CN215598982U - 承载装置及检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种承载装置及检测设备。承载装置包括透光的承载件、基座及光源，承载件包括承载面，承载面用于承载工件；基座包括相背的第一侧与第二侧，第一侧安装有承载件，基座设有凹槽及收容腔，每个收容腔均贯穿凹槽的底部及第二侧，凹槽用于安装承载件；光源安装于收容腔，光源的发光面朝向基座，光源用于向承载件发射光线，光源、承载件、基座共同围成气腔，气腔用于抽气以吸附工件于承载面。本申请的承载装置中，光源安装于收容腔，光源的发光面从透光的承载面的背面发射光线到工件背面，且光源、承载件及基座共同围成气腔，对气腔进行抽气以吸附工件于承载面，对工件上的半切割缝进行检测时，能够更加精确地检测到半切割缝的尺寸及缺陷。

Description

承载装置及检测设备

技术领域

本申请涉及半导体检测技术领域，更具体而言，涉及一种承载装置及检测设备。

背景技术

在半导体检测领域，有些基片(即工件)需要进行半切割缝处理，其中，半切割缝是指对基片进行切割时不完全切穿基片(在厚度方向上)。在半切割缝处理后，需要对基片的半切割缝进行检测，此时，需要将基片放置在承载装置上，检测装置的探头在基片的正面以对基片正面进行检测，而在检测时，大多检测装置是在探头所在的一侧安装光源，以实现对基片打光，但这种打光方式在检测装置检测基片的半切割缝的尺寸时，探头采集得到的图像中不能清楚地区分基片的半切割缝和基片的非半切割缝区域(其他区域)。

实用新型内容

本申请实施方式提供一种承载装置及检测设备。

本申请实施方式的承载装置包括透光的承载件、基座及光源。所述承载件包括承载面，所述承载面用于承载工件；所述基座包括相背的第一侧与第二侧，所述第一侧安装有所述承载件，所述基座设有凹槽及收容腔，每个所述收容腔均贯穿所述凹槽的底部及所述第二侧，所述凹槽用于安装所述承载件；所述光源安装于所述收容腔，所述光源的发光面朝向所述基座，所述光源用于向所述承载件发射光线，所述光源、所述承载件、所述基座共同围成气腔，所述气腔用于抽气以吸附所述工件于所述承载面。

在某些实施方式中，所述承载装置还包括密封件，所述密封件位于所述光源与所述第二侧之间，并用于密封所述光源与所述基座之间的间隙。

在某些实施方式中，所述光源包括安装部及自所述安装部延伸的发光部，所述发光部伸入所述收容腔内，所述安装部安装于所述第二侧；所述第二侧设有密封槽，所述密封件位于所述密封槽，所述密封件的相背两侧分别与所述安装部及所述第二侧抵触。

在某些实施方式中，所述光源包括安装部及自所述安装部延伸的发光部，所述发光部伸入所述收容腔内，所述安装部安装于所述第二侧；所述安装部设有密封槽，所述密封件位于所述密封槽，所述密封件的相背两侧分别与所述安装部及所述第二侧抵触。

在某些实施方式中，所述光源包括安装部及自所述安装部延伸的发光部，所述发光部伸入所述收容腔内，所述安装部安装于所述第二侧；所述密封件套设于所述发光部并位于所述收容腔内，所述密封件的内外两侧分别与所述发光部及所述收容腔的侧壁抵触。

在某些实施方式中，所述光源包括安装部及自所述安装部延伸的发光部，所述发光部伸入所述收容腔内，所述安装部安装于所述第二侧；所述密封件套设于所述发光部并位于所述收容腔外，所述密封件的相背两侧分别与所述安装部及所述第二侧抵触。

在某些实施方式中，所述光源为多个，所述收容腔为多个，每个所述光源安装于一个所述收容腔内；多个所述光源成矩阵排布。

在某些实施方式中，所述光源为多个，所述收容腔为多个，每个所述光源安装于一个所述收容腔内；多个所述光源环绕所述基座的中心轴均匀分布。

在某些实施方式中，所述承载件设有贯穿的多个吸附孔，所述基座还设有贯穿孔，多个所述吸附孔与所述贯穿孔均与所述气腔连通，所述承载装置还包括抽气单元，所述抽气单元通过管道与所述贯穿孔连通，以用于对所述气腔进行抽气。

