CN111681978A - 一种晶圆清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本发明属于晶圆生产加工技术领域，提供了一种晶圆清洗装置，包括清洗工作台，清洗工作台上安装有一清洗箱，清洗箱一侧开设有晶圆取放口；清洗工作台下方滑动安装有第一驱动装置驱动的安装架，安装架上转动安装有第二驱动装置驱动的真空管，真空管顶端安装有伯努利吸盘；清洗工作台上还滑动安装有第三驱动装置驱动的下安装板，下安装板上滑动安装有第四驱动装置驱动的上安装板，上安装板的一端延伸至清洗箱内，且转动安装有第五驱动装置驱动的转轴，转轴的底端固定安装有一海绵刷头。本发明实现了对晶圆的自动刷洗，刷洗效率大大提高，刷洗更干净彻底且不会对晶圆造成二次污染及划伤，确保刷洗过程中晶圆质量及合格率不受影响。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆生产加工技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗装置。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。随着半导体器件关键尺寸的不断缩小以及新材料的引入，在晶圆的生产加工过程中，对晶圆表面的洁净度要求越来越严苛，通常需要进行多次清洗，以去除晶圆上沾附的污垢及工艺液。
目前，对晶圆的清洗通常分为槽式清洗和单片清洗两种方式；槽式清洗即把晶圆放到清洗槽内清洗，能够同时实现若干晶圆的清洗，具有较高的清洗效率，但对晶圆的清洗效果差，且从晶圆上清洗下来的污染物仍留存在清洗液中，会对晶圆造成二次污染，为避免晶圆的交叉污染，提高晶圆的清洗效果，单片清洗方式正逐渐取代槽式清洗，但目前仍没有专门用于晶圆单片清洗的清洗设备，晶圆的单片清洗，仍多依靠人工完成，人工清洗不但效率低，劳动强度大，且由于刷片人员操作不细心等各种原因，易划伤晶圆，导致晶圆直接报废或降级处理，影响晶圆的生产质量及产品合格率。因此，开发一种晶圆清洗装置，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力，这正是本发明得以完成的动力所在和基础。
发明内容
为了克服上述所指出的现有技术的缺陷，本发明人对此进行了深入研究，在付出了大量创造性劳动后，从而完成了本发明。
具体而言，本发明所要解决的技术问题是：提供一种晶圆清洗装置，以解决目前人工进行晶圆单片清洗，清洗效率低，劳动强度大，且易划伤晶圆，影响晶圆质量的技术问题。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：
一种晶圆清洗装置，包括清洗工作台，所述清洗工作台上固定安装有一清洗箱，所述清洗箱的一侧开设有晶圆取放口；
所述清洗工作台下方沿竖直方向滑动安装有第一驱动装置驱动的安装架，所述安装架上转动安装有第二驱动装置驱动的真空管，所述真空管的顶端贯穿所述清洗箱，且安装有用以托放并吸合晶圆的伯努利吸盘；
所述清洗工作台上沿水平方向还滑动安装有第三驱动装置驱动的下安装板，所述下安装板上沿竖直方向滑动安装有第四驱动装置驱动的上安装板，所述上安装板的一端延伸至所述清洗箱内设置，且所述上安装板位于所述清洗箱内的一端转动安装有第五驱动装置驱动的转轴，所述转轴的底端固定安装有一海绵刷头，且所述海绵刷头的旋转方向与所述伯努利吸盘的旋转方向相反。
