DE3730795A1 - Hon-, laepp- oder poliermaschine - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Hon-, Läpp- oder Polierma­ schine nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Derartige Maschinen werden bakanntlich für eine hochfeine Ober­ flächenbearbeitung eingesetzt, zum Beispiel z.T. zur Bearbeitung von Wafers für Mikrochips oder dergleichen. Die Werkstücke werden von Werkstückaufnahmescheiben aufgenommen, die entsprechende Auf­ nahmeöffnungen hierfür aufweisen. Bei den gängigen Maschinen wälzen sich die Werkstückaufnahmescheiben nach Art von Planeten­ rädern zwischen einem Außenkranz und einem Innenkranz in der Ar­ beitsebene von oberer und unterer Arbeitsscheibe ab. Der zentrale Innenkranz wird normalerweise angetrieben, während der Außenkranz meist in Drehrichtung festgelegt ist. Die Werkstückaufnah­ mescheiben haben normalerweise eine Stirnverzahnung, während Innen- und Außenkranz Stifte oder Zähne aufweisen. Es ist jedoch aus der DE-OS 36 24 878 bekanntgeworden, auf einem Kreis angeordnete Werkstückaufnahmescheiben über ein Ritzel anzutreiben, das seinerseits in Eingriff mit einem Zentralrad steht. Dem Umfang der Werkstückaufnahmescheiben sind weitere Zahnräder zugeordnet, die der Lagerung dienen. Die Werkstückaufnahmescheiben werden mithin um eine feste Achse gedreht. Die Aufnahmeöffnung der Werkstückaufnahme­ scheiben ist hingegen exzentrisch angeordnet, so daß sie bei Umdrehung der Werkstückaufnahmescheiben ihrerseits eine Kreisbahn beschreibt.

Die zuletzt beschriebene bekannte Maschine mag zwar Vor­ teile aufweisen, sie ist jedoch auch mit etlichen Nachtei­ len behaftet. Die bekannte Maschine erfordert eine große Anzahl von Lagerstellen. Da während des Honens, Läppens oder Polierens mit einem abrasiven Medium gearbeitet wird, ist es problematisch diese Lagerstellen zu schützen und sie damit vor Beeinträchtigung zu bewahren.

Bei der bekannten Maschine ist die Anzahl der Zähne des zentralen Zahnrades gleich einem ganzen Vielfachen der Anzahl der Zähne der Werkstückaufnahmescheiben. Der Welle des Zentralrades ist eine Reihe von Nocken zugeordnet, die während der Wellenumdrehung gezählt werden. Werden die Werk­ stückaufnahmescheiben in vorgegebener Drehlage eingesetzt, läßt sich mit Hilfe der Nockenanordnung die jeweilige Drehlage der Werkstückaufnahmescheiben ermitteln. Damit sind auch die Koordinaten der Werkstückaufnahmeöffnungen in den Aufnahmescheiben bekannt. Diese können einem Roboter vorgegeben werden, der dadurch die Werkstücke aus den einzelnen Werkstückaufnahmescheiben entfernen oder diese mit neuen Werkstücken beladen kann. Die Koordinaten für die Werkstückaufnahmeöffnungen müssen jedoch verhältnis­ mäßig genau vorgegeben sein, da sonst vor allen Dingen beim Beladen eine Beeinträchtigung oder gar Zerstörung der Werk­ stücke zu befürchten ist. Diese Genauigkeit ist jedoch beeinträchtigt dadurch, daß die Werkstückaufnahmescheiben während des Betriebs vor allem im Bereich der Verzahnung einem Verschleiß unterliegen. Dem Verschleiß sind im übrigen auch die anderen Zahnräder aus­ gesetzt. Dadurch entsteht eine Lose der Werkstückaufnahme­ scheiben im Hinblick auf ihren Antrieb. Die präzise Lage der Werkstückaufnahmescheiben in der Be- und Entladeposi­ tion ist dadurch nicht reproduzierbar gesichert. Außerdem muß die Be- und Entladevorrichtung in bezug auf jede Auf­ nahmescheibe ausgerichtet werden, was eine komplizierte Ladeeinrichtung und eine aufwendige Steuerung erfordert.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine her­ kömmliche Hon-, Läpp- oder Poliermaschine so zu verbessern, daß die Werkstücke mit einer Ladeeinrichtung auf einfache Weise in die Werkstückaufnahmescheiben eingelegt und aus diesen entnommen werden können.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Merk­ male des Kennzeichnungsteils des Patentanspruchs 1.

