DE3511361C2 - Magnetischer Wandlerkopf - Google Patents
Magnetischer WandlerkopfInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen magnetischen Wandlerkopf gemäß
dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Um eine hohe Signalaufzeichnungsdichte bei Videomagnet
bandgeräten zu erhalten, werden sogenannte Metallmagnetbänder
verwendet, die auf ihrer Oberfläche einen ferromagnetischen
metallischen Puder, beispielsweise einen
Fe-Puder, einen Co-Puder oder einen Ni-Puder als Auf
zeichnungsmedium tragen. Weiterhin lassen sich zu diesem
Zweck metallisierte Bänder verwenden, bei denen ein
ferromagnetisches Metall durch Niederschlag im Vakuum
auf ein Trägerband aufgebracht ist. Das magnetische Material
von Magnetwandlerköpfen zur Aufzeichnung und Wiedergabe
von Information muß eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte
Bs besitzen, da das oben genannte Aufzeichnungsmedium
eine hohe Koerzitivfeldstärke Hc aufweist.
Übliche magnetische Wandlerköpfe bestehen aus Ferriten
und besitzen nur eine sehr kleine Sättigungsmagnetflußdichte
Bs. Andererseits weist Permalloy eine nur geringe
Verschleißfestigkeit auf.
Bei hoher Signalaufzeichnungsdichte wird die Information
auf dem Magnetband darüber hinaus entlang von Spuren auf
gezeichnet, die eine sehr schmale Spurbreite besitzen.
Hierzu müssen die magnetischen Wandlerköpfe so ausgebildet
sein, daß sie Aufzeichnungsspuren mit einer entsprechend
schmalen Spurbreite erzeugen können.
Ein diesen Anforderungen genügender magnetischer Wandlerkopf
gehört bereits zum Stand der Technik und besitzt
einen ferromagnetischen dünnen Metallfilm mit hoher Sätti
gungsmagnetflußdichte Bs, der auf einem nichtmagnetischen
Substrat, z. B. einem Keramiksubstrat, angeordnet
ist. Dieser ferromagnetische dünne Metallfilm ist so
auf dem nichtmagnetischen Substrat angeordnet, daß er
Aufzeichnungsspuren auf dem Magnetband erzeugen kann.
Der genannte magnetische Wandlerkopf besitzt jedoch einen
hohen magnetischen Widerstand, da der Weg des magnetischen
Flusses nur durch den ferromagnetischen dünnen Metallfilm
gebildet ist, der, wie bereits erwähnt, nur
eine sehr kleine Filmdicke besitzt. Der Wirkungsgrad des
magnetischen Wandlerkopfes ist daher entsprechend klein.
Darüber hinaus benötigt der Herstellungsprozeß eines der
artigen Wandlerkopfes relativ viel Zeit, da der durch
Niederschlag im Vakuum auf das Substrat aufgebrachte
ferromagnetische dünne Metallfilm nur mit sehr geringer
Filmbildungsrate bzw. Aufdampfrate hergestellt werden
darf.
Ein aus mehreren Teilen bestehender bzw. zusammengesetzter
magnetischer Wandlerkopf gehört ebenfalls zum Stand der
Technik und weist magnetische Kernelemente auf, die aus
ferromagnetischem Oxid, beispielsweise einem Ferrit, bestehen.
Die genannten Kernelemente besitzen Oberflächen
zur Bildung eines magnetischen Spalts, auf denen ferro
magnetische dünne Metallfilme liegen. Bei diesem Magnet
wandlerkopf verläuft der magnetische Fluß allerdings unter
rechtem Winkel zum ferromagnetischen dünnen Metallfilm,
so daß die Wiedergabequalität aufgrund entstehender
Wirbelstromverluste nur gering ist. Zwischen den magnetischen
Kernelementen (Ferritkernen) und den ferromagnetischen
dünnen Metallfilmen liegt darüber hinaus eine Art
Spalt, durch den die Betriebszuverlässigkeit des magnetischen
Wandlerkopfes herabgesetzt wird.
