CN114864470A - 一种晶圆片的固定载具 - Google Patents

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张洪华
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Abstract

本发明公开了一种晶圆片的固定载具，涉及半导体加工技术领域。该固定载具包括第一载台与第二载台。所述第一载台包括第一支撑台，所述第一支撑台凹设有弧形的支撑部，所述支撑部的弧度小于所述晶圆片的弧度，所述第一支撑台环绕所述支撑部间隔开设有若干个第一吸附孔；所述第二载台包括第二支撑台，所述第二支撑台的支撑面开设有若干个第二吸附孔。该晶圆片的固定载具能够同时固定两种翘曲程度不同的晶圆片，且不需要针对晶圆片的翘曲程度而校准对应的载台，从而大大提高了生产效率。

Description

一种晶圆片的固定载具
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种晶圆片的固定载具。
背景技术
电子产品的生产和制造离不开芯片，通过对晶圆片进行多层次的复杂工艺处理，以提供符合电子产品要求的芯片。晶圆片在进入设备接受工艺处理时，需要有专门的固定载具对其进行定位和固持，以保证工艺效果。
晶圆片根据制作流程不同，会表现出不同的翘曲程度。翘曲程度较大的晶圆片难以被普通的固定载具吸附使晶圆片完全贴附于固定载具的表面，导致载台运动时因飞片而造成安全隐患。而在生产不同的翘曲程度的晶圆片时更换对应的固定载具有需要重新调整校准，降低了生产效率。
针对上述问题，需要开发一种晶圆片的固定载具，以解决生产不同的翘曲程度的晶圆片时更换对应的固定载具导致降低效率的问题。
发明内容
本发明的目的在于提出一种晶圆片的固定载具，能够同时固定两种翘曲程度不同的晶圆片，且不需要针对晶圆片的翘曲程度而校准对应的载台，从而大大提高了生产效率。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种晶圆片的固定载具，包括：
第一载台，所述第一载台包括第一支撑台，所述第一支撑台凹设有弧形的支撑部，所述支撑部的弧度小于所述晶圆片的弧度，所述第一支撑台环绕所述支撑部间隔开设有若干个第一吸附孔；
第二载台，所述第二载台包括第二支撑台，所述第二支撑台的支撑面开设有若干个第二吸附孔。
优选地，所述第一支撑台包括支撑件以及环绕所述支撑件设置的固定件，所述支撑件的上表面构成所述支撑部。
优选地，所述支撑部开设有第三吸附孔。
优选地，所述第一支撑台环绕所述支撑部间隔开设有若干个第四吸附孔。
优选地，每个所述第一吸附孔内均设置有一个吸盘，所述吸盘与所述第一吸附孔连通，所述吸盘的开口凸出所述第一支撑台。
优选地，所述第一支撑台的底端凹设有第一连通槽，若干个所述第一吸附孔连通所述第一连通槽的槽底。
优选地，所述第一载台还包括第一固定座，所述第一支撑台与所述第一固定座可拆卸连接，所述第一固定座设置有第一吸附通道，所述第一吸附通道的一端与抽真空设备连接，另一端开设于所述第一固定座的顶面并正对所述第一连通槽。
优选地，所述第一载台还包括第一底座及第一调节组件，所述第一固定座设置于所述第一底座，所述第一调节组件包括：
第一固定螺钉，所述第一固定螺钉穿过所述第一固定座并与所述第一底座螺纹连接；
第一弹性件，所述第一弹性件的两端分别抵接所述第一固定螺钉的螺钉帽与所述第一底座；
第一调节件，所述第一调节件被配置为调节所述第一固定座与所述第一底座之间的距离。
优选地，所述第一载台还包括第一密封圈，所述第一密封圈夹设于所述第一支撑台与所述第一固定座之间，且所述连通槽的两侧均设置有所述第一密封圈。
优选地，还包括固定台，所述第一载台与所述第二载台均设置于所述固定台。
本发明的有益效果：
本发明提供了一种晶圆片的固定载具。该固定载具中，第一载台的第一支撑台用于承载翘曲程度大的晶圆片，将晶圆片放置于弧形的支撑部内，通过第一吸附孔吸附晶圆片的边缘，即可使晶圆片轻微变形以稳定贴附于支撑部，从而保证翘曲程度大的晶圆片的稳定，防止飞片。第二载台通过第二吸附孔吸附翘曲程度小的晶圆片，使得翘曲程度小的晶圆片贴附于第二支撑台，以保证稳定性。
该晶圆片的固定载具通过第一载台与第二载台能够同时固定两种翘曲程度不同的晶圆片，使操作人员不需要针对晶圆片的翘曲程度而校准对应的载台，且能够同时加工两种翘曲程度的晶圆片，从而大大提高了生产效率。
附图说明
图1是本发明提供的晶圆片的固定载具的结构示意图；
图2是本发明提供的第一载台的爆炸图；
