AT413161B - Verfahren zum verbinden eines molybdänlegierungssubstrates mit einer graphitscheibe zu einer drehanoden-röntgenröhrentargetanordnung - Google Patents

Verfahren zum verbinden eines molybdänlegierungssubstrates mit einer graphitscheibe zu einer drehanoden-röntgenröhrentargetanordnung Download PDF

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Description


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  Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Verbinden eines Molybdänlegierungssubstrates mit einer Graphitscheibe zu einer Drehanoden-Röntgenröhrentargetanordnung. 



  Röntgenröhren sind zu einem wesentlichen Bestandteil in der medizinisch-diagnostischen Bildgebung, der medizinischen Therapie, verschiedensten medizinischen Tests und der Werkstoffuntersuchungsindustrie geworden. Typische Röntgenröhren sind mit einer sich drehenden Anodenstruktur aufgebaut, um die am Brennpunkt erzeugte Wärme zu verteilen. Die Anode wird von einem Induktionsmotor gedreht, der aus einem zylindrischen Rotor besteht, welcher in eine auskragende Achse eingebaut ist, die das scheibenförmige Anodentarget trägt, und einer Eisenstatorstruktur mit Kupferwicklungen, welche den langgestreckten Hals der Röntgenröhre umgibt, der den Rotor enthält. Der Rotor der Drehanodenanordnung, welcher von dem den Rotor der Anodenanordnung umgebenden Stator angetrieben wird, liegt auf anodischem Potential, während der Stator elektrisch geerdet ist.

   Die Röntgenröhrenanode erzeugt einen fokussierten Elektronenstrahl, welcher über den Vakuumspalt zwischen Anode und Kathode beschleunigt wird und beim Auftreffen auf der Anode Röntgenstrahlen erzeugt. 



  Bei Röntgenröhrenvorrichtungen mit einer drehbaren Anode bestand das Target früher aus einer Scheibe aus hitzebeständigem Metall, wie Wolfram, und Röntgenstrahlen werden erzeugt, indem der Elektronenstrahl auf dem Target auftreffen gelassen wird, während das Target mit hoher Geschwindigkeit gedreht wird. Die Drehung des Targets wird durch Antreiben des Rotors erzielt, welcher auf einer sich vom Target wegerstreckenden Trägerwelle vorgesehen ist. Eine solche Anordnung ist typisch für rotierende Röntgenröhren und ist seit ihrer Einführung in ihrem Betriebskonzept im wesentlichen unverändert geblieben. 



  Die Betriebsbedienungen für Röntgenröhren haben sich jedoch in den letzten zwei Jahrzehnten beträchtlich geändert. Aufgrund der kontinuierlichen Nachfrage von Radiologen nach höherer Leistung aus Röntgenröhren werden bei immer mehr Röhren Kompositdrehanoden mit Wolfram-Rhenium als Brennspurschicht, einer Molybdänlegierung (typischerweise TZM) als Substrat und hartverlötetem Graphit als Wärmesenke verwendet. 



  Die hohen Leistungsniveaus erhöhen die Betriebstemperaturen der Anode, was bei ausreichender Grösse zu einer elastischen Hochtemperatur-Ringspannungsverformung des Molybdänlegierungssubstrates führen kann. Die Grösse der Spannungen nimmt in Richtung auf den Mittelpunkt der Anode hin zu. Grosse Ringspannungen können Beanspruchungen in der metallurgischen Verbindung zwischen dem Legierungssubstrat und der Graphitwärmesenke erzeugen. 



  Die Grösse dieser Beanspruchungen setzt der maximalen Grösse, der Drehgeschwindigkeit und der höchsten zulässigen Temperatur des Legierungssubstrates Grenzen. Wenn die Beanspruchung einen Schwellwert überschreitet, kann eine vollständige Ablösung der Graphitwärmesenke das Ergebnis sein. 