在某些实施方式中，所述承载装置还包括安装架，所述安装架与所述基座的第二侧连接并罩设所述光源，所述安装架能够外接驱动结构以在所述驱动结构的带动下与所述基座及所述承载件一起转动。

在某些实施方式中，所述安装架设有避让槽及位于所述避让槽底部的通孔，所述抽气单元安装于所述安装架，所述抽气单元的电连接件自所述通孔伸入所述避让槽，所述光源的电连接件位于所述避让槽内并与所述抽气单元的电连接件电连接。

在某些实施方式中，所述承载装置还包括多个第一升降组件，所述基座还设有多个穿孔，多个所述穿孔分布于所述凹槽的两侧，每个所述第一升降组件安装于所述基座并至少部分穿设一个所述穿孔，所述第一升降组件能够相对所述基座升降，以伸出所述穿孔并高于所述承载面或缩回至所述穿孔内。

在某些实施方式中，所述第一升降组件包括轴承、升降杆及弹性件。所述轴承安装于所述穿孔；所述升降杆的第一端穿设于所述轴承，并能够沿着所述轴承的轴向运动，所述升降杆的第一端设有凸起，所述凸起能够与所述轴承抵触，以对所述升降杆进行限位；所述弹性件位于所述升降杆的第二端与所述基座的第二侧之间，其中：在所述第二端受上升方向的压迫力时，所述升降杆相对所述基座上升以伸出所述穿孔并高于所述承载面；在所述压迫力减小或消失时，所述弹性件提供弹性回复力使升降杆相对所述基座下降以朝所述穿孔内回缩。

在某些实施方式中，所述第一升降组件还包括固定件，所述固定件安装于所述基座的第二侧并设有与所述穿孔连通的连通孔，所述升降杆穿设所述连通孔并至少部分收容于所述穿孔；所述弹性件的两端分别抵持于所述升降杆的第二端与所述固定件。

在某些实施方式中，所述承载装置还包括第二升降组件，所述第二升降组件包括升降板，所述升降板与所述第一升降组件对应，所述升降板能够相对所述基座升降并与所述第一升降组件接触以对所述第一升降组件提供上升方向的压迫力。

在某些实施方式中，所述第二升降组件还包括两个驱动件，两个所述驱动件分别与所述升降板的两侧连接，并用于驱动所述升降板沿升降方向移动。

在某些实施方式中，所述第二升降组件包括多个缓冲件，多个所述缓冲件设置于所述升降板，每个所述缓冲件对应一个所述第一升降组件，并在与第一升降组件接触时为所述第一升降组件提供缓冲力。

在某些实施方式中，所述升降板设有收容孔，所述收容孔的底部设有螺纹孔，所述缓冲件包括缓冲部及螺纹柱，所述螺纹柱与所述螺纹孔配合，以将所述缓冲部安装于所述收容孔；或所述收容孔的底部设有螺纹柱，所述缓冲件的底部设有螺纹孔，所述螺纹柱与所述螺纹孔配合，以将所述缓冲部安装于所述收容孔。

本申请实施方式的检测设备包括检测装置及上述任意一实施方式所述的承载装置，所述检测装置与所述承载装置对应，并用于对承载于所述承载装置上的工件进行检测。

本申请的承载装置及检测设备中，承载件设有承载面并能够透光，光源安装于收容腔内，光源的发光面朝向基座，且光源的发光面发射的光线能够透过透光的承载面照射到工件的背面。同时，光源、承载件及基座共同围成气腔，承载装置通过对气腔进行抽气以实现将工件吸附于承载面。检测设备对工件上的半切割缝进行检测时，由于半切割缝处的透光率与工件的非半切割缝区域的透光率不同，检测设备根据透光量来区分工件的半切割缝和工件的非半切割缝区域，使得检测设备能够更加精确地检测到半切割缝的尺寸及缺陷。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的承载装置及工件的立体结构示意图；