Bekannt ist auch ein magnetischer Wandlerkopf (JP 58-1 82 118A), bei
dem im Spaltbereich metallische Magnetfilme mit hoher Sättigungs
magnetisierung auf Kopfkernen aus Ferrit aufgebracht sind.
Die Magnetfilme weisen zwar einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten
auf, der ähnlich ist wie der thermische Ausdehnungskoeffizient der
Kopfkerne, das schützt aber nicht davor, daß mechanische Veränderungen
innerhalb der Kopfkerne auf die dünnen Metallfilme übertragen werden,
wodurch sich ihre magnetischen Eigenschaften zwangsläufig ver
schlechtern. Darüber hinaus wird bei der Herstellung zur Ausfüllung von
Lücken geschmolzenes Glas eingebracht, das bei Kontakt mit dem dünnen
Metallfilm diesen erodieren kann.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen zusammengesetzten bzw.
aus mehreren Teilen bestehenden magnetischen
Wandlerkopf zu schaffen, der gegenüber dem zuletzt genannten
magnetischen Wandlerkopf verbesserte elektrische und
mechanische Eigenschaften aufweist.
Die genannte Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch den
kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 1 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind den Unteransprüchen zu
entnehmen.
Der magnetische Wandlerkopf nach der Erfindung besitzt
magnetische Kernelemente aus ferromagnetischem Oxid, die
durch scheibenförmiges Unterteilen zweier aufeinanderliegender
Grundelemente gebildet worden sind. Die Scheibenebene
verläuft dabei z. B. senkrecht zur Übergangsfläche
zwischen den beiden Grundelementen. Die einander
gegenüberliegenden Kernelemente, zwischen denen ein ge
wünschter magnetischer Spalt zu liegen kommt, besitzen
einander gegenüberliegende geneigte Flächen, auf denen
jeweils ein ferromagnetischer dünner Metallfilm durch Nie
derschlag im Vakuum aufgebracht ist. Die geneigten Flächen
bzw. Kernelemente liegen sich dabei einander so gegenüber,
daß bei Draufsicht auf die mit einem Magnetband
in Kontakt stehende Oberfläche des magnetischen Wandler
kopfes beide ferromagnetischen dünnen Metallfilme in einer
Ebene liegen, die unter einem vorbestimmten Winkel zur
Übergangsfläche zwischen den Grundelementen liegt, die
die Spaltebene darstellt (vgl. zum Beispiel 14). Zwischen
jeweils einem Kernelement aus ferromagnetischem Oxid und
dem darauf angeordneten ferromagnetischen dünnen Metallfilm
kann ein nichtmagnetischer Film mit großer Härte liegen.
ein derartiger nichtmagnetischer Film liegt auch zwischen
jeweils einem ferromagnetischen dünnen Metallfilm
und einem oxidischen glasartigen Filmmaterial an der mit
dem Magnetband in Kontakt stehenden Oberfläche des magnetischen
Wandlerkopfes.
Durch den jeweiligen nichtmagnetischen Film mit großer Härte
zwischen den Kernelementen aus ferromagnetischem Oxid
und den ferromagnetischen dünnen Metallfilmen wird erreicht,
daß sich mechanische Veränderungen innerhalb der Kernelemente
nicht auf die ferromagnetischen dünnen Metallfilme
übertragen, durch die sich ihre magnetischen Eigenschaften
zwangsläufig verschlechtern würden. Darüber hinaus wird
durch den nichtmagnetischen Film mit großer Härte eine
durch das geschmolzene Glas verursachte Erosion der ferro
magnetischen dünnen Metallfilme verhindert, während gleich
zeitig die Fließfähigkeit des geschmolzenen Glases erhöht
wird, wenn dieses bei Ausfüllung von Lücken in Kontakt mit
dem nichtmagnetischen dünnen Film kommt. Durch die ver
besserte Fließfähigkeit des Glases aufgrund des nichtmagne
tischen Films wird beispielsweise eine Blasenbildung innerhalb
des Glasmaterials verhindert.
Der ferromagnetische dünne Metallfilm des Wandlerkopfes
nach der Erfindung wird somit durch die nichtmagnetischen
dünnen Filme, die eine große Härte aufweisen, gegen äußere
mechanische und chemische Einflüsse geschützt.
