DE3725463A1 - Mikrowellenschaltungs-bauelement - Google Patents

Mikrowellenschaltungs-bauelement

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DE3725463A1
DE3725463A1 DE19873725463 DE3725463A DE3725463A1 DE 3725463 A1 DE3725463 A1 DE 3725463A1 DE 19873725463 DE19873725463 DE 19873725463 DE 3725463 A DE3725463 A DE 3725463A DE 3725463 A1 DE3725463 A1 DE 3725463A1
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George R Lehman
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    • H01L2223/6605High-frequency electrical connections
    • H01L2223/6616Vertical connections, e.g. vias
    • H01L2223/6622Coaxial feed-throughs in active or passive substrates

Description

Die Erfindung betrifft allgemein elektrische Schaltungsbau­ elemente und im einzelnen elektrische Schaltungspackungen für integrierte Mikrowellenschaltungen.
Es ist bekannt, daß Mikrowellenschaltungen, beispielsweise Verstärker, in zunehmendem Maße in Gestalt monolithischer in­ tegrierter Schaltungen (MIC) gefertigt werden, die in einer hermetisch abgedichteten Packung oder Umkapselung eingeschlos­ sen sind. Die integrierte Schaltung, welche beispielsweise ein Verstärker als monolithische integrierte Mikrowellen­ schaltung (MMIC) sein kann, ist charakteristischerweise auf einem Träger montiert, welcher eine Mikrostreifenschaltung aufweist, nämlich eine Schaltung, die aus Übertragungs-Strei­ fenleitungen aufgebaut ist, welche sich auf einer Seite eines dielektrischen Substrates befinden, während sich auf der an­ deren Seite des Substrates eine einzige Erdungsebene in Ge­ stalt eines Leiterbelages befindet, um Mikrowellensignale in die monolithische integrierte Schaltung einzukoppeln oder von ihr abzunehmen. Die Umkapselung oder Packung für die monoli­ thische integrierte Schaltung enthält ein hermetisch abge­ dichtetes Gehäuse, welches einen oder mehrere koaxiale Mikro­ wellen-Durchführungsanschlüsse aufweist, die in den Wänden des Gehäuses vorgesehen sind und zum Ankoppeln oder Abnehmen von Mikrowellensignalen zu bzw. von den Eingangs- und Aus­ gangsanschlüssen der monolithischen integrierten Schaltung über die Mikrostreifenleiterschaltung dienen, die sich auf dem Träger der monolithischen integrierten Mikrowellenschal­ tung befindet.
Ein derartiger koaxialer Anschluß hat im allgemeinen zylin­ drische Gestalt und enthält üblicherweise einen im Quer­ schnitt im wesentlichen runden Mittelleiter, der koaxial durch einen Isolator, etwa aus Glas, geführt ist und sich in Längsrichtung durch den zylindrischen Anschluß erstreckt. Den Glasisolator umgibt eine metallische zylindrische Hülse, welche durch die Wand des Packungsgehäuses reicht und gegen­ über dieser vollständig abgedichtet ist, etwa durch eine Löt­ verbindung. Der Mittelleiter reicht über die metallische Hülse außerhalb der Schaltungspackung bzw. des Packungsge­ häuses hervor und kann Verbindung mit einer Mikrowellen­ übertragungsleitung, etwa einer Mikrostreifen-Übertragungs­ leitung, aufnehmen, was beispielsweise mittels einer Über­ lappungsverbindung zwischen dem Mittelleiter und der Übertra­ gungsleitung geschehen kann. Der Mittelleiter ragt außerdem üblicherweise ein kurzes Stück über die umgebende Metall­ hülse hinaus in das Packungsgehäuse hinein. Das Packungs­ gehäuse enthält üblicherweise eine Mikrostreifenleistungs- Eingangs-/Ausgangsstufe, die