作为一种改进的技术方案，所述清洗箱包括下清洗壳和上防护壳，所述下清洗壳固定安装于所述清洗工作台上，所述上防护壳为透明防护壳，且所述上防护壳适配扣合于所述下清洗壳上。
作为一种改进的技术方案，所述下清洗壳底部设有一隔板，所述隔板将所述下清洗壳分隔为清洗槽和蓄水槽，所述晶圆取放口和所述伯努利吸盘均于所述清洗槽位置处设置，且所述清洗槽和所述蓄水槽的底部均设有排水口。
作为一种改进的技术方案，所述下清洗壳的内壁上还固定安装有两对应设置的挡板，所述挡板位于所述晶圆取放口下方，且两所述挡板间形成与晶圆相适配的过料区。
作为一种改进的技术方案，所述清洗工作台的下方固定安装有一安装座，所述第一驱动装置包括滑台气缸，所述滑台气缸竖直固定安装于所述安装座上，所述安装架固定安装于所述滑台气缸的滑台上。
作为一种改进的技术方案，所述第二驱动装置包括固定安装于所述安装架上的吸盘驱动电机，所述吸盘驱动电机的输出轴安装有第一主动齿轮，所述安装架上固定安装有第一轴套，所述真空管转动安装于所述第一轴套内，且所述真空管上固定安装有与所述第一主动齿轮对应设置的第一从动齿轮，所述第一从动齿轮和所述第一主动齿轮间架绕有第一传动带，且所述第一主动齿轮和所述第一从动齿轮通过所述第一传动带传动相连。
作为一种改进的技术方案，所述第三驱动装置包括固定安装于所述清洗工作台上的电缸，所述电缸位于所述清洗箱的另一侧，所述下安装板固定安装于所述电缸的滑板上。
作为一种改进的技术方案，所述下安装板上竖直固定安装有若干导杆，所述上安装板上固定安装有若干与所述导杆对应设置的滑套，所述滑套滑动套装于所述导杆上，所述上安装板通过所述导杆、所述滑套于竖直方向上滑动安装；
所述上安装板和所述下安装板之间还设有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的两端分别挂装于所述上安装板和所述下安装板上。
作为一种改进的技术方案，所述第四驱动装置包括固定安装于所述下安装板上的伸缩气缸，所述伸缩气缸的活塞轴顶端与所述上安装板相连。
作为一种改进的技术方案，所述第五驱动装置包括固定安装于所述上安装板上的刷头驱动电机，所述刷头驱动电机的输出轴上安装有第二主动齿轮，所述上安装板的一端固定安装有第二轴套，所述转轴转动安装于所述第二轴套内，且所述转轴上固定安装有与所述第二主动齿轮相对应的第二从动齿轮，所述第二从动齿轮与所述第二主动齿轮间架绕有第二传动带，且所述第二主动齿轮和所述第二从动齿轮通过所述第二传动带传动相连。
作为一种改进的技术方案，所述上安装板和所述下安装板间还设有用以实现所述海绵刷头高度精调的调节机构，所述调节机构包括垫块和千分尺，所述垫块位于所述上安装板和所述下安装板之间，且固定安装于所述下安装板上，所述千分尺固定安装于所述上安装板上，且与所述垫块对应设置，所述千分尺上还安装有用以实现测量螺杆定位的定位旋钮，处于调节状态时，所述千分尺的测量螺杆底端抵靠所述垫块设置。
作为一种进一步改进的技术方案，所述上安装板上还固定安装有与所述垫块对应设置的液压缓冲器。
作为一种改进的技术方案，所述上安装板上还固定安装有包覆所述第四驱动装置和所述第五驱动装置的防护罩。
作为一种改进的技术方案，所述防护罩上固定安装有二流体阀，所述二流体阀上安装有水雾喷头，所述水雾喷头与所述海绵刷头对应设置，且贴靠所述海绵刷头设置；
所述下清洗壳的顶部内侧固定安装有与吸风管道相连通的排气板，所述排气板上开设有若干吸气孔。
作为一种改进的技术方案，所述清洗工作台上还固定安装有安装块，所述安装块上安装有两根冲洗水管，两所述冲洗水管贯穿所述清洗箱的壳体，且出水口均靠近所述伯努利吸盘设置。