图3是本发明提供的第一支撑台的结构示意图；
图4是本发明提供的第二载台的爆炸图；
图5是本发明提供的第二支撑台的结构示意图；
图6是本发明提供的晶圆片的固定载具与保护罩扣合的结构示意图。
图中：
1、第一载台；2、第二载台；3、固定台；4、保护罩；
11、第一支撑台；12、支撑部；13、第一吸附孔；14、吸盘；15、第一固定座；16、第一底座；17、第一调节组件；18、第一密封圈；19、第一升降件；21、第二支撑台；22、第二吸附孔；23、第二固定座；24、第二底座；25、第二调节组件；26、第二密封圈；27、第二升降件；
111、支撑件；112、固定件；113、第四吸附孔；114、第一连通槽；121、第三吸附孔；171、第一弹性件；172、第一调节件；191、第一本体；192、第一支撑柱；211、第二连通槽；251、第二弹性件；252、第二调节件；271、第二本体；272、第二支撑柱。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第二”、“第一”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第二位置”和“第一位置”为两个不同的位置。
除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
除非另有明确的规定和限定，第二特征在第一特征之“上”或之“下”可以包括第二特征和第一特征直接接触，也可以包括第二特征和第一特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第二特征在第一特征“之上”、“上方”和“上面”包括第二特征在第一特征正上方和斜上方，或仅仅表示第二特征水平高度高于第一特征。第二特征在第一特征“之下”、“下方”和“下面”包括第二特征在第一特征正下方和斜下方，或仅仅表示第二特征水平高度小于第一特征。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
本实施例提供了一种晶圆片的固定载具。如图1、图2与图4所示，该载具包括第一载台1与第二载台2。第一载台1包括第一支撑台11，第一支撑台11凹设有弧形的支撑部12，支撑部12的弧度小于晶圆片的弧度，第一支撑台11环绕支撑部12间隔开设有若干个第一吸附孔13。第二载台2包括第二支撑台21，第二支撑台21的支撑面开设有若干个第二吸附孔22。
该固定载具中，第一载台1的第一支撑台11用于承载翘曲程度大的晶圆片，将晶圆片放置于弧形的支撑部12内，通过第一吸附孔13吸附晶圆片的边缘，使翘曲程度大的晶圆片朝支撑部12方向变形降低一定的翘曲程度，即可使晶圆片轻微变形以稳定贴附于支撑部12，从而保证翘曲程度大的晶圆片的稳定，防止飞片。第二载台2通过第二吸附孔22吸附翘曲程度小的晶圆片，使得翘曲程度小的晶圆片贴附于第二支撑台21，以保证稳定性。
该晶圆片的固定载具通过第一载台1与第二载台2能够同时固定两种翘曲程度不同的晶圆片，使操作人员不需要针对晶圆片的翘曲程度而校准对应的载台，且能够同时加工两种翘曲程度的晶圆片，从而大大提高了生产效率。
如图2所示，第一支撑台11包括支撑件111以及环绕支撑件111设置的固定件112，支撑件111的上表面构成支撑部12。操作人员能够根据不同批次的晶圆片的具体的翘曲程度对支撑件111进行更换，使支撑件111的弧形的支撑部12的弧度与晶圆片的弧度差距不大，从而保证晶圆片被第一吸附孔13吸附时能够贴合于支撑部12。可更换的支撑件111能够在大幅提高第一支撑台11的适用性的同时降低备货成本。
优选地，支撑部12开设有第三吸附孔121。通过第三吸附孔121吸附翘曲程度高的晶圆片，以防晶圆片在第一吸附孔13的吸附作用下导致中间部位隆起导致无法与支撑部12贴合，从而提高晶圆片与支撑部12的贴合程度。
优选地，第一支撑台11环绕支撑部12间隔开设有若干个第四吸附孔113。当第一载台1固定的晶圆片尺寸较大时，固定件112设置的第四吸附孔113能够对晶圆片的边缘提供一定的吸附力，防止晶圆片因受力区域较小导致固定不够稳定。
可以理解的是，翘曲程度较大的晶圆片被第一载台1固定吸附时，会在吸附力的作用下产生一定的形变，若晶圆片的翘曲程度与支撑部12的弧度差距较大，则晶圆片会在第一吸附孔13的作用下产生较大的形变，导致晶圆片碎裂。为解决这个问题，每个第一吸附孔13内均设置有一个吸盘14，吸盘14与第一吸附孔13连通，吸盘14的开口凸出第一支撑台11。吸盘14能够在吸附晶圆片的同时根据晶圆片的翘曲程度产生一定的形变，从而降低晶圆片的形变程度，防止晶圆片碎裂。而且由于吸盘14为柔性结构，吸盘14还能够对晶圆片进行缓冲，防止第一支撑台11划伤晶圆片造成产品不良。