图2是图1所示的承载装置沿II-II线的立体剖面示意图；

图3是本申请某些实施方式的承载装置的立体分解示意图；

图4是本申请某些实施方式的承载装置中的工件的立体结构示意图；

图5是本申请某些实施方式的承载装置中的承载件上的吸附孔呈矩阵分布的示意图；

图6是本申请某些实施方式的承载装置中的承载件上的吸附孔环绕基座的中心轴均匀分布的示意图；

图7是图1所示的承载装置沿VII-VII线的立体剖面示意图；

图8是图7中VIII处的放大示意图；

图9是本申请某些实施方式的检测设备的立体结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。

另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

请参阅图1至图3，承载装置100包括透光的承载件10、基座30及光源50，承载件10包括承载面11，承载面11用于承载工件200。基座30包括相背的第一侧31与第二侧32，第一侧31安装有承载件10，基座30设有凹槽33及收容腔34，每个收容腔34均贯穿凹槽33的底部331及第二侧32，凹槽33用于安装承载件10。光源50安装于收容腔34，光源50的发光面531朝向基座30，光源50用于向承载件10发射光线，光源50、承载件10、基座30共同围成气腔20，气腔20用于抽气以吸附工件200于承载面11。

请结合图4，其中，工件200包括但不限于为晶圆、芯片、陶瓷基片、显示屏面板、手机前盖、手机后盖、VR眼镜、AR眼镜、智能手表盖板、玻璃、透镜、任何装置的壳体(例如手机壳)等元件。本申请对工件200的类型不作限制。工件200往往需要进行多种不同的加工工序，其中包括半切割缝加工工序，经过半切割缝加工工序后，工件200表面上包括半切割缝201和未进行半切割缝处理的其他区域203，在对这类工件200进行检测时，检测设备1000(图9所示)需要准确地区分工件200的半切割缝201和其他区域203，以检测工件200的半切割缝201的尺寸及缺陷，其中，半切割缝201的尺寸包括半切割缝的大小(工件200的径向上)、深度(工件200的厚度方向上)等，半切割缝201的缺陷是指半切割缝201的边缘是否存在缺口，如图4中的α处所示。

在半导体检测领域，有些基片需要进行半切割缝处理，其中，半切割缝是指对基片进行切割时不完全切穿基片(在厚度方向上)。在半切割缝处理后，需要对基片的半切割缝进行检测，此时，需要将基片放置在承载装置上，检测装置的探头在基片的正面以对基片正面进行检测，而在检测时，大多检测装置是在探头所在的一侧安装光源，以实现对基片打光，但这种打光方式在检测装置检测基片的半切割缝的尺寸时，探头采集得到的图像中不能清楚地区分基片的半切割缝和基片的非半切割缝区域(其他区域)。

本申请的承载装置100及检测设备1000(图9所示)中，承载件10设有承载面11并能够透光，光源50安装于收容腔34内，光源50的发光面531朝向基座30，且光源50的发光面531发射的光线能够透过透光的承载面11照射到工件200的背面。同时，光源50、承载件10及基座30共同围成气腔20，承载装置100通过对气腔20进行抽气以实现将工件200吸附于承载面11。检测设备1000对工件200上的半切割缝201进行检测时，由于半切割缝201的透光率与工件200的其他区域203的透光率不同，检测设备1000根据透光量来区分工件200的半切割缝201和其他区域203，使得检测设备1000能够更加精确地检测到半切割缝201的尺寸及缺陷。

请参阅图1及图2，其中，承载件10的形状可以是圆形、矩形、三角形、椭圆形或者其他形状，承载件10的形状可根据工件200的形状设置。本申请对承载件10的形状不作限制，接下来将以承载件10的形状为圆形进行详细说明。

具体地，承载件10安装于基座30的凹槽33内，承载面11与基座30的上表面35齐平，或者，承载面11略低于或略高于基座30的上表面35。优选地，承载面11与基座30的上表面35齐平，在搬运工件200至承载面11时，保证工件200能够平整地放置于承载面11上。

本申请的承载装置100中，承载件10能够透光，且设有承载面11。其中，承载件10可以由透光的石英玻璃、高硅氧玻璃、超白玻璃等能够透光的材料制作，且石英玻璃、高硅氧玻璃、超白玻璃的透光率均可达到93％以上，保证承载件10能够透过更多的光线。例如，承载件10的透光率可大于或等于60％，承载件10的透光率可为60％、62％、64％、66％、68％、70％、72％、74％、76％、78％、80％、82％、84％、86％、88％、90％、92％、94％等。透光的承载件10使得光源50发射的光线通过承载件10透过较多的光线，以保证透过工件200表面的光线足够充足，以使检测设备1000(图9所示)能够根据透过工件200的光线准确地区分工件200的半切割缝201和其他区域203。

