dienen zur Aufnahme der Zinken 6 einer gabelförmigen Handhabung, mit der die beladene oder unbeladene Trägerhorde gehalten und transportiert werden kann. An den Enden der oberen Stäbe 1 sind noch durchgehende Bohrungen 5 vorgesehen, die als Justiermarken beim Umladen

der Halbleiterscheiben von einer Kunststoff-Trägerhorde auf die erfindungsgemäße Trägerhorde und umgekehrt dienen.

Das in Figur 2 dargestellte Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Trägerhorde unterscheidet sich von dem in Figur dargestellten dadurch, daß die oberen und unteren Stäbe 1 und 2 in vorgegebenem Abstand von dem jeweiligen Stabende einen ungeschlitzten Bereich 8 aufweisen und jeder dieser Bereiche mit einem quer zu den Stäben 1 und 2 zwischen diesen angeordneten Zusatzhalterungsrohr 9 aus Quarzglas verschmolzen ist. Hierdurch können Trägerhorden geschaffen werden, deren Länge das Doppelte oder ein Vielfaches - in letzterem Fall sind mehrere Zusatzhalterungsrohre in vorgegebenem Abstand voneinander anzuordnen - einer Einzelträgerhorde beträgt.

Anstelle der in den Figuren 1 und 2 verwendeten Stäbe 1 und mit Schlitzen gleicher Breite können auch Stäbe 10 benutzt werden, wie in dem Ausführungsbeispiel nach Figur 3 dargestellt. Dieser Stab 10 weist zum Unterschied gegenüber den Stäben 1 und 2 Schlitze 7 von gleicher Breite und Schlitze auf, deren Breite größer als die der Schlitze 7 ist. Die Schlitze 11 sind in periodisch wiederkehrenden Abständen im Stab 10 angebracht. Sie dienen der Aufnahme von plattenförmig oder anders ausgebildeten Dotierungsmittelquellen, während die Schlitze 7 wieder zur Aufnahme der Halbleiterscheiben dienen. Trägerhorden mit dieser Art ausgebildeten Stäben 10 werden für die Durchführung von Dotierungsverfahren mit Hilfe von Feststoffquellen verwendet, während Trägerhorden mit Stäben 1 und 2 gemäß den Figuren 1 und 2 für andere Behandlungsverfahren für Halbleiterscheiben, wie Oxidationsund Temperprozesse sowie Dotierung aus der Gasphase, eingesetzt werden.

Zusammenfassung

Es wird eine Trägerhorde für Halbleiterscheiben angegeben, die aus vier geschlitzten Quarzglasstäben besteht, die mit einem zwischen den oberen und unteren Stäben angeordnetem Quarzglasrohr unverrückbar verschmolzen sind. Die Stäbe weisen im Endbereich eine durchgehende Bohrung auf und können neben Schlitzen mit gleicher Breite für die Halbleiterscheiben in periodisch wiederkehrenden Abständen Schlitze mit größerer Breite aufweisen.

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Claims (5)

Hanau, den 4. Juni 1980 ZPL-Dr.Hn/Bö Heraeus Quälrzschmelze GmbH Gebrauchsmusteranmeldung "Trägerhorde für Halbleiterscheiben" Schutzansprüche

1) Trägerhorde aus Quarzglas für eine Vielzahl von Halbleiterscheiben, deren Randbereiche in Schlitze von Hordenbauteilen hineinragen, die aus jeweils zwei oberen und zwei unteren mit Schlitzen versehenen, parallel zueinander verlaufenden Stäben bestehen, wobei der Abstand der beiden oberen Stäbe voneinander größer ist als der Abstand der beiden unteren Stäbe voneinander, und wobei die vier Stäbe im Bereich ihrer Enden unverrückbar gehaltert sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung aus je einem Quarzglasrohr besteht, das im Endbereich der Stäbe quer zu den Stäben zwischen den oberen und den unteren Stäben angeordnet und mit diesen verschmolzen ist.

2) Trägerhorde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß alle Stäbe in vorgegebenem Abstand vom Stabende einen

"'ungeschützten Bereich aufweisen und dieser Bereich mit einem quer zu den Stäben und zwischen den oberen und unteren Stäben angeordneten Zusatzhalterungsrohr aus Quarzglas verschmolzen ist. ·-. ,- {

3) Trägerhorde nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Enden der Quarzglasrohre und des Zusatzhalterungsrohres nach unten abgeschrägt sind.

4) Trägerhorde nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden oberen Stäbe in ihren Endbereichen jeweils eine durchgehende Bohrung aufweisen.

5) Trägerhorde nach einem oder mehreren der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß alle Stäbe in
periodisch wiederkehrenden Abständen Schlitze mit größerer Breite aufweisen als die Schlitze für die Halbleiterscheiben.