采用了上述技术方案后，本发明的有益效果是：
（1）该晶圆清洗装置，通过晶圆取放口实现晶圆于清洗箱内的取放，通过伯努利吸盘实现晶圆背面的承托、吸合并带动晶圆旋转，通过与伯努利吸盘旋转方向相反的海绵刷头实现对晶圆正面的刷洗，同时在水雾喷头和冲洗水管的作用下，提高对晶圆的刷洗效率及刷洗效果；相较传统的人工进行晶圆单片清洗的方式，该晶圆清洗装置实现了对晶圆的自动刷洗，刷洗效率大大提高，刷洗更干净彻底且不会对晶圆造成二次污染及划伤，确保刷洗过程中晶圆质量及合格率不受影响。
（2）设有的该清洗箱，整个晶圆刷洗过程在清洗箱内完成，避免对周围环境造成污染，且透明的上防护壳在实现防护的同时，便于工作人员查看刷洗进程，了解晶圆刷洗状态及设备运行状况。
（3）清洗箱内通过隔板分隔出的蓄水槽，用以盛放刷片液，该装置在不进行晶圆刷片使用时，海绵刷头浸没于蓄水槽的刷片液内，确保海绵刷头保持湿润。
（4）通过真空管安装的伯努利吸盘，在实现晶圆承托放置的同时，在第二驱动装置驱动下，带动晶圆高速旋转，能够有效提高对晶圆的刷洗效果及刷洗效率，伯努利吸盘在负压下实现对晶圆背面的牢固吸合，确保晶圆在刷洗过程中不会掉落及发生位置偏移。
（5）清洗箱内设有的挡板，在晶圆刷洗过程中，能够实现对水雾、冲洗液的有效遮挡，避免从晶圆取放口位置处溅出至清洗箱外。
（6）上安装板通过导杆及滑套滑动安装，滑动平稳可靠，上安装板和下安装板间设有的拉伸弹簧，若伸缩气缸故障，能够下拉上安装板复位，方便实用。
（7）设有的该调节机构，松开定位旋钮，转动千分尺可实现对海绵刷头刷片工作位的高度调节，且调节精度高，能够确保海绵刷头刷洗晶圆时的有效接触而不会对晶圆造成损伤，调节完毕后，重新旋紧定位旋钮可实现当前调节位置的定位固定，调节操作简单方便。
（8）上安装板上安装有的液压缓冲器，能够降低滑动冲击，起到缓冲保护作用。
（9）设有的防护罩，实现对第四驱动装置和第五驱动装置的有效防护，防护罩上安装有的水雾喷头，对晶圆刷洗时，向晶圆喷水雾，配合海绵刷头的旋转，污垢及工艺液更易冲刷掉，能够有效提高对晶圆的刷洗效果。
（10）清洗箱内设有的与吸风管道相连通的排气孔，吸风管道连通至水雾处理装置，对晶圆清洗时，能够通过排气板上开设的吸气孔将清洗箱内的水雾吸出并进行处理排放，避免清洗箱内水雾过多不便观察及可能对晶圆清洗造成影响。
（11）清洗工作台上设有的冲洗水管，对晶圆刷洗时，两根冲洗水管分别对晶圆的正面和背面进行冲洗，进一步提高对晶圆的清洗效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的另一立体结构示意图；
图3为本发明的内部结构示意图；
图4为本发明伯努利吸盘部分和海绵刷头部分配合的结构示意图；
图5为本发明清洗箱的内部结构示意图；
图6为本发明伯努利吸盘驱动部分的结构示意图；
图7为本发明海绵刷头驱动部分的结构示意图；
图8为本发明海绵刷头驱动部分的另一立体结构示意图；
图9为本发明水雾喷头和冲洗水管部分的安装结构示意图；
附图标记：1-清洗工作台；2-清洗箱；201-晶圆取放口；202-隔板；203-清洗槽；204-蓄水槽；3-安装座；4-滑台气缸；5-安装架；6-第一轴套；7-真空管；8-伯努利吸盘；9-吸盘驱动电机；10-第一主动齿轮；11-第一从动齿轮；12-第一传动带；13-电缸；14-下安装板；15-导杆；16-滑套；17-上安装板；18-拉伸弹簧；19-伸缩气缸；20-第二轴套；21-海绵刷头；22-刷头驱动电机；23-第二主动齿轮；24-第二从动齿轮；25-第二传动带；26-垫块；27-千分尺；28-定位旋钮；29-液压缓冲器；30-防护罩；31-二流体阀；32-水雾喷头；33-排气板；34-吸风管道；35-安装块；36-冲洗水管；37-挡板。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明进一步说明。但这些例举性实施方式的用途和目的仅用来例举本发明，并非对本发明的实际保护范围构成任何形式的任何限定，更非将本发明的保护范围局限于此。
