JPS62168317A - 拡散結合ｘ線タ−ゲツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は一般に１、Ｘ線筒に、コ′すＢＩ　Ｌ、−＜　
ｉ’よ、回転式Ｘ線ターゲットを備えたＸ線筒に、Ｗ、
１する。

当該技術では周知のように、Σ糸ン：゛ト沫ζ、種々の
用途及び構造を備えている。成る形式のＸ線筒において
は、高エネルギーの電子ビームは、加熱フィラメント六
ンードから放出され、アノノ一ドのＸ線放出域に集束さ
れる。Ｘ線放出すソづ：２、タングステン−レニウム合
金のような利料を含み、この材料は、前記のように集束
された電子ビー・ムがそれに入射したことに応答してＸ
線を放出する。そのためアノードは普通にＸ線ターゲッ
トと呼ばれている。高エネルギーの電子ビームがＸ線タ
ーゲットに入射すると、Ｘ線タ・−ゲットに大量の熱が
発生する。この熱は、ターゲットの構造８従ってＸ線筒
の作動にとって有害である。そのため、この形式の従来
のＸ線筒において、ターゲットアノ−・ドは、支持軸上
に取付けられて電動機によって回転するディスクのよう
な部材を備えている。ディスク及び支持軸は、典型的に
は、高融点合金例えハチタン−ジルコニウム−モリ７’
７’：／（ＴＺＭ）　合金からできている。電子ビーム
は、フォーカルトランク（Ｘ線放出材料であるタングス
テン−レニウムからできているディスクの表面の環状部
分）Ｋ集束される。電動機はターゲットディスクを例え
ば１１００ＯＯＲＰの高速で回転させることによってフ
ォーカルトラックの一部分を集束された電子ビームの経
路に人出するように回転させる。そのため電子ビームは
、Ｘ線放出性のフォーカルトラックの一部分にのみ入射
するため、フォーカルトラックの残りの部分は、集束さ
れた電子ビームの一部分の経路に前記フォーカルトラッ
クの一部分が回転釦よって再び進入するのに要する時間
の間冷却することができる。

従来のＸ線筒においては、支持軸は、ねじ付ステムを突
出させたフランジ取付け部材を備えている。ステムは、
Ｘ線ターゲットデ・イスクの中心部の開口に嵌合し、こ
のディスクは、フランジ付き取付け部材の表面と係合し
ている。ＴＺＭ合金のｘｌターゲットディスクは、　Ｔ
　Ｚ　Ｍ　ｆｊ金のナツトをステムにねじ締めし７てＸ
線ターゲットディスクをフランジ付き取付け部材にクラ
ンプすることによって、ＴＺＭ合金の支持軸に固着され
る。次にディスクの下面上の錘を移動させる妙）又はデ
ィスクの下面から少量の材料を除去するかして、ディス
クを動的に平衡させる。この固着装置は、成る用途につ
いては満足に作動するが、他の用途については、ディス
クの高速回転によって支持軸上においてディスクがスリ
ップし不平衡となることがわかっている。不平衡になっ
たターゲットディスクは、回転中に振動し、この振動は
時にはＸ線筒を破壊する程度に犬きくなる。

別の公知のＸ線筒によれば、支持軸のステみは、ねじ部
を備えてなく、ＴＺＭ合金以外の材料例えばニオブ（コ
ロンビウムとも呼ばれる）から作製される。製造中にス
テムとターゲットディスクとは、加熱され、それによっ
てターゲットがステムＫ、従って支持軸に拡散結合され
る。この取付け方法は、成る用途については満足である
が、ニオブのような材料からできているステムは、Ｘ線
部の使用中に通常経験されるような高温の下では特に、
耐火性合金例えばＴＺＭ合金から製造されたステムより
も脆弱である。そのため、このような高温の下では、ス
テムとターゲットディスクの前述したスリップがひき起
こされ、それに伴って、ターゲットが不平衡になシ、振
動が起こる。またステムとターゲットステムとの間の拡
散結合との間の拡散結合に加わる応力は、引張応力又は
圧縮応力であり、これは拡散結合に対する機械的応力の
うちで最も破壊的な形式の応力である。また長期間使用
していると、ニオブのステムが通されて嵌合するターゲ
ットディスクの開口の大きさは少し膨張する。この膨張
は、ニオブのステムとターゲットディスクとの間の拡散
結合に、余計な引張応力を与える結果となる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、このような従来の技術の欠点を解消すること
を目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明により、Ｘ線ターゲット部材を支持部材に固着す
る固着方法において、該支持部材の第１面と該Ｘ線ター
ゲット部材の第１面との間の界面に、該Ｘ線ターゲット
部材の融点及び該支持部材の融点よりも融点の低いろう
付け材を配し、該ろう付け材の融点よりも低い温度で該
ターゲット部材の該第１面と該支持部材の第１面とに該
ろう付け材を拡散させる各工程から成る固着方法が提供
される。この固着方法によれば、ターゲット部材は支持
部材に構造的に結合され、単一の複合構造物を形成する
。そのため、ターゲット部材は、Ｘ線ターゲット部材の
回転中に支持部材上において実質的にスリップを受けな
くなる。ろう付け材は、パラジウム、ニッケル又はコバ
ルトの合金でもよい。ターゲット部材及び支持部材は、
耐火金属又はその合金例えばチタンージルコニウムーモ
リズデン（ＴＺＭ）合金とすることができる。