den elektrischen Übergang und die Impedanzanpassung zwischen dem Koaxialleitungsabschnitt des Koaxialanschlusses (und der Mikrowellen-Übertragungslei­ tungsschaltung außerhalb der Schaltungspackung) einerseits und der Mikrostreifen-Übertragungsleitung des Trägers der monolithischen integrierten Mikrowellenschaltung innerhalb der Schaltungspackung bewirkt. Der Eingangs-/Ausgangsschal­ tungsabschnitt enthält einen Mikrostreifen-Übertragungslei­ tungsabschnitt, der über seine Erdungsebene oder den Erdungs­ leiterbelag an dem Gehäuse der Schaltungspackung festgelötet ist. Ein erstes Ende des Eingangs-/Ausgangsschaltungsab­ schnittes liegt unter dem vorstehenden Teil des Mittelleiters des koaxialen Anschlusses des Bauelementes. Der Mittelleiter ist an die Streifenleiter-Übertragungsleitung des Eingangs-/ Ausgangsschaltungsabschnittes festgelötet. Das andere Ende des Eingangs-/Ausgangsschaltungsabschnittes ist nahe dem Trä­ ger der monolithischen integrierten Mikrowellenschaltung ge­ legen. Die elektrische Verbindung zwischen den beiden Teilen wird durch ein kurzes flexibles, elektrisch leitfähiges Band, etwa ein Goldband, hergestellt, das zwischen den Übertragungs­ leitungen des Eingangs-/Ausgangsschaltungsabschnittes und dem Träger der integrierten Schaltung verläuft. Die Abmessungen des Mittelleiters des Koaxialanschlusses, der Eingangs-/Aus­ gangsübertragungsleitungen und des Leiterbandes sind so ge­ wählt, daß sich eine Impedanzanpassung bei dem Wellenwider­ stand von beispielsweise 50 Ohm über die Übertagungsstrecke aus dem Koaxialanschluß und dem Mikrostreifen-Schaltungsab­ schnitt der monolithischen integrierten Schaltungspackung er­ gibt.
Während die vorstehend beschriebene Anordnung zur Bildung eines Überganges von einem koaxialen Übertragungsleitungsab­ schnitt zu einem Mikrostreifen-Übertragungsleitungsabschnitt in vielen Anwendungsfällen zufriedenstellend ist, erhöht das Erfodernis eines gesonderten Eingangs-/Ausgangs-Schaltungs­ abschnittes für jeden Koaxialanschluß der Schaltungspackung die Kompliziertheit der monolithischen integrierten Schal­ tungspackung für Mikrowellen, wobei für jedes Bauelement bzw. jede Schaltungspackung eine größere Zahl von Einzelteilen er­ forderlich ist. Eine zusätzliche Bearbeitung des Gehäuses des Bauelementes ist erforderlich, um den Eingangs-/Ausgangs- Schaltungsabschnitt einzupassen und die gesamte Größe der Baueinheit wird aufgrund des Vorhandenseins der Eingangs-/ Ausgangs-Schaltungsabschnitte erhöht. Außerdem ist die Lötver­ bindung oder die geschweißte Überlappungsverbindung zwischen dem koaxialen Mittelleiter des Koaxialanschlusses und dem Eingangs-/Ausgangs-Schaltungsabschnitt mit dessen Übertra­ gungsleitungen starr und kann aufgrund thermischer Ausdehnung oder Zusammenziehung des Eingangs-/Ausgangs-Schaltungsab­ schnittes brechen oder fehlerhaft werden.
Durch die Erfindung soll die Aufgabe gelöst werden, ein Mikro­ wellen-Schaltungsbauelement mit den Merkmalen des Oberbegrif­ fes von Patentanspruch 1 so auszugestalten, daß die Anzahl der Teile vermindert, der Aufbau vereinfacht, die Störungsanfäl­ ligkeit aufgrund thermischer Beanspruchung herabgesetzt und eine gute Anpassung des Signalweges von den Anschlüssen zu der integrierten Schaltung erreicht wird.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale von Patentanspruch 1 gelöst.
