DE3752113T2

DE3752113T2 - Target zur Erzeugung von Röntgenstrahlen

Info

Publication number: DE3752113T2
Application number: DE3752113T
Authority: DE
Inventors: Thomas J Koller; Steven Tavoletti
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1986-01-09
Filing date: 1987-01-09
Publication date: 1998-01-08
Anticipated expiration: 2007-01-10
Also published as: DE3751638D1; US4736400A; DE3751638T2; JPH0785407B2; DE3752113D1; EP0653773A1; EP0229697A3; EP0229697A2; EP0653773B1; JPS62168317A; EP0229697B1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Anbringen eines drehbaren Targets zum Erzeugen von Röntgenstrahlen an einem Halteelement, wie im ersten Teil des unabhängigen Anspruchs beschrieben.
Wie im Stand der Technik bekannt ist, weisen Röntgenröhren vielfältige Anwendungen und Konstruktionen auf. Bei einem Typ einer Röntgenröhre wird ein hochenergetischer Elektronenstrahl von einer Heizfaden-Kathode emittiert und auf einer Röntgenstrahlen-Emissionszone einer Anode gebündelt. Die Röntgenstrahlenemissionszone umfaßt ein Material, z.B. eine Wolfram/Rhenium-Legierung, das als Reaktion auf den Einfall eines solchen gebündelten Elektronenstrahls darauf Röntgenstrahlen emittiert. Daher wird die Anode allgemein als Target zum Erzeugen von Röntgenstrahlen bezeichnet. Der Einfall der hochenergetischen Elektronenstrahls auf dem Target zum Erzeugen von Röntgensrahlen erzeugt in dem Target eine große Wärmemenge, die für die Targetstruktur und damit für die Funktion der Röntgenröhre schädlich ist. In herkömmlichen Röntgenröhren dieser Art umfaßt deshalb die Target- Anode ein Element wie eine Scheibe, die auf einer Tragwelle angebracht ist und von einem Motor gedreht wird. Die Scheibe un die Tragwelle bestehen typisch aus einer Metall-Legierung mit hohem Schmelzpung, wie Titan-Zirkon-Molybdän (TZM). Der Elektronenstrahl wird in einer Brennzone gebündelt, einem ringförmigen Abschnitt der Scheibenoberfläche mit dem röntgenstrahl nemittierendenwolfram/Rhenium-Material. Der Motor dreht die Targetscheibe mit hohen Geschwindigkeiten, z.B. 10.000U/Min, wodurch Abschnitte der Brennzone aus dem und in den Pfad des gebündelten Elekronenstrahls gedreht werden. Der Elektronenstrahl trifft deshalb immer nur auf einem Abschnitt der röntgenstrahlenemittierenden Brennzone auf, so daß der Rest der Brennzone während der Zeit, die er bis zu erneuten Rotation in den Pfad des gebündelten Röntgenstrahls benötigt, abkühlen kann.
Bei herkömmlichen Röntgenröhren umfaßt die Tragwelle ein angeflanschtes Tragelement mit einem aus diesem herausragenden Gewindeschaft. Der Schaft paßt durch eine in der Mitte der Targetscheibe angeordnete Öffnung, wobei die Scheibe in Eingriff mit einer Oberfläche des angeflanschten Tragelements steht. Die TZM- Targetscheibe zum Erzeugen von Röntgenstrahlen ist an der TZM-Tragwelle befestigt, in dem die Scheibe mit einer auf en Schaft aufgeschraubten TZM-Mutter gegen das angeflanschte Tragelement geklemmt wird. Die Targetscheibe wird dann auf der Welle dynamisch gewuchtet, z.B., indem Gewichte an der Unterseite der Scheibe versetzt oder geringe Materialmengen aus der Unterseite der Scheibe entfernt werden. Während die oben beschriebene Befestigungsanordnung in einigen Anwendungsfällen zufriedenstellend funktioniert, ist in anderen Anwendungsfällen ein Durchrutschen der Targetscheibe auf der Tragwelle aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit der Scheibe festgestellt worden, so daß die Scheibe auf der Welle eine Unwucht erfährt. Die mit der Unwucht behaftete Targetscheibe vibriert folglich während der Rotation, wobei eine derartige Vibration häufig so ausgeprägt ist, daß die Röntgenröhre dadurch zerstört wird.