如图3所示，第一支撑台11的底端凹设有第一连通槽114，若干个第一吸附孔13连通第一连通槽114的槽底。第一连通槽114能够将第一吸附孔13连通，使得每个第一吸附孔13产生的吸力相等，从而平衡晶圆片的受力状态。
其中，第一载台1还包括第一固定座15，第一支撑台11与第一固定座15可拆卸连接，第一固定座15设置有第一吸附通道，第一吸附通道的一端与抽真空设备连接，另一端开设于第一固定座15的顶面并正对第一连通槽114。抽真空设备开启后，通过第一吸附通道使第一连通槽114产生负压，从而使每一个第一吸附孔13均产生吸力吸附晶圆片。
优选地，第一吸附通道位于第一固定座15顶端的开口可以设置有多个，且多个开口沿第一连通槽114的延伸方向间隔设置，以进一步平衡每个第一吸附孔13的吸力。
如图2所示，第一载台1还包括第一密封圈18，第一密封圈18夹设于第一支撑台11与第一固定座15之间，且第一连通槽114的两侧均设置有第一密封圈18。第一密封圈18能够提高第一支撑台11与第一固定座15之间的气密性，防止漏气导致第一吸附孔13吸附能力的下降。
优选地，第一载台1还包括第一底座16及第一调节组件17，第一固定座15设置于第一底座16，第一调节组件17包括第一固定螺钉、第一弹性件171及第一调节件172。第一固定螺钉穿过第一固定座15并与第一底座16螺纹连接。第一弹性件171的两端分别抵接第一固定螺钉的螺钉帽与第一底座16。第一调节件172被配置为调节第一固定座15与第一底座16之间的距离。
第一固定螺钉通过第一弹性件171将第一固定座15压合于第一底座16并固定，能够通过第一调节件172调节第一固定座15与第一底座16之间的距离，并使第一固定座15压缩第一弹性件171以保证第一固定座15的稳定。操作人员能够通过第一调节件172调节第一固定座15的水平度，从而提高晶圆片加工时的良率。
优选地，第一调节件172为顶丝。顶丝穿过第一固定座15并与第一固定座15螺纹连接，顶丝的一端抵接第一底座16，并能够通过顶丝的转动调节第一固定座15与第一底座16之间的距离大小。
可以理解的是，为了便于晶圆片的取放，第一载台1还包括第一升降件19，第一升降件19沿竖直方向滑动设置于第一支撑台11，第一升降件19能够使支撑部12上的晶圆片上升或下降。
如图2所示，第一升降件19包括第一本体191及设置于第一本体191的第一支撑柱192，第一本体191沿竖直方向滑动设置于第一支撑台11，第一支撑柱192远离第一本体191的一端穿过支撑部12。第一本体191向上滑动时，第一支撑柱192能够支撑晶圆片上升，第一本体191向下滑动时，晶圆片随着第一支撑柱192下降并被支撑部12支撑。
优选地，第一升降件19还可以是吸附件，吸附件设置于第一载台1的上方，通过吸附作用固定晶圆片，并驱动晶圆片上升或下降。
如图5所示，第二支撑台21的底端凹设有第二连通槽211，若干个第二吸附孔22连通第二连通槽211的槽底。
如图4所示，第二载台2还包括第二固定座23，第二支撑台21与第二固定座23可拆卸连接，第二固定座23设置有第二吸附通道，第二吸附通道的一端与抽真空设备连接，另一端开设于第二固定座23的顶面并正对第二连通槽211。
优选地，第二吸附通道位于第二固定座23顶端的开口可以设置有多个，且多个开口沿第二连通槽211的延伸方向间隔设置，以进一步平衡每个第二吸附孔22的吸力。
优选地，第二载台2还包括第二密封圈26，第二密封圈26夹设于第二支撑台21与第二固定座23之间，且第二连通槽211的两侧均设置有第二密封圈26。第二密封圈26能够提高第二支撑台21与第二固定座23之间的气密性，防止漏气导致第二吸附孔22吸附能力的下降。
优选地，第二载台2还包括第二底座24及第二调节组件25，第二固定座23设置于第二底座24，第二调节组件25包括第二固定螺钉、第二弹性件251及第二调节件252。第二固定螺钉穿过第二固定座23并与第二底座24螺纹连接。第二弹性件251的两端分别抵接第二固定螺钉的螺钉帽与第二底座24。第二调节件252被配置为调节第二固定座23与第二底座24之间的距离。
操作人员能够通过第二调节件252调节第二固定座23的水平度，从而提高晶圆片加工时的良率。
优选地，第二调节件252为顶丝。顶丝穿过第二固定座23并与第二固定座23螺纹连接，顶丝的一端抵接第二底座24，并能够通过顶丝的转动调节第二固定座23与第二底座24之间的距离大小。