如图1至图9共同所示，本实施例提供了一种晶圆清洗装置，包括清洗工作台1，清洗工作台1上固定安装有一清洗箱2，清洗箱2的一侧开设有条形的晶圆取放口201，以便于晶圆于清洗箱2内的取放。
清洗工作台1下方沿竖直方向滑动安装有第一驱动装置驱动的安装架5，安装架5上转动安装有第二驱动装置驱动的真空管7，真空管7用以与负压装置相连通，真空管7的顶端贯穿清洗箱2，且安装有用以托放并吸合晶圆的伯努利吸盘8。
清洗工作台1上沿水平方向还滑动安装有第三驱动装置驱动的下安装板14，下安装板14上沿竖直方向滑动安装有第四驱动装置驱动的上安装板17，上安装板17的一端延伸至清洗箱2内设置，且上安装板17位于清洗箱2内的一端转动安装有第五驱动装置驱动的转轴，转轴的底端固定安装有一海绵刷头21，且海绵刷头21的旋转方向与伯努利吸盘8的旋转方向相反。
本实施例中，清洗箱2包括下清洗壳和上防护壳，下清洗壳固定安装于清洗工作台1上，上防护壳为透明防护壳，且上防护壳适配扣合于下清洗壳上；设有的该清洗箱2，整个晶圆刷洗过程在清洗箱2内完成，避免对周围环境造成污染，且透明的上防护壳在实现防护的同时，便于工作人员查看刷洗进程，了解晶圆刷洗状态及设备运行状况。
下清洗壳底部设有一隔板202，隔板202将下清洗壳分隔为清洗槽203和蓄水槽204，晶圆取放口201和伯努利吸盘8均于清洗槽203位置处设置，且清洗槽203和蓄水槽204的底部均设有排水口；清洗箱2内通过隔板202分隔出的蓄水槽204，用以盛放刷片液，在不进行晶圆刷片使用时，由第三驱动装置和第四驱动装置驱动海绵刷头21位移，将海绵刷头21浸没于蓄水槽204的刷片液内，确保海绵刷头21保持湿润。
清洗工作台1的下方固定安装有一安装座3，第一驱动装置包括滑台气缸4，滑台气缸4竖直固定安装于安装座3上，安装架5固定安装于滑台气缸4的滑台上，滑台气缸4工作，驱动安装座3升降，进而实现伯努利吸盘8的升降。
第二驱动装置包括固定安装于安装架5上的吸盘驱动电机9，吸盘驱动电机9的输出轴安装有第一主动齿轮10，安装架5上固定安装有第一轴套6，真空管7转动安装于第一轴套6内，且真空管7上固定安装有与第一主动齿轮10对应设置的第一从动齿轮11，第一从动齿轮11和第一主动齿轮10间架绕有第一传动带12，且第一主动齿轮10和第一从动齿轮11通过第一传动带12传动相连，吸盘驱动电机9工作，带动真空管7旋转，进而带动伯努利吸盘8旋转。
通过真空管7安装的伯努利吸盘8，在实现晶圆承托放置的同时，在第二驱动装置驱动下，带动晶圆高速旋转，能够有效提高对晶圆的刷洗效果及刷洗效率，伯努利吸盘8在负压下实现对晶圆背面的牢固吸合，确保晶圆在刷洗过程中不会掉落及发生位置偏移。
第三驱动装置包括固定安装于清洗工作台1上的电缸13，电缸13位于清洗箱2的另一侧，下安装板14固定安装于电缸13的滑板上，电缸13工作，带动下安装板14滑动位移。
为实现上安装板17的滑动安装，下安装板14上竖直固定安装有若干导杆15，上安装板17上固定安装有若干与导杆15对应设置的滑套16，滑套16滑动套装于导杆15上，上安装板17通过导杆15、滑套16于竖直方向上滑动安装，且滑动平稳可靠。
