CN210223964U - 晶圆片刷洗甩干机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆片刷洗甩干机构，包括定位平台组件及刷洗组件，定位平台组件包括旋转动力件、旋转平台、吸盘、升降动力件、升降座及保护罩，吸盘固定在旋转平台上，旋转平台与旋转动力件连接，保护罩套设在旋转平台外，保护罩固定在升降座上，升降动力件与升降座连接，刷洗组件包括刷盘、刷盘驱动件、刷盘摇摆动力件、摇臂及摇臂升降驱动件，刷盘对应设置在吸盘上方并与刷盘摇臂固定连接，刷盘与刷盘动力件连接，刷盘摇摆动力件与摇臂连接，摇臂升降驱动件与刷盘摇摆动力件连接。该晶圆片刷洗甩干机构通过定位平台组件及刷洗组件相配合，能够对晶圆片表面进行自动刷洗，刷洗后自动甩干，从而保证了晶圆片后续贴片的平整度。

Description

晶圆片刷洗甩干机构

技术领域

本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种晶圆片刷洗甩干机构。

背景技术

中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。

现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶(涂蜡)、贴片、铲片、存放等。晶圆片在贴片前需要在其表面滴蜡，滴蜡时需要保证晶圆片表面的清洁度，如果晶圆片表面含有杂质，会影响后续贴片效果。现有技术中，晶圆片贴片前一般都不进行清洗，贴片时容易造成晶圆片表面不平整。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺点，本实用新型提供一种结构简单、自动化程度高、刷洗效果好、能够保证贴片效果的晶圆片刷洗甩干机构。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种晶圆片刷洗甩干机构，包括定位平台组件及刷洗组件，所述定位平台组件包括旋转动力件、旋转平台、吸盘、升降动力件、升降座及保护罩，所述吸盘固定在旋转平台上，所述旋转平台与旋转动力件连接，旋转动力件可驱动旋转平台及吸盘旋转，所述保护罩套设在旋转平台外，保护罩固定在升降座上，所述升降动力件与升降座连接，升降动力件可驱动升降座及保护罩上下升降，从而使旋转平台进入或脱出保护罩，所述刷洗组件包括刷盘、刷盘驱动件、刷盘摇摆动力件、摇臂及摇臂升降驱动件，所述刷盘对应设置在吸盘上方并与刷盘摇臂固定连接，刷盘与刷盘动力件连接，所述刷盘动力件可驱动刷盘轴向旋转，所述刷盘摇摆动力件与摇臂连接，刷盘摇摆动力件可驱动摇臂及刷盘摇摆，所述摇臂升降驱动件与刷盘摇摆动力件连接，摇臂升降驱动件可驱动刷盘摇摆动力件升降。

另外，刷洗组件一侧还设置有千分表，用于调节摇臂升降驱动件的升降幅度，并实时反馈其高度，从而调节刷洗效果。

为了进一步防止清洗液飞溅，所述保护罩包括外罩及内罩，所述外罩固定在支架上并套设在内罩外，所述内罩固定在升降座上并可随升降座上下升降。

为了便于刷盘沾水，保证清洗效果，所述晶圆片刷洗甩干机构还包括清洗水槽，所述清洗水槽固定在外罩上。

为了便于驱动升降座升降，所述升降动力件通过升降组件与升降座连接，所述升降组件包括升降架及导向杆，所述升降架与升降动力件的伸缩杆连接，升降架通过若干导向杆与升降座固定连接。

