JPH1074576A - イオン発生装置用放電電極 - Google Patents
イオン発生装置用放電電極Info
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- JPH1074576A JPH1074576A JP23184596A JP23184596A JPH1074576A JP H1074576 A JPH1074576 A JP H1074576A JP 23184596 A JP23184596 A JP 23184596A JP 23184596 A JP23184596 A JP 23184596A JP H1074576 A JPH1074576 A JP H1074576A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱応力による亀裂の発生等の不良原因をなく
し、かつ発塵を防止して放電電極の劣化を防ぐ。 【解決手段】 イオン発生装置本体に接続され、電圧の
印加によりイオンを発生するイオン発生装置用放電電極
に関する。基端部（ソケット挿入部１１ａ）がイオン発
生装置本体に接続される導電性の支持部材１１と、露出
した先端部２１ａからイオンを発生する導電性の放電部
材２１とを、樹脂を主成分とした導電性接着剤３１また
は導電性接続パイプ４１により接続する。
し、かつ発塵を防止して放電電極の劣化を防ぐ。 【解決手段】 イオン発生装置本体に接続され、電圧の
印加によりイオンを発生するイオン発生装置用放電電極
に関する。基端部（ソケット挿入部１１ａ）がイオン発
生装置本体に接続される導電性の支持部材１１と、露出
した先端部２１ａからイオンを発生する導電性の放電部
材２１とを、樹脂を主成分とした導電性接着剤３１また
は導電性接続パイプ４１により接続する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製品
等の静電気除去に使用されるイオン発生装置用の放電電
極に関する。
等の静電気除去に使用されるイオン発生装置用の放電電
極に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の放電電極は、タングステ
ン等の単一種類の金属を針状に加工して使用していた。
しかるに、金属製の放電電極に高電圧を印加して使用す
ると、電極表面に形成された酸化膜の絶縁破壊やスパッ
タリング現象による飛散により、著しい発塵を生じるこ
とが知られている。このため、放電電極の材料として
は、発塵量が少なく耐久性の高いシリコン等の非金属無
機質材料を用いることが望ましい。
ン等の単一種類の金属を針状に加工して使用していた。
しかるに、金属製の放電電極に高電圧を印加して使用す
ると、電極表面に形成された酸化膜の絶縁破壊やスパッ
タリング現象による飛散により、著しい発塵を生じるこ
とが知られている。このため、放電電極の材料として
は、発塵量が少なく耐久性の高いシリコン等の非金属無
機質材料を用いることが望ましい。
【０００３】一方、このように放電に対する耐久性の高
い材料が、必ずしも十分な機械的強度を有しているとは
限らない。例えば、上述したシリコンは一般にもろい材
料であるから、放電電極の製造中、使用中に破損するこ
ともあり得る。
い材料が、必ずしも十分な機械的強度を有しているとは
限らない。例えば、上述したシリコンは一般にもろい材
料であるから、放電電極の製造中、使用中に破損するこ
ともあり得る。
【０００４】この点に鑑み、放電部材としてのシリコン
を機械的強度の高い母材によって支持する複合構造の放
電電極が既に提案されている（「セラミックスエミッタ
の発塵と劣化のメカニズム」（エアロゾル研究 Vol.8,
No.1, 1993）参照）。この放電電極では、シリコンと熱
膨張率が近く、シリコンよりも機械的強度が高い導電性
材料として炭化珪素セラミックスを支持部材に使用して
いる。図１９は上述した複合構造の放電電極を示すもの
で、１０は炭化珪素セラミックスからなる支持部材、２
０はシリコンからなる放電部材であり、両部材１０，２
０は接合面を熔着して一体的に接続されている。
を機械的強度の高い母材によって支持する複合構造の放
電電極が既に提案されている（「セラミックスエミッタ
の発塵と劣化のメカニズム」（エアロゾル研究 Vol.8,
No.1, 1993）参照）。この放電電極では、シリコンと熱
膨張率が近く、シリコンよりも機械的強度が高い導電性
材料として炭化珪素セラミックスを支持部材に使用して
いる。図１９は上述した複合構造の放電電極を示すもの
で、１０は炭化珪素セラミックスからなる支持部材、２
０はシリコンからなる放電部材であり、両部材１０，２
０は接合面を熔着して一体的に接続されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１９
に示した構造の放電電極は、支持部材１０と放電部材２
０との熱膨張率が近いとはいえ完全に同一ではない。こ
のため、両部材１０，２０を高温で熔着した後に冷却す
ると、接合界面に大きな熱応力が発生し、亀裂が生じて
不良の原因となっていた。例えば、両部材１０，２０に
熱膨張率の近い材料を使用しても、１４５０℃程度で熔
着して冷却すると、接合界面に亀裂が発生することがあ
る。
に示した構造の放電電極は、支持部材１０と放電部材２
０との熱膨張率が近いとはいえ完全に同一ではない。こ
のため、両部材１０，２０を高温で熔着した後に冷却す
ると、接合界面に大きな熱応力が発生し、亀裂が生じて
不良の原因となっていた。例えば、両部材１０，２０に