本発明の好ましい実施態様によれば、支持軸の横取付け
面にろう付け材を配し、該ろう付け材及び横取付面に該
Ｘ線ターゲット部材を位置させ、該ターゲット部材を該
ろう付け材及び取付面に固着し、該ターゲット部材を該
ろう付け材及び取付け面に対して膨張させることによっ
て、該ろう付け材を該取付け面及びターゲット部材中に
拡散させることによって、支持軸の横取付け面にＸ線タ
ーゲット部材を結合する方法が提供される。支持軸に対
して横方向Ｋ（従って、ターゲット部材の回転軸線に対
して横方向に）配置された表面の間に拡散結合が形成さ
れるので、この拡散結合が加わる応力は、引張応力又は
圧縮応力よりも拡散結合に対する硬壊性の低いせん断応
力である。

本発明によれば、回転軸線の回りに回転可能なＸ線ター
ゲット組立体を含むｘ腺　が提供される。

回転可能なターゲット組立体は、Ｘ線ターゲット部材と
、Ｘ線ターゲット部材を支持するための支持手段とを備
えている。ターゲット部材はこの支持手段上において平
衡させる。ターゲット部材を支持手段に固着する手段が
更に設けられており。

この固着手段は、ターゲット部材の第１面と支持手段の
第１面との界面に配されたろう付け材を含み、このろう
付け材の第１部分は、ターゲット部材の第１面中に拡散
され、ろう付け材の第２部分は、支持手段の第１面中に
拡散される。この構成によれば、Ｘ線組立体の回転中に
ターゲット部材が支持部材上にすべることが実質的に防
止されるので、ターゲット部材が支持部材上において不
平衡になることが防止され、回転中のターゲット部材の
振動が実質的に除かれる。

本発明の前述した特徴及び利点は、添付図面に示した好
ましい実施例の以下の詳細な説明によって一層明らかと
なろう。

〔実施例〕

第１図には、Ｘ線部１２を含むＸ線発生装置１ｏが図示
されている。Ｘ線部１２は、調節可能なフィラメント供
給ユニッ１−１４．調節可能なバイアスユニット１６及
び調節可能な高電圧供給ユニット１８に、電気的に接続
されている。Ｘ線部１２は、カソード組立体２０と、本
発明による回動可能なＸ線ターゲット組立体２２とを備
えている。Ｘ線ターゲット組立体２２の詳細については
後に詳述する。こ＼では、回動可能なターゲット組立体
２２が、ターゲット部材２４（この例ではアノード電極
２６を含む）と、ターゲット組立体２２の回転軸線３２
と直角に配された取付面３０を備えた支持部材２８を含
み、ターゲット部材２４が取付面３０上に配されている
ことを指摘するにとどまる。ターゲット部材２４ば、タ
ーゲット部材２４と取付面３０との間に配されたろう付
け材３６を含む固定手段によって、支持部材２８に固着
されている。ろう付け材３６の第１部分及び第２部分は
、それぞれターゲット部材２４及び支持部材２８に、本
発明による結合工程を用いて拡散され、この拡散結合工
程は、ろう付け材の溶融温度以下の温度で行われること
により、Ｘ線筒のエクイローブ３８ノ内面にろう材が蒸
着されることを防止する。この工程については以下に詳
述する。この構成によれば、Ｘ線ターゲット組立体２２
の回転の間にターゲット部材２４が支持部材２８上にお
いて実質的にスリップしなくなるため、支持部材２８上
においてターゲット部材２４が不平衡となることが防止
され、従って、Ｘ線発生装置１０の作動中のターゲット
部材２４の振動が実質的に解消される。

Ｘ線部１２は、大体において筒状のエン（ロープ３８を
含み、エンベロープ３８は、誘電材料例えば無鉛ガラス
からできていてもよい。エンベロープ３８の一端は、金
属カラー４２の一端に外周部がシールされた凹み部分４
０を備えている。カラー４２の他端は、電導性材料例え
ば銅からできている普通のアノード９０−ター４４の一
端に周知のように気密に固着されている。アノード９０
−ター４４の軸４６は、エンベロープ３８の外部に延長
しており、調節可能な高電圧供給ユニット１８の圧端４
にアノード８０−ター１４を電気的に接続するための端
子手段を形成している。