Im einzelnen enthält eine Mikrowellenschaltungs-Baueinheit der hier angegebenen Art eine zur Signalübertragung dienende Streifenleiterschaltung, die sich in der Schaltungspackung befindet. Das Bauelement enthält einen Anschluß, der in einer Wand des Gehäuses des Bauelementes vorgesehen ist, und der einen äußeren koaxialen Übertagungsleitungsabschnitt und einen inneren Übertragungsleitungsabschnitt in Gestalt einer Streifenleitung enthält. Weiter sind Mittel zur elek­ trischen Kopplung des inneren Übertragungsleitungsabschnit­ tes des Anschlusses in Gestalt einer Streifenleitung mit der Streifenleiterschaltung innerhalb des Packungsgehäuses vorge­ sehen. Aufgrund dieser Anordnung bildet der koaxiale Anschluß des Bauelementes selbst den Übergang von einem koaxialen Übertragungsleitungsabschnitt zu einem Streifenleitungs-Über­ tragungsleitungsabschnitt innerhalb des Gehäuses, derart, daß der üblicherweise verwendete Eingangs-/Augangs-Schaltungs­ abschnitt der Schaltungspackung entbehrlich ist.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist innerhalb eines hermetisch abgeschlossenen, elektrisch leitenden Packungsge­ häuses eine zur Signalübertragung dienende Streifenleiter­ schaltung vorgesehen. Die Packung enthält einen in der Wand des Packungsgehäuses vorgesehenen Anschluß, der mit einem Ende in der Wand gelegen ist, während das andere Ende des Anschlus­ ses in den Gehäuseinnenraum vorsteht. Der Anschluß weist eine elektrisch leitfähige Außenhülse auf, die im wesentlichen zentrische Gestalt an einem Ende des Anschlusses besitzt und an der Gehäusewand befestigt ist, wobei sich ein Mittelleiter in Längsrichtung durch den Anschluß erstreckt und im Bereich des einen Endes des Anschlusses im wesentlichen runden Quer­ schnitt aufweist, während der Mittelleiter am anderen Ende des Anschlusses im wesentlichen halbkreisförmigen Querschnitt aufweist, so daß er eine runde Außenfläche und einen abge­ flachten Bereich darbietet und die erwähnte Hülse nur die runde Außenfläche des Mittelleiters an dem inneren Ende des Anschlusses umgibt. Ein elektrisch leitfähiges Verbindungs­ element ist zwichen den abgeflachten Bereich des Mittellei­ ters und die zur Signalübertragung dienende Streifenleiter­ schaltung gelegt. Aufgrund dieser Ausbildung bildet der An­ schluß selbst den elektrischen Übergang zwischen einem koxialen Übertragungsleitungsabschnitt an dem einen oder äußeren Ende des Anschlusses und einem Streifenleiter-Übertragungslei­ tungsabschnitt an dem anderen oder inneren Ende des Anschlus­ ses, wodurch die gesamte Baugröße und die Kompliziertheit der Schaltungspackung vermindert werden, da der üblicherweise vorzusehende Eingangs-/Ausgangs-Schaltungsabschnitt zur Bil­ dung des Überganges zwischen einem koaxialen Übertragungslei­ tungsabschnitt und einem Streifenleitungs-Übertragungsleitungs­ abschnitt im Gehäuseinneren weggelassen werden kann. Die Schaltungspackung enthält daher weniger Teile. Zusätzlich kann die Überlappungsverbindung, wie sie an den herkömmli­ chen Eingangs-/Ausgangs-Schaltungsbschnitt vorzusehen ist, entfallen und bei einer bevorzugten Ausführungsform durch das streifenförmige Vebindungselement ersetzt werden, das den abgeflachten Bereich des Mittelleiters und die Streifen­ leiter-Übertragungsleitung verbindet, wobei das Verbindungs­ element die Gestalt eines flexiblen Metallbandes hat, welches thermische Ausdehnung und Zusammenziehung der Bauteile inner­ halb der Schaltungspackung aufzunehmen vermag, ohne daß Brüche der Verbindung zwischen dem Mittelleiter des Anschlusses und der Streifenleiterschaltung auftreten. Außerdem sind der Mittelleiter und das Leiterband so dimensioniert, daß bei einem Wellenwiderstand von beispielsweise 50 Ohm zwischen dem Koaxialleitungsabschnitt und dem Streifenleiter-Übertragungs­ leitungsabschnitt eine Impedanzanpassung erreicht wird.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel in Einzelheiten un­ ter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben. Es zeigt
Fig. 1 eine perspektivische, teilweise im Schnitt gezeichnete Darstellung eines Mikrowellen­ schaltungs-Bauelementes mit einem Anschluß der hier angegebenen Bauart und
Fig. 2 einen Schnitt entsprechend der in Fig. 1 angedeuteten Schnittebene 2-2.