Bei einer anderen herkömmmlichen Röntgenröhre verfügt der Schaft der Tragwelle nicht über ein Gewinde und besteht aus einem anderen Material als TZM, z.B. Niob (auch als Columbium bezeichnet). Während der Herstellung werden Schaft und Targetscheibe erhitzt, wobei das Target durch Diffusion mit dem Schaft und daher mit der Tragwelle verbunden wird. Obwohl ein derartiges Befestigungsverfahren für einige Anwendungen zufriedenstellend wirkt, ist ein aus einem Material wie Niob bestehender Schaft schwächer als ein Schaft aus einer hitzebeständigen Metall- Legierung, wie TZM, insbesondere bei den allgemein während des Betriebs einer Röntgenröhre auftretenden hohen Temperaturen. Deshalb ist bei derart hohen Temparaturen die Diffusionsverbindung zwischen dem Schaft und der Targetscheibe relativ schwach, was häufig in dem oben beschriebenen Durchrutschen des Targets auf der Tragwelle und der damit einhergehenden Unwucht und Vibration des Targets resultiert. Zusätzlich ist anzumerken, daß die auf die Diffusionsverbindung zwischen Schaft und der Targetscheibe einwirkende Beanspruchung eine Zug- oder Druck- Beanspruchung ist, wobei es sich hierbei um die für eine Diffusionsverbindung schädlichste mechanische Beanspruchung handelt. Außerdem erweitert sich die Größe der Öffnung in der Targetscheibe, in welcher der Niobschaft sitzt, im Laufe der Verwendung geringfiigig. Eine solche Erweiterung übt eine zusätzliche Beanspruchung auf die Diffusionsverbindung zwischen dem Niobschaft und der Targetscheibe aus.
Die NL-A 8501406 (entsprechend der US-A-4574388) offenbart ein Verfahren zum Verbinden eines drehbaren Targets zur Erzeugung von Röntgenstrahlen mit einem Tragelement, welches von einem Motor gedreht werden kann, wobei das Verfahren die Schritte umfaßt, daß das Target zur Erzeugung von Röntgenstrahlen auf einer Montageoberfläche des Tragelementes plaziert wird und das Target unter Verwendung von Hartlötmaterial, welches auf einer Oberfläche des Tragelementes abgelegt ist, an dem Tragelement befestigt wird. Bei dieser bekannten Anordnung weisen der Schaft und die Target-Bohrung glatte zylindrische Oberflächen auf und ein integraler Kragen, ebenfalls mit glatten zylindrischen Oberflächen, ist dazwischen vorgesehen, wobei alle Mittel einer Diffusionsverbindung befestigt sind, welche in konventioneller Weise ausgeführt wird.
Die vorliegende Erfindung verbessert diese Anordnung gemäß dem Kennzeichen in Anspruch 1. Das Hartlötmaterial kann Legierungen mit Palladium, Nickel oder Kobalt umfassen. Das Targetelement und das Tragelement können hitzebeständiges Metall oder Legierungen damit umfassen, wie Titan-Zirkon-Molybdän (TZM).
Ein Beispiel der Erfindung wird jetzt anhand der beigefügten Zeichnungen beschrieben. Dabei zeigen:
Figur 1 eine teilweise geschnittene Ansicht und eine vereinfachte Darstellung einer Röntgenstrahlen-Vorrichtung mit der erfindungsgemäßen Target- Anordnung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen, welche mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt ist; und
Figur 2 eine vergrößerte Querschnittsansicht der Targetanordnung zur Erzeugung von Röntgenstrahlen in Figur 1.