エンベロープ３８の内部において、支持部材２８は、耐
火材料、例えばチタン−ジルコニウム−モリブデン（Ｔ
ＺＭ）合金からできている電導性ステム４８ヲ含み、ス
テム４８は、アノード９０−ター４４の内側端から長手
方向に延長していて、これと電気的に接続されている。

まだ、支持部材２８は５ナツト５４を含み、ナツト５４
ば、この例では、耐火性金属例えばＴＺＭ合金からでき
ている。支持部材２８は、フランジ部分５０も含み、フ
ランジ部分５０は、この例では、ＴＺＭ合金からできて
おり、ローター４４と反対側のステム４８の先端に一体
的に形成されている。フランジ部分５０は、取付面３０
に終止している。支持部材２８には、ステム４８のフラ
ンジ部分５０の取付面３０に、アノード８デイスク２６
ヲ含ムターゲツト部材：２４が固着されている。アノー
ド９デイスク２６は、回転軸線３２と直角に配され、ア
ノード″ローター４４によって周知のように回転させら
れる。アノードディスク２６の内側端は、その外周縁に
近接して湾曲環状ターゲツト面又はフォーカルトラック
５２を形成するようＫ、固唾台形の形状となっている。

フォーカルトラック５２は、タングステン又はタングス
テン−レニウム合金のような材料からできており、この
材料は、フィラメントのカソード組立体２０から経路２
工に沿って高エネルギーの入射電子流のボンバードを受
けだ時に容易にＸ線を放出する。しかし、アノードディ
スク２６の他の部分は、この例では、以下に説明する目
的のために、電導性耐火材料例えばＴ　Ｚ　Ｍ合金から
できている。

ＴＺＭ合金のナツト５４は、ＴＺＭ合金のステム４８の
ねじ付端部（第２図参照）と係合し、やはりＴＺＭ合金
のアノードディスク２６の上面に載置されている。

アノードディスク２６は回転可能となっているが。

フォーカルトラック５２は、カソード組立体２０に対向
してこれから隔てられた関係に常時位置決めされ、エン
ベロープ３８の径方向に整列されたＸ線透過窓５６に向
って傾斜している。カソード″組立体２０ば、中空のア
ーム５８の連光な角度の先端部分上に固定的に支持され
ている。アーム５８の反対４ｉｉ１の先端は、軸方向に
配向された支持ンリンダ−６０の一端に封着されている
。支持シリンダー６０の他端は、エンベロープ３８の凹
み部分６２の円周（て沿って封着されており、この凹み
部分からは、電気端子のす−トゝ線６４．６６．６８が
気密に延長している。

電気端子のリード線６４．６８は、バイアスユニット１
６及びフィラメント供給ユニット１４にそれぞれ電気的
に接続されている。バイアスユニット１６の別の出力端
子は、フィラメント供給ユニット１４の出力端子及び高
電圧ユニット１８の負の出力端子と共通に、リード線６
６に電気的に接続されている。

エンベロープ３８の内部において、リー）”Ｍ６４．６
６．６８は、中型アーム５８を経てカソード組立体２０
中に延長している。リード線６６．６８は、カソード組
立体２０中のカソードフィラメント７０の両端間におい
て、高電圧供給ユニット１８の負の高出力電圧（例えば
、大地電圧に対して一６０ＫＶＤＣ）に重畳されるＡＣ
信号を供給する。カソードフィラメント７０は、このＡ
Ｃ信号によって加熱され、それから電子を放出すること
によって応答する。また、高電圧供給ユニット１８は、
大地電圧に対して正の高電圧（例えば＋５９ＫＶＤＣ）
を、軸４６に供給する。この正の電位は、電導性の軸４
６．アノードローター４４及びステム４６を介してアノ
ードディスク２６に供給される。そのため、高電位差（
例えば１２０ＫＶＤＣ）が、アノードディスク２Ｇとカ
ソードフィラメント７０との間に存在し、カソードフィ
ラメント７０によって放出された電子をアノードディス
ク２６に向って吸引する。カソードフィラメント７０は
、カソード組立体２０の電導性の本体７２中に絶縁され
て取付けられている。リード線６４は、経路２１に沿っ
て電子ビームとしてフィラメント７０によって送出され
た電子を集束するために周知の仕方で本体７２をバイア
スするようだ、リード線６６に供給された一６０ＫＶＤ
Ｃ信号に対して例えば負の適切な直流電圧を伝送し、こ
のビームは、アノード９デイスク２６のフォーカルトラ
ック５２に入射し、フォーカルトラック５２からは、電
子ボンバードに応答して、Ｘ線透過窓５６を経てＸ線が
送出される。

