CN216503023U - 翘曲片吸附激光加工台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及翘曲片吸附激光加工台，包括XY加工平台、加工吸附平台、振镜和视觉系统；加工吸附平台包括吸盘底座，吸盘底座上安装有吸附板，吸盘底座的中心槽内安装有中间升降组件，中间升降组件包括升降底板，丝杆电机顶部的驱动端与上方的吸附托板驱动连接设置，吸附托板上安装有若干个防静电吸盘。本实用新型采用密封圈与产品底部形成封闭空间，即使翘曲变形的产品也可以形成封闭空间，就可以把产品吸附固定住；本实用新型可以提高加工效率，保证产品外观。

Description

翘曲片吸附激光加工台

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片加工相关技术领域，尤其涉及翘曲片吸附激光加工台。

背景技术

半导体芯片行业是现在最热门，国家也在大力扶持相关企业科研机构研发，早日实现芯片独立生产，防止被国外“卡脖子”，半导体加工的相关设备也在逐步国产化；芯片制造的过程复杂，工序多，其中硅片边缘废料切除是其中一个环节。

目前硅片加工方式有两种：一种是人工用刀片切割；另一种是用激光加工。

人工用刀片切割效率低，外观差，外观也不可控；

用激光加工效率高，外观一致且美观；激光是要用焦点能量来加工产品的，这对被加工的产品平面度要求高，而硅片的翘曲有3-5毫米，常规台面与产品之间的间隙太大，无法形成真空，所以根本无法吸附，也无法加工，本实用新型就是要解决翘曲片的吸附问题。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设翘曲片吸附激光加工台，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种翘曲片吸附激光加工台。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

翘曲片吸附激光加工台，包括XY加工平台、加工吸附平台、振镜和视觉系统，XY加工平台上设置有加工吸附平台，加工吸附平台的一侧上方设置有振镜和视觉系统；加工吸附平台包括吸盘底座，吸盘底座上安装有吸附板，吸附板的中心槽内安装有内固定环，吸盘底座的一侧设置有气管接头，吸盘底座的中心槽内安装有中间升降组件，中间升降组件包括升降底板，升降底板上的底部中间位置通过电机固定板安装有丝杆电机，丝杆电机顶部的驱动端与上方的吸附托板驱动连接设置，吸附托板上安装有若干个防静电吸盘，防静电吸盘的底部连接有接头。

作为本实用新型的进一步改进，吸附板外圈的第一固定槽内安装有外密封圈，外密封圈内设置有外尼龙线；内固定环外圈吸附板的第二固定槽内安装有内密封圈，内密封圈内设置有内尼龙线。

作为本实用新型的进一步改进，外密封圈和内密封圈均凸出于吸附板设置。

作为本实用新型的进一步改进，外尼龙线穿过空心的外密封圈，再一起放入吸附板外圈的第一固定槽内，首尾对接，外尼龙线落到槽底，侧面用顶丝顶住外尼龙线；内尼龙线穿过空心的内密封圈，再一起放入内固定环外圈的第二固定槽内，首尾对接，内尼龙线落到槽底，侧面用顶丝顶住内尼龙线。

作为本实用新型的进一步改进，第一固定槽和第二固定槽均为底部窄顶部宽的阶梯槽体结构设置。

作为本实用新型的进一步改进，升降底板和吸附托板之间还设置有若干个导向轴，导向轴的顶部通过导向轴固定座安装在吸附托板的底部外侧，导向轴通过直线轴承与升降底板相连接，导向轴穿过升降底板后的底部设置有限位片。

作为本实用新型的进一步改进，吸附托板的底部还设置有感应片，感应片正下方的升降底板上设置有感应器。

作为本实用新型的进一步改进，吸附板外侧上安装有环形光源。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型采用密封圈与产品底部形成封闭空间，即使翘曲变形的产品也可以形成封闭空间，就可以把产品吸附固定住；本实用新型可以提高加工效率，保证产品外观。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型翘曲片吸附激光加工台的结构示意图；