Figur 1 zeigt eine Vorrichtung 10 zur Erzeugung von Röntgenstrahlen, mit einer Röntgenröhre 12, die elektrisch wie dargestellt mit einer einstellbaren Heizfadenkathoden-Versorgungseinheit 14 und einer einstellbaren Vorspannungseinheit 16 und einer einstellbaren Hochspannungs-Versorgungseinheit 18 verbunden ist. Die Röntgenröhre 12 umfaßt eine Kathodenanordnung 20 und eine erfindungsgemäße drehbare Targetanordnung 22 zur Erzeugung von Röntgenstrahlen, die im folgenden detailliert beschrieben wird. Ergänzend ist hier zu erwähnen, daß die drebbare Targetanordnung 22 zur Erzeugung von Röntgenstrahlen ein Targetelement 24, welches hier eine Anodenelektrode 26 enthält, und ein Tragelement 28 mit einer Aufnahmefläche 30 umfaßt, die quer zu einer Rotationsachse 32 der Targetanordnung 22 angeordnet ist, wobei das Targetelement 24 auf der Aufnahmefläche 30 angeordnet ist. Das Targetelement 24 ist auf dem Tragelement 30 unter Verwendung von Hartlötmaterial befestigt. In der EP-B-229697, aus welcher diese Anmeldung abgetrennt ist, ist das Hartlötmaterial zwischen dem Targetelement 24 und der Aufnahmefläche 30 angeordnet, wobei einer erster Teil des Hartlötmaterials 36 in das Targetelement 24 eindiffundiert wird und ein zweiter Teil des Hartlötmatenals 36 in das Tragelement 28 eindiffundiert wird, wobei ein solches Diffusions-Verbindungsverfahren bei Temperaturen unterhalb der Schmelztemperatur des Hartlötmaterials ausgeführt wird, um dadurch eine Dampfablagerung des Hartlötmaterials auf der Innenfläche eines Röntgenröhrenkolbens 38 zu verhindern. Ein solches Verfahren wird nachfolgend detailliert beschrieben.
Bei einer solchen Anordnung wird das Targetelement 24 im wesentlichen daran gehindert, während der Rotation der Targetanordnung 22 zur Erzeugung von Röntgenstrahlen auf dem Tragelement 28 durchzurutschen, womit verhindert ist, daß das Targetelement 24 auf dem Tragelement 28 eine Unwucht erfährt und somit eine Vibration des Targetelements 24 während des Betriebs der Röntgenstrahlen-Erzeugungsvorrichtung 10 im wesentlichen beseitigt ist.
Die Röntgenröhre 12 umfaßt den im allgemeinen röhrenförmigen Kolben 38, der aus einem dielektrischen Material, z.B. bleifreiem Glas, hergestellt sein. Ein Ende des Kolbens 38 ist mit einem zurückgezogenen Abschnitt 40 ausgeführt, der am Umfang an einem Ende eines Metallbundes 42 abgedichtet ist. Das andere Ende des Bundes 42 ist auf eine hinreichend bekannte Weise hermetisch dicht mit einem Ende eines herkömmlichen Anodenrotors 44 verbunden, der aus einem elektrisch leitenden Material wie Kupfer besteht. Eine Welle 46 des Rotors 44 ragt aus dem Kolben 38 nach außen und stellt Anschlußeinrichtungen zum elektrischen Anschluß des Rotors 44 an einen positven Anschluß der einstellbaren Hochspannungs-Versorgungseinheit 18 bereit.
Im Inneren des Kolbens 38 umfaßt das Tragelement 28 einen elektrisch leitenden Schaftabschnitt 48 aus einem hitzebeständigen Material, wie eine Legierung aus Titan-Zirkon-Molybdän (TZM), wobei sich der Schaft 48 in Längsrichtung aus dem inneren Ende des Rotors 44 erstreckt und mit diesem elektrisch verbunden ist. Das Tragelement 28 enthält zusätzlich eine Mutter 54, die hier ebenfalls aus einem hitzebeständigen Metall wie TZM besteht. Das Tragelement 28 umfaßt außerdem einen Flanschabschnitt 50, der hier aus TZM besteht und an dem Rotor 44 gegenüberliegenden Ende des Schaftes 48 integral angeformt ist. Der Flanschabschnitt 50 endet an der Aufnahmefläche 30. Auf dem Tragelement 28 ist das Targetelement 24, daß die Anodenscheibe 26 umfaßt, fest gegen die Flanschaufnahmeoberfläche 30 festgehalten. Die Anodenscheibe 26 ist senkrecht zur Rotationsachse 32 angeordnet und wird durch den Rotor 44 in bekannter Weise gedreht. Das innere Ende der Anodenscheibe 26 hat eine kegelstumpfförmige Konfiguration, um eine geneigte, ringförmige Targetoberfläche oder eine Brennzone 52 neben ihrem Außenumfang bereitzustellen. Die Brennzone 52 besteht aus einem Material wie z.B. Wolfram oder einer Wolfram-Rhenium-Legierung, daß bei einem Beschuß mit darauf auftreffenden hochenergetischen Elektronen von der Heizfaden-Kathodenanordnung 20 über einen Pfad 21 leicht Röntgenstrahlen emittiert. Andere Abschnitte der Anodenscheibe 26 bestehen hier jedoch zu dem bereits erörterten Zweck aus einem geeigneten, elektrisch leitenden, hitzebeständigen Material wie TZM. Die TZM-Mutter 54 steht im Eingriff mit einem Gewindeabschnitt (siehe Figur 2) des TZM-Schaftes 48 und liegt an der Oberfläche der TZM-Anodenscheibe 26 an.
