JPS6020434A - Ｘ線管用回転陽極複合タ−ゲツト - Google Patents
Ｘ線管用回転陽極複合タ−ゲツトInfo
- Publication number
- JPS6020434A JPS6020434A JP12620183A JP12620183A JPS6020434A JP S6020434 A JPS6020434 A JP S6020434A JP 12620183 A JP12620183 A JP 12620183A JP 12620183 A JP12620183 A JP 12620183A JP S6020434 A JPS6020434 A JP S6020434A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tungsten
- graphite
- alloy
- target
- composite target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
- H01J35/108—Substrates for and bonding of emissive target, e.g. composite structures
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はＸ線管用回転陽極ターゲットに係り、特に４０
〜５０重猷チＷ−ＣＯ合金及び４０〜５０重量％Ｗ−Ｎ
ｉ合金ろうを用いた高密度黒鉛／タングステン及びタン
グステン−レニウム合金の複合ターゲットに関するもの
である。
〜５０重猷チＷ−ＣＯ合金及び４０〜５０重量％Ｗ−Ｎ
ｉ合金ろうを用いた高密度黒鉛／タングステン及びタン
グステン−レニウム合金の複合ターゲットに関するもの
である。
タングステンは高密度、高融点のためにＸ線管用ターゲ
ットとして使用されているが、医療機器のＸ線ＣＴ （
Ｃｏｍｐｕｔｅｄ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）に使用され
ているＸ線管は画像の鮮明化と高効率化のために大容量
のものが要求されている。しかし従来のターゲットは電
子照射面のみをタングステンあるいはタングステンに少
鼠のレニウム、オスニウムなどを加えた合金を用い、そ
の裏面にモリブデンを接合した全金属製のターゲットで
ある。そのためターゲットを全金属で大口径化すると回
転時に大きな遠心力が発生し、ターゲットの大口径化に
限界がある。すなわちタングステンとモリブデンとの複
合ターゲットでは大容量のものを得ることは不可能であ
る。この理由から軽量で熱放散性が優れた黒鉛基板にタ
ングステンあるいはタングステン合金を接合した複合タ
ーゲットが検討されるようになった。これら複合ターゲ
ットの製造としてはタングステン板（以下タングステン
合金についても一括してタングステンと言う）は１ｙｔ
＋ｕ結晶であるため、電子線照射による耐寿命性が優れ
、また安価であるなどの利点から接着法によって行われ
ている。しかしながら次のような問題点がある。
ットとして使用されているが、医療機器のＸ線ＣＴ （
Ｃｏｍｐｕｔｅｄ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）に使用され
ているＸ線管は画像の鮮明化と高効率化のために大容量
のものが要求されている。しかし従来のターゲットは電
子照射面のみをタングステンあるいはタングステンに少
鼠のレニウム、オスニウムなどを加えた合金を用い、そ
の裏面にモリブデンを接合した全金属製のターゲットで
ある。そのためターゲットを全金属で大口径化すると回
転時に大きな遠心力が発生し、ターゲットの大口径化に
限界がある。すなわちタングステンとモリブデンとの複
合ターゲットでは大容量のものを得ることは不可能であ
る。この理由から軽量で熱放散性が優れた黒鉛基板にタ
ングステンあるいはタングステン合金を接合した複合タ
ーゲットが検討されるようになった。これら複合ターゲ
ットの製造としてはタングステン板（以下タングステン
合金についても一括してタングステンと言う）は１ｙｔ
＋ｕ結晶であるため、電子線照射による耐寿命性が優れ
、また安価であるなどの利点から接着法によって行われ
ている。しかしながら次のような問題点がある。
すなわち黒鉛にタングステンを接着する場合、ろう材は