进一步地，承载件10上设有贯穿的多个吸附孔13，多个吸附孔13与气腔20连通，在对气腔20进行抽气处理时，吸附孔13能够将承载于承载面11上的工件200固定在承载面11上。

在一个实施例中，多个吸附孔13均匀分布于承载件10。例如，多个吸附孔13相互间隔均匀地分布于承载件10，如图1所示；或者，多个吸附孔13呈矩阵式均匀分布于承载件10；或者，多个吸附孔13呈圆周均匀分布于承载件10。在另一个实施例中，多个吸附孔13非均匀分布于承载件10。例如，多个吸附孔13呈放射状分布于承载面11；或者，多个吸附孔13呈网状分布于承载面11；或者，多个吸附孔13呈雷达图状分布于承载面11；或者，多个吸附孔13呈锯齿状分布于承载面11。多个均匀分布或者非均匀分布的吸附孔13能够将工件200平整地吸附在承载面11上，保证工件200的平整度。同时，本申请中的承载装置100通过吸附孔13将工件200平整地吸附于承载面11上，避免为了工件200的翘曲而采用按压式元件按压工件200，而使工件200发生断层或者压断现象。

请参阅图2及图3，具体地，基座30的形状可以是正方形、长方形、圆形、多边形或者其他不规则形状，在此对基座30的形状不作限制。进一步地，基座30可以由金属、陶瓷或者其他硬质材料制成，由此保证基座30具有良好的平整度和刚度。

在一个实施例中，基座30的凹槽33可呈阶梯形，也即是说，凹槽33外周缘设有凸环332，凸环332用于安装承载件10，并使承载件10与凹槽33的底部331形成间隔，其中，气腔20包含承载件10与凹槽33的底部331之间的间隔，在对气腔20进行抽气时，通过载件10与凹槽33的底部331之间的间隔连通吸附孔13，以加快吸附孔13中的气体的流速，从而将工件200(图1所示)快速地吸附于承载面11。

请参阅图3，基座30还可设有贯穿孔36，贯穿孔36和多个吸附孔13均与气腔20连通，承载装置100还可包括抽气单元40，抽气单元40通过管道(图未示出)与贯穿孔36连通，以用于对气腔20进行抽气。当抽气单元40对气腔20进行抽气时，吸附孔13内的气体依次通过气腔20、贯穿孔36、管道，并由抽气单元40排出，使得气腔20内形成负压，从而将工件200吸附于承载面11。

在一个实施例中，承载件10可通过不可拆卸的安装方式安装于基座30的凸环332。例如，承载件10可通过胶合的方式安装于基座30的凸环332，具体地，通过在承载件10的背面(朝向基座30的一面)的周缘涂胶后粘合于凸环332上；或者，承载件10通过焊接的安装方式固定安装于凸环332上。通过不可拆卸的安装方式将承载件10安装于凸环332上，能够使得承载件10的安装更加稳固，当承载装置100带动工件200转动时，承载件10不会被甩出。

在另一个实施例中，承载件10可通过可拆卸地安装方式安装于基座30的凸环332上。例如，通过螺钉连接的方式将承载件10安装于凸环332。承载件10与凸环332通过可拆卸的安装方式安装于凸环332上，可便于更换承载件10，例如更换不同透光率的承载件10、或更换不同折旧程度的承载件10。

在一个实施例中，承载装置100还可包括密封件60，密封件60安装于光源50与第二侧32之间，并用于密封光源50与基座30之间的间隙，防止对气腔20进行抽气存在漏气现象。其中，密封件60可以是具有粘结性的密封胶或者由橡胶制成的密封圈。