Die Zeichnung stellt Ausführungsbeispiele der Erfindung dar.
Es zeigt:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines ersten Ausfüh
rungsbeispiels eines magnetischen Wandlerkopfes
nach der Erfindung,
Fig. 2 eine Draufsicht auf die mit einem Magnetband in
Kontakt stehende Oberfläche des Wandlerkopfes nach
Fig. 1,
Fig. 3 eine perspektivische Darstellung der beiden zum
magnetischen Wandlerkopf nach Fig. 1 gehörenden
Kernelemente, wobei die sich sonst gegenüberliegenden
Flächen zur Bildung des magnetischen
Spaltes freiliegen,
Fig. 4 eine Draufsicht auf die mit dem Magnetband in Kontakt
stehende Oberfläche des Wandlerkopfes zur Erläuterung
des speziellen Aufbaues der nichtmagnetischen
Schicht mit großer Härte,
Fig. 5 eine perspektivische Ansicht eines magnetischen
Wandlerkopfes, bei dem eine nichtmagnetische Schicht
mit großer Härte nur auf jeweils einer Seite des
ferromagnetischen dünnen Metallfilms angeordnet ist,
und zwar in jeweils einer Ebene, die zwischen diesem
und jeweils einem Kernelement liegt,
Fig. 6 eine perspektivische Ansicht eines magnetischen Wand
lerkopfes, bei dem die nichtmagnetische Schicht mit
großer Härte jeweils nur zwischen dem ferromagnetischen
dünnen Metallfilm und dem glasartigen Filmmaterial
liegt,
Fig. 7 bis 14 verschiedene Fertigungsstufen des in Fig. 1
dargestellten magnetischen Wandlerkopfes, wobei Fig.
7 das Einbringen einer ersten Reihe von Furchen
in ein Grundelement, Fig. 8 das Aufbringen des nicht
magnetischen Films mit großer Härte, Fig. 9 das Aufbringen
des ferromagnetischen dünnen Metallfilms,
Fig. 10 das nochmalige Aufbringen eines nichtmagnetischen
Films mit großer Härte, Fig. 11 das Ausfüllen
der verbleibenden Furchen mit geschmolzenem
Glas und das Schleifen der Oberfläche des Grundelements,
Fig. 12 die Ausbildung weiterer Furchen im Grund
element, Fig. 13 das Einbringen eines Schlitzes
für die Spulenwicklung in das Grundelement und
Fig. 14 den Zusammenbau der so hergestellten Grund
elemente erläutert, wobei beide Grundelemente
durch Schmelzen von Glas miteinander verbunden
werden,
Fig. 15 eine perspektivische Ansicht eines magnetischen
Wandlerkopfes gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel
nach der Erfindung,
Fig. 16 bis 24 verschiedene Fertigungsstufen des magne
tischen Wandlerkopfes nach Fig. 15, wobei Fig. 16
das Einbringen einer Anzahl von Furchen mit jeweils
einer Vielzahl von Flächen, Fig. 17 das Ausfüllen
dieser Furchen mit einem oxidischen Glasfüllmaterial,
Fig. 18 das Einbringen einer zweiten
Anzahl von Furchen mit einer Vielzahl von Flächen,
Fig. 19 das Aufbringen eines nichtmagnetischen Films
mit großer Härte, Fig. 20 das Aufbringen eines ferro
magnetischen dünnen Metallfilms, Fig. 21 das Aufbringen
eines weiteren nichtmagnetischen dünnen
Films mit großer Härte, Fig. 22 das Ausfüllen der
verbleibenden Furchen mit geschmolzenem Glas und
das Schleifen der Oberfläche des Grundelementes,
Fig. 23 das Einbringen einer Nut in ein entsprechend
ausgebildetes Grundelement zur Aufnahme einer
Spulenwicklung und Fig. 24 den Zusammenbau der ge
nannten Grundelemente erläutert, wobei diese Grundelemente
durch Schmelzen von Glas od. dgl. miteinander
verbunden sind,
Fig. 25 bis 33 perspektivische Ansichten eines magnetischen
Wandlerkopfes gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel
der Erfindung in verschiedenen Fertigungsstufen,
wobei Fig. 25 das Einbringen einer ersten
Anzahl von Furchen in ein Grundelement, Fig.
