CN209239681U - 一种陶瓷盘座 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种陶瓷盘座，包括基座、陶瓷盘和定位板；所述基座内部开设有气道，所述气道连接有真空泵，所述基座的上表面开设有第一抽气口和第二抽气口，所述第一抽气口与所述气道连接，所述第二抽气口位于所述基座的中心，所述第二抽气口与所述真空泵连接；所述陶瓷盘设置于所述基座的上方；所述定位板设置于所述陶瓷盘的外周，所述基座外周固定有支架，所述支架支撑所述定位板，所述定位板的上表面与所述陶瓷盘的上表面齐平。该陶瓷盘座，将待切割产品放置于陶瓷盘上，并与定位板固定于一起，能够对产品精确定位，在整个切割过程中不会产生摇晃位移等，避免由于抛光液的冲击或装置内其他部件的震动而导致切割误差过大导致产品不良的问题。

Description

一种陶瓷盘座

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体的是一种陶瓷盘座。

背景技术

在半导体专用设备制造发展的过程中，将减薄、抛光、清洗等工艺集成在一台设备上是现代化研发的主导方向，然而这就意味着晶圆在同一台设备的整个加工流程需要同时面对更多样的外界因素干扰。

传统的陶瓷盘座，都是直接安装在工作台上，在晶片磨削过程中，往往伴随大量颗粒和污水，使得陶瓷盘座很容易弄脏，不易于清理，然而，将陶瓷盘座做成分体式时，由于在晶片磨削过程中会产生震动，使得陶瓷盘座不稳定造成产品精度差，因此需要对陶瓷盘和产品进行稳定固定。

实用新型内容

为解决以上技术问题，本实用新型设计了一种陶瓷盘座，防止带切割产品在切割过程中由于抛光液的冲击或装置内其他部件的震动而致使切割误差过大导致的产品不良的问题。

本实用新型是采用如下方案实现的：

一种陶瓷盘座，包括基座、陶瓷盘和定位板；

所述基座内部开设有气道，所述气道连接有真空泵，所述基座的上表面开设有第一抽气口和第二抽气口，所述第一抽气口与所述气道连接，所述第二抽气口位于所述基座的中心，所述第二抽气口与所述真空泵连接；

所述陶瓷盘设置于所述基座的上方；

所述定位板设置于所述陶瓷盘的外周，所述基座外周固定有支架，所述支架支撑所述定位板，所述定位板的上表面与所述陶瓷盘的上表面齐平。

优选地，所述支架包括第一定位块、第二定位块、第三定位块和第四定位块，所述第一定位块与所述第四定位块相对设置，所述第二定位块与所述定位块相对设置，所述第一定位块、所述第二定位块、所述第三定位块和所述第四定位块的下端分别与所述基座连接，所述第一定位块、所述第二定位块、所述第三定位块和所述第四定位块的上端分别设置有凹台，所述定位板的边缘嵌入所述第一定位块、所述第二定位块、所述第三定位块和所述第四定位块的凹台内。

更优选地，所述第一定位块上设置有定位销，两个所述定位销并排凸出于所述第一定位块的凹台，所述定位板上设置有凹位与所述定位销相配合。

更优选地，所述第一定位块、第二定位块和第三定位块的下端与所述基座固定连接，所述第四定位块与所述基座连接有压紧机构，所述压紧机构包括压缩弹簧，所述压缩弹簧驱使所述第四定位块靠近所述基座。

更优选地，所述压紧机构包括固定块、压缩弹簧、导杆，所述固定块与所述基座固定连接，所述导杆的一端固定在所述固定块上，所述弹簧套设与所述导杆上，所述压缩弹簧的一端与所述固定块固定连接，所述第四定位块开设有孔所述导杆的另一端在所述第四定位块的孔内前后移动，所述压缩弹簧的另一端位于所述孔内并与所述第四定位块固定连接，所述压缩弹簧驱使所述第四定位块靠近所述基座。

更优选地，所述压紧机构还包括导向组件，导向组件包括导向轴承与直线轴承，所述直线轴承固定设置于所述第四定位块上，所述导向轴承固定设置于所述固定块上，所述直线轴承套设于所述导向轴承上，所述直线轴承与所述导向轴承相对滑动，两个所述组件分别位于所述导向轴的两侧。

优选地，所述基座的上表面开设有槽，若干个所述第一抽气口位于所述槽内。

优选地，所述陶瓷盘包括陶瓷板和包覆层，所述包覆层包覆所述陶瓷板的下表面和外周，所述包覆层开设有与所述第二抽气口相配合的气孔，与所述包覆层由导电材料制成。

优选地，所述第一定位块、所述第二定位块、所述第三定位块和所述第四定位块均设置有磁吸件。

本实用新型的陶瓷盘座，将待切割产品放置于陶瓷盘上，并与定位板固定于一起，能够对产品精确定位，且在整个切割过程中不会产生摇晃位移等现象，避免由于抛光液的冲击或装置内其他部件的震动而导致切割误差过大导致产品不良的问题。