熱膨張率の近い材料を使用しても、１４５０℃程度で熔
着して冷却すると、接合界面に亀裂が発生することがあ
る。
【０００６】そこで本発明は、発塵をなくすのは勿論の
こと、亀裂等による不良の発生を極力防ぐことができる
イオン発生装置用放電電極を提供しようとするものであ
る。
こと、亀裂等による不良の発生を極力防ぐことができる
イオン発生装置用放電電極を提供しようとするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、基端部がイオン発生装置本
体に接続される導電性の支持部材と、露出した先端部か
らイオンを発生する導電性の放電部材とを、樹脂を主成
分とした導電性接着剤により接続したことを特徴とす
る。
め、請求項１記載の発明は、基端部がイオン発生装置本
体に接続される導電性の支持部材と、露出した先端部か
らイオンを発生する導電性の放電部材とを、樹脂を主成
分とした導電性接着剤により接続したことを特徴とす
る。
【０００８】請求項２記載の発明は、基端部がイオン発
生装置本体に接続される導電性の支持部材と、露出した
先端部からイオンを発生する導電性の放電部材とを、導
電性接続パイプにより接続したことを特徴とする。
生装置本体に接続される導電性の支持部材と、露出した
先端部からイオンを発生する導電性の放電部材とを、導
電性接続パイプにより接続したことを特徴とする。
【０００９】請求項３記載の発明は、請求項２記載のイ
オン発生装置用放電電極において、前記導電性接続パイ
プが、支持部材及び放電部材の位置決め用ストッパーと
しての凹部を有することを特徴とする。
オン発生装置用放電電極において、前記導電性接続パイ
プが、支持部材及び放電部材の位置決め用ストッパーと
しての凹部を有することを特徴とする。
【００１０】請求項４記載の発明は、基端部がイオン発
生装置本体に接続される導電性の支持部材と、露出した
先端部からイオンを発生する導電性の放電部材とを、樹
脂を主成分とした接着剤により接続すると共に、この接
着剤による接続部の周囲を接続パイプにより包囲し、少
なくとも前記接着剤または接続パイプの一方を導電性材
料により形成したことを特徴とする。
生装置本体に接続される導電性の支持部材と、露出した
先端部からイオンを発生する導電性の放電部材とを、樹
脂を主成分とした接着剤により接続すると共に、この接
着剤による接続部の周囲を接続パイプにより包囲し、少
なくとも前記接着剤または接続パイプの一方を導電性材
料により形成したことを特徴とする。
【００１１】請求項５記載の発明は、請求項１，２，３
または４記載のイオン発生装置用放電電極において、少
なくとも支持部材と放電部材との接続部、具体的には、
この接続部の周辺のみか、あるいは放電部材の先端部及
び支持部材の基端部であるイオン発生装置本体側のソケ
ットへの挿入部以外の部分を、絶縁性の発塵防止用樹脂
封止材により封止したことを特徴とする。
または４記載のイオン発生装置用放電電極において、少
なくとも支持部材と放電部材との接続部、具体的には、
この接続部の周辺のみか、あるいは放電部材の先端部及
び支持部材の基端部であるイオン発生装置本体側のソケ
ットへの挿入部以外の部分を、絶縁性の発塵防止用樹脂
封止材により封止したことを特徴とする。
【００１２】請求項６記載の発明は、請求項１記載のイ
オン発生装置用放電電極において、前記支持部材の端面
に穴部を形成し、この穴部に導電性接着剤を介して放電
部材の基端部を接続すると共に、少なくとも前記接着剤
による接続部を絶縁性の発塵防止用樹脂封止材により封
止したことを特徴とする。
オン発生装置用放電電極において、前記支持部材の端面
に穴部を形成し、この穴部に導電性接着剤を介して放電
部材の基端部を接続すると共に、少なくとも前記接着剤
による接続部を絶縁性の発塵防止用樹脂封止材により封
止したことを特徴とする。
【００１３】請求項７記載の発明は、一端部がイオン発
生装置本体に接続される導電性かつパイプ状の支持部材
の他端部に、露出した先端部からイオンを発生する導電
性の放電部材の基端部を接続すると共に、少なくとも支
持部材と放電部材との接続部、具体的には、この接続部
の周辺のみか、あるいは放電部材の先端部及び支持部材
の基端部であるイオン発生装置本体側のソケットへの挿
入部以外の部分を、絶縁性の発塵防止用樹脂封止材によ
り封止したことを特徴とする。
生装置本体に接続される導電性かつパイプ状の支持部材
の他端部に、露出した先端部からイオンを発生する導電
性の放電部材の基端部を接続すると共に、少なくとも支
持部材と放電部材との接続部、具体的には、この接続部
の周辺のみか、あるいは放電部材の先端部及び支持部材
の基端部であるイオン発生装置本体側のソケットへの挿
入部以外の部分を、絶縁性の発塵防止用樹脂封止材によ
り封止したことを特徴とする。
【００１４】請求項８記載の発明は、請求項７記載のイ
オン発生装置用放電電極において、前記支持部材が、放
電部材の位置決め用ストッパーとしての凹部を有するこ
とを特徴とする。
オン発生装置用放電電極において、前記支持部材が、放
電部材の位置決め用ストッパーとしての凹部を有するこ
とを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。図１は本発明の第１実施形態を示す縦断
面図であり、請求項１記載の発明の実施形態を示してい
る。図において、１１は炭化珪素セラミックス等の導電
性セラミックスや機械的強度の高い金属からなるほぼ円
柱状の支持部材、２１はシリコン等の導電性セラミック
スや発塵しにくい金属からなる針状の放電部材である。