Bei der erfindungsgemäßen Maschine ist die Zahl der Stifte oder Zähne des Außenkranzes ein ganzzahliges Vielfaches der Zahl der Zähne der Aufnahmescheibe. Dieses Zahlenver­ hältnis stellt sicher, daß jeder Zahn der Werkstückaufnah­ mescheiben reproduzierbar die gleiche Bahn beschreibt, wenn sich die Werkstückaufnahmescheibe zwischen Innen- und Außenkranz abwälzt. Mit anderen Worten, eine bestimmte Stelle oder ein Zahn der Werkstückaufnahmescheibe erscheint im Hinblick auf einen ortsfesten Punkt stets an der glei­ chen Stelle. Bezüglich eines außerhalb der Umlaufbahn der Aufnahmescheiben angeordneten Positionsfühlers nähert sich z.B. ein bestimmter Zahn der Werkstückaufnahmescheiben dem Positionsfühler am meisten. Wird diese Position mit Hilfe des Positionsfühlers erfaßt, ist es möglich, durch ein Stoppsignal an den Antriebsmotor die Werkstückaufnahme­ scheiben stets in die gleiche Lage und die gleiche Drehlage zu bringen. Spricht der Positionsfühler auf eine bestimmte Stelle der Werkstückaufnahmescheibe an und ermittelt er zum Beispiel die maximale Nähe dieser signalgebenden Stelle der Werkstückaufnahmescheibe und führt ein ent­ sprechendes Fühlersignal zu einem Stopp des Antriebs, wird die Werkstückaufnahmescheibe immer an gleicher Stelle mit vorgegebener Drehlage angehalten. Eine Werkstückbelade- und Entnahmevorrichtung kann daher gezielt in Stellung oberhalb der Werkstückaufnahmescheibe gebracht werden und die Werkstücke entnehmen bzw. neue Werkstücke einführen, ohne daß ein besonderer Suchvorgang erforderlich ist.

Der Positionsfühler kann induktiv, kapazitiv, optoelek­ tronisch oder mechanisch arbeiten und mit einer beliebigen Stelle der Werkstückaufnahmescheibe zusammenwirken. Beson­ ders vorteilhaft ist, wenn der Positionsfühler mit den Zahnköpfen der Aufnahmescheibenverzahnung zusammenwirkt, da diese während des Betriebs nicht verschleißen.

Abhängig von der Art und dem Einsatz des Positionsfühlers kann ein bestimmter Zahn der Verzahnung der Aufnahmeschei­ ben in besonderer Weise ausgeführt werden. Er kann zum Bei­ spiel eine besondere geometrische Form haben, etwa länger sein als die übrigen oder mit einer entsprechenden Aus­ nehmung versehen, wodurch er auf besonders einfache Weise von einem mechanisch arbeitenden Fühler erfaßt werden kann. Er kann jedoch auch mit einer besonderen Oberfläche ver­ sehen werden oder einen Initiator enthalten, der zum Bei­ spiel in der Lage ist, ein magnetisches Feld zu beein­ flussen. Werkstückaufnahmescheiben bestehen vielfach aus Kunststoff. Es ist daher denkbar, in einen Zahn ein Metall­ stückchen einzubetten, auf das das Feld des Positionsfüh­ lers reagiert. Auch beim optoelektronischen Fühler kann der Zahn eine bestimmte geometrische Form aufweisen oder in besonderer Weise gefärbt sein, um eine Ansprache durch ein lichtempfindliches Element oder dergleichen herbei­ zuführen.

Der Positionsfühler ist nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung mit einer Positioniereinheit verbunden zur Verstellung des Fühlers von einer zurückgezogenen Ruhepo­ sition in eine Meßposition und umgekehrt. Dadurch ist es möglich, den Fühler sehr nah an den Außenumfang der Werk­ zeugaufnahmescheibe vorübergehend heranzuführen, um eine genaue Messung durchzuführen. Sobald der Meßvorgang beendet ist, wird der Positionsfühler von der Positioniereinheit wieder in die Ruheposition gebracht, damit er im nächsten Zyklus außerhalb der Umlaufbahn der Aufnahmescheiben liegt und nicht beschädigt oder den Verunreinigungen nicht so ausgesetzt wird.

Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist vorge­ sehen, daß die Zähne- bzw. Stiftzahl des Innen- und Außen­ kranzes durch die Stückzahl der Aufnahmescheiben in der Arbeitsebene ganzzahlig teilbar ist. Dadurch läßt sich zwischen den Werkstückaufnahmescheiben ein konstanter Ab­ stand einhalten, so daß die Koordinaten bzw. die Drehlage aller Werkstückaufnahmescheiben bekannt sind, wenn die entsprechenden Daten mit Hilfe des Positionsfühlers für eine Werkstückaufnahmescheibe ermittelt wurden.

Um eine genauere Messung vornehmen zu können, sieht eine Ausgestaltung der Erfindung vor, daß der Antriebsmotor in einen Schleichgang schaltbar ist und die Steuerschaltung den Positionsfühler aktiviert, wenn der Antriebsmotor, ggf. nach vorübergehendem Stillstand, in den Schleichgang ge­ schaltet wird. Der Schleichgang erlaubt auch ein präziseres Abbremsen des Antriebs.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß außerhalb der Umlaufbahn der Aufnahmescheiben ein weiterer Positionsfühler vorgesehen ist, der ein Aktivierungssignal für den ersten Positionsfühler oder die erste Positionier­ einheit erzeugt, wenn die Aufnahmescheibe eine vorgegebene Relativlage zum weiteren Positionsfühler einnimmt. Der weitere Positionsfühler ist vorzugsweise in Abwälzrichtung vor dem ersten angeordnet und ermittelt beispielsweise den Eingriff der Zahnung einer Werkstückaufnahmescheibe mit der Zahnung oder den Stiften des Außenkranzes. Da, wie be­ reits erwähnt, an der Stelle des Positionsfühlers stets die gleichen Zähne mit dem Außenkranz in Eingriff treten, läßt sich mit Hilfe des weiteren Positionsfühlers eine Grob-Positionsermittlung durchführen. Der erste Positions­ fühler wird nach einem Meßvorgang des zweiten Positions­ fühlers aktiviert und stellt dann die präzise Lage der Werkstückaufnahmescheibe fest und gibt ein Stoppsignal für den Antriebsmotor, um die Aufnahmescheibe in der ermittel­ ten Position anzuhalten.

Erster und/oder zweiter Positionsfühler können auf ver­ schiedene Art und Weise am Arbeitsbereich der erfindungs­ gemäßen Maschine angebracht werden. Besonders vorteilhaft ist ihre Anbringung am Außenkranz.

Auch bei der erfindungsgemäßen Maschine kann durch Abrieb eine Lose zwischen dem Zentralrad und der Zahnung der Werk­ stückaufnahmescheiben entstehen. Eine Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß außerhalb der Umlaufbahn der Werk­ stückaufnahmescheiben eine Ausrichtvorrichtung angeordnet ist, die die Aufnahmescheiben radial ausrichtet, wenn sie ihre vorgegebene Relativlage erreicht haben. Vorzugsweise wirkt die Ausrichtvorrichtung mit dem Kopfdurchmesser der Aufnahmescheibenverzahnung zusammen. Hierdurch ist sicher­ gestellt, daß die Aufnahmescheiben reproduzierbar eine präzise Lage einnehmen, wenn der Antrieb, gesteuert durch die Positionsfühler, den Abwälzvorgang beendet, weil am Außendurchmesser der Aufnahmescheiben kein Verschleiß ein­ tritt.

Wie ebenfalls bereits erwähnt, ist durch entsprechende Zähnezahl möglich, mit der Positionsbestimmung einer Werk­ stückaufnahmescheibe auch die Lagedaten der anderen Schei­ ben zu ermitteln. Für eine Werkstückbelade- und Entnahme­ vorrichtung bedeutet dies jedoch, daß ihr Kopf in einer Ebene parallel zur Ebene der Arbeitsscheiben zweidimen­ sional verstellt werden muß. Dies erfordert einen erheb­ lichen apparativen Aufwand. Es ist daher nach einer Ausge­ staltung der Erfindung zweckmäßiger, nach und nach die Position einzelner Aufnahmescheiben zu bestimmen. Diese nehmen daher jeweils die gleiche Lage ein, so daß der Kopf der Belade- und Entnahmevorrichtung ausschließlich linear verstellt werden muß, um seine Operationen durchzuführen.