In Fig. 1 ist ein Mikrowellenschaltungs-Bauelement in Gestalt einer Packung mit 10 bezeichnet, wobei die Schaltungspackung teilweise aufgeschnitten ist, um einen durch die Wand des Ge­ häuses geführten Anschluß 12 in seiner Ausbildung darzustel­ len. Das Bauelement 10 hat im wesentlichen üblichen Aufbau und enthält vorliegend ein elektrisch leitfähiges, einstücki­ ges Gehäuses 11, welches beispielsweise aus KOVAR gefertigt ist und eine Gehäusebasis 14 sowie Seitenwände 16 aufweist, welche eine oder mehrere Mikrowellenschaltungen 18 abstützen bzw. umschließen. Vorliegend enthält die Mikrowellenschaltung 18 einen Verstärker als monolithische integrierte Mikrowel­ lenschaltung auf einer Trägeranordnung 20, die durch an sich bekannte Mittel an der Gehäusebasis 14 befestigt ist. Die Trägeranordnung 20 enthält im vorliegenden Ausführungsbei­ spiel eine elektrisch leitfähige Trägerplatte 22, die aus Kupfer, Wolfram oder Konvar gefertigt sein kann, und auf der sich eine Übertragungsleitungsschaltung 24 in Streifenleiter­ bauweise befindet. Die Streifenleiter-Übertragungsleitungs­ schaltung 24 wird von einer Mikrostreifen-Leiterschaltung ge­ bildet, bei der eine Anzahl von Mikrostreifenleitern 26 in herkömmlicher Weise auf der Oberfläche eines Substrates 25 vorgesehen ist, welches auf der gegenüberliegenden Seite oder Unterseite einen elektrisch leitfähigen Belag oder eine Er­ dungsebene 27 aufweist. Der untere Leiterbelag 27 ist in her­ kömmlicher Weise elektrisch leitend etwa durch Löten oder durch Verbindung mit elektrsich leitfähigem Epoxyharz an der Trägerplatte 22 befestigt. Man erkennt also, daß der Erdungs­ belag 27 elektrisch mit der Trägerplatte 22 und dadurch mit dem Gehäuse 11 in Verbindung steht. Die Abmessungen der Mikro­ streifenleiter 26 sind so gewählt, daß die Mikrostreifenschal­ tung 24 einen vorbestimmten Wellenwiderstand hat, der vorlie­ gend 50 Ohm beträgt. Die Mikrowellenschaltung 18 ist bei­ spielsweise mittels Epoxyharz an der Oberfläche des dielek­ trischen Substrates 25 befestigt, wobei die Mikrostreifen­ leiter 26 elektrische Verbindung mit den Anschlußelementen 19 der Mikrowellenschaltung 18 haben, wobei diese Verbindung in herkömmlicher Weise hergestellt sein kann, etwa durch Löten. Die Mikrowellenschaltung ist also derart mit den Mikrostrei­ fenleitern 26 verbunden, daß über diese Mikrowellensignale der Mikrowellenschaltung 18 zugeführt oder von ihr abgeführt werden können.
Das Gehäuse 11 enthält weiter einen elektrisch leitfähigen Deckel 15, der dicht und elektrisch leitend mit den Seiten­ wänden 16 des Gehäuses verbunden ist, etwa durch Schweißen oder Löten. Die Schaltungspackung oder das Bauelement 10 ist somit um die Mikrowellenschaltung 18 herum hermetisch abge­ dichtet, so daß die Schaltung und andere in dem Gehäuse 11 befindliche Bauteile gegenüber Umgebungseinflüssen, etwa vor Feuchtigkeit, geschützt sind.