请继续参阅图2及图3，具体地，光源50包括安装部51及自安装部51延伸的发光部53，发光部53伸入收容腔34内，安装部51安装于第二侧32。其中，第二侧32可设有密封槽37，密封件60位于密封槽37内，且密封件60的相背两侧分别与安装部51及第二侧32抵触。或者，安装部51可设有密封槽37(结构与第二侧32设有密封槽37一样)，密封件60位于密封槽37内，且密封件60的相背两侧分别与安装部51及第二侧32抵触。或者，密封件60套设于发光部53并位于收容腔34内，密封件60的内外两侧分别与发光部53的侧壁及收容腔34的侧壁抵触。或者，密封件60套设于发光部53与安装部51连接处，且位于收容腔34外，密封件60的相背两侧分别与安装部51及第二侧32抵触。

更具体地，光源50可为多个，收容腔34也为多个，每个光源50安装于一个收容腔34内。而且，每个光源50与收容腔34之间均设有密封件60，用于密封光源50与收容腔34之间的间隙。

在一个实施例中，多个光源50呈矩阵排布，例如，多个光源50可均匀排布，如图3所示；或者，多个光源50非均匀排布，如呈上三角排布或下三角排布，如图5所示。另一个实施例中，多个光源50环绕基座30的中心轴均匀分布，如图6所示。

本申请实施方式中，光源50的数量可为九个，对应地，收容腔34的数量也为九个，多个光源50及收容腔34均呈矩阵均匀排布，如图3所示。由此，保证光源50发出的光线均匀地照射在工件200(图1所示)的背面。

请参阅继续图2及图3，在一个实施例中，承载装置100还可包括安装架70，安装架70与基座30的第二侧32连接并罩设光源50，安装架70能够外接驱动结构(如电机、气缸等)以在驱动结构的带动下与基座30及承载件10一起转动，从而实现对工件200(图1所示)的旋转检测。

具体地，安装架70设有避让槽71及位于避让槽71底部的通孔72。其中，抽气单元40安装于安装架70远离基座30的一端，且抽气单元40的电连接件41自通孔72伸入避让槽71。光源50的电连接件位于避让槽71内，并与抽气单元40的电连接件41电连接，以实现为光源50提供电性连接。抽气单元41的电连接件41及光源50的电连接件可均为导线，用于为抽气单元40及光源50提供电性连接。

在一个实施例中，承载装置100还可包括多个第一升降组件80，多个第一升降组件80用于将工件200(图1所示)放置于承载面11。

基座30还设有多个穿孔38，多个穿孔38分布于凹槽33的两侧，每个第一升降组件80安装于基座30，并至少部分穿设一个穿孔38，即，第一升降组件80的数量与穿孔38的数量一致。第一升降组件80能够相对基座30升降，以伸出穿孔38并高于承载面11或缩回至穿孔38内。在本申请的实施例中，基座30上设有八个穿孔38，其中，凹槽33的两侧分别分布有四个穿孔38，且两侧的穿孔38对应设置。同样地，第一升降组件80的数量也为八个，分别穿设于穿孔38中。

请结合图7，具体地，第一升降组件80可包括轴承81、升降杆82及弹性件83。轴承81安装于穿孔38内。升降杆82的第一端821穿设于轴承81，升降杆82能够沿着轴承81的轴向运动，请结合图8，升降杆82的第一端821设有凸起8211，凸起8211能够与轴承81抵触，以对升降杆82进行限位，即升降杆82不会沿着下降方向Y掉落下来。弹性件83位于升降杆81的第二端822与基座30的第二侧32之间，其中，在第二端822受到上升方向X的压迫力时，升降杆82相对基座30上升以伸出穿孔38并高于承载面11；在压迫力减小或消失时，弹性件83提供弹性回复力使升降杆82相对基座30沿着下降方向Y下降以朝穿孔38内回缩。

请结合图8，在一个实施例中，穿孔38可为阶梯孔，包括第一子孔381及第二子孔382，第一子孔381的直径大于第二子孔382的直径。轴承81位于第一子孔831内，升降杆82的凸起8211位于第二子孔382内，且凸起8211的最大尺寸(直径)大于轴承81的内环的内径，以防止升降杆82在初始状态(升降杆82未受到任何压迫力时)下脱离穿孔38。

更具体地，轴承81可为直线轴承，轴承81的轴承球与升降杆82点接触，在升降杆82受到上升方向X的压迫力时，使得升降杆82能够沿着轴承81的轴向直线运动。且轴承球能够以极小的摩擦阻力旋转，能够获得高精度的平稳运动，从而带动升降杆82平稳地在升降方向XY上作直线运动，以将工件200(图1所示)平稳地放置在承载面11上。