Bei dem zuletzt beschriebenen Verfahren würde es unter Um­ ständen einige Zeit in Anspruch nehmen, die Aufnahmescheibe in der Ent- und Beladeposition zu positionieren, um die Aufnahmescheibe mit neuen Werkstücken ent- und beladen zu können. Eine alternative Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht daher vor, das Positionieren der Aufnahmescheibe zu einer Zeit durchzuführen, während der die bearbeiteten Werkstücke abgelegt und die unbearbeiteten Werkstücke der Ladevorrichtung zum Beladen aufgenommen werden. Dies kann etwa dadurch geschehen, daß der Kopf der Belade- und Entlade­ vorrichtung nach dem Beladen einer Aufnahmescheibe in der Be­ ladeposition zur benachbarten Aufnahmescheibe fährt und deren Werkstücke entnimmt. Ist der Kopf mit flächigen Greif- und Haltemitteln versehen, spielen die Relativlage des Kopfes und Position der einzelnen Aufnahmeöffnungen in der Aufnahmescheibe keine Rolle. Die aufgenommenen Werkstücke werden außerhalb der Maschine abgelegt. Der Kopf erfaßt dann bereitgehaltene Werkstücke und transportiert sie zur zuvor entladenen Auf­ nahmescheibe, die inzwischen in die Beladeposition weiter­ gefahren wurde. Ein derartiges Verfahren ist verhältnis­ mäßig zeitsparend. Für die Durchführung erfordert es einen ebenfalls nur gradlinig verstellbaren Kopf. Vorzugsweise erstreckt sich die Verstellachse des Kopfes durch die Mitten zweier benachbarter Aufnahmescheiben, von denen mindestens eine jeweils in der präzisen Beladeposition ange­ ordnet ist. Es versteht sich, daß bei diesem Verfahren die Aufnahmescheiben voneinander einen konstanten Abstand auf­ weisen müssen.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen näher erläutert.

Fig. 1 zeigt teilweise im Schnitt die Seitenansicht einer schematisch dargestellten Honmaschine.

Fig. 2 zeigt die Draufsicht auf die untere Arbeitsscheibe mit Werkzeugaufnahmescheiben und ihrem Antrieb in schematischer Darstellung.

Fig. 3 zeigt vergrößert die Einzelheit X nach Fig. 2.

Bevor auf die in den Zeichnungen dargestellten Einzelheiten näher eingegangen wird, sei vorangestellt, daß jedes der beschriebenen Merkmale für sich oder in Verbindung mit Merkmalen der Ansprüche von erfindungswesentlicher Be­ deutung ist.

Die in Fig. 1 gezeigte Honmaschine weist ein Grundgestell 10 auf sowie ein Oberteil 11, das um eine vertikale Achse vom Grundgestell 10 schwenkbar gelagert ist. Eine im Ober­ teil 11 gelagerte Welle 12 treibt eine obere Arbeitsscheibe 13 an. Mit Hilfe einer nicht dargestellten Einrichtung ist die Arbeitsscheibe 13 im Maschinenbereich 14 außerdem höhenverstellbar. Auf der Welle 12 sitzt ein Rad 15, das über einen Riemenantrieb 16 vom Antriebsmotor 17 ange­ trieben ist.

Eine Trägerscheibe 18 ist drehbar im Grundgestell 10 gelagert. Seine hohle Welle ist mit einem Antriebsrad 19 versehen, das über einen Riementrieb 20 von einem Antriebsmotor 21 angetrieben ist. Auf der Trägerscheibe 18 ruht die untere Arbeitscheibe 22. Durch die hohle Welle der Trägerscheibe 18 erstreckt sich eine Rolle 23. Auf der Welle 23 sitzt ein Antriebsrad 24, das über einen Riementrieb 25 von einem Antriebsmotor 25 a angetrieben ist. Auf der Welle 23 sitzt ein Zentralrad 27, das einen sogenannten Innenkranz 28 aufweist, der von einem Kranz von Stiften gebildet ist. Ein stationärer Ring 28 a lagert einen Außenkranz 29, der von einem Stiftkranz gebildet ist. Der Stiftkranz 29 ist in seiner Höhe relativ zur Arbeitsscheibe 22 verstellbar. Wie aus Fig. 2 zu er­ kennen, liegen auf der Arbeitsseite der unteren Arbeits­ scheibe 22 drei Werkstückaufnahmescheiben 30, 31, 32. Sie bestehen normalerweise aus Kunststoffmaterial oder Stahl und weisen eine Stirnverzahnung 33 auf. Die Stirnverzahnung ist in Eingriff mit dem Stiftkranz 29 und der Stiftkranz 28 des Zentralrads 27. Die Werkstückaufnahmescheiben 30 bis 32 weisen Werkstückaufnahmeöffnungen 34 auf zur Aufnahme von Werkstücken, die hier nicht gezeigt sind. Die bisher beschriebenen Einzelheiten sind Bestandteile herkömmlicher Hon-, Läpp- und Poliermaschinen.