上安装板17和下安装板14之间还设有拉伸弹簧18，拉伸弹簧18的两端分别挂装于上安装板17和下安装板14上，若伸缩气缸19故障，在拉伸弹簧18作用下，能够下拉上安装板17复位，方便实用。
第四驱动装置包括固定安装于下安装板14上的伸缩气缸19，伸缩气缸19的活塞轴顶端与上安装板17相连，伸缩气缸19的活塞轴伸缩，带动上安装板17升降。
第五驱动装置包括固定安装于上安装板17上的刷头驱动电机22，刷头驱动电机22的输出轴上安装有第二主动齿轮23，上安装板17的一端固定安装有第二轴套20，转轴转动安装于第二轴套20内，且转轴上固定安装有与第二主动齿轮23相对应的第二从动齿轮24，第二从动齿轮24与第二主动齿轮23间架绕有第二传动带25，且第二主动齿轮23和第二从动齿轮24通过第二传动带25传动相连，刷头驱动电机22工作，带动海绵刷头21旋转，且旋转方向与伯努利吸盘8的旋转方向相反，使得对晶圆的刷洗效果更佳。
上安装板17和下安装板14间还设有用以实现海绵刷头21高度精调的调节机构，调节机构包括垫块26和千分尺27，垫块26位于上安装板17和下安装板14之间，且固定安装于下安装板14上，千分尺27固定安装于上安装板17上，且与垫块26对应设置，千分尺27上还安装有用以实现测量螺杆定位的定位旋钮28，处于调节状态时，千分尺27的测量螺杆底端抵靠垫块26设置。设有的该调节机构，松开定位旋钮28，转动千分尺27可实现海绵刷头21刷片工作位的高度调节，且调节精度高，能够确保海绵刷头21刷洗晶圆时的有效接触而不会对晶圆造成损伤，调节完毕后，重新旋紧定位旋钮28进行定位固定即可。
本实施例中，上安装板17上还固定安装有与垫块26对应设置的液压缓冲器29，能够降低滑动冲击，起到缓冲保护作用。
本实施例中，上安装板17上还固定安装有包覆第四驱动装置和第五驱动装置的防护罩30，实现对第四驱动装置和第五驱动装置的有效防护。
防护罩30上固定安装有二流体阀31，二流体阀31上安装有水雾喷头32，水雾喷头32与海绵刷头21对应设置，且贴靠海绵刷头21设置，对晶圆刷洗时，向晶圆喷水雾，配合海绵刷头21的旋转，污垢及工艺液更易冲刷掉，能够有效提高对晶圆的刷洗效果。
本实施例中，下清洗壳的顶部内侧固定安装有与吸风管道34相连通的排气板33，排气板33上开设有若干吸气孔；设有的与吸风管道34相连通的排气孔，吸风管道34连通至水雾处理装置，对晶圆清洗时，能够通过排气板33上开设的吸气孔将清洗箱2内的水雾吸出并进行处理排放，避免清洗箱2内水雾过多不便观察及可能对晶圆清洗造成影响。
清洗工作台1上还固定安装有安装块35，安装块35上安装有两根冲洗水管36，两冲洗水管36贯穿清洗箱2的壳体，且出水口均靠近伯努利吸盘8设置，对晶圆刷洗时，两根冲洗水管36分别对晶圆的正面和背面进行冲洗，进一步提高对晶圆的清洗效果。
本实施例中，下清洗壳的内壁上还固定安装有两对应设置的挡板37，挡板37位于晶圆取放口201下方，且两页挡板37间形成与晶圆相适配的过料区，海绵刷头21位于两页挡板37形成的过料区正下方，本实施例中，挡板37选用透明玻璃板；设有的挡板37，在晶圆刷洗过程中，能够实现对水雾、冲洗液的有效遮挡，避免从晶圆取放口201位置处溅出至清洗箱2外。