少なくとも電子線照射により、接着層は１３５０Ｃ以上
に加熱されるのでそれ以上の溶融点を有するものが要求
され、従来はジルコニウムなどのろう利を用い、′真空
または不活性ガス雰囲気中で接着する方法が採用されて
いた。しかし々からジルコニウム系のろう利による黒鉛
とタングステンとの接着性は黒鉛の密度によって影響さ
れ、低密度黒鉛の場合には溶融ろうが空孔に浸透して比
較的良く接着されるが、高密り川の黒鉛では全く接着で
きない。したがって従来の接着型複合ターゲットは約１
．８ｇ／１ｎ１３以下の低密度黒鉛のものだけに使用さ
れているのが現状で必見従来法によシ作製した複合ター
ゲットは回転使用時における黒鉛基板の破損、さらには
黒鉛粉末の飛散が起こり、他の部品に付着してＸＭ管の
性能を劣化させるなどの難点があった。
少なくとも電子線照射により、接着層は１３５０Ｃ以上
に加熱されるのでそれ以上の溶融点を有するものが要求
され、従来はジルコニウムなどのろう利を用い、′真空
または不活性ガス雰囲気中で接着する方法が採用されて
いた。しかし々からジルコニウム系のろう利による黒鉛
とタングステンとの接着性は黒鉛の密度によって影響さ
れ、低密度黒鉛の場合には溶融ろうが空孔に浸透して比
較的良く接着されるが、高密り川の黒鉛では全く接着で
きない。したがって従来の接着型複合ターゲットは約１
．８ｇ／１ｎ１３以下の低密度黒鉛のものだけに使用さ
れているのが現状で必見従来法によシ作製した複合ター
ゲットは回転使用時における黒鉛基板の破損、さらには
黒鉛粉末の飛散が起こり、他の部品に付着してＸＭ管の
性能を劣化させるなどの難点があった。
本発明の目的はＸ線管用回転陽極ターゲットの製造に係
り、特に４０〜５０ＷｔチＷ−ＣＯ及び。
り、特に４０〜５０ＷｔチＷ−ＣＯ及び。
４０〜５０ Ｗ ｔチＷ−Ｎｓ金合金うを用い、黒鉛と
タングステンとの間に介在させる。次いで真空または不
活性ガス中で加熱接着することによって高密度黒鉛を基
板としたタングステン及びタングステン−レニウム合金
の複合ターゲットを提供するものである。
タングステンとの間に介在させる。次いで真空または不
活性ガス中で加熱接着することによって高密度黒鉛を基
板としたタングステン及びタングステン−レニウム合金
の複合ターゲットを提供するものである。
本発明は上記に示した従来の低密度黒鉛とタングステン
との複合ターゲットの難点を解決した新規なものを提供
できる。本発明について説明すると、従来はろう材とし
てジルコニウム粉末などをペースト状にしたものを用い
、黒鉛とタングステン及びタングステン−レニウム合金
との間に介在させて溶融接着していた。しかしながら、
このような従来法では次の難点があった。表及び第１図
は黒鉛の特性及び黒鉛とタングステン−レニウム合金と
の複合体の断面組織を示し、１，４はＷ −Ｒｅ合金、
２，５は接着部、３．６は黒鉛であり、１．８ｇ／ｃｎ
ｚ３以下の低密度黒鉛（Ｐ系）には気孔に溶融ろうが浸
透して良く接着される。
との複合ターゲットの難点を解決した新規なものを提供
できる。本発明について説明すると、従来はろう材とし
てジルコニウム粉末などをペースト状にしたものを用い
、黒鉛とタングステン及びタングステン−レニウム合金
との間に介在させて溶融接着していた。しかしながら、
このような従来法では次の難点があった。表及び第１図
は黒鉛の特性及び黒鉛とタングステン−レニウム合金と
の複合体の断面組織を示し、１，４はＷ −Ｒｅ合金、
２，５は接着部、３．６は黒鉛であり、１．８ｇ／ｃｎ
ｚ３以下の低密度黒鉛（Ｐ系）には気孔に溶融ろうが浸
透して良く接着される。
黒鉛の物性
しかしながら、これ以上の高密度黒鉛（Ｈ系）には全く
溶融ろうはぬれ性を示さないで接着できない。従って従
来の黒鉛とタングステン及びタングステン−レニウム合
金との複合ターゲットには低密度黒鉛が使用されている
のが現状であり、回転使用時における強度的々難点、あ
るいは黒鉛粉末の飛散が起こり性能を劣化される難点が
ある。
溶融ろうはぬれ性を示さないで接着できない。従って従
来の黒鉛とタングステン及びタングステン−レニウム合
金との複合ターゲットには低密度黒鉛が使用されている
のが現状であり、回転使用時における強度的々難点、あ
るいは黒鉛粉末の飛散が起こり性能を劣化される難点が
ある。
そこで研究を重ねだ結果、４０〜５（ｌＷｔｑｂｖｖ−
ＣＯ合金及び４０〜５０ｗｔ％Ｗ−７’Ｊｉ合金は匠来