Wird das Zentralrad 27 angetrieben, wälzen sich die Auf­ nahmescheiben 30 bis 32 am Außenkranz 29 ab und drehen sich dabei um ihre eigene Achse. Jede Werkstückaufnahmeöff­ nung oder -aufnahmetasche 34 beschreibt dabei eine Zykloide.

Die Zähnezahl des Außenkranzes 29 ist nun ein ganzzahliges Vielfaches der Zähnezahl der Scheibenverzahnung 33. Dies hat zur Folge, daß die Aufnahmescheiben 30 bis 32 in bezug auf einen Festpunkt immer die gleiche Drehlage einnehmen. Mit anderen Worten, ein Zahn einer Aufnahmescheibe 30 bis 32 betrachtet, hat bezüglich eines Stiftes des Außenkranzes 29 stets die gleiche Beziehung, oder anders gesagt, ein Zahn einer Aufnahmescheibe greift immer zwischen die glei­ chen benachbarten Stifte eines Außenkranzes. Ist außerdem die Zahl der Zähne des Außenkranzes 29 und des Innenkran­ zes 28 durch die Zahl der Aufnahmescheiben 30 bis 32 ganz­ zahlig teilbar, lassen sich zwischen den Aufnahmescheiben gleichbleibende Abstände herstellen und einhalten.

Ein erster Positionsfühler in Form eines Fühlstifts 40 ist außerhalb des Außenkranzes 29 diesem zugeordnet. Er ist mit einer Positioniereinheit B verbunden zur Verstellung gemäß Doppelpfeil zwischen einer hinteren Ruheposition und einer vorderen Meßposition. Die beiden Positionen werden ermittelt durch Endschalter Z _s und V _s . In der Positionier­ einheit ist der Fühlstift 40 mit einem Schalter B _s verbun­ den. Der Fühlstift 40 spricht auf den Zahn 41 der Verzah­ nung der Scheibe 32 an, da nur Zahn 41 stets an der Stelle erscheint, an der sich das Ende des Fühlstifts 40 befindet, um diesen geringfügig zu verstellen. Der Schalter B _s registriert die Verstellung des Fühlstiftes und gibt ein entsprechendes Positionssignal an eine nicht gezeigte Steuerschaltung zwecks Abschaltung des Antriebsmotors 25 a.

Im Umfangsabstand zur ersten Positioniereinheit B ist eine zweite Positioniereinheit A angeordnet mit einem Schalter A _s , der einen Fühlstift 42 aufweist. Der Schalter A _s ist ebenfalls radial entsprechend dem Doppelpfeil verstellbar. Der Schalter A _s enthält einen Fühlmechanismus, der die Be­ rührung des Fühlstiftes 42 mit der Zahnung 33 der Scheiben 30 bis 32 registriert.

Zwischen den Positioniereinheiten B und A ist eine Ausricht­ vorrichtung Z angeordnet, die ein Ausrichtelement Z _z auf­ weist, das entsprechend dem Doppelpfeil radial relativ zur Achse des Zentralrads 27 verstellbar ist. Bei Betätigung greift das Ausrichtelement Z _z an den Köpfen der Zähne der Scheibenverzahnung 33 an.

In Fig. 2 ist auch eine Belade- und Entnahmevorrichtung schematisch dargestellt, die einen Kopf 45 aufweist, der mit Hilfe einer Verstelleinrichtung 46 in Richtung des Doppelpfeils 47 verstellbar ist. Bei angehobener Arbeits­ scheibe 13 kann der Kopf 45 über die Arbeitsscheibe 22 fahren und Werkstücke in die Taschen 34 einlegen oder aus diesen entnehmen. Es versteht sich, daß der Kopf 45 bezüglich jeder anderen Arbeitsscheibe in der beschriebenen Weise wirkt, wenn sie die Position der Scheibe 30 einnimmt. Außerdem kann der Kopf 45 auch der Position zugeordnet werden, welche von der Scheibe 32 als eingenommen gezeich­ net ist. Die Belade- und Entnahmevorrichtung ist ausschließ­ lich aus darstellerischen Gründen in der gezeigten Posi­ tion veranschaulicht.