態を説明する。図１は本発明の第１実施形態を示す縦断
面図であり、請求項１記載の発明の実施形態を示してい
る。図において、１１は炭化珪素セラミックス等の導電
性セラミックスや機械的強度の高い金属からなるほぼ円
柱状の支持部材、２１はシリコン等の導電性セラミック
スや発塵しにくい金属からなる針状の放電部材である。
【００１６】なお、１１ａは、イオン発生装置本体と放
電電極とを電気的に接続するために本体側に設けられた
ソケットへ挿入するソケット挿入部であり、支持部材１
１の基端部に相当している。また、２１ａはイオン発生
を受け持つ先端部であり、最先端に向かうに従って直径
が徐々に細くなっている部分である。ここで、支持部材
１１と放電部材２１とは、例えば銀ペーストのように樹
脂を主成分とする導電性接着剤３１によって同軸上に接
続されている。
電電極とを電気的に接続するために本体側に設けられた
ソケットへ挿入するソケット挿入部であり、支持部材１
１の基端部に相当している。また、２１ａはイオン発生
を受け持つ先端部であり、最先端に向かうに従って直径
が徐々に細くなっている部分である。ここで、支持部材
１１と放電部材２１とは、例えば銀ペーストのように樹
脂を主成分とする導電性接着剤３１によって同軸上に接
続されている。
【００１７】この実施形態によれば、支持部材１１と放
電部材２１とを低温雰囲気のもとで導電性接着剤３１を
用いて接続することができる。すなわち、従来のように
高温で熔着し冷却する工程が不要になるので、支持部材
１１と放電部材２１との熱膨張率の相違に起因する熱応
力、亀裂の発生を未然に防止することができる。また、
導電性接着剤３１に含まれる樹脂は変形しやすいため、
高電圧の印加により支持部材１１や放電部材２１に応力
が発生しても、これを接着剤３１によって吸収すること
が可能である。
電部材２１とを低温雰囲気のもとで導電性接着剤３１を
用いて接続することができる。すなわち、従来のように
高温で熔着し冷却する工程が不要になるので、支持部材
１１と放電部材２１との熱膨張率の相違に起因する熱応
力、亀裂の発生を未然に防止することができる。また、
導電性接着剤３１に含まれる樹脂は変形しやすいため、
高電圧の印加により支持部材１１や放電部材２１に応力
が発生しても、これを接着剤３１によって吸収すること
が可能である。
【００１８】図２、図３は本発明の第２実施形態であ
り、請求項２記載の発明の実施形態に相当する。この実
施形態は、支持部材１１と放電部材２１との間に若干の
隙間を保有させて両部材１１，２１の外周面を銅等の導
電性接続パイプ４１により包囲して接続したもので、図
２は分解斜視図、図３は縦断面図である。本実施形態に
おいて、高電圧印加時に発生した応力は接続パイプ４１
及び上記隙間により吸収される。なお、支持部材１１と
放電部材２１とは隙間を設けずに密着して連結しても良
い。
り、請求項２記載の発明の実施形態に相当する。この実
施形態は、支持部材１１と放電部材２１との間に若干の
隙間を保有させて両部材１１，２１の外周面を銅等の導
電性接続パイプ４１により包囲して接続したもので、図
２は分解斜視図、図３は縦断面図である。本実施形態に
おいて、高電圧印加時に発生した応力は接続パイプ４１
及び上記隙間により吸収される。なお、支持部材１１と
放電部材２１とは隙間を設けずに密着して連結しても良
い。
【００１９】図４、図５は本発明の第３実施形態を示し
ており、図４は分解斜視図、図５は縦断面図である。こ
の実施形態は、請求項３記載の発明の実施形態に相当す
る。この実施形態は、支持部材１１と放電部材２１とを
接続する導電性接続パイプ４２の軸方向ほぼ中央に凹部
４２ａを周設したものである。この凹部４２ａは、図示
するように接続パイプ４２の全周にわたって形成しても
良いし、周方向の一部に形成しても良い。本実施形態に
よれば、接続パイプ４２の内側に凹部４２ａが突出した
構造となるので、この部分が、支持部材１１及び放電部
材２１を接続パイプ４２に挿入する際の位置決め用スト
ッパーとして機能し、製造・組立作業を容易にすること
ができる。
ており、図４は分解斜視図、図５は縦断面図である。こ
の実施形態は、請求項３記載の発明の実施形態に相当す
る。この実施形態は、支持部材１１と放電部材２１とを
接続する導電性接続パイプ４２の軸方向ほぼ中央に凹部
４２ａを周設したものである。この凹部４２ａは、図示
するように接続パイプ４２の全周にわたって形成しても
良いし、周方向の一部に形成しても良い。本実施形態に
よれば、接続パイプ４２の内側に凹部４２ａが突出した
構造となるので、この部分が、支持部材１１及び放電部
材２１を接続パイプ４２に挿入する際の位置決め用スト
ッパーとして機能し、製造・組立作業を容易にすること
ができる。
【００２０】次に、図６は本発明の第４実施形態を示す
縦断面図であり、請求項４記載の発明の実施形態に相当
する。この実施形態は、支持部材１１と放電部材２１と
の接続に樹脂を主成分とする接着剤３２と接続パイプ４
３とを併用したものであり、接着剤３２または接続パイ
プ４３の何れか一方が導電性を有していればよい。勿
論、両者が導電性を有していても差し支えない。
縦断面図であり、請求項４記載の発明の実施形態に相当
する。この実施形態は、支持部材１１と放電部材２１と
の接続に樹脂を主成分とする接着剤３２と接続パイプ４
３とを併用したものであり、接着剤３２または接続パイ
プ４３の何れか一方が導電性を有していればよい。勿
論、両者が導電性を有していても差し支えない。
【００２１】本実施形態では、例えば接着剤３２を端面