附图说明

图1一种陶瓷盘座的结构示意图

图2一种陶瓷盘座的分解结构示意图

图中，1基座，11气道，12第一抽气口，13槽，14第二抽气口，2陶瓷盘，21陶瓷板，22包覆层，221气孔，3定位板，31凹位，41第一定位块，411凹台，412定位销，42第二定位块，421凹台，43第三定位块，431 凹台，44第四定位块，441凹台，442孔，51固定块，52压缩弹簧，53导杆，54堵头，55导向组件，551导向轴承，552直线轴承，6定位销，7防水盖板，8密封圈

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1和图2，是一种陶瓷盘座的结构示意图，该陶瓷盘座包括陶瓷盘2 和基座1，陶瓷盘2位于基座1上方，基座1支撑陶瓷盘2。

基座1由大理石制成，在基座1的内部开设有气道11，并在基座1的上表面开设有若干个第一抽气口12，第一抽气口12与气道11连通。同时，在基座1的中心处，开设有第二抽气口14，其中气道11和第二抽气口14均与同一真空泵连接，由真空泵对第二抽气口14和气道11抽气。

陶瓷盘座还包括定位板3，定位板3为中空结构，位于陶瓷盘2的外周，定位板3将与产品固定于一起，对产品起到定位的作用。

其中，气道11，可以在一体成型的基座的侧面向中间穿孔，气道11可以设置为一条或多条，气道11由基座1的中心处延伸至基座的边缘处，并相应的，在气道11上方都开设有通向基座1上表面的第一抽气口11。具体的，在本实施例中，基座1内部的气道11的开设方法为，在基座1由边缘向中心处钻孔形成气道通道，并由基座1的上表面沿气道通道间隔穿孔形成第一抽气口12，然后将气道通道位于基座1的边缘采用栓塞塞住，基座1内部则形成气道11。

在其他的实施例中，气道的设置，也可采用其他方式，如分别在两块相同的基座板上相应的位置开槽，并将两块基座板贴合并粘合于一起，并在其中一块基板上开设有连通气道的抽气口。

进一步的，在基座1的上表面上还开设有槽13，第一抽气口12位于槽 13的槽底部。陶瓷盘2安装于基座1上方时，槽13在基座1与陶瓷盘2之间也形成了一个气路，真空泵启动后，对槽23进行抽吸，使得陶瓷盘紧紧的附着在基座2的上方，同时，由于陶瓷盘内部致密的小孔，也使得真空泵同时抽吸上方的空气，如陶瓷盘上搁置有物品时，则将物品牢牢的吸附在陶瓷盘上。

第二抽气口14，位于基座1的中心处，并在第二抽气口14处安装有金属探针。进一步，在基座1位于中心处也开有槽，使得槽内的部分形成一个空腔，第二抽气口14与包覆层22的开孔221形成连通关系。

陶瓷盘2包括陶瓷板21和包覆层22，陶瓷板21为具有微孔性质，其内部可与外部形成气体导通，包覆层22包覆陶瓷板21的下表面和外周，包覆层12为金属层，包覆层22与金属探针接触。并在包覆层的中心处开孔221，第二抽气口14抽气时，通过开孔221对陶瓷板21抽气，多微孔的陶瓷板上的待切割产品因此牢牢吸附在陶瓷板21的表面上。

在该方案中，真空泵对气道11和第一抽气口12抽气，将陶瓷盘2的包覆层牢牢的与基座1固定，真空泵对第二抽气口14抽气，将待切割产品牢牢的与陶瓷板固定。

定位板3，采用支4支撑，其中，支架包括第一定位块41、第二定位块 42、第三定位块43和第四定位块44，第一定位块41和第四定位块44相对设置，第二定位块42与第三定位块43相对设置，第一定位块41、第二定位块42、第三定位块43和第四定位块44的下端分别与基座连接，并且位于第一定位块41、第二定位块42、第三定位块43和第四定位块44的上端分别设置有凹台411、421、431、441，定位板3的边缘嵌入第一定位块41、第二定位块42、第三定位块43和第四定位块44的凹台411、421、431、441形成的区域内，使得定位板3的上表面与陶瓷盘2的上表面齐平。

在本实施例中，第一定位块41、第二定位块42、第三定位块43的下端分别与基座1固定连接，第四定位块41则可在较小范围内，与基座相对活动，具体的，第四定位块44与基座1连接有压紧机构，在压紧机构内设置有压缩弹簧52，压缩弹簧52驱使第四定位块44靠近基座1的方向。进一步，在本实施例中，压紧机构包括固定块51、压缩弹簧52、导杆53，固定块51与基座1固定连接，导杆53的一端固定在固定块51上，压缩弹簧52套设在导杆 53上，压缩弹簧52的一端与固定块51固定连接，在第四定位块44内开设有用于套接导杆53和压缩弹簧52的孔，导杆53与第四定位块44可相对前后移动，压缩弹簧52的另一端位于孔内并与安装于第四定位块44的另一侧的堵头54固定，压缩弹簧52驱使第四定位块44靠近基座1。