图2是图1中加工吸附平台的结构示意图；

图3是图2的内部结构示意图；

图4是图3中I处的局部放大的结构示意图；

图5是图3中II处的局部放大的结构示意图；

图6是图2中中间升降组件的结构示意图。

其中，图中各附图标记的含义如下。

A XY加工平台 B加工吸附平台

C振镜 D视觉系统

1吸盘底座 2吸附板

3内固定环 4气管接头

5环形光源 6外密封圈

7外尼龙线 8中间升降组件

9内密封圈 10内尼龙线

11产品 801升降底板

802丝杆电机 803导向轴

804限位片 805导向轴固定座

806直线轴承 807接头

808感应片 809感应器

810吸附托板 811防静电吸盘

812电机固定板

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如图1～图6所示，

翘曲片吸附激光加工台，包括XY加工平台A、加工吸附平台B、振镜C 和视觉系统D，XY加工平台A上设置有加工吸附平台B，加工吸附平台B的一侧上方设置有振镜C和视觉系统D；加工吸附平台B包括吸盘底座1，吸盘底座1上安装有吸附板2，吸附板2的中心槽内安装有内固定环3，吸盘底座1 的一侧设置有气管接头4，吸盘底座1的中心槽内安装有中间升降组件8，中间升降组件8包括升降底板801，升降底板801上的底部中间位置通过电机固定板812安装有丝杆电机802，丝杆电机802顶部的驱动端与上方的吸附托板810驱动连接设置，吸附托板810上安装有若干个防静电吸盘811，防静电吸盘811的底部连接有接头807。

优选的，吸附板2外圈的第一固定槽内安装有外密封圈6，外密封圈6内设置有外尼龙线7；内固定环3外圈吸附板2的第二固定槽内安装有内密封圈9，内密封圈9内设置有内尼龙线10。

优选的，外密封圈6和内密封圈9均凸出于吸附板2设置。

优选的，外尼龙线7穿过空心的外密封圈6，再一起放入吸附板2外圈的第一固定槽内，首尾对接，外尼龙线7落到槽底，侧面用顶丝顶住外尼龙线7；内尼龙线10穿过空心的内密封圈9，再一起放入内固定环3外圈的第二固定槽内，首尾对接，内尼龙线10落到槽底，侧面用顶丝顶住内尼龙线10。

优选的，第一固定槽和第二固定槽均为底部窄顶部宽的阶梯槽体结构设置。

优选的，升降底板801和吸附托板810之间还设置有若干个导向轴803，导向轴803的顶部通过导向轴固定座805安装在吸附托板810的底部外侧，导向轴803通过直线轴承806与升降底板801相连接，导向轴803穿过升降底板801 后的底部设置有限位片804。

优选的，吸附托板810的底部还设置有感应片808，感应片808正下方的升降底板801上设置有感应器809。

优选的，吸附板2外侧上安装有环形光源5。

本实用新型工作原理及工作过程简述：

将中间升降组件8运行到上位，机械手将产品11放置在吸附托板810上，四个防静电吸盘811高出吸附托板810上表面1毫米，接头807内的真空打开，因为吸附区域小，可以把翘曲产品11吸附固定住；机械手破真空后移开，然后丝杆电机802驱动螺母做下降运动，螺母带着吸附托板810及产品11一起往下运动，两个导向轴803防止吸附托板810在运动过程中歪斜，两个密封圈顶部均高于吸附板2上表面6毫米，在下降过程中产品11底面先与外密封圈6和内密封圈9接触，由于密封圈是空心柔软的，即使产品11有翘曲也可以形成相对封闭空间(就可以形成真空吸附)，固定密封圈的槽是底窄上宽结构，窄部分完全用来固定密封圈用，上宽槽来减小密封圈被压缩时候的阻力，当吸附托板 810的上表面与吸附板2上表面齐平时停止，被压缩的密封圈藏在槽口两侧台阶内，此台阶低于吸附板2上表面1毫米，不影像产品11底部与吸附板2上表面贴合；气管接头4内部真空打开，把产品11吸附在吸附板2上；然后开始振镜 C、视觉系统D找位置再加工；加工完后环形光源5点亮，从产品11下面打光，产品11上面用视觉系统D检查加工效果；然后气管接头4内部真空关闭并破真空，吸附托板810带着产品11往上运动，到位后停止，机械手再过来吸着产品 11，接头807内部真空关闭并破真空，机械手搬走产品11。