に塗布した支持部材１１を接続パイプ４３内に一端から
挿入し、他端から放電部材２１を挿入して全体を組み立
てる。このように接着剤３２を併用することで、製造中
に各部材１１，２１が脱落するおそれもなく作業性が向
上すると共に、強固かつ万全な接続状態を得ることがで
きる。加えて、接続パイプ４３は、接着剤３２からの発
塵を遮蔽する作用も果たす。
に塗布した支持部材１１を接続パイプ４３内に一端から
挿入し、他端から放電部材２１を挿入して全体を組み立
てる。このように接着剤３２を併用することで、製造中
に各部材１１，２１が脱落するおそれもなく作業性が向
上すると共に、強固かつ万全な接続状態を得ることがで
きる。加えて、接続パイプ４３は、接着剤３２からの発
塵を遮蔽する作用も果たす。
【００２２】図７は、本発明の第５実施形態を示す縦断
面図であり、請求項５記載の発明の実施形態に相当す
る。図１に示した実施形態では、応力による亀裂の発生
等を確実に防止することが可能であるが、その反面、高
電圧を印加した際に接着剤から発塵するおそれが出てく
る。そこでこの第５実施形態では、導電性接着剤３１に
よる支持部材１１と放電部材２１との接続部を絶縁性樹
脂を主成分とする発塵防止用樹脂封止材５１によって封
止することにより、接着剤３１からの発塵を防ぐことと
した。
面図であり、請求項５記載の発明の実施形態に相当す
る。図１に示した実施形態では、応力による亀裂の発生
等を確実に防止することが可能であるが、その反面、高
電圧を印加した際に接着剤から発塵するおそれが出てく
る。そこでこの第５実施形態では、導電性接着剤３１に
よる支持部材１１と放電部材２１との接続部を絶縁性樹
脂を主成分とする発塵防止用樹脂封止材５１によって封
止することにより、接着剤３１からの発塵を防ぐことと
した。
【００２３】発塵防止用樹脂封止材５１による接続部の
封止は、コーティングにより行うことも可能であるが、
放電電極の量産性を考慮すると、インジェクションモー
ルドによることが望ましい。具体的には、接着剤３１に
より接続された支持部材１１及び放電部材２１を金型内
に配置し、接続部の周囲に溶融状態の発塵防止用樹脂封
止材５１を流し込んで冷却、固化させればよい。この封
止材５１も樹脂を主成分としているので、高電圧印加時
に支持部材１１や放電部材２１に応力が発生しても、こ
れを吸収することができる。
封止は、コーティングにより行うことも可能であるが、
放電電極の量産性を考慮すると、インジェクションモー
ルドによることが望ましい。具体的には、接着剤３１に
より接続された支持部材１１及び放電部材２１を金型内
に配置し、接続部の周囲に溶融状態の発塵防止用樹脂封
止材５１を流し込んで冷却、固化させればよい。この封
止材５１も樹脂を主成分としているので、高電圧印加時
に支持部材１１や放電部材２１に応力が発生しても、こ
れを吸収することができる。
【００２４】図８は、本発明の第６実施形態を示す縦断
面図であり、図７と同様に請求項５記載の発明の実施形
態に相当する。この実施形態は、放電部材２１の先端部
２１ａと支持部材１１の基端部であるソケット挿入部１
１ａとを除いた部分のすべてを発塵防止用樹脂封止材５
１によって封止し、導電性接着剤３１からの発塵を一層
確実に防止するようにしたものである。
面図であり、図７と同様に請求項５記載の発明の実施形
態に相当する。この実施形態は、放電部材２１の先端部
２１ａと支持部材１１の基端部であるソケット挿入部１
１ａとを除いた部分のすべてを発塵防止用樹脂封止材５
１によって封止し、導電性接着剤３１からの発塵を一層
確実に防止するようにしたものである。
【００２５】ここで、上記先端部２１ａはイオンが発生
する部分であるため封止材５１により封止せずに露出さ
せておく必要があり、また、ソケット挿入部１１ａはソ
ケットへの挿入のためにやはり露出させておく必要があ
る。この実施形態では、封止材５１によって接着剤３１
からの発塵が確実に防止され、かつ、封止材５１による
応力吸収作用が期待できると共に、封止材５１が支持部
材１１及び放電部材２１の両者を確実に連結する接続部
材としての機能も持ち、放電電極の機械的強度を向上さ
せる効果がある。
する部分であるため封止材５１により封止せずに露出さ
せておく必要があり、また、ソケット挿入部１１ａはソ
ケットへの挿入のためにやはり露出させておく必要があ
る。この実施形態では、封止材５１によって接着剤３１
からの発塵が確実に防止され、かつ、封止材５１による
応力吸収作用が期待できると共に、封止材５１が支持部
材１１及び放電部材２１の両者を確実に連結する接続部
材としての機能も持ち、放電電極の機械的強度を向上さ
せる効果がある。
【００２６】図９は本発明の第７実施形態を示す縦断面
図であり、上記同様に請求項５記載の発明の実施形態に
相当する。この実施形態は、図２、図３の実施形態にお
いて、導電性接続パイプ４１の周囲を発塵防止用樹脂封
止材５１によって封止したものである。また、図１０は
本発明の第８実施形態を示す縦断面図であり、同じく請
求項５記載の発明の実施形態に相当する。すなわち、図
２、図３の実施形態において、放電部材２１の先端部２
１ａと支持部材１１のソケット挿入部１１ａとを除いた
部分を発塵防止用樹脂封止材５１によって封止したもの
である。
図であり、上記同様に請求項５記載の発明の実施形態に
相当する。この実施形態は、図２、図３の実施形態にお
いて、導電性接続パイプ４１の周囲を発塵防止用樹脂封
止材５１によって封止したものである。また、図１０は
本発明の第８実施形態を示す縦断面図であり、同じく請