作動中にアノードローター４４（図示しない誘導電動機
のローター要素である）は、回転軸＃３２の回りに所定
の速度例えば１１００ＯＯＲＰでターゲット部材２４を
回転させる。そのため、集束された電子ビームは、環状
のフォーカルトランク５２が回転軸線３２の回９に回転
する間にこのフォーカルトランクの絶えず異なった部分
に衡突するので、高エネルギーの電子ビームによってボ
ンバードされたフォーカルトラック５２の領域には、電
子ビームが再び同じ領域に入射する前に、成る冷却時間
が与えられる。この回転を行なわせない場合には、電子
ビームは、タングステン−レニウムからできているフォ
ーカルトラック５２をすみやかに焼損させ、Ｘ線部１２
からのＸ線の放射を停止させるであろう。

ターゲット組立体２２の到達する回転速度が非常に高速
なため、ターゲット組立体２２は、振動を防止するよう
（７Ｉ：正確にバランスさせねばならない。この振動は
、電子ビームが入射するフォーカルトラック５２の領域
を変化させることによってＸ線部１２からのＸ線の放出
を不安定にするだけでなく、振動が激しい場合には、Ｘ
線部１２を損傷させる。そのため、ターゲット部材２４
は、支持部材２８のステム４８に固着され、ターゲット
組立体２２が回転中にバランスされるまで少量の材料を
例えば研削によって除去する。しかしターゲット部材２
４が後にスリップし、即ち、支持部材２８上の位置を変
更した場合に、ターゲット組立体２２は不平衡となり、
回　−転生に振動する。この事態は、只１つのナツト例
えばナツト５４を用いてターゲット部材２４をステム７
４に固着する従来の技術によるＸ線部には屡々発生する
。

次に、前記のスリップを実質的に解消するように支持部
材２８を固定する方法並びにこの方法を利用したＸ線タ
ーゲット組立体２２を含む本発明を、第２図を参照して
説明する。第２図は、ターゲット部材２４及び支持部材
２８を示す断面図であシ、図示を明瞭にするために拡大
穴を用いている。この例ではＴＺＭ合金からできている
支持部材２８は、フランジ部分５０を形成したステム４
８を有している。

フランジ部分５０は、ターゲット部材２４を後述するよ
うに支持させたほぼ円形の取付面３０を備えている。支
持部材２８のステム４８のネック部分５１は、フランジ
部分５０から先に延長し、雄ねじ端部５３に終止してい
る。そのため、支持部材２８は、ターゲット部材２４（
この例では、ＴＺＭ合金のアノードデイスク２６を含み
、中心部の開口２７を備えている）を受入れて支持する
ようになっている。ネック部分９１は、中心部の開口２
７よりも少し小さな直径をもつように選定されている。

アノードディスク２６は、ステム４８の雄ねじ端部５３
のとこ、うに嵌合し、ネック部分５１の回りにきっちり
と嵌合し、その底面２９は、取付面３０上に載置されて
いる。

アノード８デイスク２６を支持部材２８上に載置する前
に、この例ではリング又はワッシャーの形状のろう付け
材３６の層を取付面３０上に付与する。ろう付け材３６
は、融点の比較的低い金属、例えば、パラジウム−コバ
ルト合金（Ｐａ　−Ｃｏ　、融点約１２３８Ｃ）又はパ
ラジウム−ニッケル合金（ＰｄＮ１、融点１２３０Ｕ　
）とする。なおＴＺＭ合金の融点は、比較的高く、約２
６００Ｃである。アノードディスク２６は、支持部材２
８に嵌合され、ネック部分５１と中心部の開口２７との
間のきつい嵌合によって、回転軸線３２の回りに、支持
部材２８上に心出しされている。支持部材２８の雄ねじ
端部５３は、この例ではＴＺＭ合金製のナツト５４を受
入れるようになつでいる。ナツト５４は、雄ねじ端部５
３に対してねじ締めされ、ろう付け材３６及びフランジ
部分５０の取付面３０に向ってアノードディスク２６を
下向きに加圧する。この機械的な力は、比較的柔軟なろ
う付け材を比較的硬質のＴＺＭ合金のアノード９デイス
ク２６とＴＺＭ合金のフランジ部分５０との間において
圧縮することによって、ろう付け材３６を、薄いワッシ
ャー状の部材となるように変形させ、アノード９デイス
ク２６の底面２９を取付面３０に密接させる。