26 das Einbringen von Glas mit hoher Schmelztemperatur
in die Furchen, Fig. 27 das Einbringen
einer zweiten Anzahl von Furchen in das Grundelement,
Fig. 28 das Aufbringen eines nichtmagnetischen
Films mit großer Härte, Fig. 29 das Aufbringen
eines ferromagnetischen dünnen Metallfilms,
Fig. 30 das Aufbringen eines weiteren nichtmagnetischen
Films mit großer Härte, Fig. 31 das Auffüllen
der verbleibenden Furchen mit geschmolzenem
oxidischen Glas und das Abschleifen der Oberfläche
des Grundelementes, Fig. 32 das Einbringen
eines Schlitzes in ein weiteres derart ausgebildetes
Grundelement zur Aufnahme einer Spulenwicklung
und Fig. 33 die Verbindung beider so her
gestellten Grundelemente erläutert, die durch
Schmelzen von Glas miteinander verbunden sind,
Fig. 34 eine perspektivische Ansicht eines gemäß den
Schritten 25 bis 33 hergestellten magnetischen Wandlerkopfes,
Fig. 35 bis 37 perspektivische Ansichten dreier weiterer
magnetischer Wandlerköpfe nach der Erfindung und
Fig. 38 eine perspektivische Ansicht eines konventionellen
magnetischen Wandlerkopfes.
wie bereits erwähnt, gehört ein magnetischer Wandlerkopf
zur Aufzeichnung von Informationen mit hoher Dichte auf
einem Magnetband mit großer Koerzitivfeldstärke zum Stand
der Technik (US-Patentanmeldung, Serial Nr. 686540), der
zwei magnetische Kernelemente 101, 102 besitzt, die aus
ferromagnetischem Oxid, beispielsweise jeweils aus einem
Mn-Zn-Ferrit bestehen, wie in Fig. 38 dargestellt ist.
Die aneinandergrenzenden Seiten der beiden Kernelemente
sind angeschrägt, um geneigte Oberflächen 103 und 104
zu erhalten. Auf diesen geneigten Oberflächen ist jeweils
ein ferromagnetischer dünner Metallfilm 105, 106, bei
spielsweise aus einer Fe-Al-Si-Legierung (sogenannte
Sendust-Legierung) angeordnet. Die ferromagnetischen
dünnen Metallfilme 105, 106 sind beispielsweise durch Nie
derschlag im Vakuum erzeugt worden. Der magnetische Spalt
107 wird dabei durch die aneinander angrenzenden ferro
magnetischen dünnen Metallfilme 105, 106 gebildet. Glas
füllmaterial 108, 109 mit niedrigem Schmelzpunkt oder
Glasfüllmaterial 110, 111 mit hohem Schmelzpunkt wird
in geschmolzenem Zustand in die verbleibenden Lücken
gefüllt, um auf diese Weise eine Oberfläche zu erhalten,
die später mit einem Magnetband in Berührung steht. Ande
rerseits dient das Glasfüllmaterial dazu, eine mechanische
Abnutzung der ferromagnetischen dünnen Filme 105, 106 wei
testgehend zu verhindern. Der magnetische Wandlerkopf besitzt
eine hohe Betriebszuverlässigkeit, sehr gute magnetische
Eigenschaften und eine hohe Verschleißfestigkeit.
Er weist jedoch Nachteile auf, die sich insbesondere dadurch
ergeben, daß unterschiedliche Materialien, im vorliegenden
Falle also ferromagnetische Oxide, ferromagnetische
dünne Metallfilme und oxidische Glasschichten auf
einanderliegen.
