CN211578701U - 一种芯片清洗用治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种芯片清洗用治具，包括壳体，所述壳体内部下端开设有滑槽，所述滑槽内部活动设置有滑块，所述滑块上端固定设置有清洗仓，所述清洗仓内部开设有若干清洗槽，所述清洗仓外侧四周开设有卡槽，所述卡槽内部活动卡合设置有橡胶塞，所述清洗仓内部下端表面开设有若干第一通孔，所述壳体一侧上端通过安装座固定设置有振动机构。本实用新型使用效果较好，可以便于对芯片进行清洗，同时通过振动可以提高装置的清洗效果。

Description

一种芯片清洗用治具

技术领域

本实用新型涉及芯片清洗技术领域，具体为一种芯片清洗用治具。

背景技术

芯片清洗是每一个芯片制备过程中必不可少的过程，其目的在于使芯片表面的污染物尽可能地降低，使得元件获得良好而稳定的特性，以及使制程具有良好的再现性。

但是目前使用的芯片清洗大多都是将芯片放置在槽体内部，然后通过水流进行冲击清洗，这种水流定向冲击清洗的效果较差，使用效果不好。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种芯片清洗用治具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片清洗用治具，包括壳体，所述壳体内部下端开设有滑槽，所述滑槽内部活动设置有滑块，所述滑块上端固定设置有清洗仓，所述清洗仓内部开设有若干清洗槽，所述清洗仓外侧四周开设有卡槽，所述卡槽内部活动卡合设置有橡胶塞，所述清洗仓内部下端表面开设有若干第一通孔，所述壳体一侧上端通过安装座固定设置有振动机构，所述壳体一侧表面下端固定设置有开关。

优选的，所述振动机构包括电动机、偏心轮、传动杆、连接杆，所述壳体一侧上端通过安装座固定设置有电动机，所述电动机的输出轴端通过连轴器固定设置有偏心轮，所述偏心轮通过转轴活动设置有传动杆，所述清洗仓上端靠近电动机的一侧固定设置有连接杆，所述传动杆与连接杆之间通过转轴活动连接，所述开关与电动机之间电性连接，通过振动机构带动清洗仓振动，从而提高芯片的清洗效果。

优选的，所述清洗仓外侧表面开设有若干第二通孔，通过第二通孔可以方便水进入到清洗仓内部。

优选的，所述电动机外侧表面固定设置有保护层，通过保护层用于保护电动机。

优选的，所述壳体外侧表面固定设置有限位块，所述壳体外侧表面上端活动套设有顶盖，通过顶盖可以防止清洗液从壳体内部激荡溅射出去。

优选的，所述滑块与滑槽之间光滑连接，通过光滑连接可以方便滑块沿着滑槽滑动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过开关打开电动机，通过电动机带动偏心轮转动，从而带动传动杆左右移动，传动杆左右移动后则会带动连接杆和清洗仓作用移动，并且清洗仓在左右移动时，在滑块卡合在滑槽的作用下可以起到稳定清洗仓的作用，通过清洗仓的左右移动从而带动清洗液，通过第一通孔和第二通孔不断对清洗槽内部的芯片进行冲洗，从而完成芯片的清洗工作，通过自动振荡清洗提高其清洗效果。

2、本实用新型将需要清洗的芯片放置在清洗槽内部，然后通过卡槽内部塞入橡胶塞，以将清洗槽内部的芯片进行固定，固定芯片所有为橡胶塞，较为柔软在振动清洗芯片时，不会导致芯片损坏以提高装置的使用效果。

附图说明

图1为本实用新型一种芯片清洗用治具整体结构示意图；

图2为本实用新型一种芯片清洗用治具清洗仓整体结构示意图；

图3为本实用新型一种芯片清洗用治具图1中A处的放大视图；

图4为本实用新型一种芯片清洗用治具主视图。

图中：1、壳体；2、滑槽；3、滑块；4、清洗仓；5、清洗槽；6、卡槽； 7、橡胶塞；8、第一通孔；9、开关；10、电动机；11、偏心轮；12、传动杆； 13、连接杆；14、第二通孔；15、保护层；16、限位块；17、顶盖。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种芯片清洗用治具，包括壳体1，所述壳体1内部下端开设有滑槽2，所述滑槽2内部活动设置有滑块3，所述滑块3上端固定设置有清洗仓4，所述清洗仓4内部开设有若干清洗槽5，所述清洗仓4外侧四周开设有卡槽6，所述卡槽6内部活动卡合设置有橡胶塞7，所述清洗仓4内部下端表面开设有若干第一通孔8，所述壳体1 一侧上端通过安装座固定设置有振动机构，所述壳体1一侧表面下端固定设置有开关9。