Das Mikrowellenschaltungs-Bauelemnet 10 ist elektrisch über eine herkömmliche Schaltung 40 mit anderen Bauelementen, bei­ spielsweise anderen monolithischen integrierten Mikrowellen­ schaltungen in Form von Verstärkern oder dergleichen, ver­ bunden, wobei die Schaltung 40 einen bestimmten Wellenwider­ stand, etwa 50 Ohm, hat. Im vorliegenden Falle enthält die Schaltung 40 eine Mikrostreifenübertragungsleitung mit einem Streifenleiter 42, der auf einer Fläche eines dielektrischen Substrates 44 verläuft, auf dessen anderer Seite sich eine elektrisch leitfähige Erdungsebene 46 befindet, die, etwa durch Schweißung, an einem metallischen Steg 48 des Gehäu­ ses 11 angeschlossen ist. Die Übertragungsleitung 40 ist elektrisch mit einem bestimmten der Mikrostreifenleiter 26 innerhalb des Packungsgehäuses 11 über den Anschluß 12 gekop­ pelt. Die Streifenleiter 42 der Übertragungsleitung 40 ist in herkömmlicher Weise, etwa durch Löten, an den Mittelleiter 30 des Anschlusses 28 über eine Überlappungsverbindung 50 zwi­ schen dem Streifenleiter 42 und dem Mittelleiter 30 ange­ schlossen, wie aus Fig. 1 zu erkennen ist. Die Überlappungs­ verbindung 50 ist durch eine Abdeckleiste 52 geschützt, wel­ che von einem dielektrischen Teil gebildet sein kann, das auf die Übertragungsleitung 40 aufgeklebt ist und, wie gezeigt, die Überlappungsverbindung 50 abdeckt.
Der Durchführungsanschluß 12 der vorliegend angegebenen Bau­ art bildet einen hermetischen Abschluß und einen elektrischen Übergang zwischen der Übertragungsleitungskonstruktion der Übertragungsleitung 40 und der Streifenleiterübertragungslei­ tung der Mikrostreifenleiterschaltung 24 innerhalb des Bau­ elementes 10. Das bedeutet, daß der Durchführungsanschluß 12 einen vorbestimmten Wellenwiderstand, beispeislweise 50 Ohm, zwischen der äußeren Übertragungsleitung 40 und der Mikro­ streifenleiterschaltung 24 innerhalb des Bauelementes 10 bei­ behält. Es sei nun auch Fig. 2 betrachtet. Der koaxiale An­ schluß 12 enthält eine runde äußere Metallhülse 28 und einen Mittelleiter oder -Stift 30, der sich koaxial in Längsrich­ tung durch die Hülse 28 erstreckt. Der Mittelleiter 30 ist isoliert und dicht in die Hülse 28 vermittels dielektrischen Materials 32, beispielsweise Glas, eingesetzt. Der Durchmes­ ser des Mittelleiters 30 und der Innendurchmesser der Hülse 28 sind so gewählt, daß der Anschluß 12 denselben Wellenwider­ stand aufweist wie die Mikrostreifenleiterschaltung 24 und die äußere Übertragungsleitung 40.
Am ersten oder äußeren Ende 13 a des Anschlusses 12 ragt der Mittelleiter 30 über das Ende der Hülse 28 hinaus und hat an der Überlappungsverbindung 50 Kontakt mit der Übertragungs­ leitung 40, wie zuvor beschrieben wurde. Am anderen, inneren Ende 13 b des Anschlusses 12 endet der Mittelleiter 30 ab­ schließend mit der äußeren Hülse 28. Der obere Teil der im wesentlichen zylindrischen Hülse 28, des Isolators 32 und des Mittelleiters 30 sind an dem zweiten oder inneren Ende 13 b des Anschlusses 12 etwa durch Schleifen, entfernt, so daß ein elektrischer Übergangsbereich 34 zwischen den Enden 13 a und 13 b des Anschlusses 12 entsteht. Vorzugsweise sind die äußere Hülse 28, der Glasisolator 32 und der Mittellei­ ter 30 so abgeschliffen, daß an der Mittellinie des Anschlus­ ses 12 eine ebene Fläche dargeboten wird, d. h., derart, daß der Mittelleiter 30 