Obwohl die Anodenscheibe 26 drehbar ist, ist ein Abschnitt der Brennzone 52 ständig beabstandet gegenüber der Kathodenanordnung 20 positioniert und ist in Richtung eines radial ausgerichteten, für Röntgenstrahlen durchlässigen Fensters 56 im Kolben 38 geneigt. Die Kathodenanordnung 20 ist fest auf einem geeignet abgewinkelten Endabschnitt eines Hohlarmes 58 gehalten, dessen gegenüberliegender Endabschnitt hermetisch dicht an einem Ende eines axial angeordneten Tragzylinders 60 angebracht ist. Das andere Ende des Tragzylinders 60 ist am Umfang gegen einen zurückgezogenen Abschnitt 62 des Kolbens 38 abgedichtet, aus dem hermetisch dicht elektrische Anschlußleiterelemente 64, 66 und 68 herausgeführt sind.
Die Anschlußleiterelemente 64, 68 sind elektrisch an die entsprechenden Ausgangsanschlüsse der Vorspannungseinheit 16 und der Heizfadenkathoden-Versorgungseinheit 14 angeschlossen. Ein anderer Ausgangsanschluß der Vorspannungseinheit 16 ist elektrisch an das Anschlußleiterelement 66 sowie einen Ausgangsanschluß der Heizfadenkathoden-Versorungseinheit 14 und den negativen Ausgangsanschluß der Hochspannungs-Versorgungseinheit 18 angeschlossen. Im Inneren des Kolbens 38 verlaufen die Anschlußleiterelemente 64, 66 und 68 durch den Hohlarm 58 in die Kathodenanordnung 20. Die Leiter 66, 68 liefern ein Wechselstromsignal, daß der hohen negativen Ausgangsspannung (z.B. -60kV-DC gegenüber Masse) der Hochspannungs-Versorgungseinheit 18 über die Enden eines Kathoden-Heizfadens 70 in der Kathodenanordnung 20 überlagert ist. Der Heizfaden 70 wird durch dieses Wechselstromsignal erhitzt und reagiert mit einer Emission von Elektronen. Die Hochspannungs-Versorgungseinheit 18 liefert außerdem eine hohe positive Spannung gegenüber Masse (z.B. +60kV-DC) an die Welle 46. Dieses positive Potential wird über die elektrisch leitende Welle 46, den Rotor 44 und den Schaft 48 an die Anodenscheibe 26 gekoppelt. Damit ist zwischen der Anodenscheibe 26 und der Heizfadenkathode 70 eine hohe Potentialdifferenz (z.B. 120kV-DC) vorhanden, welche die vom Heizfaden 70 emittierten Elektronen zu der Anodenscheibe 26 zieht. Der Heizfaden 70 ist isoliert in einem elektrisch leitenden Gehäuse 72 der Kathodenanordnung 20 angebracht. Der Leiter 64 koppelt eine geeignete Gleichspannung, z.B. gegenüber dem am Leilter 66 anliegenden Signal von -60kV-DC, um das Gehäuse 72 in einer bekannten Weise "vorzuspannen", um die vom Heizfaden 70 emittierten Elektronen in einem Elektronenstrahl entlang des Pfades 21 zu bündeln, wobei dieser Strahl auf die Brennzone 52 der Anodenscheibe 26 auftrifft, die als Reaktion auf einen derartigen Elektronenbeschuß Röntgenstrahlen durch das Fenster 56 emittiert. Während des Betriebs rotiert der Rotor 44, bei dem es sich um die Rotorkomponente eines Induktionsmotors (nicht dargestellt) handelt, das Targetelement 24 mit einer vorgegebenen Drehzahl, z.B. 10.000U/Min, um die Rotationsachse 32. Dadurch trifft der gebündelte Elektronenstrahl ständig auf verschiedene Abschnitte der ringförmigen Brennzone 52, während diese sich um die Achse 32 dreht, so daß diejenigen Bereiche der Brennzone 52, die mit dem hochenergetischen Elektronenstrahl beschossen worden sind, Zeit zum abkühlen haben, bevor der Elektronenstrahl erneut darauf auftrifft. Ohne eine derartige Rotation würde der Elektronenstrahl die Wolfram- Rhenium-Brennzone 