所述振动机构包括电动机10、偏心轮11、传动杆12、连接杆13，所述壳体1一侧上端通过安装座固定设置有电动机10，所述电动机10的输出轴端通过连轴器固定设置有偏心轮11，所述偏心轮11通过转轴活动设置有传动杆 12，所述清洗仓4上端靠近电动机10的一侧固定设置有连接杆13，所述传动杆12与连接杆13之间通过转轴活动连接，所述开关9与电动机10之间电性连接，通过振动机构带动清洗仓4振动，从而提高芯片的清洗效果，所述清洗仓4外侧表面开设有若干第二通孔14，通过第二通孔14可以方便水进入到清洗仓4内部，所述电动机10外侧表面固定设置有保护层15，通过保护层 15用于保护电动机10，所述壳体1外侧表面固定设置有限位块16，所述壳体 1外侧表面上端活动套设有顶盖17，通过顶盖17可以防止清洗液从壳体1内部激荡溅射出去，所述滑块3与滑槽2之间光滑连接，通过光滑连接可以方便滑块3沿着滑槽2滑动。

工作原理：装置使用时可以将需要清洗的芯片放置在清洗槽5内部，然后通过卡槽6内部塞入橡胶塞7，以将清洗槽5内部的芯片进行固定，随后向壳体1内部注入清洗液，然后通过开关9打开电动机10，通过电动机10带动偏心轮11转动，从而带动传动杆12左右移动，传动杆12左右移动后则会带动连接杆13和清洗仓4作用移动，并且清洗仓4在左右移动时，在滑块3卡合在滑槽2的作用下可以起到稳定清洗仓4的作用，通过清洗仓4的左右移动从而带动清洗液，通过第一通孔8和第二通孔14不断对清洗槽5内部的芯片进行冲洗，从而完成芯片的清洗工作，并且在清洗时通过保护层15可以有效保护电动机10不收伤害，并且在清洗过程中，可以将顶盖17套设在壳体1 上端，从而防止清洗液从壳体1内部过多的激荡溅射出去，这就是本实用新型一种芯片清洗用治具的工作原理。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种芯片清洗用治具，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)内部下端开设有滑槽(2)，所述滑槽(2)内部活动设置有滑块(3)，所述滑块(3)上端固定设置有清洗仓(4)，所述清洗仓(4)内部开设有若干清洗槽(5)，所述清洗仓(4)外侧四周开设有卡槽(6)，所述卡槽(6)内部活动卡合设置有橡胶塞(7)，所述清洗仓(4)内部下端表面开设有若干第一通孔(8)，所述壳体(1)一侧上端通过安装座固定设置有振动机构，所述壳体(1)一侧表面下端固定设置有开关(9)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具，其特征在于：所述振动机构包括电动机(10)、偏心轮(11)、传动杆(12)、连接杆(13)，所述壳体(1)一侧上端通过安装座固定设置有电动机(10)，所述电动机(10)的输出轴端通过连轴器固定设置有偏心轮(11)，所述偏心轮(11)通过转轴活动设置有传动杆(12)，所述清洗仓(4)上端靠近电动机(10)的一侧固定设置有连接杆(13)，所述传动杆(12)与连接杆(13)之间通过转轴活动连接，所述开关(9)与电动机(10)之间电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具，其特征在于：所述清洗仓(4)外侧表面开设有若干第二通孔(14)。

4.根据权利要求2所述的一种芯片清洗用治具，其特征在于：所述电动机(10)外侧表面固定设置有保护层(15)。

5.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具，其特征在于：所述壳体(1)外侧表面固定设置有限位块(16)，所述壳体(1)外侧表面上端活动套设有顶盖(17)。

6.根据权利要求1所述的一种芯片清洗用治具，其特征在于：所述滑块(3)与滑槽(2)之间光滑连接。

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