mit einer ebenen Fläche 35 am inneren Ende 13 b des Anschlusses 12 freiliegt, wobei die ebene Flä­ che 35 eine Breite gleich dem Durchmesser des Mittelleiters 30 hat. Man erkennt also, daß an dem ersten Ende 13 a des An­ schlusses 12 der Mittelleiter 30 im wesentlichen ganz rund ist und im wesentlichen kreisförmigen Querschnitt besitzt, während am anderen Ende 13 b des Anschlusses 12 der Mittellei­ ter im wesentlichen halbkreisförmigen Querschnitt aufweist und die ebene Fläche 35 sowie einen runden Umfangsflächenteil im Übergangsbereich 34 hat. Die Länge des Übergangsbereiches 34 hängt von der Größe des Gehäuses 11 ab und beträgt beim vorliegenden Ausführungsbeispiel zwischen 0,71 und 0,76 mm. Man erkennt weiter, daß der Anschluß 12 einen Koaxialleitungs­ abschnitt an dem einen Ende 13 a enthält, während am anderen Ende 13 b der Anschluß im wesentlichen einer Mikrostreifenlei­ tung ähnlich ist, wobei der Mikrostreifenleitungsabschnitt am Ende 13 b des Anschlusses 12 einstückig mit dem Koaxiallei­ tungsabschnitt am Ende 13 a des Anschlusses 12 verbunden ist. Man kann die Anordnung auch so betrachten, daß am ersten Ende 13 a des Anschlusses die Erdungsebene für den Mittelleiter 30, nämlich die Hülse 28, den Mittelleiter 30 vollständig umgibt, während im Übergangsbereich 34 und am zweiten Ende 13 b des Anschlusses diese Erdungsebene sich im wesentlichen nur unter­ halb des abgeflachten Mittelleiters 30 befindet und von diesem durch das Dielektrikum des Glasisolators 32 getrennt ist. Ein über die Übertragungsleitung 40 an das Bauelement 10 angekop­ peltes Mikrowellensignal breitet sich somit über einen ersten elektrischen Übergang von der Mikrostreifen-Übertragungslei­ tungsstruktur der Leitung 40 zu einer Koaxialleitungsstruktur am einen Ende 13 a des Anschlusses 12 aus. Das Mikrowellen­ signal breitet sich dann über einen zweiten elektrischen Über­ gang von der Koaxialübertragungsleitungsstruktur zu einer Mikrostreifenleitungsstruktur aus, wenn das Signal zu dem Übergangsbereich 34 und dem zweiten Ende 13 b des Anschlusses 12 gelangt.
Der Anschluß 12 ist dicht in eine Öffnung einer der Gehäuse­ seitenwände 16 eingesetzt, wozu beispielsweise die metallische Hülse 28 durch Schweißen oder Löten mit der Seitenwand 16 des Gehäuses verbunden wird. Es wird also eine hermetische Ab­ dichtung um den eingesetzten Anschluß 12 herum erzielt und die Hülse 28 ist elektrisch kontinuierlich mit dem Gehäuse 11 verbunden. Wie aus den Fig. 1 und 2 erkennbar, ist der An­ schluß 12 so in das Gehäuse 11 eingesetzt, daß der abgeflach­ te Übergangsbereich 34 im wesentlichen in einer Ebene mit der Oberseite der Mikrostreifenschaltung 24 gelegen ist, so daß also der Abflachungsbereich in einer Ebene mit der Oberfläche des dielektrischen Substrates 25 liegt, auf der sich die Mikrostreifenleiter 26 befinden, was einem nachfolgend ange­ gebenen Zwecke dient. Die Länge des Übergangsbereiches 34 ist unter Berücksichtigung der Dicke der Gehäuseseitenwand 16 ge­ wählt, so daß die in der Gehäusewand 16 verlaufenden Teile des Anschlusses 12 vollständig zylindrisch sind, so daß eine maximale mechanische Abstützung, elektrische Verbindung und hermetische Abdichtung um die Hülse 28 herum gegeben sind. Die Seitenwand 16 besitzt eine Abstufung 17, welche den Über­ gangsbereich 34 und das innere Ende 13 b des Anschlusses 12 abstützt.