本实用新型的有益效果是：该晶圆片刷洗甩干机构通过定位平台组件及刷洗组件相配合，能够对晶圆片表面进行自动刷洗，刷洗后自动甩干，从而保证了晶圆片后续贴片的平整度。

附图说明

图1为本实用新型的晶圆片刷洗甩干机构的立体结构示意图；

图2为本实用新型的晶圆片刷洗甩干机构去除保护罩后的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1、图2所示的一种晶圆片刷洗甩干机构，包括定位平台组件及刷洗组件，所述定位平台组件包括旋转动力件11、旋转平台5、吸盘14、升降动力件4、升降座13及保护罩，所述吸盘14固定在旋转平台5顶端，所述旋转平台5与旋转动力件11连接，旋转动力件11可驱动旋转平台5及吸盘14旋转，所述保护罩套设在旋转平台5外，保护罩包括外罩10及内罩101，所述外罩10固定在支架上并套设在内罩101外，所述内罩101固定在升降座13上并可随升降座13上下升降，所述升降动力件4与升降座13通过升降架8及导向杆9连接，升降动力件4可驱动升降座13及内罩101上下升降，从而使旋转平台5进入或脱出保护罩，所述刷洗组件包括刷盘3、刷盘驱动件1、刷盘摇摆动力件7、摇臂2及摇臂升降驱动件15，所述刷盘3对应设置在吸盘14上方并与刷盘摇臂2固定连接，刷盘3与刷盘动力件1连接，所述刷盘动力件1可驱动刷盘3轴向旋转，所述刷盘摇摆动力件7与摇臂2连接，刷盘摇摆动力件7可驱动摇臂2及刷盘3摇摆，所述摇臂升降驱动件15与刷盘摇摆动力件7连接，摇臂升降驱动件15可驱动刷盘摇摆动力件7及摇臂2升降，摇臂升降驱动件15一侧设置有千分表16，所述升降座13一侧固定有清洗水槽6。

加工时，机械手将晶圆片12送至吸盘14上，吸盘14将晶圆片12吸附，此时升降动力件4驱动升降座13及内罩101上升，使内罩101套在晶圆片12外，刷盘摇摆动力件7驱动摇臂2及刷盘3摇摆，使刷盘3沾水，然后摇臂升降驱动件15驱动刷盘摇摆动力件7及摇臂2下降，使刷盘3下降至晶圆片12上表面，此时旋转动力件11驱动旋转平台5、吸盘14及晶圆片12慢速旋转，而刷盘摇摆动力件7同时驱动摇臂2及刷盘3摇摆，从而使刷盘3对晶圆片12表面均匀刷洗，刷洗完成后，旋转平台5略微下降使晶圆片12与刷盘3脱离，此时旋转动力件11带动旋转平台5、吸盘14及晶圆片12高速旋转，从而使晶圆片12表面的液体甩干，甩干后，晶圆片12下降，由机械手抓取送入下一工位。

需要说明的是，本实用新型的动力件可以是气缸、电缸、电机、油缸等相关动力元件的替换，也可采用相应的连杆机构实现动力输出，并不局限于其名称或结构。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

最后应说明的是：以上上述的实施例，仅为本实用新型的具体实施方式，用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，本实用新型的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应上述的以权利要求的保护范围为准。

Claims (4)

1.一种晶圆片刷洗甩干机构，其特征在于：包括定位平台组件及刷洗组件，所述定位平台组件包括旋转动力件、旋转平台、吸盘、升降动力件、升降座及保护罩，所述吸盘固定在旋转平台上，所述旋转平台与旋转动力件连接，旋转动力件可驱动旋转平台及吸盘旋转，所述保护罩套设在旋转平台外，保护罩固定在升降座上，所述升降动力件与升降座连接，升降动力件可驱动升降座及保护罩上下升降，从而使旋转平台进入或脱出保护罩，所述刷洗组件包括刷盘、刷盘驱动件、刷盘摇摆动力件、摇臂及摇臂升降驱动件，所述刷盘对应设置在吸盘上方并与刷盘摇臂固定连接，刷盘与刷盘动力件连接，所述刷盘动力件可驱动刷盘轴向旋转，所述刷盘摇摆动力件与摇臂连接，刷盘摇摆动力件可驱动摇臂及刷盘摇摆，所述摇臂升降驱动件与刷盘摇摆动力件连接，摇臂升降驱动件可驱动刷盘摇摆动力件升降。

2.根据权利要求1所述的晶圆片刷洗甩干机构，其特征在于：所述保护罩包括外罩及内罩，所述外罩固定在支架上并套设在内罩外，所述内罩固定在升降座上并可随升降座上下升降。

3.根据权利要求2所述的晶圆片刷洗甩干机构，其特征在于：所述晶圆片刷洗甩干机构还包括清洗水槽，所述清洗水槽固定在外罩上。

4.根据权利要求1所述的晶圆片刷洗甩干机构，其特征在于：所述升降动力件通过升降组件与升降座连接，所述升降组件包括升降架及导向杆，所述升降架与升降动力件的伸缩杆连接，升降架通过若干导向杆与升降座固定连接。

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