CN210040152U - 晶圆片匀蜡机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆片匀蜡机构，包括支架、保护罩、甩蜡组件及滴蜡组件，保护罩固定在支架顶端，保护罩底端具有开口，甩蜡组件对应设置在保护罩下方，甩蜡组件包括升降动力件、升降座、旋转动力件及旋转座，升降动力件与升降座连接并可驱动其升降以进入或脱出保护罩，旋转座、旋转动力件设置在升降座上，旋转动力件与旋转座连接并可驱动其旋转，滴蜡组件对应设置在保护罩一侧，滴蜡组件包括滴蜡器及驱动动力件，驱动动力件与滴蜡器连接并可驱动其水平移动以靠近或远离保护罩中心。该晶圆片匀蜡机构能够在晶圆片表面自动滴蜡、匀蜡，定位准确，保证了晶圆片表面蜡滴的均匀性，从而保证了后续的贴片质量。

Description

晶圆片匀蜡机构

技术领域

本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种晶圆片匀蜡机构。

背景技术

中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。

现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶(涂蜡)、贴片、铲片、存放等。晶圆片在贴片前需要在其表面滴蜡，从而使其与陶瓷盘贴合。本公司在先申请的专利号为CN104759974A的全自动贴片机中公开了一种滴蜡装置，但是其匀蜡效果并不理想，经常会导致晶圆片角落没有蜡滴，影响贴片效果，同时还容易造成蜡滴飞溅，影响加工环境。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺点，本实用新型提供一种定位准确、匀蜡效果理想、不会造成蜡滴飞溅的晶圆片匀蜡机构。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种晶圆片匀蜡机构，包括支架、保护罩、甩蜡组件及滴蜡组件，所述保护罩固定在支架顶端，保护罩底端具有开口，所述甩蜡组件对应设置在保护罩下方，甩蜡组件包括升降动力件、升降座、旋转动力件及旋转座，所述升降动力件与升降座连接并可驱动其升降以进入或脱出保护罩，所述旋转座、旋转动力件设置在升降座上，旋转动力件与旋转座连接并可驱动其旋转，所述滴蜡组件对应设置在保护罩一侧，滴蜡组件包括滴蜡器及驱动动力件，所述驱动动力件与滴蜡器连接并可驱动其水平移动以靠近或远离保护罩中心。

为了保证匀蜡效果，所述晶圆片匀蜡机构还包括定位组件，所述定位组件设置在保护罩底端，包括定位动力件及两定位臂，定位臂上分别固定有弧形定位块，所述定位动力件与两定位臂连接，定位动力件可驱动两定位臂同时向内或向外移动，以使弧形定位块夹紧或松开旋转座上的晶圆片。

为了避免蜡滴从保护罩上部飞溅，所述保护罩顶端设置有顶盖，所述顶盖上开设有通槽，所述通槽从顶盖边缘延伸至顶盖中心，所述滴蜡器可沿通槽移动。

为了保证升降的稳定性，所述升降动力件为一组，所述升降座两侧分别设置有导向杆，升降动力件驱动升降座沿导向杆上下升降。

本实用新型的有益效果是：该晶圆片匀蜡机构能够在晶圆片表面自动滴蜡、匀蜡，定位准确，保证了晶圆片表面蜡滴的均匀性，从而保证了后续的贴片质量。

附图说明

图1为本实用新型的晶圆片匀蜡机构的立体结构示意图；

图2为本实用新型的晶圆片匀蜡机构去除保护罩后的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1所示的一种晶圆片匀蜡机构，包括支架1、保护罩2、甩蜡组件及滴蜡组件，所述保护罩2固定在支架1顶端，保护罩2底端具有开口，保护罩2顶端设置有顶盖3，所述顶盖3上开设有通槽31，所述通槽31从顶盖3边缘延伸至顶盖3中心，所述甩蜡组件对应设置在保护罩2下方，甩蜡组件包括升降动力件4、升降座5、旋转动力件6及旋转座7，所述升降动力件4为一组，所述升降座5两侧分别设置有导向杆8，升降动力件4驱动升降座5沿导向杆8上下升降，从而驱动升降座5升降以进入或脱出保护罩2，所述旋转座7、旋转动力件6设置在升降座5上，旋转动力件6与旋转座7连接并可驱动其旋转，所述滴蜡组件对应设置在保护罩2一侧，滴蜡组件包括滴蜡器10及驱动动力件9，所述滴蜡器10可沿通槽31移动，所述驱动动力件9与滴蜡器10连接并可驱动其水平移动以靠近或远离保护罩2中心。

如图2所示，所述晶圆片匀蜡机构还包括定位组件，所述定位组件设置在保护罩底端，包括定位动力件11及两定位臂12，两定位臂12上分别固定有弧形定位块13，所述定位动力件11与两定位臂12连接，定位动力件11可驱动两定位臂12同时向内或向外移动，以使弧形定位块13夹紧或松开旋转座上的晶圆片14。

加工时，晶圆片14由机械手送至旋转座7上，升降动力件4驱动升降座5及旋转座7上升，定位动力件11驱动两定位臂12同时向内移动，从而使两弧形定位块13对晶圆片14定位，使其位于旋转座7顶部中心，定位完成后，升降动力件4继续驱动升降座5及旋转座7上升，使旋转座7进入保护罩2内，此时驱动动力件9驱动滴蜡器10前伸，使滴蜡器10位于旋转座7上方的中心，滴蜡器10开始滴蜡，滴蜡过程中，旋转动力件6驱动旋转座7旋转发生离心作用，从而逐渐使晶圆片14上表面均匀涂满蜡，匀蜡完成后，升降座5下降，机械手将晶圆片14取出送入下一工位。

需要说明的是，本实用新型的动力件可以是气缸、电缸、电机、油缸等相关动力元件的替换，也可采用相应的连杆机构实现动力输出，并不局限于其名称或结构。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

最后应说明的是：以上上述的实施例，仅为本实用新型的具体实施方式，用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，本实用新型的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应上述的以权利要求的保护范围为准。

Claims (4)

1.一种晶圆片匀蜡机构，包括支架、保护罩、甩蜡组件及滴蜡组件，其特征在于：所述保护罩固定在支架顶端，保护罩底端具有开口，所述甩蜡组件对应设置在保护罩下方，甩蜡组件包括升降动力件、升降座、旋转动力件及旋转座，所述升降动力件与升降座连接并可驱动其升降以进入或脱出保护罩，所述旋转座、旋转动力件设置在升降座上，旋转动力件与旋转座连接并可驱动其旋转，所述滴蜡组件对应设置在保护罩一侧，滴蜡组件包括滴蜡器及驱动动力件，所述驱动动力件与滴蜡器连接并可驱动其水平移动以靠近或远离保护罩中心。

2.根据权利要求1所述的晶圆片匀蜡机构，其特征在于：所述晶圆片匀蜡机构还包括定位组件，所述定位组件设置在保护罩底端，包括定位动力件及两定位臂，定位臂上分别固定有弧形定位块，所述定位动力件与两定位臂连接，定位动力件可驱动两定位臂同时向内或向外移动，以使弧形定位块夹紧或松开旋转座上的晶圆片。

3.根据权利要求1所述的晶圆片匀蜡机构，其特征在于：所述保护罩顶端设置有顶盖，所述顶盖上开设有通槽，所述通槽从顶盖边缘延伸至顶盖中心，所述滴蜡器可沿通槽移动。

4.根据权利要求1所述的晶圆片匀蜡机构，其特征在于：所述升降动力件为一组，所述升降座两侧分别设置有导向杆，升降动力件驱动升降座沿导向杆上下升降。

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