Aus Fig. 1 ist erkennbar, daß der Anschluß 12 und die Mikro­ streifenleiterschaltung 24 so in dem Gehäuse 11 angeordnet sind, daß die abgeflachte Oberseite 35 des Mittelleiters 30 am inneren Ende 13 b des Anschlusses 12 nahe einem Ende eines ausgewählten Mikrostreifenleiters 26 der Mikrostreifenschal­ tung 24 gelegen ist. Man erkennt, daß das innere Ende 13 b von der Trägeranordnung 20 einen bestimmten Abstand einhält, um eine thermische Ausdehnung und Zusammenziehung der Teile zu­ zulassen. Eine elektrische Verbindung zwischen dem abgeflach­ ten Bereich 35 des Mittelleiters 30 einerseits und dem zuge­ hörigen Mikrostreifenleiter 26 andererseits wird durch ein flexibles elektrisches leitfähiges Band 36, etwa in Gestalt eines Goldstreifens, hergestellt. Das Band 36 ist durch Thermokompression an den abgeflachten Bereich 35 des Mittel­ leiters 30 und an den Mikrostreifenleiter 26 angeschlossen und kann leicht entfernt werden, wenn etwa der Anschluß 12 oder die Trägeanordnung 20 ausgewechselt werden muß. Aufgrund der Flexibilität des Leiterbandes 36 ist die elektrische Ver­ bindung zwischen dem Mittelleiter 30 und dem Mikrostreifen­ leiter 26 in der Weise hergestellt, daß die Gefahr eines Bru­ ches bei thermischer Ausdehnung und Zusammenziehung der Trä­ geranordnung 20 vermieden ist. Es sei nochmals bemerkt, daß der Teil der Hülse 28, der sich unterhalb des Mittelleiters 30 in dem Übergangsbereich 34 befindet, für den Mittelleiter 30 eine kontinuierliche Erdungsebene darstellt. Wie bereits erwähnt, gleicht daher der Übergangsbereich 34 einem kurzen Abschnitt einer Mikrostreifenübertragungsleitung. Eine konti­ nuierliche Erdverbindung zwischen der Hülse 28 des Anschlus­ ses 12 und dem Leiterbelag oder der Erdungsebene 27 der Mikro­ streifenschaltung 24 wird über das Gehäuse 11 und die Träger­ platte 22 hergestellt. Die Übertragungsleitungslänge, auf welcher die Erdungsebene unterbrochen wird, ist dadurch kurz gehalten, daß der Abstand zwischen dem inneren Ende 13 b des Anschlusses 12 und der Trägeranordnung 20 so klein wie prak­ tisch möglich dimensioniert wird, so daß die Länge des Lei­ terbandes 36 so kurz wie möglich sein kann. Die Breite des Bandes 26 über das kurze Längenstück hin wird so gewählt, daß der Wellenwiderstand zwischen dem Übergangsbereich 34 und der Mikrostreifenschaltung 24 gleich bleibt. Man erkennt also, daß der Anschluß 12 einen elektrischen Übergang zwischen einer Koaxialleitungsstruktur am äußeren Ende 13 a des Anschlusses und einer Mikrostreifenleiterstruktur am inneren Ende 13 b des Anschlusses und im Bereich der Mikrostreifenschaltung 24 bildet, wobei im wesentlichen ein gleichbleibender Wellenwi­ derstand von vorliegend 50 Ohm durch Anpassung zwischen der koaxialen Leitung am äußeren Ende 13 a und der Mikrostreifen­ leitung 26 innerhalb der Schaltungspackung, also innerhalb des Gehäuses 11, erzielt wird. Die bei entsprechenden bekann­ ten Bauelementen notwendigen Eingangs-/Ausgangsstufen zur Erzielung eines solchen Überganges von einer Koaxialleitung zu einer Mikrostreifenleitung sind dadurch entbehrlich, wo­ durch die Gesamtlänge, Kompliziertheit und die Kosten des Mikrowellenschaltungs-Bauelementes 10 vermindert werden. Mit anderen Worten, der Anschluß 12 verwirklicht eine koaxiale Übertragungsleitung am äußeren Ende 13 a und einen elektri­ schen Übergang zu einer Mikrostreifenleitungsstruktur am in­ neren Ende 13 b in einem einzigen Bauteil.