可以理解的是，为了便于晶圆片的取放，第二载台2还包括第二升降件27，第二升降件27沿竖直方向滑动设置于第二支撑台21，第二升降件27能够使第二支撑台21上的晶圆片上升或下降。
其中，第二升降件27包括第二本体271及设置于第二本体271的第二支撑柱272，第二本体271沿竖直方向滑动设置于第二支撑台21，第二支撑柱272远离第二本体271的一端穿过第二支撑台21。第二本体271向上滑动时，第二支撑柱272能够支撑晶圆片上升，第二本体271向下滑动时，晶圆片随着第二支撑柱272下降并被第二支撑台21支撑。
优选地，第二升降件27还可以是吸附件，吸附件设置于第二载台2的上方，通过吸附作用固定晶圆片，并驱动晶圆片上升或下降。
如图1所示，该固定载具还包括固定台3，第一载台1与第二载台2均设置于固定台3。通过固定台3能够使第一载台1与第二载台2之间的相对位置保持不变，有利于在自动生产线上同时生产两种翘曲程度不同的晶圆片，提高生产效率。
可以理解的是，固定台3可以设置于水平移动平台上，水平移动平台通过固定台3带动第一载台1与第二载台2的水平移动，从而匹配不同的自动生产线。
如图6所示，该固定载具还包括保护罩4，保护罩4罩设于固定台3，保护罩4开设有两个避让孔，第一载台1与第二载台2分别通过一个避让孔伸出保护罩4。保护罩4既能够保护固定载具，起到防尘防水的作用，又能够遮盖内部管路，提升观感。
以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种晶圆片的固定载具，其特征在于，包括：
第一载台(1)，所述第一载台(1)包括第一支撑台(11)，所述第一支撑台(11)凹设有弧形的支撑部(12)，所述支撑部(12)的弧度小于所述晶圆片的弧度，所述第一支撑台(11)环绕所述支撑部(12)间隔开设有若干个第一吸附孔(13)；
第二载台(2)，所述第二载台(2)包括第二支撑台(21)，所述第二支撑台(21)的支撑面开设有若干个第二吸附孔(22)。
2.根据权利要求1所述的晶圆片的固定载具，其特征在于，所述第一支撑台(11)包括支撑件(111)以及环绕所述支撑件(111)设置的固定件(112)，所述支撑件(111)的上表面构成所述支撑部(12)。
3.根据权利要求1所述的晶圆片的固定载具，其特征在于，所述支撑部(12)开设有第三吸附孔(121)。
4.根据权利要求1所述的晶圆片的固定载具，其特征在于，所述第一支撑台(11)环绕所述支撑部(12)间隔开设有若干个第四吸附孔(113)。
5.根据权利要求1所述的晶圆片的固定载具，其特征在于，每个所述第一吸附孔(13)内均设置有一个吸盘(14)，所述吸盘(14)与所述第一吸附孔(13)连通，所述吸盘(14)的开口凸出所述第一支撑台(11)。
6.根据权利要求1所述的晶圆片的固定载具，其特征在于，所述第一支撑台(11)的底端凹设有第一连通槽(114)，若干个所述第一吸附孔(13)连通所述第一连通槽(114)的槽底。
7.根据权利要求6所述的晶圆片的固定载具，其特征在于，所述第一载台(1)还包括第一固定座(15)，所述第一支撑台(11)与所述第一固定座(15)可拆卸连接，所述第一固定座(15)设置有第一吸附通道，所述第一吸附通道的一端与抽真空设备连接，另一端开设于所述第一固定座(15)的顶面并正对所述第一连通槽(114)。
8.根据权利要求7所述的晶圆片的固定载具，其特征在于，所述第一载台(1)还包括第一底座(16)及第一调节组件(17)，所述第一固定座(15)设置于所述第一底座(16)，所述第一调节组件(17)包括：
第一固定螺钉，所述第一固定螺钉穿过所述第一固定座(15)并与所述第一底座(16)螺纹连接；
第一弹性件(171)，所述第一弹性件(171)的两端分别抵接所述第一固定螺钉的螺钉帽与所述第一底座(16)；
第一调节件(172)，所述第一调节件(172)被配置为调节所述第一固定座(15)与所述第一底座(16)之间的距离。
9.根据权利要求7所述的晶圆片的固定载具，其特征在于，所述第一载台(1)还包括第一密封圈(18)，所述第一密封圈(18)夹设于所述第一支撑台(11)与所述第一固定座(15)之间，且所述第一连通槽(114)的两侧均设置有所述第一密封圈(18)。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的晶圆片的固定载具，其特征在于，还包括固定台(3)，所述第一载台(1)与所述第二载台(2)均设置于所述固定台(3)。
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