采用密封圈与产品底部形成封闭空间，即使翘曲变形的产品也可以形成封闭空间，就可以把产品吸附固定住；提高加工效率，保证产品外观。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.翘曲片吸附激光加工台，其特征在于，包括XY加工平台(A)、加工吸附平台(B)、振镜(C)和视觉系统(D)，所述XY加工平台(A)上设置有加工吸附平台(B)，所述加工吸附平台(B)的一侧上方设置有振镜(C)和视觉系统(D)；所述加工吸附平台(B)包括吸盘底座(1)，所述吸盘底座(1)上安装有吸附板(2)，所述吸附板(2)的中心槽内安装有内固定环(3)，所述吸盘底座(1)的一侧设置有气管接头(4)，所述吸盘底座(1)的中心槽内安装有中间升降组件(8)，所述中间升降组件(8)包括升降底板(801)，所述升降底板(801)上的底部中间位置通过电机固定板(812)安装有丝杆电机(802)，所述丝杆电机(802)顶部的驱动端与上方的吸附托板(810)驱动连接设置，所述吸附托板(810)上安装有若干个防静电吸盘(811)，所述防静电吸盘(811)的底部连接有接头(807)。

2.如权利要求1所述的翘曲片吸附激光加工台，其特征在于，所述吸附板(2)外圈的第一固定槽内安装有外密封圈(6)，所述外密封圈(6)内设置有外尼龙线(7)；所述内固定环(3)外圈吸附板(2)的第二固定槽内安装有内密封圈(9)，所述内密封圈(9)内设置有内尼龙线(10)。

3.如权利要求2所述的翘曲片吸附激光加工台，其特征在于，所述外密封圈(6)和内密封圈(9)均凸出于吸附板(2)设置。

4.如权利要求2所述的翘曲片吸附激光加工台，其特征在于，所述外尼龙线(7)穿过空心的外密封圈(6)，再一起放入吸附板(2)外圈的第一固定槽内，首尾对接，外尼龙线(7)落到槽底，侧面用顶丝顶住外尼龙线(7)；所述内尼龙线(10)穿过空心的内密封圈(9)，再一起放入内固定环(3)外圈的第二固定槽内，首尾对接，内尼龙线(10)落到槽底，侧面用顶丝顶住内尼龙线(10)。

5.如权利要求2所述的翘曲片吸附激光加工台，其特征在于，所述第一固定槽和第二固定槽均为底部窄顶部宽的阶梯槽体结构设置。

6.如权利要求1所述的翘曲片吸附激光加工台，其特征在于，所述升降底板(801)和吸附托板(810)之间还设置有若干个导向轴(803)，所述导向轴(803)的顶部通过导向轴固定座(805)安装在吸附托板(810)的底部外侧，所述导向轴(803)通过直线轴承(806)与升降底板(801)相连接，所述导向轴(803)穿过升降底板(801)后的底部设置有限位片(804)。

7.如权利要求1或6所述的翘曲片吸附激光加工台，其特征在于，所述吸附托板(810)的底部还设置有感应片(808)，所述感应片(808)正下方的升降底板(801)上设置有感应器(809)。

8.如权利要求1所述的翘曲片吸附激光加工台，其特征在于，所述吸附板(2)外侧上安装有环形光源(5)。

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