请一并参阅图3，在一个实施例中，升降杆82的第二端822的直径可大于第一端821的直径，且升降杆82的第二端822可拆卸，以便于将升降杆82通过穿孔38和轴承81安装于基座30。升降杆82的第一端821还可设有吸盘823，在初始状态，吸盘823可收容在第二子孔382内，且能够在升降杆82升降时随着升降杆82移动以伸出至第二子孔382外，并高出承载面11。吸盘823的材质可为软质橡胶，在承接工件200时，能够防止划伤工件200表面，实现对工件200的软接触。

进一步地，第一升降组件80还可包括固定件84，固定件84安装于基座30的第二侧32，并设有与穿孔38连通的连通孔841，升降杆82穿设连通孔841并至少部分收容于穿孔38。

在一个实施例中，在安装第一升降组件80时，升降杆82的第二端822处于拆卸状态(即，升降杆82的第二端822未连接升降杆82的杆体部分)，然后将轴承81从基座30的第二侧32安装于第一子孔831内，并将固定件84通过螺钉固定的方式安装于第二侧32，此时，可将升降杆82从基座30的第一侧31依次穿设第二子孔382、轴承81及固定件84的连通孔841，再将弹性件83穿设于固定件84的连通孔841内，最后再安装升降杆82的第二端822，使得弹性件83的两端分别抵持于升降杆82的第二端822与固定件84(或轴承81)。此时，由于升降杆82的凸起8211的直径大于轴承81的内环的孔径，升降杆82的凸起8211抵触在轴承81上，在升降杆82的第二端822未接触任何部件时，防止升降杆82脱离轴承81而沿下降方向Y掉落。

在另一个实施例中，在安装第一升降组件80时，升降杆82的第二端822仍可处于拆卸状态，可将升降杆82的第一端821从基座30的第二侧32伸入穿孔38的第二子孔382内，然后轴承81穿设升降杆82安装于第一子孔381内，再将固定件84通过螺钉固定的方式安装于第二侧32，再将弹性件83穿设于固定件84的连通孔841内，最后再安装升降杆82的第二端822，使得弹性件83的两端分别抵持于升降杆82的第二端822与固定件84(或轴承81)。

请参阅图3及图7，承载装置100还可包括第二升降组件90。第二升降组件90可用于为第一升降组件80提供上升方向X的压迫力。其中，第二升降组件90包括升降板91，升降板91与第一升降组件80对应，升降板91能够相对基座30升降，并与第一升降组件80接触以对第一升降组件80提供上升方向X的压迫力。

具体地，升降板91的材质可为金属或者陶瓷，保证升降板91具有良好的平整度及刚度。升降板91可设有避让孔911，避让孔911用于收容安装架70，防止升降板91在升降方向XY升降时，碰撞到安装架70或者其他结构。

具体地，在升降板91受到上升方向X的压迫力时，升降板91与第一升降组件80接触以对第一升降组件80提供上升方向X的压迫力，使得第一升降组件80伸出穿孔38并高于承载面11，等待机械手将工件200传送过来，当工件200被机械手放置于升起的升降杆82的吸盘823上，此时，由于升降板91上升时按压位于升降杆82的第二端822及固定件84之间的弹性件83，使得弹性件83收缩，待升降板91朝下降方向Y下降时，弹性件83的弹性回复力带动升降杆82下降，将工件200(图1所示)放置在承载面11上。工件200放置在承载面11上后，工件200密封吸附孔13，以使气腔20(图2所示)密封，抽气单元40对气腔20进行抽气时，能够将工件200稳定地吸附于承载面11上。同时，打开光源50对工件200的背面进行照射，工件200的半切割缝201处能够透过较多的光线，而工件200的其他区域203透过的光线相对较少，检测设备1000(图9所示)根据不同的透光量，能够对半切割缝201清晰成像，从而使得检测设备100能够更加精确地检测到半切割缝201的尺寸及缺陷。

在一个实施例中，第二升降组件90还可包括两个驱动件92，两个驱动件92分别与升降板91的两侧连接，并用于驱动升降板91升降。其中，驱动件92可以是电机或气缸等驱动器件。

