CN111958481B - 一种便于精确定位的圆硅片研磨盘 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种便于精确定位的圆硅片研磨盘，包括研磨底盘，研磨底盘上端面的外圈成型有环形的集水槽，集水槽外侧的磨底盘上成型有挡水环，研磨底盘的中心设有齿轮轴，齿轮轴的上端成型有导向轴，齿轮轴的下端成型有传动轴，传动轴通过轴承和研磨底盘相铰接；齿轮轴四周的研磨底盘设有若干定位盘，定位盘绕齿轮轴的中心轴线呈环形均匀分布；所述定位盘的外圈成型有齿圈，齿圈和齿轮轴相啮合；定位盘的中心插接定位柱，定位柱的下端插接固定在研磨底盘上，定位柱四周的定位盘上成型有定位孔，定位孔之间的定位盘上成型有定位槽，定位槽或定位孔绕定位柱的中心轴线呈环形均匀分布。

Description

一种便于精确定位的圆硅片研磨盘
技术领域
本发明涉及半导体磨床的技术领域，更具体地说涉及一种便于精确定位的圆硅片研磨盘。
背景技术
目前半导体原材料硅片的制备过程中需要采用磨床对切割呈圆形的硅片进行表面研磨，现有的磨床一般设有一个下磨盘和一个上磨盘，上磨盘通过升降与下磨盘合拢，上磨盘和下磨盘以相反的方向进行转动，进而对安放在下磨盘的硅片进行研磨，为防止硅片无规则移动，会在下磨盘设置可以定位安放硅片的定位盘，同时为提高了研磨效果，会在定位盘外侧成型齿圈，利用中心齿轮驱动定位盘转动，进而硅片还可以有规则的转动，但目前往定位盘上安放硅片，都是采用人工安放，人工安放效率低；进而提出利用机械手安放，采用机械手需要定位盘上安放硅片的定位孔上料工位精度定位，则安装定位盘安装过程中需要精确调整定位盘上定位孔的位置，才能满足机械手的使用要，进而定位盘的安装较为麻烦。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供了一种便于精确定位的圆硅片研磨盘，其能方便定位盘的安装作业，同时能保证定位盘上定位孔的精确定位。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：
一种便于精确定位的圆硅片研磨盘，包括研磨底盘，研磨底盘上端面的外圈成型有环形的集水槽，集水槽外侧的磨底盘上成型有挡水环，研磨底盘的中心设有齿轮轴，齿轮轴的上端成型有导向轴，齿轮轴的下端成型有传动轴，传动轴通过轴承和研磨底盘相铰接；齿轮轴四周的研磨底盘设有若干定位盘，定位盘绕齿轮轴的中心轴线呈环形均匀分布；所述定位盘的外圈成型有齿圈，齿圈和齿轮轴相啮合；定位盘的中心插接定位柱，定位柱的下端插接固定在研磨底盘上，定位柱四周的定位盘上成型有若干圆形的定位孔，相邻的定位孔之间的定位盘上成型有矩形的定位槽，定位槽或定位孔绕定位柱的中心轴线呈环形均匀分布；所述的研磨底盘上成型有若干与定位盘相对的T型凹槽，研磨底盘的T型凹槽内插接有T型的翻转块，翻转块由圆柱形的转动杆和矩形的定位块组成，定位块插接在定位盘的定位槽内；所述的翻转块绕齿轮轴的中心轴线呈环形均匀分布。
优选的，所述定位盘的数量等于翻转块的数量，翻转块上定位块的宽度等于定位盘上定位槽的宽度。
优选的，所述的T型凹槽分布在研磨底盘的内圈，T型凹槽由横槽和纵槽组成，转动杆插接在T型凹槽的横槽内，横槽的长度等于转动杆的长度，所述定位块的宽度不大于T型凹槽纵槽的槽宽。
优选的，所述翻转块采用永磁铁，翻转块的定位块上成型有拉手槽。
优选的，所述定位柱的上端面不高于定位盘的上端面。
优选的，所述研磨底盘的上端面上成型有若干道纵横交错的排水槽，排水槽和集水槽相连通。
优选的，所述挡水环的上端面高于定位盘的上端面。
本发明的有益效果在于：其能方便定位盘的安装作业，同时能保证定位盘上定位孔的精确定位。
附图说明
图1为本发明立体的结构示意图；
图2为本发明俯视的结构示意图；
图3为本发明翻转块的结构示意图。
图中：1、研磨底盘；11、集水槽；12、挡水环；13、排水槽；14、T型凹槽；2、齿轮轴；21、导向轴；3、定位盘；31、定位孔；32、定位槽；4、定位柱；5、翻转块；51、转动杆；52、定位块。
具体实施方式
实施例：见图1至3所示，一种便于精确定位的圆硅片研磨盘，包括研磨底盘1，研磨底盘1上端面的外圈成型有环形的集水槽11，集水槽11外侧的磨底盘1上成型有挡水环12，研磨底盘1的中心设有齿轮轴2，齿轮轴2的上端成型有导向轴21，齿轮轴2的下端成型有传动轴，传动轴通过轴承和研磨底盘1相铰接；齿轮轴2四周的研磨底盘1设有若干定位盘3，定位盘3绕齿轮轴2的中心轴线呈环形均匀分布；所述定位盘3的外圈成型有齿圈33，齿圈33和齿轮轴2相啮合；定位盘3的中心插接定位柱4，定位柱4的下端插接固定在研磨底盘1上，定位柱4四周的定位盘3上成型有若干圆形的定位孔31，相邻的定位孔31之间的定位盘3上成型有矩形的定位槽32，定位槽32或定位孔31绕定位柱4的中心轴线呈环形均匀分布；所述的研磨底盘1上成型有若干与定位盘3相对的T型凹槽14，研磨底盘1的T型凹槽14内插接有T型的翻转块5，翻转块5由圆柱形的转动杆51和矩形的定位块52组成，定位块52插接在定位盘3的定位槽32内；所述的翻转块5绕齿轮轴2的中心轴线呈环形均匀分布。
所述定位盘3的数量等于翻转块5的数量，翻转块5上定位块52的宽度等于定位盘3上定位槽32的宽度。
所述的T型凹槽14分布在研磨底盘1的内圈，T型凹槽14由横槽和纵槽组成，转动杆51插接在T型凹槽14的横槽内，横槽的长度等于转动杆51的长度，所述定位块52的宽度不大于T型凹槽14纵槽的槽宽。
所述翻转块5采用永磁铁，翻转块5的定位块52上成型有拉手槽53。
所述定位柱4的上端面不高于定位盘3的上端面。
所述研磨底盘1的上端面上成型有若干道纵横交错的排水槽13，排水槽13和集水槽11相连通。
所述挡水环12的上端面高于定位盘3的上端面。
工作原理：本发明为便于精确定位的圆硅片研磨盘，主要是方便研磨盘上定位盘3的安装定位，其技术点在于在研磨底盘1上开设有T型凹槽14，T型凹槽14内设有用于定位的翻转块5，并在定位盘3上开设定位槽32，翻转块5翻转，定位块52露出研磨底盘1的上端面，定位盘3上的定位槽32和配合定位块52，进而方便定位盘3的安装，当定位盘3安装后，可以翻转翻转块5，实现翻转块5隐藏在研磨底盘1内，不会影响硅片的研磨。
所述实施例用以例示性说明本发明，而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对所述实施例进行修改，因此本发明的权利保护范围，应如本发明的权利要求所列。