Für die Beschreibung der Wirkungsweise der gezeigten Ma­ schine sei angenommen, daß sich in den Aufnahmetaschen 34 Werkstücke befinden und diese fertig bearbeitet sind. Die Antriebsmotoren 17, 21, 25 a werden abgeschaltet, und die obere Arbeitsscheibe 13 wird angehoben und weggeschwenkt. Dieser Vorgang löst in der nicht gezeigten Steuerschaltung ein Signal für die Verstellglieder der zweiten Positions­ einheit A und der Ausrichtvorrichtung Z aus. Danach wird der Antriebsmotor 25 a erneut eingeschaltet. Dadurch werden die Werkzeugaufnahmescheiben 30 bis 32 erneut angetrieben, was zu einem Ansprechen des Fühlerstifts 42 führt, wenn die Scheibe 32 eine vorgegebene Lage erreicht hat. In Fig. 2 hat dieser Vorgang kurz zuvor stattgefunden. Das Aktivierungssignal vom Fühlstift 42 bewirkt in der Steuer­ schaltung, daß der Antriebsmotor 25 a in Schleichgang ge­ schaltet wird. Außerdem verstellt die Positioniereinheit B den Fühlstift 40 in die Meßposition. Das Erreichen der Meßposition wird vom Grenzschalter V _s ermittelt. Die lang­ sam angetriebene Aufnahmescheibe 32 betätigt den Fühlstift 40. Das Ausgangssignal vom Schalter B _s führt zu einem so­ fortigen Stopp des Antriebsmotors 25 a, der zweckmäßigerweise mit einer wirksamen Bremse versehen ist. Nach dem Abschal­ ten des Antriebsmotors 25 a wird der Fühlstift 40 in die Ruheposition zurückverstellt. Dies wird durch Endschalter Z _s registriert. Durch Aktivierung des Ausrichtelements Z _z ist außerdem die Gewähr gegeben, daß auch bei großem Spiel in der Verzahnung eine genau definierte Positions der Auf­ nahmescheibe in radialer Richtung eingehalten werden kann, weil das Ausrichtelement Z _z am Außendurchmesser der Auf­ nahmescheibe angreift, der praktisch keinem Verschleiß unterliegt. Mit Hilfe der Entnahmevorrichtung bzw. des Kopfes 45 der Entnahmevorrichtung können nunmehr die Werk­ stücke aus den Taschen 34 der Scheibe 32 entnommen werden. Die Lage der Taschen 34, die auf einem Kreis angeordnet sind, ist bei jeder neuen Positionsbestimmung der Scheibe 32 und dem unmittelbar darauffolgenden Beenden des Abwälz­ vorgangs reproduzierbar die gleiche, so daß die entspre­ chenden Greifvorrichtungen im Kopf 45, wenn sie einmal darauf einjustiert sind, immer wieder zu den Taschen 34 ausgerichtet sind. Die Belade- und Entnahmevorrichtung kann daher sehr einfach aufgebaut werden. Der Kopf 45 braucht lediglich linear verstellt zu werden. Eine Ver­ drehung bzw. Verschwenkung ist nicht erforderlich. Sie kann jedoch vorgesehen sein, und zwar für solche Fälle, in denen bezüglich aller Aufnahmescheiben 30 bis 32 nur die Positionsbestimmung für eine Scheibe durchgeführt wird. Im oben beschriebenen Verfahren werden die Aufnahmescheiben 30 bis 32 nacheinander in eine vorgegebene Lage und Dreh­ lage gebracht und entsprechend beladen bzw. entladen. Haben die Aufnahmescheiben eine vorgegebene Winkelbeziehung zueinander, genügt die Kenntnis der Lage und Drehlage einer Arbeitsscheibe, um Drehlage und Position der anderen Arbeitsscheiben ebenfalls zu kennen. Mit Hilfe eines geeig­ neten roboterartigen Gerätes können dann die einzelnen Aufnahmescheiben angefahren werden, um die Werkstücke ein­ zulegen oder herauszunehmen.