  Die metallurgische Verbindung, die zwischen einem TZM-Substrat und der Graphitwärmesenke hergestellt wird, wird durch Hochtemperatur-Hartverlöten erzielt, welches bei bis zu 1900 C erfolgen kann. Vor dem Hartverlöten wird das TZM-Substrat typischerweise auf eine Endform geschmiedet, um die Festigkeit des Materials wesentlich zu verbessern. Während des Hochtemperatur-Hartverlötvorganges kann jedoch diese Festigkeitverbesserung verlorengehen, und zwar wegen der metallurgischen Transformation oder Rekristallisation im TZM, welches bei oder über 1400 C stattfindet. 



  Die vorliegende Erfindung schafft ein verbessertes Verfahren zur Verbindung eines Molybdänlegierungssubstrates mit einer Grahitscheibe, die in Röntgenröhrentargetanordnungen für Computertomographieanwendungen verwendet werden, bei welchem die im Hartlötschritt zur Befestigung eines Molybdänlegierungssubstrates an der Graphitscheibe erforderliche Wärme reduziert ist, um die Probleme zu überwinden, die mit den Strukturen des Standes der Technik verknüpft sind, und um die Leistungsgrenzen fortschrittlicher Röntgenröhren zu erhöhen. 

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  Das erfindungsgemässe Verfahren umfasst die Schritte: Hartverlöten eines dünnen Molybdänlegierungsblattes mit der Graphitscheibe unter Verwendung eines Reinmetallhartlotes zur Bildung einer plattierten Graphitunteranordnung, und Hartverlöten der plattierten Graphitunteranordnung mit dem Molybdänlegierungssubstrat unter Verwendung einer Hartlotlegierung. 



  Vorzugsweise umfasst der Schritt des Hartverlötens des dünnen Molybdänlegierungsblattes mit der Graphitscheibe die Verwendung eines Reintitanhartlotes zur Ausbildung der plattierten Graphitunteranordnung. Alternativ umfasst der Schritt des Hartverlötens des dünnen Molybdänlegierungsblattes mit der Graphitscheibe die Verwendung eines Reinzirkonhartlotes zur Ausbildung der plattierten Graphitunteranordnung. Nach dritter Alternative der Erfindung umfasst der Schritt des Hartverlötens der plattierten Graphitunteranordnung mit dem Molybdänlegierungssubstrat die Verwendung einer Hartlotlegierung, wobei die Hartlotlegierung mit einer Schmelztemperatur unterhalb der Rekristallisationstemperatur des Molybdänlegierungssubstrates und einer Wiederaufschmelztemperatur nach dem Hartverlöten oberhalb der Rekristallisationstemperatur des Molybdänlegierungssubstrates verwendet wird. 



  Nach einer weiteren Ausführungsform der Erfindung umfasst das Hartverlöten des dünnen Molybdänlegierungsblattes mit der Graphitscheibe und dem Molybdänlegierungssubstrat die Schritte : Einbringen des dünnen Molybdänlegierungsblattes zwischen das Molybdänlegierungssubstrat und die Graphitscheibe, Hartverlöten einer Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes mit der Graphitscheibe, Hartverlöten der anderen Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes mit dem Molybdänlegierungssubstrat, wobei die Hartlöttemperatur unter jene Temperatur abgesenkt wird, bei welcher das Molybdänlegierungssubstrat eine verringerte Umformungsfestigkeit hat, und anschliessendes Wärmebehandeln der Anodentargetanordnung. 



  Nach einer anderen Ausführungsform der Erfindung umfasst der Schritt des Hartverlötens einer Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes mit der Graphitscheibe die Schritte :   Zwischen-schalten eines Reintitanhartlotes zwischen die Graphitscheibe und das dünne Molybdänlegie-   rungsblatt, und Erhitzen der Molybdän-Graphitunteranordnung über etwa drei bis vier Minuten bei 1700 bis 1800 C, um die plattierte Graphitunteranordnung zu bilden. 



  Das zweistufige Hartverlöten gemäss der Erfindung verringert die Wahrscheinlichkeit eines Bruches im Graphit durch Erhalten der Hochtemperatur-Umformfestigkeit, die normalerweise in geschmiedeten Molybdänlegierungssubstraten entwickelt wird. Eine schädliche Verringerung der Umformfestigkeit, welche mit einem Rekristallisieren des Molybdänlegierungssubstrates verknüpft ist, wird somit vermieden. 