52 rasch durchbrennen, was zu einer Beendigung der Röntgenstrahlenemission aus der Röhre 12 führen würde. Aufgrund der von der Targetanordnung 22 erreichten hohen Rotationsgeschwindigkeit muß eine solche Anordnung präzise gewuchtet sein, um Vibrationen zu verhindern, die, zusätzlich zu einer Veränderung der Bereiche der Brennzone 52, auf welche der Elektronenstrahl auftrifft und dadurch die Röntgenstrahlenemission aus der Röhre 12 destabilisiert, bei starken Vibrationen die Röntgenröhre 12 zerstören. Die Targetanordnung 24 wird deshalb auf dem Schaft 48 des Tragelements 28 befestigt und kleine Materialmengen werden, z.B. durch Schleifen, entfernt, bis die Anordnung 22 bei Rotation gewuchtet ist. Rutscht jedoch das Targetelement 24 später durch, d.h., ändert es seine Position auf dem Tragelement 28, so erfährt die Targetanordnung 24 eine Unwucht und vibriert während der Rotation. Dies geschieht häufig bei bekannten Röntgenröhren, in denen das Targetelement auf dem Schaft nur unter Verwendung einer Mutter wie der Mutter 54 befestigt ist.
Figur 2 ist eine Schnittdarstellung des Targetelements 24 und des Tragelements 28, welche zur Verdeutlichung wegen vergrößert ist. Das Tragelement 28, hier aus TZM bestehend, umfaßt den Schaft 48 mit dem daran angeformten Flanschabschnitt 50. Der Flansch 50 enthält eine im wesentlichen ringförmige Aufnahmfläche 30, auf welcher das Targetelement 24 gehalten ist, wie beschrieben wird. Ein Halsabschnitt 51 des Tragelementschaftes 48 erstreckt sich über den Flansch 50 hinaus und endet in einem Gewindeabschnitt 53. Das Tragelement 28 ist damit für die Aufnahme und Halterung des Targetelements 24 ausgebildet, welches hier die TZM-Anodenscheibe 26 mit einer darin vorgesehenen zentralen Bohrung 27 umfaßt. Der Halsabschnitt 51 ist so gewählt, daß er einen etwas kleineren Durchmesser als die zentrale Bohrung 27 aufweist. Die Anodenscheibe 26 sitzt über den Schaftendabschnitt 53 und mit Paßsitz um den Hals 51, wobei ihre Unterseite 29 auf der Aufnahmefläche 30 aufliegt.
Die Anodenscheibe 26 wird auf das Tragelement 28 gesetzt und durch einen Preßsitz zwischen dem Hals 51 und der zentralen Bohrung 27 um die Rotationsachse 32 zentriert. Der Gewindeabschnitt 53 des Tragelements 28 ist zur Aufnahme der Mutter 54 ausgebildet, die hier aus TZM besteht.
Hartlötmatieral ist an den Gewinden der Mutter 54 oder dem Endabschnitt 53 abgelegt und daher am Übergang zwischen der TZM-Mutter 54 und dem TZM- Endabschnitt 53, um sicherzustellen, daß das Hartlötmaterial von diesen TZM- Elementen bedeckt wird und nicht offen bleibt (um dadurch eine metallische Ablagerung dieses Hartlötmaterials an den Seiten der Röntgenröhre 38 zu vermeiden).
Das Hartlötmaterial 36 umfaßt Metall mit einer relativ niedrigen Schmelztemperatur, wie eine Legierung aus Palladium-Kobalt, PdCo (Schmelztemperatur etwa 1.238ºC) oder Palladium-Nickel (PdNi, (1.230ºC Schmelztemperatur). Es ist anzumerken, daß die Schmelztemperatur von TZM relativ hoch ist, etwa 2.600ºC.
Die Mutter 54 wird auf dem Endabschnitt 53 festgezogen und liegt an der Oberseite der Anodenscheibe 26 an, so daß sie einen nach unten gerichteten Druck auf die Anodenscheibe 26 gegen den Flansch 50 der Aufnahmefläche 30 ausübt. Eine solche mechanische Kraft preßt das relativ weiche Hartlötmaterial zwischen den relativ harten, definierten Oberflächen zusammen.