再进一步，该压紧机构还包括导向组件55，导向组件55包括导向轴承和直线轴承，其中，在第四定位块44还开设有用于安装直线轴承的孔442，导向轴承固定安装于固定块51上，直线轴承套设于导向轴承上，直线轴承与导向轴承相对滑动，在本实施例中，两个导向组件分别位于导杆53的两侧。

进一步，在第一定位块41的凹台411上，还设置有定位销412，并且相应的在定位板3上开设有与定位销412相配合的凹位31。

进一步，在基座1上设置有定位销6，陶瓷盘1的底部相应的开设有定位孔，陶瓷盘2放置于基座1上方时，定位销6的上端插入定位孔中，使得陶瓷盘放入恰当的位置，并且使得陶瓷盘1的金属探针电导通。

其中，在第一定位块41、第二定位块42、第三定位块43和第四定位块 44上均设有磁吸件，具体的，在本实施例中，在第一定位块、第二定位块、第三定位块和第四定位块的下方均开设有孔，将磁铁塞于空中，并使用销件将磁铁固定，在空中，磁铁将定位板磁吸固定在各个定位块的凹台上，进一步增加了结构的稳固性。

进一步，位于基座1下方设置有防水盖板7，防水盖板一体成型，保护下方电机不被水切割液浸蚀。并且，基座1与防水盖板7之间连接有密封圈8。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种陶瓷盘座，其特征在于，包括基座、陶瓷盘和定位板；

所述基座内部开设有气道，所述气道连接有真空泵，所述基座的上表面开设有第一抽气口和第二抽气口，所述第一抽气口与所述气道连接，所述第二抽气口位于所述基座的中心，所述第二抽气口与所述真空泵连接；

所述陶瓷盘设置于所述基座的上方；

所述定位板设置于所述陶瓷盘的外周，所述基座外周固定有支架，所述支架支撑所述定位板，所述定位板的上表面与所述陶瓷盘的上表面齐平。

2.根据权利要求1所述的陶瓷盘座，其特征在于，所述支架包括第一定位块、第二定位块、第三定位块和第四定位块，所述第一定位块与所述第四定位块相对设置，所述第二定位块与所述第三定位块相对设置，所述第一定位块、所述第二定位块、所述第三定位块和所述第四定位块的下端分别与所述基座连接，所述第一定位块、所述第二定位块、所述第三定位块和所述第四定位块的上端分别设置有凹台，所述定位板的边缘嵌入所述第一定位块、所述第二定位块、所述第三定位块和所述第四定位块的凹台内。

3.根据权利要求2所述的陶瓷盘座，其特征在于，所述第一定位块上设置有定位销，两个所述定位销并排凸出于所述第一定位块的凹台，所述定位板上设置有凹位与所述定位销相配合。

4.根据权利要求2或3所述的陶瓷盘座，其特征在于，所述第一定位块、第二定位块和第三定位块的下端与所述基座固定连接，所述第四定位块与所述基座连接有压紧机构，所述压紧机构包括压缩弹簧，所述压缩弹簧驱使所述第四定位块靠近所述基座。

5.根据权利要求4所述的陶瓷盘座，其特征在于，所述压紧机构包括固定块、压缩弹簧、导杆，所述固定块与所述基座固定连接，所述导杆的一端固定在所述固定块上，所述压缩弹簧套设与所述导杆上，所述压缩弹簧的一端与所述固定块固定连接，所述第四定位块开设有孔，所述导杆的另一端在所述第四定位块的孔内前后移动，所述压缩弹簧的另一端位于所述孔内并与所述第四定位块固定连接，所述压缩弹簧驱使所述第四定位块靠近所述基座。

6.根据权利要求5所述的陶瓷盘座，其特征在于，所述压紧机构还包括导向组件，导向组件包括导向轴承与直线轴承，所述直线轴承固定设置于所述第四定位块上，所述导向轴承固定设置于所述固定块上，所述直线轴承套设于所述导向轴承上，所述直线轴承与所述导向轴承相对滑动，两个所述导向组件分别位于所述导杆的两侧。

7.根据权利要求1所述的陶瓷盘座，其特征在于，所述基座的上表面开设有槽，若干个所述第一抽气口位于所述槽内。

8.根据权利要求1所述的陶瓷盘座，其特征在于，所述陶瓷盘包括陶瓷板和包覆层，所述包覆层包覆所述陶瓷板的下表面和外周，所述包覆层开设有与所述第二抽气口相配合的气孔，与所述包覆层由导电材料制成。

9.根据权利要求2所述的陶瓷盘座，其特征在于，所述第一定位块、所述第二定位块、所述第三定位块和所述第四定位块均设置有磁吸件。