  Es sei erwähnt, dass aus der US 4 700 882 A ein Verfahren anderer Art zur Diffusionsverbindung einer metallischen Oberfläche mit einem Graphitkörper zu einer Komposit-Drehanode einer Röntgenröhrenanordnung bekannt ist, wobei ein Verbundlaminat aus mehreren Schichten zwischen der metallischen Oberfläche und dem Graphitkörper eingesetzt und mit diesem metallurgisch verbunden wird. Das Verbundlaminat besteht aus einer ersten Schicht aus Vanadiumkarbid und Molybdän oder Wolfram, einer zweiten Schicht aus Vanadium oder einer Vanadiumlegierung, einer dritten Schicht aus Platin und Vanadium und einer vierten Schicht aus Platin oder einer Platinlegierung. 



  Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden ausführlichen Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen ersichtlich, in denen: Fig. 1 ein Querschnitt einer Röntgenröhre gemäss dem Stand der Technik ist; Fig. 2 ein Querschnitt einer gemäss der vorliegenden Erfindung hergestellten Röntgenröhre ist; Fig. 3 eine Detailansicht der erfindungsgemässen Röntgenröhrentargetanordnung von Fig. 2 ist; und Fig. 4 ein logisches Flussdiagramm des erfindungsgemässen Verfahrens für das Ausbilden der Röntgenröhrentargetanordnung von Fig. 3 ist. 

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 Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen zeigt Fig. 1 eine Röntgenröhrenanode 10 mit einer Drehanodenanordnung 12 gemäss dem Stand der Technik.

   Die Anodenanordnung 12 wird von einer Lagerwelle 20 gedreht, welche ein scheibenförmiges Target 14 trägt, typischerweise mit einem Wolfram-Rhenium-Bereich 18 für die Erzeugung von Röntgenstrahlen, einem Molbydänlegierungssubstrat 48 für die strukturelle Abstützung und einer Graphitscheibe 16, die als Wärmesenke wirkt. Das Target 14 ist über einen Stiel 24 an die Lagerwelle 20 angeschlossen, welche von Lagern 22 abgestützt wird, die eine Drehung ermöglichen. Die Graphitscheibe 16 ist mit dem Molbydänlegierungssubstrat 48 mit Hilfe einer Hartlotlegierung (nicht gezeigt), bestehend aus entweder reinem Titan, reinem Zirkonium oder Legierungen auf Titan- bzw. Zirkoniumbasis, verbunden. Das Ende der Lagerwelle 20 ist an einem Rotor (nicht gezeigt) befestigt, der von einem Stator (nicht gezeigt) eines Induktionsmotors (nicht gezeigt) angetrieben wird. 



  Die gesamte drehende Anordnung 12 liegt auf anodischem Potential, während der Stator elektrisch geerdet ist. 



  In einer typischen Anordnung sind die Drehanodenanordnung 12 und die Kathodenanordnung (nicht gezeigt) in einer Vakuumumhüllung abgedichtet enthalten (entweder eine Glas- oder eine hartverlötete Metallkonstruktion) und in einem wärmeleitenden Metallgehäuse (nicht gezeigt) montiert. Die Drehanodenanordnung 12, der Stator und die Vakuumumhüllung sind elektrisch voneinander isoliert. Eine typische Röntgenröhrenanode 10 weist ferner eine Röntgenröhrenkathodenanordnung (nicht gezeigt) auf, um einen fokussierten Elektronenstrahl zu erzeugen, welcher über einen grossen Vakuumspalt zwischen Anode und Kathode beschleunigt wird, wodurch Röntgenstrahlen beim Auftreffen auf der Anode erzeugt werden. 



  In Fig. 2 ist eine Röntgenröhrenanode 35 mit einer Drehanodenanordnung 12 gemäss der vorliegenden Erfindung dargestellt. 