求項５記載の発明の実施形態に相当する。すなわち、図
２、図３の実施形態において、放電部材２１の先端部２
１ａと支持部材１１のソケット挿入部１１ａとを除いた
部分を発塵防止用樹脂封止材５１によって封止したもの
である。
【００２７】これらの実施形態によれば、少なくとも導
電性接続パイプ４１による接続部を含む領域を封止材１
にて封止することにより、接続パイプ４１からの発塵を
防止し、しかも応力の吸収、機械的強度の向上を図るこ
とができる。
電性接続パイプ４１による接続部を含む領域を封止材１
にて封止することにより、接続パイプ４１からの発塵を
防止し、しかも応力の吸収、機械的強度の向上を図るこ
とができる。
【００２８】図１１は本発明の第９実施形態を示す縦断
面図であり、同じく請求項５記載の発明の実施形態に相
当する。この実施形態は、図４、図５の実施形態におい
て、導電性接続パイプ４２の周囲を発塵防止用樹脂封止
材５１によって包囲したものである。更に、図１２は本
発明の第１０実施形態を示す縦断面図であり、同じく請
求項５記載の発明の実施形態に相当する。この実施形態
は、図４、図５の実施形態において、放電部材２１の先
端部２１ａと支持部材１１のソケット挿入部１１ａとを
除いた部分を発塵防止用樹脂封止材５１によって封止し
たものである。これらの実施形態においても、接続パイ
プ４２からの発塵を封止材５１により防止し、しかも応
力の吸収、機械的強度の向上を図ることができる。
面図であり、同じく請求項５記載の発明の実施形態に相
当する。この実施形態は、図４、図５の実施形態におい
て、導電性接続パイプ４２の周囲を発塵防止用樹脂封止
材５１によって包囲したものである。更に、図１２は本
発明の第１０実施形態を示す縦断面図であり、同じく請
求項５記載の発明の実施形態に相当する。この実施形態
は、図４、図５の実施形態において、放電部材２１の先
端部２１ａと支持部材１１のソケット挿入部１１ａとを
除いた部分を発塵防止用樹脂封止材５１によって封止し
たものである。これらの実施形態においても、接続パイ
プ４２からの発塵を封止材５１により防止し、しかも応
力の吸収、機械的強度の向上を図ることができる。
【００２９】なお、図示されていないが、図６に示した
ごとく接着剤３２及び接続パイプ４３を併用する実施形
態についても、接続パイプ４３の周囲のみを発塵防止用
樹脂封止材５１により封止し、あるいは、前記先端部２
１ａ及びソケット挿入部１１ａを除いた部分を封止材５
１によって封止しても良い。
ごとく接着剤３２及び接続パイプ４３を併用する実施形
態についても、接続パイプ４３の周囲のみを発塵防止用
樹脂封止材５１により封止し、あるいは、前記先端部２
１ａ及びソケット挿入部１１ａを除いた部分を封止材５
１によって封止しても良い。
【００３０】次に、図１３は本発明の第１１実施形態を
示す縦断面図であり、請求項６記載の発明の実施形態に
相当する。この実施形態は、放電部材２１よりも直径が
大きい支持部材１２の端面に穴部１２ｂを形成し、この
穴部１２ｂ内に導電性接着剤３１を介して放電部材２１
の基端部を接着すると共に、この接続部を発塵防止用樹
脂封止材５１によって封止したものである。なお、穴部
１２ｂの直径を放電部材２１の直径にほぼ等しくして放
電部材２１の基端部を穴部１２ｂに嵌合させるような構
造とすれば、導電性接着剤３１を用いなくても支持部材
１２への放電部材２１の接続が可能になる。
示す縦断面図であり、請求項６記載の発明の実施形態に
相当する。この実施形態は、放電部材２１よりも直径が
大きい支持部材１２の端面に穴部１２ｂを形成し、この
穴部１２ｂ内に導電性接着剤３１を介して放電部材２１
の基端部を接着すると共に、この接続部を発塵防止用樹
脂封止材５１によって封止したものである。なお、穴部
１２ｂの直径を放電部材２１の直径にほぼ等しくして放
電部材２１の基端部を穴部１２ｂに嵌合させるような構
造とすれば、導電性接着剤３１を用いなくても支持部材
１２への放電部材２１の接続が可能になる。
【００３１】図１４は本発明の第１２実施形態を示す縦
断面図であり、図１３と同様に請求項６記載の発明の実
施形態に相当する。この実施形態は、支持部材１２と放
電部材２１との接続構造を図１３の実施形態と同様にし
たうえで、放電部材２１の先端部２１ａと支持部材１２
のソケット挿入部１２ａとを除いた部分を発塵防止用樹
脂封止材５１によって封止したものである。この実施形
態でも、放電部材２１の基端部を穴部１２ｂに嵌合させ
る構造とすれば、導電性接着剤３１を省略可能である。
断面図であり、図１３と同様に請求項６記載の発明の実
施形態に相当する。この実施形態は、支持部材１２と放
電部材２１との接続構造を図１３の実施形態と同様にし
たうえで、放電部材２１の先端部２１ａと支持部材１２
のソケット挿入部１２ａとを除いた部分を発塵防止用樹
脂封止材５１によって封止したものである。この実施形
態でも、放電部材２１の基端部を穴部１２ｂに嵌合させ
る構造とすれば、導電性接着剤３１を省略可能である。
【００３２】これら図１３、図１４の実施形態によれ
ば、導電性接着剤３１からの発塵を封止材５１により防
止し、しかも応力の吸収、機械的強度の向上を図ること
ができる。
ば、導電性接着剤３１からの発塵を封止材５１により防
止し、しかも応力の吸収、機械的強度の向上を図ること
ができる。
【００３３】図１５は本発明の第１３実施形態を示す縦
断面図であり、請求項７記載の発明の実施形態に相当す
る。この実施形態は、内径が放電部材２１の直径よりも
僅かに大きいパイプ状の支持部材１３を形成し、その下
端部に放電部材２１の基端部を嵌合して接続すると共
