CN210040150U - 陶瓷盘等分旋转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种陶瓷盘等分旋转机构，包括工作台及设置在工作台上的等分旋转组件，等分旋转组件包括升降动力件、升降台、旋转动力件及定位台，定位台固定在工作台上，定位台中心具有通孔，升降动力件与升降台连接，升降台内具有气管，升降台上表面具有气孔，气管与气孔连通，升降动力件可驱动升降台升降以穿过定位台的通孔，旋转动力件与升降台连接，旋转动力件可驱动升降台轴向旋转。该陶瓷盘等分旋转机构通过等分旋转组件与定位组件相配合，定位准确可靠，可以实现陶瓷盘等分旋转，从而可以均匀地在陶瓷盘上贴合晶圆片，保证贴片的质量。

Description

陶瓷盘等分旋转机构

技术领域

本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种陶瓷盘等分旋转机构。

背景技术

中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。

现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等。晶圆片贴片时，由于陶瓷盘上需要等分地贴合多张晶圆片，现有技术中的等分机构结构复杂，定位不精确，从而影响了贴片质量。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺点，本实用新型提供一种定位准确、加工效率高、能够提高贴片质量的陶瓷盘等分旋转机构。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种陶瓷盘等分旋转机构，包括工作台及设置在工作台上的等分旋转组件，所述等分旋转组件包括升降动力件、升降台、旋转动力件及定位台，所述定位台固定在工作台上，定位台中心具有通孔，所述升降动力件与升降台连接，所述升降台内具有气管，升降台上表面具有气孔，升降动力件可驱动升降台升降以穿过定位台的通孔，所述旋转动力件与升降台连接，旋转动力件可驱动升降台轴向旋转。

为了便于驱动升降台运动，所述升降台顶端固定有转板，所述旋转动力件与转板连接；所述升降台底端设置有连接座，所述升降动力件通过连接座与升降台连接，升降台与连接座之间设置有轴承。

为了对定位台上的陶瓷盘精确定位，所述定位台周围设置有用于定位陶瓷盘的定位组件；作为优选，所述定位组件包括推送动力件及推板，所述推送动力件可驱动推板平移，所述推板侧部开设有与陶瓷盘边缘相对应的弧形槽。

本实用新型的有益效果是：该陶瓷盘等分旋转机构通过等分旋转组件与定位组件相配合，定位准确可靠，可以实现陶瓷盘等分旋转，从而可以均匀地在陶瓷盘上贴合晶圆片，保证贴片的质量。

附图说明

图1为本实用新型的陶瓷盘等分旋转机构的立体结构示意图；

图2为本实用新型的等分旋转组件去除定位台后的结构示意图；

图3为本实用新型的定位组件的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1、图2所示的一种陶瓷盘等分旋转机构，包括工作台1及设置在工作台1上的等分旋转组件，所述等分旋转组件包括升降动力件3、升降台4、旋转动力件6及定位台2，所述定位台2固定在工作台1上，定位台2中心具有通孔，所述升降动力件3与升降台4连接，所述升降台4内具有气管9，升降台4顶端上表面具有气孔41，气管9与气孔41连通，升降动力件3可驱动升降台4升降以穿过定位台2的通孔，所述旋转动力件6与升降台4连接，旋转动力件6可驱动升降台4轴向旋转。

如图2所示的等分旋转组件，所述升降台4顶端固定有转板8，所述旋转动力件6与转板8连接；所述升降台4底端设置有连接座7，所述升降动力件3通过连接座7与升降台4连接，升降台4与连接座7之间设置有轴承。

所述定位台2周围均匀分布有多个用于定位陶瓷盘的定位组件5。如图3所示，所述定位组件包括推送动力件51及推板52，所述推送动力件51可驱动推板52平移，所述推板52侧部开设有与陶瓷盘边缘相对应的弧形槽521。

加工时，陶瓷盘经机械手送至定位台2上，两推送动力件51驱动推板52向内移动，从而将陶瓷盘定位，贴片机构即可往定位台2上的陶瓷盘贴合晶圆片，贴合完一片晶圆片后，升降动力件3驱动升降台4上升，升降台4将定位台2上的陶瓷盘托起，吸气机构吸气将晶圆片吸附在升降台4上，此时旋转动力件6驱动升降台4及陶瓷盘旋转一定的角度，升降台4下降，完成一次陶瓷盘等分旋转，即可进行另一次贴片，以此类推，在陶瓷盘上等分地贴满晶圆片。

需要说明的是，本实用新型的动力件等可以是气缸、电缸、电机、油缸等相关动力元件的替换，也可采用相应的连杆机构实现动力输出，并不局限于其名称或结构。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

最后应说明的是：以上上述的实施例，仅为本实用新型的具体实施方式，用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，本实用新型的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种陶瓷盘等分旋转机构，其特征在于：包括工作台及设置在工作台上的等分旋转组件，所述等分旋转组件包括升降动力件、升降台、旋转动力件及定位台，所述定位台固定在工作台上，定位台中心具有通孔，所述升降动力件与升降台连接，所述升降台内具有气管，升降台上表面具有气孔，气管与气孔连通，升降动力件可驱动升降台升降以穿过定位台的通孔，所述旋转动力件与升降台连接，旋转动力件可驱动升降台轴向旋转。

2.根据权利要求1所述的陶瓷盘等分旋转机构，其特征在于：所述定位台周围设置有用于定位陶瓷盘的定位组件，所述定位组件包括推送动力件及推板，所述推送动力件可驱动推板平移，所述推板侧部开设有与陶瓷盘边缘相对应的弧形槽。

3.根据权利要求1所述的陶瓷盘等分旋转机构，其特征在于：所述升降台顶端固定有转板，所述旋转动力件与转板连接。

4.根据权利要求3所述的陶瓷盘等分旋转机构，其特征在于：所述升降台底端设置有连接座，所述升降动力件通过连接座与升降台连接，升降台与连接座之间设置有轴承。

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