  Die Röntgenröhrenanode 35 wird von einer Lagerwelle 20 gedreht, die eine scheibenförmige Targetanordnung 60 trägt. Die Targetanordnung 60 besitzt einen Wolfram-Rhenium-Bereich 18 zum Erzeugen von Röntgenstrahlen, ein Molybdänlegierungssubstrat 48 für die strukturelle Abstützung und eine Graphitscheibe 42 als Wärmesenke. Die Targetanordnung 60 ist über den Stiel 24 an die Lagerwelle 20 angeschlossen, welche von Lagern 22 abgestützt ist, die eine Drehung ermöglichen. Die Targetanordnung 60 ist typischerweise mit dem Stiel 24 unter Verwendung einer Hartlotlegierung verschweisst. Alternativ kann die Targetanordnung 60 mit dem Stiel 24 verschraubt sein. Das Ende der Lagerwelle 20 ist an einem Rotor (nicht gezeigt) befestigt, welcher von einem Stator (nicht gezeigt) eines Induktionsmotors (nicht gezeigt) angetrieben wird.

   Die gesamte rotierende Anordnung 12 liegt auf anodischem Potential, während der Stator elektrisch geerdet ist. 



  Eine Detailansicht der Verbindung des Molybdänlegierungssubstrates 48 mit der Graphitscheibe 42 zur Bildung einer Anodentargetanordnung 60 ist in Fig. 3 gezeigt, und eine Illustration des erfindungsgemässen Verfahrens zum Herstellen der Anodentargetanordnung 60 wird in Fig. 4 wiedergegeben. 



  Wie bei der Anordnung von Fig. 1 sind die Drehanodenanordnung 12 und eine Kathodenanordnung (nicht gezeigt) in einer Vakuumumhüllung dicht eingeschlossen (entweder eine Glas- oder hartverlötete Metallkonstruktion) und in einem leitfähigen Metallgehäuse (nicht gezeigt) montiert. Die Drehanodenanordnung 12, der Stator und die Vakuumumhüllung sind elektrisch voneinander isoliert. Eine typische Röntgenröhrenanode 35 weist ferner eine Röntgenröhrenkathodenanordnung (nicht gezeigt) auf, um einen fokussierten Elektronenstrahl zu erzeugen, der über einen grossen Vakuumspalt zwischen Anode und Kathode beschleunigt wird, und um Röntgenstrahlen beim Auftreffen auf der Anode zu erzeugen. 



  Unter Bezugnahme auf die Fig. 2 und 3 verbindet ein erster Hartlötschritt ein dünnes Molybdänlegierungsblatt 40 mit einer Graphitscheibe 42 unter Verwendung entweder eines Reinzirkonium- oder Reintitanhartlotes 44, um eine plattierte Graphitunteranordnung 46 zu bilden. Bevor- 

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 zugt ist das dünne Molybdänlegierungsblatt 40 etwa 0,5 mm dick. Ein zweiter Hartlötschritt verbindet die Unteranordnung 46 mit einem Molybdänlegierungssubstrat 48 unter Verwendung ausgewählter Hartlotlegierungen 50, um die Anodentargetanordnung 60 zu bilden. 



  Die Hartlotlegierungen 50 sind für Schmelztemperaturen unterhalb der Rekristallisationstemperatur des Molybdänliegerungssubstrates 48 ausgelegt, und für Wiederaufschmelztemperaturen oberhalb der Rekristallisationstemperatur des Molybdänlegierungssubstrates 48. Zwei Legierungshartlote 50 werden bevorzugt. Das erste, nachstehend als Ti-Cr-Be-Hartlot bezeichnet, ist eine Mischung, welche etwa 72 Gewichtsteile Titan, 25 Gewichtsteile Chrom und 3 Gewichtsteile Beryllium enthält und einen Schmelzpunkt von etwa 1110 C hat. Das zweite, nachstehend als Ti-Si-Hartlot bezeichnet, ist eine Mischung, welche etwa 91,5 Gewichtsteile Titan und 8,5 Gewichtsteile Silizium enthält, wobei die Mischung einen Schmelzpunkt von etwa 1200 C hat.

   Nach dem Hartverlöten beträgt die Wiederaufschmelztemperatur beider Legierungshartlote 50 etwa 1700 C aufgrund der Diffusion von Molybdän aus dem Molybdänlegierungssubstrat 48 in das Hartlot 50 hinein. 