なお、ろう付け材３６のワッシャーの大きさは、ろう付
け材３６が前記のように機械的に圧縮された時にワッシ
ャーがフランジ部分５０の外側縁から先に横方向に延長
することのないように選定されている。

Ｔ　Ｚ　Ｍ合金のナツト５４を前記のようにきつく締付
けだ後認、ターゲット部材２４を加熱する。この場合九
、ターゲット部材２４の加熱は、電子ビームの形態の電
力をアノードディスク２６のフォーカルトラック５２に
適用することによって実現される。

別の方法として、高周波電母界にアノードディスク２６
を曝露することによって誘導的にアノードディスク２６
を加熱してもよい。ターゲット組立体２２は、好ましく
は、アノードディスク２６に電力を適用している間は回
転させないようにして、支持部材２８上においてターゲ
ット部材２４がスリップする機会を最小にする。そのた
め、フォーカルトラック５２に適用される電子ビームは
、フォーカルトランク５２を損傷させないように、比較
的低電力のビームとするつアノードディスク２６におい
て発生した熱は、支持部材２８のステム４８を通る伝導
と放射とによって、アノードディスク２６を経て消散さ
れる。しかしフランジ部分５０とナツト５４とは、アノ
−１ごディスク２６と同じ程度には加熱されない。その
理由は、フランジ部分５０及びナツト５４は、アノード
ディスク２６からの伝導のみによって温度の上昇を１怪
、験し、またアノードディスク２６には、アノードディ
スク２６に適用される誘導加熱又は電子ビームによって
直接に熱が発生するだめである。そのだめのアノードデ
ィスク２６は、より低温のステム４８のフランジ部分５
０又はナツト５４よりも大きな機械的膨張を前記熱に応
答して受ける。そのためフランジ部分５０とナツト５４
とは、ターゲット部材２４の機械的な膨張量を制限し、
ターゲット部材２４のアノードディスク２６とフランジ
部分５０及びナツト５４との間の界面に、非常に大きな
機械的な力を発生させる。換言すれば、ターゲット部材
２４の底面２９と支持部材２８の取付面３０との間の界
面にある圧縮されたろう付け材３６のワッシャーはフラ
ンジ部分５０に対するアノード８デイスク２６の制限さ
れた膨張によって更に圧縮される。ｔたこの相加的な圧
縮は、ターゲット部材２４の（そして、伝導によって、
支持部材２８の）加熱のため、高温において生ずる。こ
の大きな機械的な力と熱（例えば１０００Ｃ）との組合
せによって、ターゲット部材２４のアノードディスク２
６の隣接した領域３７及び支持部材２８のフランジ部分
５０の隣接した領域３９にろう付け材３６を拡散させ、
底面２９と取付面３０とを互い（Ｃ接触させる。そのた
め、非常に強力な機械的結合が、ＴＺＭ合金のターゲッ
ト部材２４とＴＺＭ合金の支持部材２８との間に形成さ
れ、アノードデスク２６をその上に固定させると共に、
Ｘ線発生装置１０の作動中に経験されるターゲット組立
体の高速回転の間にターゲット部材２４が支持部材２８
上においてスリップすることを実質的に防止する。

Ｘ線発生装置１０の使用中にターゲット組立体２２が１
３００ｔ：！の範囲の温度に到達することが見出されて
いる。本発明においてワッシャーの材料として用いられ
る典型的なろう付け材３６１例えばＰａ−Ｇ。

合金及びＰ　ａ　−Ｎ　ｉ合金は、ターゲット組立体２
２の使用温度範囲に等しいか又はこれよりも低い融点と
、この高温の使用温度において、例えば１０トルのオー
ダーの、比較的高い蒸気圧とを有している。なお、ＴＺ
Ｍ合金の蒸気圧は更に著しく低く、１０）ルよりも低い
。そのため、Ｘ線部１２の使用中にそうしたろう付け材
がＸ線部１２中に＠露されると、ろう付け材の高蒸気圧
によって、ろう付け金属を含む金属沈着物が、エンベロ
ープ３８の内面上に形成される。そのため、高電圧素子
（即ち、アノード及びカン−ドパ）とエンベロープ３８
の表面上の金属沈着物との間に、アークが発生し、Ｘ線
部１２の性能を劣化させる。