不可能であった高密度黒鉛（密＊ １．８ ｇ ／ ｃ
ｍ３）と良いぬれ性を示し、タングステン及びタングス
テン−レニウム合金との複合ターゲットを製造できるこ
とを見出した。本発明の複合ターゲットは高強度の黒鉛
を基盤としだものであり、回転使用時における破壊強度
が高く、太１コ匝のターゲットを得ることができる。そ
のため蓄積熱量を増大でき、しかも熱放散性のすぐれた
高性能のＸ脚管用回転陽極複合ターゲットを提供できる
。−１：た、本発明の合金ろうをＣＶ’Ｄ（化学気相メ
ッキ）する方法によっても高密度黒鉛を基盤とした上記
金属の高性能なＸ線管用回転陽極複合ターゲットを提供
できる。
ＣＯ合金及び４０〜５０ｗｔ％Ｗ−７’Ｊｉ合金は匠来
不可能であった高密度黒鉛（密＊ １．８ ｇ ／ ｃ
ｍ３）と良いぬれ性を示し、タングステン及びタングス
テン−レニウム合金との複合ターゲットを製造できるこ
とを見出した。本発明の複合ターゲットは高強度の黒鉛
を基盤としだものであり、回転使用時における破壊強度
が高く、太１コ匝のターゲットを得ることができる。そ
のため蓄積熱量を増大でき、しかも熱放散性のすぐれた
高性能のＸ脚管用回転陽極複合ターゲットを提供できる
。−１：た、本発明の合金ろうをＣＶ’Ｄ（化学気相メ
ッキ）する方法によっても高密度黒鉛を基盤とした上記
金属の高性能なＸ線管用回転陽極複合ターゲットを提供
できる。
実施例１
第２図に示すようなＸ線讐回転陽極用黒鉛／Ｗ−Ｒｅ複
合ターゲットを得ることを目的とした。。
合ターゲットを得ることを目的とした。。
本発明の４５ Ｗ−Ｃ： Ｏ合金及び４ｓｖｖ−Ｎｒ合
金粉末ろうを表の高密度黒鉛板（１１系）とタングステ
ン−レニウム合金板との間に配した。次いで真空中で１
５３０ｔ？、５分間加熱接着し７た、実施例２ 第３図ａ）、ｂ）は実施例１によって加熱接着した黒鉛
とタコ／ゲステン−レニウム合金複合体の接着部の断面
組織を示し、第１図と同一部分には同−符月が付しであ
る３、本発明の合金ろうは高密度黒鉛にぬれ性が良く、
黒鉛とタングステン−レニウム合金板に強固に接着され
ていることが判かる。
金粉末ろうを表の高密度黒鉛板（１１系）とタングステ
ン−レニウム合金板との間に配した。次いで真空中で１
５３０ｔ？、５分間加熱接着し７た、実施例２ 第３図ａ）、ｂ）は実施例１によって加熱接着した黒鉛
とタコ／ゲステン−レニウム合金複合体の接着部の断面
組織を示し、第１図と同一部分には同−符月が付しであ
る３、本発明の合金ろうは高密度黒鉛にぬれ性が良く、
黒鉛とタングステン−レニウム合金板に強固に接着され
ていることが判かる。
実施例３
実施例２によって得た黒鉛とタングステン−レニウム合
金複合体について引張試験を行った。本発明のＷ−ＣＯ
合金及びＷ−Ｎｉ合金ろうを用いて接着した黒鉛／タン
グスデンーレニウム合金複合体はいずれも黒鉛自体から
破壊して、その黒鉛自体の強度を示した。
金複合体について引張試験を行った。本発明のＷ−ＣＯ
合金及びＷ−Ｎｉ合金ろうを用いて接着した黒鉛／タン
グスデンーレニウム合金複合体はいずれも黒鉛自体から
破壊して、その黒鉛自体の強度を示した。
以上の実施例から、本発明によればう虫１川的に優れた
高密度黒鉛を基板としだ大口径の黒鉛／タングステン及
びタングステン−レニウム合金の睨合ターゲットを製造
できるので、熱容猷をＪ？１犬できし２かも熱放散性の
優れた高性能のＸ線管用回転両極ターゲラ）・を提供で
きる。
高密度黒鉛を基板としだ大口径の黒鉛／タングステン及
びタングステン−レニウム合金の睨合ターゲットを製造
できるので、熱容猷をＪ？１犬できし２かも熱放散性の
優れた高性能のＸ線管用回転両極ターゲラ）・を提供で
きる。
１）黒鉛／タングステン合金複合体の′ｆｇ：翁部は少
なくとも１．３５０ Ｇ以上の高融点を有するものが要
求されるが、本発明の合金ろうはこれ企満足する高融点
のろう利である。
なくとも１．３５０ Ｇ以上の高融点を有するものが要
求されるが、本発明の合金ろうはこれ企満足する高融点
のろう利である。
２）本発明の合金ろうは従来不可能だった高密度黒鉛に
よくぬれるので、回転破壊強度が高く信頼性にすぐれて
いる。
よくぬれるので、回転破壊強度が高く信頼性にすぐれて
いる。
３）高密度黒鉛は粉末の戦敗がないので、性能の劣化が
ない。
ない。
４）大口径の複合ターゲットができるので、熱餐鼠が増
大でき、しかも熱放散性がすぐ１１１商出力のターゲッ