工作时，通过晶圆取放口201将待清洗晶圆托入清洗箱2内，滑台气缸4工作，驱动伯努利吸盘8上升，将晶圆托起并牢固吸合住，取放晶圆的托板抽出后，滑台气缸4驱动伯努利吸盘8下降复位，然后吸盘驱动电机9驱动伯努利吸盘8旋转，带动待清洗晶圆旋转，刷头驱动电机22驱动海绵刷头21反向旋转，同时水雾喷头32向晶圆喷水雾，冲洗水管36对晶圆正面、背面喷水冲刷，之后电缸13和伸缩气缸19配合动作，驱动海绵刷头21位移至晶圆上方并贴靠到晶面正面，对晶圆刷洗，晶圆刷洗完毕后，电缸13和伸缩气缸19驱动海绵刷头21位移至一侧，吸盘驱动电机9停止工作，待晶圆停转后，滑台气缸4工作，驱动伯努利吸盘8上升，最后伯努利吸盘8取消对清洗完毕后晶圆的吸附，用以取放晶圆的托板从晶圆取放口201插入，滑台气缸4工作，驱动伯努利吸盘8下降复位，下降过程中，清洗完毕的晶圆重新托放至托板上，由托板取出，从而完成一片晶圆的刷片，如此反复，有序实现对晶圆的单片清洗。
基于上述结构的该晶圆清洗装置，通过晶圆取放口201实现晶圆于清洗箱2内的取放，通过伯努利吸盘8实现晶圆背面的承托、吸合并带动晶圆旋转，通过与伯努利吸盘8旋转方向相反的海绵刷头21实现对晶圆正面的刷洗，同时在水雾喷头32和冲洗水管36的作用下，提高对晶圆的刷洗效率及刷洗效果；相较传统的人工进行晶圆单片清洗的方式，该晶圆清洗装置实现了对晶圆的自动刷洗，刷洗效率大大提高，刷洗更干净彻底且不会对晶圆造成二次污染及划伤，确保刷洗过程中晶圆质量及合格率不受影响。
应当理解，这些实施例的用途仅用于说明本发明而非意欲限制本发明的保护范围。此外，也应理解，在阅读了本发明的技术内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动、修改和/或变型，所有的这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种晶圆清洗装置，其特征在于：包括清洗工作台，所述清洗工作台上固定安装有一清洗箱，所述清洗箱的一侧开设有晶圆取放口；
所述清洗工作台下方沿竖直方向滑动安装有第一驱动装置驱动的安装架，所述安装架上转动安装有第二驱动装置驱动的真空管，所述真空管的顶端贯穿所述清洗箱，且安装有用以托放并吸合晶圆的伯努利吸盘；
所述清洗工作台上沿水平方向还滑动安装有第三驱动装置驱动的下安装板，所述下安装板上沿竖直方向滑动安装有第四驱动装置驱动的上安装板，所述上安装板的一端延伸至所述清洗箱内设置，且所述上安装板位于所述清洗箱内的一端转动安装有第五驱动装置驱动的转轴，所述转轴的底端固定安装有一海绵刷头，且所述海绵刷头的旋转方向与所述伯努利吸盘的旋转方向相反。
2.如权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗箱包括下清洗壳和上防护壳，所述下清洗壳固定安装于所述清洗工作台上，所述上防护壳为透明防护壳，且所述上防护壳适配扣合于所述下清洗壳上；
所述下清洗壳底部设有一隔板，所述隔板将所述下清洗壳分隔为清洗槽和蓄水槽，所述晶圆取放口和所述伯努利吸盘均于所述清洗槽位置处设置，且所述清洗槽和所述蓄水槽的底部均设有排水口；
所述下清洗壳的内壁上还固定安装有两对应设置的挡板，所述挡板位于所述晶圆取放口下方，且两所述挡板间形成与晶圆相适配的过料区。
3.如权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗工作台的下方固定安装有一安装座，所述第一驱动装置包括滑台气缸，所述滑台气缸竖直固定安装于所述安装座上，所述安装架固定安装于所述滑台气缸的滑台上。