Wird beispielsweise der ferromagnetische dünne Metallfilm
durch Sputtern auf dem ferromagnetischen Oxid (Ferrit) nieder
geschlagen, so wird die mit dem Metall in Kontakt kommende
Ferritoberfläche eine Temperatur annehmen, die im Bereich
von 300°C bis 700°C liegt. Hierdurch treten in der
Grenzfläche zwischen ferromagnetischem dünnem Metallfilm
und ferromagnetischem Oxid Reaktionen auf, derart, daß
Sauerstoffatome aus der Ferritoberfläche herausdiffundieren
und sich ein Diffusionsgleichgewicht im Temperaturbereich
von 300°C bis 500°C einstellt. Die Sauerstoffatome verbinden sich
dabei mit Al, Si und Fe. Der Anteil an Sauerstoffatomen
innerhalb der Ferritoberfläche vermindert sich also, so
daß eine Verschlechterung der magnetischen Eigenschaften
innerhalb der Grenzfläche zwischen dem Ferrit und dem
ferromagnetischen dünnen Metallfilm auftritt. Wird eine
Grenzfläche in dieser Art hergestellt, so werden gerade
die weichmagnetischen Eigenschaften des Ferrits dadurch
vermindert, daß der magnetische Widerstand in der Grenzfläche
ansteigt. Das Aufzeichnungs- und Wiedergabeverhalten
des magnetischen Wandlerkopfes verschlechtert sich
daher ebenfalls. Darüber hinaus besitzt der magnetische
Wandlerkopf infolge des ferromagnetischen dünnen Metallfilms
und der ferromagnetischen Oxidkerne unterschiedliche
thermische Ausbildungskoeffizienten. Der thermische
Ausdehnungskoeffizient für eine Fe-Al-Si-Legierung liegt
beispielsweise im Bereich von 130 bis 160×10-7/°C,
wohingegen derjenige von Ferrit zwischen 90 und 110×
10-7/°C liegt. Infolgedessen treten Spannungen im Ma
terial auf, wenn nach dem Sputtern die Kernhälften durch
einen Schmelzprozeß bei hoher Temperatur miteinander
verbunden werden. Diese Spannungen können zu Brüchen
oder anderen mechanischen Veränderungen innerhalb des
ferromagnetischen dünnen Metallfilms führen, was eine
Verschlechterung seiner magnetischen Eigenschaften nach
sich zieht.
Wird andererseits geschmolzenes Glas direkt mit der Fe-Al-
Si-Legierung in Kontakt gebracht, nachdem diese nieder
geschlagen wurde, so wird das ferromagnetische Metallmaterial
je nach Art des geschmolzenen Glases mehr oder
weniger stark erodieren bzw. angegriffen. Durch den gegen
seitigen Einfluß von Metall und Glas können die Kante
oder Oberfläche des ferromagnetischen dünnen Metallfilms
so deformiert werden, daß darunter seine Materialeigen
schaften oder geometrischen Abmessungen leiden. Andererseits
besteht die Gefahr, daß bei einem direkten Kontakt
von geschmolzenem Glas mit der ferromagnetischen dünnen
Metallschicht die Fließfähigkeit des Glases herabgesetzt
wird und/oder Blasen im geschmolzenen Glas entstehen.
Im folgenden wird ein magnetischer Wandlerkopf nach einem
ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung erläutert, bei
dem sich ein ferromagnetischer dünner Metallfilm von der
Vorderseite oder der mit einem Magnetband in Kontakt
stehenden Fläche des Wandlerkopfes bis zur Rückseite
des Wandlerkopfes erstreckt, an der der magnetische Spalt
endet. Einen solchen Wandlerkopf zeigt die Fig. 1 in
perspektivischer Darstellung. Fig. 2 zeigt eine Draufsicht
auf die mit dem Magnetband in Kontakt stehende Fläche des
Wandlerkopfes, während Fig. 3 eine perspektivische Ansicht
der beiden Teile des magnetischen Wandlerkopfes
darstellt, wobei die Flächen zur Bildung des magnetischen
Spaltes freiliegen.