Dem Fachmann bietet sich im Rahmen des hier angegebenen Kon­ struktionsgedankens eine Anzahl von Weiterbildungs- und Ab­ wandlungsmöglichkeiten. Beispielsweise kann das äußere Ende 13 a des Anschlusses 12 auch so ausgebildet werden, daß eine Koaxialverbindung mit einer äußeren Koaxialleitung herge­ stellt werden kann, anstatt eine Überlappungsverbindung zu einer äußeren Mikrostreifenleitung herzustellen. Ein derarti­ ges abgewandeltes Bauelement kann beispielsweise so ausgebil­ det werden, daß das äußere Ende 13 a des Anschlusses 12 als Steckerteil, Buchsenteil oder Kugelanschluß oder als anderer Koaxialanschluß (beispielsweise SMA, TNC, usw.) ausgebildet wird.

Claims (9)

1.Mikrowellenschaltungs-Bauelement mit einer innerhalb eines Gehäuses (11) angeordneten Streifenleiterschaltung (24) so­ wie mit einem durch eine Wand (16) des Gehäuses (11) geführ­ ten Anschluß (12) zur Herstellung der Verbindung zu einem Streifenleiter (26) der Streifenleiterschaltung (24), dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß (12) einen Koaxialleitungs­ abschnitt (13 a) sowie einen Streifenleitungsabschnitt (13 b) enthält und über ein elektrisches Verbindungselement (36) an die Streifenleiterschaltung (24 ) angeschlossen ist.
2. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß (12) einen elektrisch leitfähigen Mittelleiter (30) aufweist, der sich in Längsrichtung durch den Anschluß erstreckt und im Bereich eines äußeren Abschnittes (13 a) des Anschlusses im wesentlichen ganz rund und im Bereich eines inneren Abschnittes (13 b) des Anschlusses einen zylindrischen Flächenteil und eine Abflachung (35) aufweist und daß eine elektrisch leitfähige Hülse (28) im wesentlichen nur die run­ den bzw. zylindrischen Flächenteile des Mittelleiters (30) umschließt und von diesem durch elektrisch isolierendes Ma­ terial (32) getrennt ist.
3. Bauelement nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das elektrische Verbindungselement einen flexiblen Strei­ fen aus Leitermaterial (36) enthält, der mit einem Ende an den Streifenleitungsabschnitt des Anschlusses (12) bzw. an den abgeflachten Bereich (35) des Mittelleiters (30) des An­ schlusses (12) angeschlossen ist.
4. Bauelement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der innere Abschnitt (13 b) des Anschlusses (12) von der Streifenleiterschaltung (24) einen bestimmten Abstand hat, welcher sichtabhängig von thermischer Ausdehnung oder Zusammen­ ziehung der Streifenleiterschaltung (24) ändert und über wel­ chen hin sich das flexible Verbindungselement (36) erstreckt.
5. Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der äußere Abschnitt (13 a) des Anschlusses (12) mit einer Mikrowellenleitung verbindbar ist.
6. Bauelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrowellenleitung einen Streifenleiter (42) enthält.
7. Bauelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrowellenleitung eine Koaxialleitung enthält.
8. Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Anschluß (12) in seinem Koaxiallei­ tungsabschnitt (13 a) mit seinem hülsenförmigen Außenleiter (28) dicht und elektrisch leitend an das elektrisch leitende Gehäuse (11) der Schaltungspackung befestigt ist.
9. Bauelement nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß (12) sich als Koaxialleitung durch eine Seiten­ wand (16) des Gehäuses (11) der Schaltungspackung erstreckt und in einem Bereich, in dem der innenliegende Abschnitt des Anschlusses auf einem Gehäuseabsatz (17) abgestützt ist, der­ art aufgeschnitten, insbesondere abgeschliffen ist, daß der Mittelleiter (30) mit einer abgeflachten Oberfläche (35) in einer Ebene freiliegt, in der im wesentlichen auch die Ober­ fläche der Mikrostreifenschaltung (24) liegt und daß das flexible Verbindungselement (36) einerseits an den abgeflach­ ten Bereich des Mittelleiters (30 ) des Anschlusses und ande­ rerseits an einem bestimmten Streifenleiter (26) der Mikro­ streifenschaltung (24) angeschlossen ist.
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