4.如权利要求3所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述第二驱动装置包括固定安装于所述安装架上的吸盘驱动电机，所述吸盘驱动电机的输出轴安装有第一主动齿轮，所述安装架上固定安装有第一轴套，所述真空管转动安装于所述第一轴套内，且所述真空管上固定安装有与所述第一主动齿轮对应设置的第一从动齿轮，所述第一从动齿轮和所述第一主动齿轮间架绕有第一传动带，且所述第一主动齿轮和所述第一从动齿轮通过所述第一传动带传动相连。
5.如权利要求4所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述第三驱动装置包括固定安装于所述清洗工作台上的电缸，所述电缸位于所述清洗箱的另一侧，所述下安装板固定安装于所述电缸的滑板上。
6.如权利要求5所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述下安装板上竖直固定安装有若干导杆，所述上安装板上固定安装有若干与所述导杆对应设置的滑套，所述滑套滑动套装于所述导杆上，所述上安装板通过所述导杆、所述滑套于竖直方向上滑动安装；
所述上安装板和所述下安装板之间还设有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的两端分别挂装于所述上安装板和所述下安装板上；
所述第四驱动装置包括固定安装于所述下安装板上的伸缩气缸，所述伸缩气缸的活塞轴顶端与所述上安装板相连。
7.如权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述第五驱动装置包括固定安装于所述上安装板上的刷头驱动电机，所述刷头驱动电机的输出轴上安装有第二主动齿轮，所述上安装板的一端固定安装有第二轴套，所述转轴转动安装于所述第二轴套内，且所述转轴上固定安装有与所述第二主动齿轮相对应的第二从动齿轮，所述第二从动齿轮与所述第二主动齿轮间架绕有第二传动带，且所述第二主动齿轮和所述第二从动齿轮通过所述第二传动带传动相连。
8.如权利要求7所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述上安装板和所述下安装板间还设有用以实现所述海绵刷头高度精调的调节机构，所述调节机构包括垫块和千分尺，所述垫块位于所述上安装板和所述下安装板之间，且固定安装于所述下安装板上，所述千分尺固定安装于所述上安装板上，且与所述垫块对应设置，所述千分尺上还安装有用以实现测量螺杆定位的定位旋钮，处于调节状态时，所述千分尺的测量螺杆底端抵靠所述垫块设置；
所述上安装板上还固定安装有与所述垫块对应设置的液压缓冲器。
9.如权利要求8所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述上安装板上还固定安装有包覆所述第四驱动装置和所述第五驱动装置的防护罩；
所述防护罩上固定安装有二流体阀，所述二流体阀上安装有水雾喷头，所述水雾喷头与所述海绵刷头对应设置，且贴靠所述海绵刷头设置；
所述下清洗壳的顶部内侧固定安装有与吸风管道相连通的排气板，所述排气板上开设有若干吸气孔。
10.如权利要求1-9任一项所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗工作台上还固定安装有安装块，所述安装块上安装有两根冲洗水管，两所述冲洗水管贯穿所述清洗箱的壳体，且出水口均靠近所述伯努利吸盘设置。
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