本発明による固定方法及びこの固定方法によって製造さ
れたターゲット組立体２２は、ろう付け材３６の融点よ
りも低い温度でＴＺＭ合金のターゲット部材２４及びＴ
ＺＭ合金の支持部材２８にろう付け材３６を拡散させる
ことによって、前記の問題点を解消する。即ち、ターゲ
ット部材２４は、ろう付け材３６の融点よりも低い温度
よりも低い温度に加熱され、この加熱に応答してアノー
ドディスク２６と７ランジ５０との間の界面に発生した
機械的な力によって、ろう付け材３６の融点よりも低い
温度においてろう付け材３Ｇを領域３７．３９中に完全
に拡散させる。−例として、ろう付け材３６として適切
な材料（７）１　ツテアルｐｄ−ｃｏ合金ノ融点は、１
２８０ｔｌ：である。前述した拡散結合工程の間に、タ
ーゲット部材２４は、（例えばフォーカルトラック５２
に電力を適用することによって）約１０００ｃに加熱さ
れるに過ぎない。しかし、ターゲット部材２４の底面２
９と支持部材２８の取付面３０との間の界面にアノード
ディスク２６の膨張がフランジ部分５ｏとナツト５４と
により制限されることによって生じた大きな機械的な力
は、前記の温度との組合せによって。

アノードディスク２６のＴＺＭ合金及びフランジ部分５
ｏ中にろう付け材を完全に拡散させる。なお、ＴＺＭ合
金のアノードディスク２６及びフランジ部分５０の領域
３７．３９にろう付け材が拡散すると、これらの領域の
融点は、ろう付け材３６の融点（Ｐｄ−ＣＯ合金を使用
した場合には、例えば１２３８Ｃ）よりも高いが、ＴＺ
Ｍ合金の融点（２６００Ｃ）よりも低い。拡散結合され
たターゲット組立体２２がＸ線部１２の通常の使用時に
１３０００以上の非常に高い温度となった時には、ろう
付け材は、ターゲット部材２４と支持部材２８との間の
拡散結合の一部分としてのみ存在している。換言すれば
、Ｘ線部１２のＸ線動作の間に、ｐｄ、−ｃｏ又はＰｄ
−Ｎ１系のろう付け材３６は、それがＴＺＭ合金と共に
拡散される領域３７％３９を除いては、Ｘ線部１２中に
は存在していない。ＴＺＭ合金の蒸気圧は、非常に低く
、１３００Ｃ’でハＪ　トルよりも低い１、そのため領
域３７゜３９の４ｚ＋、区で、ｆ　ｒも６゛）蒸気圧は
同様に低く、Ｘ線筒紹の表面上へのろう付け材の沈着を
阻止する。そのため１本発明によって、ろう付け材３６
の融点よりも低い温度でターゲット部材２４を支持部材
２Ｂにろう付けすることによってろう付け材３６がＸ線
部１２の内面に沈着することを阻止するようにしだ、Ｘ
線ターゲット組立体のろう付け分法及びそれによシ製造
されたＸ線ターゲット組立体２２が提供される。

この構成によれば、ターゲット部材２４のアノードディ
スク２６が支持部材２８のステム４８上においてスリッ
プすることを実質的に阻止することＫよってアノードデ
ィスク２６が不平衡となり回転中にステム２６上におい
て振動することを阻止するための拡散結合が、ターゲッ
ト部材２４と支持部材２８との間に形成される。

なお、ろう付け材３６は、ターゲット部材２４と支持部
材２８との間の別の界面に配設してもよい。例えばろう
付け材３６は、支持部材２８のネック部分５１の側面に
か又はこのネック部分５１と接触する中心部の開口２フ
０壁部に配設することができる。しかしろう付け！Ａ”
　ｉ性、前述した金属の沈着をきけるために、アノード
デ・イスク２６を支持部材２８に固着した時にネック部
分５１と接触しない中心部の開口２７の壁部分には配す
るべきではない。その理由は、ろう付け材は、そうした
場合に、その本来の状態（即ち、Ｐｄ−０Ｏ又はＰｄ−
Ｎ１）にとどまり、ターゲット部材２４又は支持部材２
８中に拡散しないためである。別の方法として、ＴＺＭ
合金のナツト５４とＴＺＭ合金のアノードディスク２６
との界面又はナツト５４もしくは雄ねじ端部５３のねじ
山に、従ってＴＺＭ合金のナツト５４とＴＺＭ合金のね
じ端部５３との間の界面にろう付け材を配してもよい。

どちらの場合にも、ろう付け材がこれらのＴＺＭ合金の
部材によって遮蔽されるように、即ち曝露されないよう
に（従って、Ｘ線部３８の側面上に金属が沈着しないよ
うに）適切に配慮する。