在一个实施例中，第二升降组件90还可包括多个缓冲件93，多个缓冲件93设置于升降板91，每个缓冲件93对应一个第一升降组件80，并在与第一升降组件80接触时为第一升降组件80提供缓冲力。

具体地，缓冲件93可以由硬塑料制成，使得缓冲件93具有较高的耐磨性和硬度。或者缓冲件93由橡胶制成，当缓冲件93接触升降杆82的第二端822时，能够为升降杆82提供平稳的压迫力，从而带动升降杆82平稳地上升。其中，每个缓冲件93对应一个升降杆82的第二端822，在驱动件92带动升降板91朝上升方向X移动时，缓冲件93与升降杆82的第二端822接触，并为升降杆82的第二端822提供向上的缓冲力，使得升降杆82伸出穿孔38并高于承载面11。

请结合图8，进一步地，升降板91可设有收容孔912，收容孔912的底部可设有螺纹孔9121，缓冲件93包括缓冲部931及螺纹柱932，螺纹柱932与螺纹孔9121配合，以将缓冲部931固定安装于收容孔932内。或者，收容孔912的底部设有螺纹柱，缓冲件93的底部设有螺纹孔，螺纹柱与螺纹孔配合，将缓冲部931安装于收容孔912内。其中，上述两种配合方式中，缓冲部931均部分伸出于收容孔912，并与升降杆82的第二端822相对间隔，以便于在升降板91升降时，能够准确地按压升降杆82以带动升降杆82升降。

另外，在升降板91上设置与升降杆82对应的缓冲件93，机械手搬运工件200(图1所示)时起到定位作用。机械手可根据缓冲件93的位置，调整工件200的放置位置，以将工件200准确地放置在升降杆82的吸盘823上。

在另一个实施例中，升降板91也可不开设有收容孔912及缓冲件92，升降板91对应第一升降组件80部分为完整的面板，且升降板91与每个升降杆82的第二端822相对间隔。驱动件92带动升降板91升降时，升降板91直接按压升降杆82的第二端822，以使升降杆82伸出穿孔38并高于承载面11。

请参阅图9，本申请还提供一种检测设备1000，检测设备1000包括检测装置300及上述任一实施方式的承载装置100。检测装置300与承载装置100对应，并用于对承载装置100上的工件200进行检测。其中，检测装置300可包括探CCD探头或者CMOS探头，用于对承载在承载装置100上的工件200进行成像。

请结合图2，本申请的承载装置100及检测设备1000中，承载件10设有承载面11并能够透光，光源50安装于收容腔34内，光源50的发光面531朝向基座30，且光源50的发光面531发射的光线能够透过透光的承载面11照射到工件200的背面。同时，光源50、承载件10及基座30共同围成气腔20，承载装置100通过对气腔20进行抽气以实现将工件200吸附于承载面11。检测设备1000对工件200上的半切割缝201进行检测时，由于半切割缝201区域的透光率与工件200的其他区域203的透光率不同，检测设备100根据透光量来区分工件200的半切割缝201和其他区域203，使得检测设备1000能够更加精确地检测到半切割缝201的尺寸及缺陷。

在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本申请的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (15)

1.一种承载装置，其特征在于，包括：

透光的承载件，所述承载件包括承载面，所述承载面用于承载工件；

基座，所述基座包括相背的第一侧与第二侧，所述第一侧安装有所述承载件，所述基座设有凹槽及收容腔，每个所述收容腔均贯穿所述凹槽的底部及所述第二侧，所述凹槽用于安装所述承载件；

光源，所述光源安装于所述收容腔，所述光源的发光面朝向所述基座，所述光源用于向所述承载件发射光线，所述光源、所述承载件、所述基座共同围成气腔，所述气腔用于抽气以吸附所述工件于所述承载面。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括密封件，所述密封件位于所述光源与所述第二侧之间，并用于密封所述光源与所述基座之间的间隙。

3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述光源包括安装部及自所述安装部延伸的发光部，所述发光部伸入所述收容腔内，所述安装部安装于所述第二侧；