  Durch Reduzieren der Temperatur, welcher das Molybdänlegierungssubstrat 48 in den Hartlötschritten ausgesetzt ist, unter etwa 1200 C, was die Temperatur ist, bei welcher die Umformfestigkeit der Molybdänlegierung zusammenbricht, werden höhere Umformfestigkeiten für das Molybdänlegierungssubstrat 48 erhalten. Diese Molybdänlegierungssubstrate 48 mit Hochtemperatur-Umformfestigkeit zeigen eine grössere Widerstandsfähigkeit gegenüber der Möglichkeit eines Röhrenausfalles durch Verringerung der Wahrscheinlichkeit eines Bruches an der Schnittstelle zwischen Molybdänlegierungssubstrat 48 und Graphitscheibe 42.

   Die Anodentargetanordnung 60 besteht aus einem Molybdänlegierungssubstrat 48, welches eine beträchtliche Menge an Arbeit beibehält, die ihm durch Schmieden verliehen worden ist, und das mit der Graphitscheibe 42 unter Verwendung der beiden Hartlote 50, jeweils mit einer Diensttemperatur bei oder nahe 1600 C, verbunden worden ist. 



  Unter Bezugnahme nun auf Fig. 4 ist ein logisches Flussdiagramm zum Herstellen der Anodentargetanordnung 60 vor der Befestigung am Stiel 24 gezeigt. Zunächst wird in einem Schritt 100 ein Reinmetallhartlot 44 ausgewählt, um die Graphitscheibe 42 mit dem Molybdänlegierungsblatt 40 zur Bildung der plattierten Graphitunteranordnung 46 hartzuverlöten. Für ein Reintitanhartlot gehe man zu Schritt 110 über. Für ein Reinzirkoniumhartlot gehe man zu Schritt 120 über. 



  In Schritt 110 wird das Reintitanhartlot zwischen der Graphitscheibe 42 und dem Molybdänblatt 40 angeordnet. Die Komponenten werden dann in einen Hochvakuumofen bei 1700 bis 1800 C über drei bis vier Minuten eingebracht, um das Titanhartlot zu schmelzen und einen Teil des Molybdäns in das Titanhartlot diffundieren zu lassen. Die Komponenten werden dann gekühlt, wobei das Titanhartlotmaterial sich verfestigt, um eine integrale Verbindung zwischen der Graphitscheibe 42 und dem Molybdänblatt 40 zur Ausbildung einer plattierten Graphitunteranordnung 46 zu bilden. Die Logik geht dann zu Schritt 130 über. 



  In Schritt 120 wird das Reinzirkoniumhartlot zwischen der Graphitscheibe 42 und dem Molybdänblatt 40 angeordnet. Die Komponenten werden dann in einen Hochvakuumofen bei 1500 bis 1600 C über drei bis vier Minuten eingebracht, um das Zirkoniumhartlot zu schmelzen und einen Teil des Molbydäns in das Zirkoniumhartlot diffundieren zu lassen. Die Komponenten werden dann gekühlt, wobei sich das Zirkoniumhartlotmaterial verflüssigt, um eine integrale Verbindung zwischen der Graphitscheibe 42 und dem Molbydänblatt 40 zwecks Ausbildung einer plattierten Graphitunteranordnung 46 zu bilden. Die Logik geht dann zu Schritt 130 über. 



  In Schritt 130 wird ein Legierungshartlot 50 ausgewählt, um die plattierte Graphitunteranordnung 46 mit dem Molbydänlegierungssubstrat 48 zur Ausbildung der Anodentargetanordnung 60 hartzuverlöten. Für Ti-Cr-Be-Hartlot gehe man zu Schritt 140 über. Für Ti-Si-Hartlot gehe man zu Schritt 150 über. 

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 In Schritt 140 wird das Ti-Cr-Be-Hartlotblatt zwischen der plattierten Graphitunteranordnung 46 und dem Molybdänlegierungssubstrat 48 angeordnet und in einem Vakuumofen bei etwa 1110 Grad über zwei bis drei Minuten hartverlötet. Ein Dreischritt-VakuumofenDiffusionswärmebehandlungsprozess folgt unmittelbar auf den Hartlotschritt.