に、両者の接続部を発塵防止用樹脂封止材５１によって
封止したものである。
断面図であり、請求項７記載の発明の実施形態に相当す
る。この実施形態は、内径が放電部材２１の直径よりも
僅かに大きいパイプ状の支持部材１３を形成し、その下
端部に放電部材２１の基端部を嵌合して接続すると共
に、両者の接続部を発塵防止用樹脂封止材５１によって
封止したものである。
【００３４】更に、図１６は本発明の第１４実施形態を
示す縦断面図であり、図１５と同様に請求項７記載の発
明の実施形態に相当する。この実施形態は、支持部材１
３と放電部材２１との接続構造を図１５の実施形態と同
様にしたうえで、放電部材２１の先端部２１ａと支持部
材１３のソケット挿入部１３ａとを除いた部分を発塵防
止用樹脂封止材５１によって封止したものである。
示す縦断面図であり、図１５と同様に請求項７記載の発
明の実施形態に相当する。この実施形態は、支持部材１
３と放電部材２１との接続構造を図１５の実施形態と同
様にしたうえで、放電部材２１の先端部２１ａと支持部
材１３のソケット挿入部１３ａとを除いた部分を発塵防
止用樹脂封止材５１によって封止したものである。
【００３５】上記図１５、図１６の実施形態によれば、
放電部材２１や支持部材１３からの発塵を封止材５１に
より防止し、応力の吸収、機械的強度の向上を図ること
ができる。なお、これらの実施形態において、支持部材
１３と放電部材２１との接合面に導電性接着剤３１を塗
布しても良い。
放電部材２１や支持部材１３からの発塵を封止材５１に
より防止し、応力の吸収、機械的強度の向上を図ること
ができる。なお、これらの実施形態において、支持部材
１３と放電部材２１との接合面に導電性接着剤３１を塗
布しても良い。
【００３６】次に、図１７は本発明の第１５実施形態を
示す縦断面図であり、請求項８記載の発明の実施形態に
相当する。この実施形態は、パイプ状の支持部材１４の
下端部近傍に全周にわたって凹部１４ｂを形成し、この
凹部１４ｂの下方に放電部材２１の基端部を嵌合して接
続すると共に、両者の接続部を図１５と同様に発塵防止
用樹脂封止材５１によって封止したものである。
示す縦断面図であり、請求項８記載の発明の実施形態に
相当する。この実施形態は、パイプ状の支持部材１４の
下端部近傍に全周にわたって凹部１４ｂを形成し、この
凹部１４ｂの下方に放電部材２１の基端部を嵌合して接
続すると共に、両者の接続部を図１５と同様に発塵防止
用樹脂封止材５１によって封止したものである。
【００３７】また、図１８は本発明の第１６実施形態を
示す縦断面図であり、図１７と同様に請求項８記載の発
明の実施形態に相当する。この実施形態では、支持部材
１４と放電部材２１との接続構造を図１７の実施形態と
同様にしたうえで、放電部材２１の先端部２１ａと支持
部材１４のソケット挿入部１４ａとを除いた部分を発塵
防止用樹脂封止材５１によって封止してある。
示す縦断面図であり、図１７と同様に請求項８記載の発
明の実施形態に相当する。この実施形態では、支持部材
１４と放電部材２１との接続構造を図１７の実施形態と
同様にしたうえで、放電部材２１の先端部２１ａと支持
部材１４のソケット挿入部１４ａとを除いた部分を発塵
防止用樹脂封止材５１によって封止してある。
【００３８】上記図１７、図１８の実施形態において
も、放電部材２１や支持部材１４からの発塵を封止材５
１により防止し、応力の吸収、機械的強度の向上を図る
ことができる。同時に、支持部材１４の凹部１４ｂによ
って放電部材２１の位置決めが可能になり、組立時の作
業性が向上する。また、これらの実施形態において、支
持部材１４と放電部材２１との接合面に導電性接着剤３
１を塗布しても良い。
も、放電部材２１や支持部材１４からの発塵を封止材５
１により防止し、応力の吸収、機械的強度の向上を図る
ことができる。同時に、支持部材１４の凹部１４ｂによ
って放電部材２１の位置決めが可能になり、組立時の作
業性が向上する。また、これらの実施形態において、支
持部材１４と放電部材２１との接合面に導電性接着剤３
１を塗布しても良い。
【００３９】なお、上述した各実施形態はあくまで本発
明の実施の態様を例示したものであり、支持部材や放電
部材の形状、構造等はこれらに何ら限定されるものでは
ない。
明の実施の態様を例示したものであり、支持部材や放電
部材の形状、構造等はこれらに何ら限定されるものでは
ない。
【００４０】
【発明の効果】以上のように本発明は、導電性の支持部
材と放電部材とを導電性接着剤や導電性接続パイプによ
り接続し、あるいはパイプ状の支持部材に放電部材を接
続すると共に、これらの接続部を必要に応じて発塵防止
用樹脂封止材により封止するものである。これにより、
従来のような熱応力に起因する亀裂の発生、不良品の発
生を防止すると共に、発塵を防いで放電電極の劣化を防
止し、その寿命を延長させることができる。
材と放電部材とを導電性接着剤や導電性接続パイプによ
り接続し、あるいはパイプ状の支持部材に放電部材を接
続すると共に、これらの接続部を必要に応じて発塵防止
用樹脂封止材により封止するものである。これにより、
従来のような熱応力に起因する亀裂の発生、不良品の発
生を防止すると共に、発塵を防いで放電電極の劣化を防
止し、その寿命を延長させることができる。
【図１】本発明の第１実施形態を示す縦断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態を示す分解斜視図であ
る。
る。
【図３】本発明の第２実施形態を示す縦断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態を示す分解斜視図であ