Die in Fig. 2 dargestellte Belade- und Entladevorrichtung kann auch so ausgeführt werden, daß ihr Kopf 45 in der Lage ist, neben der Aufnahmescheibe in der Be- und Entlade­ position auch eine benachbarte Aufnahmescheibe anzufahren. Dies geschieht zweckmäßigerweise in der Form, daß die Ver­ stellachse durch die Mitten von zwei benachbarten Aufnahme­ scheiben 30, 31 bzw. 32 verläuft. Das Be- und Entladen spielt sich dann wie folgt ab. Es sei angenommen, daß die Aufnahmescheibe 32 eine präzise Beladeposition eingenommen hat und keine Werkstücke enthält. Der Kopf 45 hat von einem Ort außerhalb der Honmaschine Werkstücke aufgenommen, und zwar in einer Anordnung und Orientierung, daß die Werkstücke zu den Aufnahmetaschen 34 in der Scheibe 32 präzise ausgerichtet sind, wenn sich der Kopf 45 oberhalb der Aufnahmescheibe 32 befindet. Die Werkstücke können nunmehr präzise in den Aufnahmetaschen 34 abgelegt werden. Nachdem dies geschehen ist, fährt der Kopf 45 zum Beispiel weiter zur Aufnahmescheibe 31, in der sich noch Werkstücke befinden. Die Greif- und Haltemittel des Kopfes 45 wirken flächenförmig, d.h. es ist nicht notwendig, daß die Werk­ stücke in bestimmter Orientierung anzuordnen sind, damit sie vom Kopf aufgenommen werden können. Die relativ genaue Lage der Aufnahmescheibe 31 ist bekannt. Hat der Kopf 45 diese Lage erreicht, können die Werkstücke aus den Auf­ nahmetaschen entnommen und im Anschluß daran außerhalb der Honmaschine abgelegt werden. Sobald dies geschehen ist, wird der Antriebsmotor 25 a geschaltet, so daß die Aufnahmescheibe 31 weiterbewegt wird, bis sie die präzise Beladeposition erreicht hat, die zuvor von der Aufnahmescheibe 32 eingenommen wurde. In dieser Beladeposi­ tion wird dann die Aufnahmescheibe mit Werkstücken beladen, wobei im Anschluß daran die Werkstücke aus der benachbarten Aufnahmescheibe entnommen werden. Ein derartigesVerfahren stellt eine zeitliche Optimierung des Be- und Entladens mit Werkstücken dar bei größter Einfachheit der Be- und Entladevorrichtung. Der Kopf 45 braucht lediglich entlang einer Achse verstellt und ausgerichtet zu werden.

Claims (17)

1. Hon-, Läpp- oder Poliermaschine, bei der in Arbeitshöhe der oberen und unteren Arbeitsscheibe ein Stifte oder Zähne aufweisender Außenkranz, ein zentraler, von einem Antriebsmotor drehend angetriebener Stifte oder Zähne aufweisender Innenkranz und zwischen den Arbeitsschei­ ben Werkstückaufnahmescheiben angeordnet sind, wobei die Werkstückaufnahmescheiben nach Art eines Planeten­ getriebes als eine Stirnverzahnung aufweisende Planeten­ räder mit den Stiften oder Zähnen von Außen- und Innen­ kranz in abwälzenden Eingriff bringbar sind und Aufnah­ meöffnungen für die Werkstücke aufweisen, bei der fer­ ner der Antriebsmotor eine Steuerschaltung sowie eine Bremse aufweist, wobei der Antriebsmotor abgeschaltet und die Bremse eingeschaltet wird, wenn die Steuerschal­ tung ein entsprechendes Stoppsignal abgibt und bei der eine Belade- und Entladevorrichtung vorgesehen ist mit einem Kopf, der zum einsetzen von Werkstücken in die Aufnahmescheiben und zum Entnehmen der Werkstücke aus den Aufnahmescheiben in eine Position oberhalb minde­ stens einer Aufnahmescheibe verfahrbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Stifte oder Zähnezahl des Außen­ kranzes (29) ein ganzzahliges Vielfaches der Stifte oder Zähnezahl der Aufnahmescheibe (30, 31, 32) ist, außerhalb der Umlaufbahn der Aufnahmescheiben (30, 31, 32) ein Positionsfühler (40) vorgesehen ist, der ein Positionssignal erzeugt, wenn eine Arbeitsscheibe (30, 31, 32) eine vorgegebene Relativlage zum Fühler (40) einnimmt und die Steuerschaltung das Stoppsignal er­ zeugt, wenn sie das Positionssignal erhält.

2. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Fühler (40) mit einer Positioniereinheit (B) ver­ bunden ist zur Verstellung des Fühlers (40) von einer zurückgezogenen Ruheposition in eine ausgefahrene Meßposition und umgekehrt.

3. Maschine nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Zähne- bzw. Stiftzahl des Innen- und Außenkranzes durch die Stückzahl der Aufnahmeschei­ ben (30, 31, 32) ganzzahlig teilbar ist.

4. Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Antriebsmotor (25 a) in den Schleichgang schaltbar ist und die Steuerschaltung den Positionsfühler (40) aktiviert, nachdem der Antriebs­ motor (25 a) ggf. nach vorübergehendem Stillstand in den Schleichgang geschaltet ist.