   Dieser DreistufenWärmebehandlungsprozess besteht aus einem achtstündigen Verweilen bei etwa 980 C, gefolgt von einem zweiten achtstündigen Verweilen bei 1095 C, gefolgt von einem abschliessenden vierzigstündigen Verweilen bei etwa 1120 C. Der Wiederaufschmelzpunkt der Hartlötverbindung liegt nach dem Dreistufen-Diffusionswärmebehandlungsprozess bei etwa 1700 C. Die Anodentargetanordnung 60 wird dann gekühlt und aus dem Ofen entfernt. Die Logik geht dann zu Schritt 160 weiter. 



  In Schritt 150 wird das Ti-Si-Hartlotblatt zwischen der plattierten Graphitunteranordnung 46 und dem Molybdänlegierungssubstrat 48 angeordnet und in einem Vakuumofen bei etwa 1370 Grad über zwei bis drei Minuten hartverlötet. Ein Einstufen-Vakuumofen-Diffusionswärmebehandlungsprozess, der aus einem zweistündigen Verweilen bei etwa 1200 C besteht, folgt unmittelbar auf den Hartlötschritt. Der Wiederaufschmelzpunkt der Hartlötverbindung liegt nach dem Diffusionswärmebehandlungsprozess bei etwa 1700 C. Die Anodentargetanordnung 60 wird dann gekühlt und aus dem Ofen entfernt. Die Logik geht dann zu Schritt 160 über. 



  In Schritt 160 wird die Anodentargetanordnung 60 maschinell endbearbeitet und ist für den Zusammenbau mit der Lagerwelle 20 bereit. 



  Patentansprüche : 1. Verfahren zum Verbinden eines Molybdänlegierungssubstrates (48) mit einer Graphit- scheibe (42) zu einer Drehanoden-Röntgenröhrentargetanordnung (60), welches Verfahren die Schritte umfasst:
Hartverlöten eines dünnen Molybdänlegierungsblattes (40) mit der Graphitscheibe (42) un- ter Verwendung eines Reinmetallhartlotes (44) zur Bildung einer plattierten Graphitunter- anordnung (46) ; und
Hartverlöten der plattierten Graphitunteranordnung (46) mit dem Molybdänlegierungssub- strat (48) unter Verwendung einer Hartlotlegierung (50).

Claims (1)