る。
る。
【図５】本発明の第３実施形態を示す縦断面図である。
【図６】本発明の第４実施形態を示す縦断面図である。
【図７】本発明の第５実施形態を示す縦断面図である。
【図８】本発明の第６実施形態を示す縦断面図である。
【図９】本発明の第７実施形態を示す縦断面図である。
【図１０】本発明の第８実施形態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１１】本発明の第９実施形態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１２】本発明の第１０実施形態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１３】本発明の第１１実施形態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１４】本発明の第１２実施形態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１５】本発明の第１３実施形態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１６】本発明の第１４実施形態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１７】本発明の第１５実施形態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１８】本発明の第１６実施形態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図１９】従来技術を示す正面図である。
１１，１２，１３，１４ 支持部材 １１ａ，１２ａ，１３ａ，１４ａ ソケット挿入部 １２ｂ 穴部 １４ｂ 凹部 ２１ 放電部材 ２１ａ 先端部 ３１ 導電性接着剤 ３２ 接着剤 ４１，４２ 導電性接続パイプ ４２ａ 凹部 ４３ 接続パイプ ５１ 発塵防止用樹脂封止材
Claims (8)
- 【請求項１】 イオン発生装置本体に接続され、電圧の
印加によりイオンを発生するイオン発生装置用放電電極
において、 基端部がイオン発生装置本体に接続される導電性の支持
部材と、露出した先端部からイオンを発生する導電性の
放電部材とを、樹脂を主成分とした導電性接着剤により
接続したことを特徴とするイオン発生装置用放電電極。 - 【請求項２】 イオン発生装置本体に接続され、電圧の
印加によりイオンを発生するイオン発生装置用放電電極
において、 基端部がイオン発生装置本体に接続される導電性の支持
部材と、露出した先端部からイオンを発生する導電性の
放電部材とを、導電性接続パイプにより接続したことを
特徴とするイオン発生装置用放電電極。 - 【請求項３】 請求項２記載のイオン発生装置用放電電
極において、 前記導電性接続パイプが、支持部材及び放電部材の位置
決め用ストッパーとしての凹部を有することを特徴とす
るイオン発生装置用放電電極。 - 【請求項４】 イオン発生装置本体に接続され、電圧の
印加によりイオンを発生するイオン発生装置用放電電極
において、 基端部がイオン発生装置本体に接続される導電性の支持
部材と、露出した先端部からイオンを発生する導電性の
放電部材とを、樹脂を主成分とした接着剤により接続す
ると共に、この接着剤による接続部の周囲を接続パイプ
により包囲し、少なくとも前記接着剤または接続パイプ
の一方を導電性材料により形成したことを特徴とするイ
オン発生装置用放電電極。 - 【請求項５】 請求項１，２，３または４記載のイオン
発生装置用放電電極において、 少なくとも支持部材と放電部材との接続部を絶縁性の発
塵防止用樹脂封止材により封止したことを特徴とするイ
オン発生装置用放電電極。 - 【請求項６】 請求項１記載のイオン発生装置用放電電
極において、 前記支持部材の端面に穴部を形成し、この穴部に導電性
接着剤を介して放電部材の基端部を接続すると共に、少
なくとも前記接着剤による接続部を絶縁性の発塵防止用
樹脂封止材により封止したことを特徴とするイオン発生
装置用放電電極。 - 【請求項７】 イオン発生装置本体に接続され、電圧の
印加によりイオンを発生するイオン発生装置用放電電極
において、 一端部がイオン発生装置本体に接続される導電性かつパ
イプ状の支持部材の他端部に、露出した先端部からイオ
ンを発生する導電性の放電部材の基端部を接続すると共
に、少なくとも支持部材と放電部材との接続部を絶縁性
の発塵防止用樹脂封止材により封止したことを特徴とす
るイオン発生装置用放電電極。 - 【請求項８】 請求項７記載のイオン発生装置用放電電
極において、 前記支持部材が、放電部材の位置決め用ストッパーとし
ての凹部を有することを特徴とするイオン発生装置用放