Dieser magnetische Wandlerkopf besitzt Kernelemente 10,
11, die aus ferromagnetischen Oxiden, beispielsweise Mn-Zn-
Ferriten, bestehen. Auf den Verbindungsflächen der Kernelemente
10, 11 liegen ferromagnetische dünne Metallfilme
13, die beispielsweise aus ferromagnetischem Metall oder
einer hochpermeablen Metallegierung, wie z. B. einer Fe-Al-
Si-Legierung, bestehen. Die genannten dünnen ferromagnetischen
Metallfilme sind durch Niederschlag im Vakuum
erzeugt worden, beispielsweise durch Sputtern. Sie liegen
jeweils auf einem nichtmagnetischen Film 12, der eine
große Härte besitzt, auf. Die ferromagnetischen dünnen
Metallfilme 13 erstrecken sich kontinuierlich von der
vorderen Spaltbildungsfläche des magnetischen Wandlerkopfes
zu seiner rückwärtigen Spaltbildungsfläche. Die
Kernelemente 10, 11 sind mit Hilfe von Abstandselementen,
die beispielsweise aus SiO₂ bestehen, relativ zueinander
beabstandet, so daß die einander gegenüberliegenden Flächen
der ferromagnetischen dünnen Metallfilme 13 einen
magnetischen Spalt g mit der Spurbreite Tw bilden. Wie
eine Draufsicht auf die mit dem Magnetband in Kontakt
stehende Oberfläche des Wandlerkopfes zeigt, sind die
ferromagnetischen dünnen Metallfilme 13 so auf den Kern
elementen 10, 11 angeordnet, daß sie sich entlang einer
geraden Linie erstrecken, die gegenüber der magnetischen
Spaltfläche 14 bzw. der Verbindungsfläche der magnetischen
Kernelemente 10, 11 um einen Winkel R geneigt ist.
Auf den jeweiligen ferromagnetischen dünnen Metallfilmen
13 sind weiterhin nichtmagnetische Filme 15 angeordnet,
die eine große Härte besitzen. Um die Spurbreite Tw fest
zulegen, ist in der Nähe der magnetischen Spaltfläche
bzw. an beiden Seiten des magnetischen Spalts g an der
zum Magnetband weisenden Seite des Wandlerkopfes ein
nichtmagnetisches, oxidisches Glas 16, 17 als Füllmaterial
vorgesehen.
Der Winkel zwischen denjenigen Flächen 10a, 11a, auf
denen jeweils ein ferromagnetischer dünner Metallfilm
liegt, und der magnetischen Spaltfläche 14 liegt vorzugsweise
im Bereich von 20 bis 80°. Ein Winkel R kleiner als
20° führt zu einem vergrößertem Übersprechen benachbarter
Spuren. Winkel R, die größer als 30° sind, werden daher
bevorzugt. Winkel R, die kleiner oder gleich 80° sind,
werden ebenfalls bevorzugt, da bei größeren Winkeln die
Verschleißfestigkeit abnimmt. Ein Winkel R von 90° wird
darüber hinaus nicht gewählt, da dann die Dicke des
ferromagnetischen dünnen Metallfilms 13 gleich der Spurbreite
Tw sein müßte. Je größer jedoch die Dicke des ferromagnetischen
dünnen Films 13 ist, desto größer ist die
Gefahr, daß dieser mit ungleichförmiger Filmstruktur auf
wächst. Darüber hinaus nimmt mit zunehmender Filmdicke
die Zeit zur Herstellung eines derartigen Films zu.
Die Filmdicke t des im Vakuum niedergeschlagenen ferro
magnetischen dünnen Metallfilms 13 bestimmt sich zu
t = Tw · sin R ,
worin Tw die Spurbreite und R der Winkel zwischen den
Oberflächen 10a, 11a und der magnetischen Spaltbildungs
fläche 14 ist. Der ferromagnetische dünne Metallfilm 13
braucht also keine Dicke zu besitzen, die gleich der Spurbreite
Tw ist. Die Herstellungszeit für magnetische Wandlerköpfe
mit derartigen ferromagnetischen dünnen Metallfilmen
kann daher erheblich reduziert werden.