Ｘ線部１２の作動中のターゲット組立体２２の回転は、
回転軸線３２から径方向外方に向うターゲット部材２４
に対する機械的な力、即し遠心力を発生させる。この遠
心力は第２図に矢印３３によって表わされ、アノードデ
ィスク２６をネック部分５１から離れるように付勢ず２
）傾向をもつでいる。明らかなように、遠心力３３は取
付面３０上にろう付け材３Ｇを配することによって、従
って、ターゲット部材２４の底面２９と支持部材２８の
取付面３０との界面に拡散結合を形成することによって
、この拡散結合にせん断芯力を与える。他方では、この
遠心力３３は、アノードディスク２６の中心部の開口２
７の壁部と支持部材２８のネック部分５１との間に形成
された拡散結合に引張又は圧縮応力を与えるであろう。

周知のように、拡散結合は、引張応力又は圧縮応力を受
けた場合よりもせん断芯力を受けた場合の方が破壊され
難い。そのため、第２図に示すように取付面３０とアノ
ードディスク２６の底面２９との間に形成された拡散結
合は、より好ましいと共に、支持部材２８Ｄステム４８
がろう付け材から成るこの明細書の発明の背景の項で説
明したようなターゲット組立体（支持部材のステムがろ
う付け材を含むもの）において発生する引張−圧縮応力
の問題も克服する。