トを製造できる、 ５）本発明の合金ろうは黒鉛基板にメタライスしなくと
もよいので、工程が簡単で経済的に有利である。
大でき、しかも熱放散性がすぐ１１１商出力のターゲッ
トを製造できる、 ５）本発明の合金ろうは黒鉛基板にメタライスしなくと
もよいので、工程が簡単で経済的に有利である。
第１図は、従来法によるｊ％鉛、／タングステンーレニ
ウム合金複合体の接着部組織を示す顕微鏡写真、第２図
は、黒鉛／タングステン−レニウム合金複合ターゲット
の構成図、第３図は、本発明の合金ろうによる黒鉛／タ
ングステン−レニウム合金複合ターゲットの接着部組織
を示す顕微鏡写真である。
ウム合金複合体の接着部組織を示す顕微鏡写真、第２図
は、黒鉛／タングステン−レニウム合金複合ターゲット
の構成図、第３図は、本発明の合金ろうによる黒鉛／タ
ングステン−レニウム合金複合ターゲットの接着部組織
を示す顕微鏡写真である。
Claims (1)
- １、黒鉛／タングステン及びタングステン−レニウム合
金、−？ｔｆｒニーは黒鉛／モリブデン／タングステン
との複合ターゲットの製造において、４０〜５０重址％
Ｗ−ｃｏ及び４０〜５０重ｆｉ ％ Ｗ−Ｎｉ合金ろう
を用いることを特徴としたＸ線管用回転陽極複合ターゲ
ット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12620183A JPS6020434A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | Ｘ線管用回転陽極複合タ−ゲツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12620183A JPS6020434A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | Ｘ線管用回転陽極複合タ−ゲツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020434A true JPS6020434A (ja) | 1985-02-01 |
Family
ID=14929204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12620183A Pending JPS6020434A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | Ｘ線管用回転陽極複合タ−ゲツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020434A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0229697A2 (en) * | 1986-01-09 | 1987-07-22 | Varian Associates, Inc. | X-ray target |
| JPH01125238A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-05-17 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | カートリッジ／キャリッジ・アセンブリ |
-
1983
- 1983-07-13 JP JP12620183A patent/JPS6020434A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0229697A2 (en) * | 1986-01-09 | 1987-07-22 | Varian Associates, Inc. | X-ray target |
| EP0653773A1 (en) * | 1986-01-09 | 1995-05-17 | Varian Associates, Inc. | X-ray target |
| JPH01125238A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-05-17 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | カートリッジ／キャリッジ・アセンブリ |
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