Die dünnen Metallfilme 13 können aus ferromagnetischen
Metallen bestehen, wie z. B. Fe-Al-Si-Legierungen, Fe-Al-
Legierungen, Fe-Si-Legierungen, Fe-Si-Co-Legierungen,
Ni-Fe-Legierungen (sogenannten Permalloys), ferromagne
tischen amorphen Metallegierungen (sogenannten amorphen
Legierungen), wie z. B. Legierungen aus Metall und metallischen
oder amorphen Legierungen, z. B. eine Legierung aus
einem oder mehreren Elementen der Gruppe Fe, Ni und Co mit
einem oder mehreren Elementen, die aus der Gruppe P, C,
B bzw. Si ausgewählt sind, oder einer Legierung, die im
wesentlichen eine der zuerst genannten Legierungen und
darüber hinaus Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr,
Hf oder Nb enthält, oder aus einer Legierung aus Metall
und amorphem Metall, die im wesentlichen Übergangsmetall
elemente und glasbildende Metallelemente, wie z. B. Hf oder
Zr enthält.
Zur Bildung der Filme 13 können die bekannten Vakuum-
Niederschlagsverfahren angewandt werden, beispielsweise
Schnellaufdampf-, Ionenplattierungs-, Sputter- oder
Komplexionenstrahlverfahren.
Bei einer Fe-Al-Si-Legierung ist die Zusammensetzung
vorzugsweise so gewählt, daß der Al-Gehalt im Bereich
von 2 bis 10 Gew.-+ und der Si-Gehalt im Bereich von 4
bis 15 Gew.-% liegt, wobei der Rest jeweils durch Fe aus
geglichen wird. Allgemein kann bei Verwendung einer Fe-
Al-Si-Legierung die Zuammensetzung durch den Ausdruck
Fe a Al b Si c
dargestellt werden. Hierbei sind a, b und c die jeweiligen
Gewichtsverhältnisse der zugeordneten Komponenten,
wobei die Werte für a, b und c (jeweils in Gewichtsprozent)
in folgenden Bereichen liegen:
70 ≦ a ≦ 95
2 ≦ b ≦ 10
4 ≦ c ≦ 15
2 ≦ b ≦ 10
4 ≦ c ≦ 15
Sind der Al- oder Si-Gehalt zu gering oder zu hoch, so
vermindern sich die magnetischen Eigenschaften der Fe-Al-
Si-Legierung. Bei der oben genannten Zusammensetzung kann
das Fe wenigstens durch eines der Elemente Co und Ni ersetzt
werden.
Die Sättigungsmagnetflußdichte läßt sich dadurch verbessern,
daß ein Teil des Fe durch Co eretzt wird. Eine maximale
Sättigungsmagnetflußdichte Bs wird dann erreicht,
wenn 40 Gew.-% Fe durch Co ersetzt sind. Der Anteil an Co
beträgt vorzugsweise 0 bis 60 Gew.-%, relativ zu Fe.
Wird andererseits ein Teil Fe durch Ni ersetzt, so kann
die magnetische Permeabilität auf einem höheren Wert auf
rechterhalten werden, ohne daß dabei die Sättigungsmagnet
flußdichte Bs vermindert wird. In diesem Fall beträgt der
Anteil Ni relativ zu Fe vorzugsweise 0 bis 40 Gew.-%.
Selbstverständlich können zu einer Fe-Al-Si-Legierung auch
andere Elemente hinzugefügt werden, um Korrosion und Ver
schleißfestigkeit zu verbessern. Diese zusätzlichen Elemente
können Elemente der Gruppe IIIa umfassen, einschließlich
Lanthanide, wie z. B. Sc, y, La, Ce, Nd und
Gd, Elemente der Gruppe IVa, wie z. B. Ti, zr oder Hf, Elemente
der Gruppe Va, wie z. B. V, Nb oder Ta, Elemente
der Gruppe VIa, wie z. B. Cr, Mo oder W, Elemente der
Gruppe VIIa, wie z. B. Mn, Te oder Re, Elemente der Gruppe
Ib, wie z. B. Cu, Ag oder Au, und Elemente der Platingruppe,
wie z. B. Ru, Rh oder Pd sowie Ga, In, Ge, Sn, Sb
oder Bi.