所述第二侧设有密封槽，所述密封件位于所述密封槽，所述密封件的相背两侧分别与所述安装部及所述第二侧抵触；或

所述安装部设有密封槽，所述密封件位于所述密封槽，所述密封件的相背两侧分别与所述安装部及所述第二侧抵触；或

所述密封件套设于所述发光部并位于所述收容腔内，所述密封件的内外两侧分别与所述发光部及所述收容腔的侧壁抵触；或

所述密封件套设于所述发光部并位于所述收容腔外，所述密封件的相背两侧分别与所述安装部及所述第二侧抵触。

4.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述光源为多个，所述收容腔为多个，每个所述光源安装于一个所述收容腔内；

多个所述光源成矩阵排布；或

多个所述光源环绕所述基座的中心轴均匀分布。

5.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载件设有贯穿的多个吸附孔，所述基座还设有贯穿孔，多个所述吸附孔与所述贯穿孔均与所述气腔连通，所述承载装置还包括抽气单元，所述抽气单元通过管道与所述贯穿孔连通，以用于对所述气腔进行抽气。

6.根据权利要求5所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括安装架，所述安装架与所述基座的第二侧连接并罩设所述光源，所述安装架能够外接驱动结构以在所述驱动结构的带动下与所述基座及所述承载件一起转动。

7.根据权利要求6所述的承载装置，其特征在于，所述安装架设有避让槽及位于所述避让槽底部的通孔，所述抽气单元安装于所述安装架，所述抽气单元的电连接件自所述通孔伸入所述避让槽，所述光源的电连接件位于所述避让槽内并与所述抽气单元的电连接件电连接。

8.根据权利要求1-7所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括多个第一升降组件，所述基座还设有多个穿孔，多个所述穿孔分布于所述凹槽的两侧，每个所述第一升降组件安装于所述基座并至少部分穿设一个所述穿孔，所述第一升降组件能够相对所述基座升降，以伸出所述穿孔并高于所述承载面或缩回至所述穿孔内。

9.根据权利要求8所述的承载装置，其特征在于，所述第一升降组件包括：

轴承，所述轴承安装于所述穿孔；

升降杆，所述升降杆的第一端穿设于所述轴承，并能够沿着所述轴承的轴向运动，所述升降杆的第一端设有凸起，所述凸起能够与所述轴承抵触，以对所述升降杆进行限位；

弹性件，所述弹性件位于所述升降杆的第二端与所述基座的第二侧之间，其中：

在所述第二端受上升方向的压迫力时，所述升降杆相对所述基座上升以伸出所述穿孔并高于所述承载面；在所述压迫力减小或消失时，所述弹性件提供弹性回复力使升降杆相对所述基座下降以朝所述穿孔内回缩。

10.根据权利要求9所述的承载装置，其特征在于，所述第一升降组件还包括：

固定件，所述固定件安装于所述基座的第二侧并设有与所述穿孔连通的连通孔，所述升降杆穿设所述连通孔并至少部分收容于所述穿孔；所述弹性件的两端分别抵持于所述升降杆的第二端与所述固定件。

11.根据权利要求8所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括第二升降组件，所述第二升降组件包括：

升降板，所述升降板与所述第一升降组件对应，所述升降板能够相对所述基座升降并与所述第一升降组件接触以对所述第一升降组件提供上升方向的压迫力。

12.根据权利要求11所述的承载装置，其特征在于，所述第二升降组件还包括两个驱动件，两个所述驱动件分别与所述升降板的两侧连接，并用于驱动所述升降板沿升降方向移动。

13.根据权利要求11所述的承载装置，其特征在于，所述第二升降组件包括多个缓冲件，多个所述缓冲件设置于所述升降板，每个所述缓冲件对应一个所述第一升降组件，并在与第一升降组件接触时为所述第一升降组件提供缓冲力。

14.根据权利要求13所述的承载装置，其特征在于，所述升降板设有收容孔，所述收容孔的底部设有螺纹孔，所述缓冲件包括缓冲部及螺纹柱，所述螺纹柱与所述螺纹孔配合，以将所述缓冲部安装于所述收容孔；或所述收容孔的底部设有螺纹柱，所述缓冲件的底部设有螺纹孔，所述螺纹柱与所述螺纹孔配合，以将所述缓冲部安装于所述收容孔。

15.一种检测设备，其特征在于，包括：

检测装置；及

权利要求1-14任意一所述的承载装置，所述检测装置与所述承载装置对应，并用于对承载于所述承载装置上的工件进行检测。

Images