Claims (4)

1.一种便于精确定位的圆硅片研磨盘，包括研磨底盘(1)，研磨底盘(1)上端面的外圈成型有环形的集水槽(11)，集水槽(11)外侧的磨底盘(1)上成型有挡水环(12)，研磨底盘(1)的中心设有齿轮轴(2)，齿轮轴(2)的上端成型有导向轴(21)，齿轮轴(2)的下端成型有传动轴，传动轴通过轴承和研磨底盘(1)相铰接；其特征在于：齿轮轴(2)四周的研磨底盘(1)设有若干定位盘(3)，定位盘(3)绕齿轮轴(2)的中心轴线呈环形均匀分布；所述定位盘(3)的外圈成型有齿圈(33)，齿圈(33)和齿轮轴(2)相啮合；定位盘(3)的中心插接定位柱(4)，定位柱(4)的下端插接固定在研磨底盘(1)上，定位柱(4)四周的定位盘(3)上成型有若干圆形的定位孔(31)，相邻的定位孔(31)之间的定位盘(3)上成型有矩形的定位槽(32)，定位槽(32)或定位孔(31)绕定位柱(4)的中心轴线呈环形均匀分布；所述的研磨底盘(1)上成型有若干与定位盘(3)相对的T型凹槽(14)，研磨底盘(1)的T型凹槽(14)内插接有T型的翻转块(5)，翻转块(5)由圆柱形的转动杆(51)和矩形的定位块(52)组成，定位块(52)插接在定位盘(3)的定位槽(32)内；所述的翻转块(5)绕齿轮轴(2)的中心轴线呈环形均匀分布；
所述的T型凹槽(14)分布在研磨底盘(1)的内圈，T型凹槽(14)由横槽和纵槽组成，转动杆(51)插接在T型凹槽(14)的横槽内，横槽的长度等于转动杆(51)的长度，所述定位块(52)的宽度不大于T型凹槽(14)纵槽的槽宽；
所述翻转块(5)采用永磁铁，翻转块(5)的定位块(52)上成型有拉手槽(53)；
所述定位盘(3)的数量等于翻转块(5)的数量，翻转块(5)上定位块(52)的宽度等于定位盘(3)上定位槽(32)的宽度。
2.根据权利要求1所述的一种便于精确定位的圆硅片研磨盘，其特征在于：所述定位柱(4)的上端面不高于定位盘(3)的上端面。
3.根据权利要求1所述的一种便于精确定位的圆硅片研磨盘，其特征在于：所述研磨底盘(1)的上端面上成型有若干道纵横交错的排水槽(13)，排水槽(13)和集水槽(11)相连通。
4.根据权利要求1所述的一种便于精确定位的圆硅片研磨盘，其特征在于：所述挡水环(12)的上端面高于定位盘(3)的上端面。
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