  1. 2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Hartverlötens des dünnen Molyb- dänlegierungsblattes (40) mit der Graphitscheibe (42) die Verwendung eines Reintitanhart- lotes (44) zur Ausbildung der plattierten Graphitunteranordnung (46) umfasst.
    3. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Hartverlötens des dünnen Molyb- dänlegierungsblattes (40) mit der Graphitscheibe (42) die Verwendung eines Reinzirkon- hartlotes (44) zur Ausbildung der plattierten Graphitunteranordnung (46) umfasst.
    4. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Hartverlötens der plattierten Graphitunteranordnung (46) mit dem Molybdänlegierungssubstrat (48) die Verwendung einer Hartlotlegierung (50) umfasst, wobei die Hartlotlegierung (50) mit einer Schmelztem- peratur unterhalb der Rekristallisationstemperatur des Molybdänlegierungssubstrates (48) und einer Wiederaufschmelztemperatur nach dem Hartverlöten oberhalb der Rekristallisa- tionstemperatur des Molybdänlegierungssubstrates (48) verwendet wird.
    5. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Hartverlötens der plattierten Graphitunteranordnung (46) mit dem Molybdänlegierungssubstrat (48) die Verwendung einer Hartlotlegierung (50) aus etwa 72 Gewichtsteilen Titan, 25 Gewichtsteilen Chrom und 3 Gewichtsteilen Beryllium umfasst.
    6. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Hartverlötens der plattierten <Desc/Clms Page number 6> Graphitunteranordnung (46) mit dem Molybdänlegierungssubstrat (48) die Verwendung einer Hartlotlegierung (50) aus etwa 91,5 Gewichtsteilen Titan und 8,5 Gewichtsteilen Sili- zium umfasst.
    7. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem das Hartverlöten des dünnen Molybdänlegie- rungsblattes (40) mit der Graphitscheibe (42) und dem Molybdänlegierungssubstrat (48) die Schritte umfasst: Einbringen des dünnen Molybdänlegierungsblattes (40) zwischen das Molybdänlegie- rungssubstrat (48) und die Graphitscheibe (42); Hartverlöten einer Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes (40) mit der Graphitschei- be (42); Hartverlöten der anderen Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes (40) mit dem Mo- lybdänlegierungssubstrat (48), wobei die Hartlöttemperatur unter jene Temperatur abge- senkt wird, bei welcher das Molybdänlegierungssubstrat (48) eine verringerte Umformungs- festigkeit hat ; undanschliessendes Wärmebehandeln der Anodentargetanordnung (60).
    8. Verfahren nach Anspruch 7, bei welchem der Schritt des Hartverlötens einer Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes (40) mit der Graphitscheibe (42) die Schritte umfasst: Zwischenschalten eines Reintitanhartlotes (44) zwischen die Graphitscheibe (42) und das dünne Molybdänlegierungsblatt (40) ; und Erhitzen der Molybdän-Graphitunteranordnung (46) über etwa drei bis vier Minuten bei 1700 bis 1800 C, um die plattierte Graphitunteranordnung (46) zu bilden.
    9. Verfahren nach Anspruch 7, bei welchem der Schritt des Hartverlötens einer Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes (40) mit der Graphitscheibe (42) die Schritte umfasst: Zwischenschalten eines Reinzirkonhartlotes (44) zwischen die Graphitscheibe (42) und das dünne Molybdänlegierungsblatt (40) ; und Erhitzen des Reinzirkonhartlotes (44), der Graphitscheibe (42) und des dünnen Molybdän- legierungsblattes (40) über etwa drei bis vier Minuten bei 1500 bis 1600 C, um die plattier- te Graphitunteranordnung (46) zu bilden.
    10. Verfahren nach Anspruch 7, bei welchem der Schritt des Hartverlötens der anderen Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes (40) mit dem Molybdänlegierungssubstrat (48) eine Hartlotlegierung (50) umfasst, welche eine Schmelztemperatur unterhalb der Rekristallisati- onstemperatur des Molybdänlegierungssubstrates (48) und eine Wiederaufschmelztempe- ratur nach dem Hartverlöten oberhalb der Rekristallisationstemperatur des Molybdänlegie- rungssubstrates (48) besitzt.
    11. Verfahren nach Anspruch 7, bei welchem die Schritte des Hartverlötens der anderen Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes (40) mit dem Molybdänlegierungssubstrat (48) und des darauffolgenden Wärmebehandelns der Anodentargetanordnung (60) die Schritte um- fassen: Hartverlöten des Titan-Chrom-Beryllium-Hartlotes (50) zwischen der anderen Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes (40) und dem Molybdänlegierungssubstrat (48) bei et- wa 1100 C über etwa zwei bis drei Minuten, um die Anodentargetanordnung (60) zu bilden; Wärmebehandeln der Anodentargetanordnung (60) über etwa acht Stunden bei etwa 980 C; Wärmebehandeln der Anodentargetanordnung (60) über etwa acht Stunden bei etwa 1095 C; und Wärmebehandeln der Anodentargetanordnung (60) über etwa vierzig Stunden bei etwa 1120 C.
    12. Verfahren nach Anspruch 7, bei welchem die Schritte des Hartverlötens der anderen Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes (40) mit dem Molybdänlegierungssubstrat (48) und <Desc/Clms Page number 7> des darauffolgenden Wärmebehandelns der Anodentargetanordnung (60) die Schritte umfassen : Hartverlöten des Titan-Siliziumhartlotes (50) zwischen der anderen Seite des dünnen Molybdänlegierungsblattes (40) und dem Molybdänlegierungssubstrat (48) bei etwa 1370 C über etwa zwei bis drei Minuten, um die Anodentargetanordnung (60) zu bilden ; undWärmebehandeln der Anodentargetanordnung (60) über etwa zwei Stunden bei etwa 1200 C.
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