5. Maschine nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Positioniereinheit (B) den Positionsfühler (40) in die Meßposition verstellt, wenn der Antriebsmotor (25 a) ausgeschaltet ist oder nachdem er in den Schleichgang geschaltet ist.

6. Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge­ kennzeichnet, daß außerhalb der Umlaufbahn der Aufnahme­ scheiben (30, 31, 32) ein weiterer Positionsfühler (42) vorgesehen ist, der ein Aktivierungssignal für den ersten Positionsfühler (40) oder seine Positionierein­ heit (B) erzeugt, wenn die Aufnahmescheibe (30, 31, 32) eine vorgegebene Relativlage zum weiteren Positionsfüh­ ler (42) einnimmt.

7. Maschine nach Anspruch 2 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Positioniereinheit (B) den ersten Positions­ fühler (40) in die Meßposition verstellt, wenn der zweite Positionsfühler (42) das Aktivierungssignal erzeugt.

8. Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß erster und zweiter Positionsfühler (40, 42) am Außenkranz (29) angebracht sind.

9. Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß dar Positionsfühler (40, 42) auf den Kopf eines Zahns anspricht.

10. Maschine nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß ein Zahn der Aufnahmescheiben eine besondere geome­ trische Form oder Oberfläche aufweist, ein besonders als Initiator dienendes Element enthält, das gegebenen­ falls aus einem anderen Werkstoff besteht oder aus einem anderen Werkstoffgefüge als der andere Teil der Aufnahmescheiben.

11. Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß außerhalb der Umlaufbahn der An­ triebsscheiben (30, 31, 32) eine Ausrichtvorrichtung (Z) angeordnet ist, die die Aufnahmescheiben (30, 31, 32) bevorzugt radial ausrichtet, vorzugsweise wenn sie ihre Relativlage erreicht haben.

12. Maschine nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausrichtvorrichtung (Z) am Kopfdurchmesser der Verzahnung (33) der Aufnahmescheiben (30, 31, 32) an­ greift.

13. Verfahren zum Be- und Entladen von Werkstücken für eine Hon-, Läpp- oder Poliermaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 11 mit Hilfe einer Belade- und Ent­ ladevorrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß mit Hilfe des ersten und ggf. des zweiten Positionsfühlers die Relativlage bzw. die Belade- und Entladeposition einer ersten Aufnahmescheibe ermittelt wird, der voreinge­ stellte, linear verstellbare Kopf der Be- und Entlade­ vorrichtung über die erste Aufnahmescheibe gefahren wird zwecks Be- oder Entladens der Werkstücke, erster und ggf. zweiter Positionsfühler ermitteln, wenn eine zweite Aufnahmescheibe die Belade- oder Entladeposi­ tion, die vorher von der ersten Aufnahmescheibe einge­ nommen wurde, erreicht hat, der Kopf der Be- und Ent­ ladevorrichtung über die zweite Aufnahmescheibe ge­ fahren wird zwecks Beladens oder Entladens von Werk­ stücken, usw.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Beladeposition einer ersten Aufnahmescheibe ermittelt wird, der Kopf der Be- und Entladevorrich­ tung Werkstücke in die erste Aufnahmescheibe einlegt, daß durch weitere vorzugsweise lineare Verstellung des Kopfes der Be- und Entladevorrichtung Werkstücke aus einer benachbarten zweiten Aufnahmescheibe entnommen und außerhalb der Arbeitsscheiben abgelegt werden, daß nach dem Entladan der Werkstücke die zweite Aufnahmescheibe in die Be­ ladeposition gefahren wird, die zuvor von der ersten Aufnahmascheibe eingenommen wurde, der Be- und Entlade­ kopf weitere Werkstücke in die zweite Aufnahmescheibe einlegt usw.

15. Maschine zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 13 oder 14 mit einer Be- und Entladevorrichtung, deren Kopf zwischen einer Be- und Entladeposition oberhalb der unteren Arbeitsscheibe und einer Ablage- und Auf­ nahmeposition außerhalb der Arbeitsscheibe verstellbar gelagert ist und Mittel aufweist zum Halten von Werk­ stücken, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf (45) der Be- und Entladevorrichtung an einem Arm oder dergleichen Haltevorrichtung gehalten ist und geradlinig verstellbar ist.

16. Maschine nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellachse durch die Mitten von zwei Aufnahmescheiben in deren Be- und Entlade­ position geht.

17. Maschine nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf (45) flächenhaft wirkende Greif- und Halte­ mittel für die Werkstücke aufweist.