Nachdem die TZM-Mutter 54 wie oben beschrieben festgezogen wurde, wird das Targetelement 24 erhitzt. Hier erfolgt eine solche Erhitzung des Targets durch Anwenden elektrische Energie in Form eines Elektronenstrahls auf die Brennzone 52 der Anodenscheibe 26. Alternativ kann die Anodenscheibe 26 induktiv erhitzt wer den, indem die Scheibe 26 einem hochfrequenten elektromagnetischen Feld ausge setzt wird. Die Targetanordnung 22 wird bei der Anwendung elektrischer Energie auf die Anodenscheibe 26 bevorzugt nicht gedreht, um dadurch jede Möglichkeit des Durchrutschens dem Targetelements 24 auf dem Tragelement 28 zu minimieren. Der auf die Brennzone 52 gerichtete Elektronenstrahl ist deshalb relativ niederenergetisch, um eine Beschädigung der Brennzone 52 zu vermeiden. Die in der Anodenscheibe 26 erzeugte Wärme wird durch Wämestrahlung von der Scheibe 26 und durch Konduktion über den Schaft 48 des Tragelements 28 abgeführt. Der Flansch 50 und die Mutter 54 werden jedoch nicht im selben Ausmaß erhitzt, wie die Anodenscheibe 26, da erstere nur durch Konduktion von der Scheibe 26 eine Temperaturerhöhung erfahren, während die Wärme direkt innerhalb der Anodenscheibe 26 durch Anwenden des Elektronenstrahles oder der induktiven Erwärmung darauf erzeugt wird.
Das Targetelement 24 unterliegt somit einer mechanischen Ausdehnung als Reaktion auf diese Wärme in höherem Maß als der kühlere Schaftflansch 50 oder die Mutter 54. Der Flansch 50 und die Mutter 54 begrenzen somit das Ausmaß der mechanischen Ausdehnung des Targetelements 24, wobei sie sehr hohe mechanische Kräfte an den Übergängen erzeugen, zwischen welchen das Hartlötmaterial abgelegt ist. Damit wird eine sehr feste mechanische Verbindung gebildet, welche ein Durchrut schen des Targetelements 24 auf dem Tragelement 28 während der hohen Rotationsgeschwindigkeiten der Targetanordnung 22 während des Betriebes der Röntgenvorrichtung 10 im wesentlichen verhindert.
Für eine Erläuterung der Diffusion des Hartlötmatenals in die umgebenden Komponenten, welche Dampfdrücke niedrig halten und somit die Ablagerung des Hartlötmaterials auf den Oberflächen der Röntgenröhre 12 vermeiden, wird auf die Beschreibung der EP-B-229 697 Bezug genommen.
Andere Hartlötmaterialen als Pd-Co oder Pd-Ni können verwendet werden. Außerdem können andere geeignete Materialien als TZM als Werkstoff für das Tragelement 28, die Mutter 54 und das Targetelement 24 verwendet werden. Für das Targetelement 24 können ebenfalls andere Formen verwendet werden.

Claims

1. Verfahren zum Anbringen eines drehbaren Targets zur Erzeugung von Röntgenstrahlen (24) auf einem Halteelement (28), welches durch einen Motor gedreht werden kann, wobei das Verfahren die Schritte umfaßt, daß das Target zur Erzeugung von Röntgenstrahlen auf einer Montage-Oberfläche (30) des Tragelementes positioniert wird und das Target unter Verwendung von Hartlöt-Material an dem Tragelement befestigt wird;

dadurch gekennzeichnet, daß das Tragelement einen Gewinde-Endabschnitt (53) aufweist, das Hartlöt-Material an einem Übergang zwischen diesem Gewinde-Endabschnitt und einer Mutter (54) angeordnet wird, welche zum Aufnehmen eines solchen Gewinde-Endabschnittes ausgebildet ist, wobei das Verfahren weiterhin die Schritte umfaßt, daß die Mutter auf dem Gewinde-Endabschnitt befestigt wird und die Mutter gegen das Target zum Erzeugen von Röntgenstrahlen (24) festgezogen wird, um das Target zum Erzeugen von Röntgenstrahlen an der Montage-Oberfläche (30) zu befestigen, wobei das Erwärmen des Targets zum Erzeugen von Röntgenstrahlen ein Diffundieren des Hartlöt-Matenals in die Mutter und den Gewinde- Endabschnitt auslöst.