電電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23184596A JPH1074576A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | イオン発生装置用放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23184596A JPH1074576A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | イオン発生装置用放電電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1074576A true JPH1074576A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=16929921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23184596A Withdrawn JPH1074576A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | イオン発生装置用放電電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1074576A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007134141A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Keyence Corp | イオン化装置の電極針ユニットおよびイオン化装置 |
| WO2009090965A1 (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-23 | Tokai Industry Corp. | イオナイザー |
| JP2011251214A (ja) * | 2010-05-31 | 2011-12-15 | Toshiba Corp | 静電霧化装置および電気掃除機 |
| JP2013200967A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-10-03 | Techno Ryowa Ltd | イオナイザー電極 |
| US20180053621A1 (en) * | 2015-09-02 | 2018-02-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ion generation device, method for producing ion generating device, and electrical device |
| CN111589670A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-08-28 | 深圳至峰精密制造有限公司 | 用于组装离子发生器的喷胶方法 |
| US10910186B2 (en) | 2015-08-05 | 2021-02-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ion generation device with brush-like discharge electrodes |
-
1996
- 1996-09-02 JP JP23184596A patent/JPH1074576A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007134141A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Keyence Corp | イオン化装置の電極針ユニットおよびイオン化装置 |
| WO2009090965A1 (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-23 | Tokai Industry Corp. | イオナイザー |
| JP2011251214A (ja) * | 2010-05-31 | 2011-12-15 | Toshiba Corp | 静電霧化装置および電気掃除機 |
| JP2013200967A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-10-03 | Techno Ryowa Ltd | イオナイザー電極 |
| US10910186B2 (en) | 2015-08-05 | 2021-02-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ion generation device with brush-like discharge electrodes |
| US20180053621A1 (en) * | 2015-09-02 | 2018-02-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ion generation device, method for producing ion generating device, and electrical device |
| US10748733B2 (en) * | 2015-09-02 | 2020-08-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Ion generation device, method for producing ion generating device, and electrical device |
| CN111589670A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-08-28 | 深圳至峰精密制造有限公司 | 用于组装离子发生器的喷胶方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031104 |