本発明の好ましい実施例について以上に説明したが、本
発明はこの特定の構成以外にもいろいろと変更して実施
することができる。−例として、Ｐ　６−　Ｇ　ｏ又は
Ｐ　ｄ−Ｎ　ｉ以外のろう付け材も使用してもよい。ま
た、Ｔ　Ｚ　Ｍ合金以外の適当な材料を、支持部材２８
、ナツト５４及びターゲット部材２４のために使用して
もよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による固着方法に従って製造した本発
明によるＸ線ターゲット組立体を組込んだＸ線発生装置
の略配列接続図、第２図は、第１図に示しだＸ線発生装
置のＸ線ターゲット組立体の拡大断面図である。 符号の説明 ２４・・・ＸＩメタ−ゲット材　２８・・・支持部材２
９・・・底面（２４の第１面） ３０・・・取付け面（２８の第１面） ３６・・・ろう付け材。 （外５名）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）Ｘ線ターゲット部材を支持部材に固着する固着方法
   において、 該支持部材の第１面と該Ｘ線ターゲット部材の第１面と
   の間の界面に、該Ｘ線ターゲット部材の融点及び該支持
   部材の融点よりも融点の低いろう付け材を配し、 該ろう付け材の融点よりも低い温度で該ターゲット部材
   の該第１面と該支持部材の該第１面とに該ろう付け材を
   拡散させる 各工程から成る固着方法。 ２）前記の拡散工程が、 該ターゲット部材と該支持部材とをそれぞれの第１面の
   間において一緒に加圧し、 該ターゲット部材を加熱し、該界面の該ろう付け材に対
   して該ターゲット部材を膨張させる各工程から成る特許
   請求の範囲第１項記載の固着方法。 ３）前記加熱工程が、低電力の電子ビームをＸ線ターゲ
   ット部材に供給する工程を含む特許請求の範囲第２項記
   載の固着方法。 ４）前記加熱工程が、Ｘ線ターゲット部材を高周波の電
   磁界にさらす工程を含む特許請求の範囲第２項記載の固
   着方法。 ５）支時軸の横取付面にＸ線ターゲット部材を結合する
   方法において、 該横取付面にろう付け材を配し、 該ろう付け材及び該横取付面に該Ｘ線ターゲット部材を
   位置させ、 該取付面及び該Ｘ線ターゲット部材中に該ろう付け材を
   拡散させる 各工程から成る結合方法。 ６）該拡散工程が該ろう付け材及び該取付面に該Ｘ線タ
   ーゲット部材を固定させる工程と、該ターゲット部材を
   加熱して該ターゲット部材を該ろう材及び取付面に対し
   て膨張させる 工程とから成る特許請求の範囲第５項記載の結合方法。 ７）該ろう付け材の融点よりも低い温度に該Ｘ線ターゲ
   ット部材を加熱する特許請求の範囲第６項記載の結合方
   法。 ８）該Ｘ線ターゲット部材及び取付面が耐火金属から成
   る特許請求の範囲第５項記載の結合方法。 ９）該ろう付け材がパラジウム／コバルト系である特許
   請求の範囲第８項記載の結合方法。 １０）該ろう付け材がパラジウム／ニッケル系である特
   許請求の範囲第８項記載の結合方法。 １１）ねじ端部を有する支持部材にＸ線ターゲット部材
   を結合する方法において、 該支持部材の取付面上にＸ線ターゲット部材を位置させ
   、 該ねじ端部とそれを受けいれるためのナットとの間の界
   面にろう付け材を配し、 該ねじ端部に該ナットを固着し、該ナットを該Ｘ線ター
   ゲット部材に固着して該Ｘ線ターゲット部材を該取付面
   に固着し、 該ろう付け材の融点によりも低い温度に該Ｘ線ターゲッ
   ト部材を加熱して該ろう付け材を該ナット及び該ねじ端
   部に拡散させる 各工程から成る結合方法。 １２）Ｘ線ターゲット部材と、 該Ｘ線ターゲット部材を支持するための支持手段と、 該Ｘ線ターゲット部材を該支持手段に固着するための固
   着手段と、 を有し、該固着手段は、該Ｘ線ターゲット部材の第１面
   と該支持手段の第１面との間の界面に配されたろう付け
   材を含み、該ろう付け材の第１部分は、該Ｘ線ターゲッ
   ト部材の該第１面中に拡散され、該ろう付け材の第２部
   分は、該支持手段の該第１面中に拡散される、Ｘ線ター
   ゲット組立体。 １３）該Ｘ線ターゲット部材及び該支持手段が耐火金属
   からできており、該ろう付け材は、該耐火金属の融点よ
   りも低い融点をもつ特許請求の範囲第１２項記載のＸ線
   ターゲット組立体。 １４）前記支持手段が、ステムと、該ステムに対して横
   方向に配されたフランジ部分とを有し、前記Ｘ線ターゲ
   ット部材は、その開口を経て延長する該ステム及び該フ
   ランジ部分上に配された特許請求の範囲第１２項記載の
   Ｘ線ターゲット組立体。 １５）Ｘ線ターゲット部材と該フランジ部分との間の界
   面に前記ろう付け材を配した特許請求の範囲第１４項記
   載のＸ線ターゲット組立体。 １６）Ｘ線ターゲット部材と該ステムとの間の界面に前
   記ろう付け材を配した特許請求の範囲第１５項記載のＸ
   線ターゲット組立体。 １７）該ステムをねじ付けとし、該支持手段は、該ねじ
   付ステムを受入れるようにしたナットを含み、該ナット
   は、該Ｘ線ターゲット部材と係合するようにした特許請
   求の範囲第１４項記載のＸ線ターゲット組立体。 １８）該ナットと該Ｘ線ターゲット部材との間の界面に
   前記ろう付け材を配した特許請求の範囲第１７項記載の
   Ｘ線ターゲット組立体。 １９）該ステムのねじ付部分と該ナットとの間の界面に
   ろう付け材を配した特許請求の範囲第１８項記載のＸ線
   ターゲット組立体。 ２０）空気抜きしたエンベロープと、 該エンベロープ中に配設されて回転軸線の回りに回動可
   能とした、回動可能なＸ線ターゲット組立体と を有し、該Ｘ線ターゲット組立体は、 （ｉ）通し孔を備えたＸ線ターゲット部材と、（ｉｉ）
   該回転軸線に対して横方向に配された取付面と、該取付
   面上に配された該Ｘ線ターゲット部材の下面と、該Ｘ線
   ターゲット部材の該通し孔を経て該取付面から延長して
   いるねじ付ステムとを含む、支持部材と、 （ｉｉｉ）該ねじ付ステムを受入れるようにされ、該タ
   ーゲット部材の上面と係合するナットと、（ｉｖ）該Ｘ
   線ターゲット部材を該支持部材に固着するための固着手
   段と、 を有し、該固着手段は、該Ｘ線ターゲット部材の下面と
   該取付面との間に配されたろう付け材を含み、該ろう付
   け材の第２部分は該Ｘ線ターゲット部材中に拡散され、
   該ろう付け材の第２部分は該支持部材の取付面に拡散さ
   れる ようにしたＸ線筒。 ２１）該Ｘ線ターゲット部材と該支持部材とが、ＴＺＭ
   合金からできており、該ろう付け材はＴＺＭ合金よりも
   低融点の合金からできている特許請求の範囲第２０項記
   載のＸ線筒。 ２２）Ｘ線ターゲット部材を支持部材に固着するための
   固着方法において、 該Ｘ線のターゲット部材の融点及び支持部材の融点より
   も低い融点をもつたろう付け材を、該支持部材の第１面
   と該ターゲット部材の第１面との間の界面に配し、 該ろう材の融点よりも低い温度において前記２つの第１
   面のうち少くとも一方に該ろう材を拡散させる 各工程から成る固着方法。 ２３）Ｘ線ターゲット部材と、 該Ｘ線ターゲット部材の支持手段と、 該Ｘ線ターゲット部材を該支持手段に固着する固着手段
   と を含み、該固着手段は、該ターゲット部材の第１面と該
   支持手段の第１面との間の界面に配された材料を含み、
   該材料の一部分は、前記２つの第１面のうち少くとも一
   方に拡散される ようにしたＸ線ターゲット組立体。