Bei Verwendung einer Fe-Al-Si-Legierung wird der ferro
magnetische dünne Metallfilm 13 vorzugsweise so aufgebracht,
daß die Richtung des Kristallwachstums unter einem vorbestimmten
Winkel λ von 5° bis 45° bezüglich der Flächennormalen
der Flächen 10a, 10b der magnetischen Kernelemente
10, 11 liegt. In Fig. 2 ist die Senkrechte bzw. Normale
auf der Fläche 10a eingezeichnet.
Wachsen die dünnen Metallfilme 13 unter einem vorbestimmten
Winkel λ relativ zur Normalen auf den geneigten Oberflächen
10a, 11a auf, wie beschrieben, sind die Eigenschaften der
entstehenden ferromagnetischen dünnen Metallfilme 13 stabil,
so daß sich dadurch verbesserte magnetische Eigenschaften
des magnetischen Wandlerkopfes ergeben.
Wie bereits erwähnt, werden die dünnen Metallfilme 13
als Einzelschichten durch Niederschlag im Vakuum gebildet.
Auf diese Weise können aber auch dünne Metallfilme mit
mehreren übereinanderliegenden dünnen Metallschichten erstellt
werden, wobei zwischen jeweils 2 Metallschichten
eine oder mehrere elektrisch isolierende Filme aus SiO₂,
Ta₂O₅, Al₂O₃, ZrO₂ oder Si₃N₄ angeordnet sind. Zur Bildung
eines dünnen Metallfilms kann irgendeine gewünschte
Anzahl ferromagnetischer Metallschichten übereinanderliegend
angeordnet werden.
Die nichtmagnetischen Filme 12 mit großer Härte, die
zwischen den Kernelementen 10, 11 und den ferromagnetischen
dünnen Metallfilmen 13 liegen können, bestehen entweder
(A) aus einem oder mehreren Oxiden, wie z. B. SiO₂,
TiO₂, Ta₂O₅, Al₂O₃, Cr₂O₃ oder aus Glas mit hohem Schmelzpunkt,
und weisen eine Dicke zwischen 5 und 200 Nanometern
auf. Sie können aber auch (B) aus nichtmagnetischen Metallen,
wie z. B. Cr, Ti oder Si allein oder in Form von
Legierungen bestehen, und ebenfalls eine Dicke von 5 bis
200 Nanometern besitzen. Die Materialien der Gruppe (A)
und (B) können allein oder gemeinsam verwendet werden.
Die Dicke dieser nichtmagnetischen Filme 12 mit großer
Härte ist allerdings begrenzt. Bei zu großer Dicke würden
scheinbare magnetische Spalte entstehen, deren magnetischer
Widerstand nicht mehr vernachlässigt werden könnte.
Durch Bildung der nichtmagnetischen Filme 15 mit großer
Härte auf den ferromagnetischen dünnen Metallfilmen 13
wird erreicht, daß eine durch das Glas hervorgerufene
Erosion und das Auftreten von Brüchen im ferromagnetischen
dünnen Metallfilm 13 verhindert werden. Infolgedessen können
die geometrischen Abmessungen der ferromagnetischen
dünnen Metallfilme 13 genauer eingehalten werden. Das
geschmolzene Glas kann sich besser verteilen und vorhandene
sowie in Folge der Glasverbindung aufgetretene Spannungen
werden besser abgebaut. Der nichtmagnetischen Film
15 mit großer Härte kann beispielsweise aus einem schwer
schmelzenden Metall, wie z. b. W, Mo, Ta oder deren Oxiden
bestehen, und zusätzlich Materialien der Gruppen (A)
und (B) enthalten, die für den nichtmagnetischen Film 12
mit großer Härte verwendet worden sind. Die genannten
Materialien können allein oder so verwendet werden, daß
folgende Strukturen entstehen: Cr, Cr+Ta₂O₅+Cr, Cr+
SiO₂+Cr, Ti+TiO₂+Ti usw. Die Schichten besitzen
Dicken, die im Mikrometerbereich liegen.
Wie in Fig. 4 dargestellt, besitzt ein nichtmagnetischen
Film 12 mit großer Härte eine Zweischichtstruktur, die
eine SiO₂-Schicht 12a und eine Cr-Schicht 12b aufweist.
Diese Zweischichtstruktur liegt jeweils zwischen den Kern
elementen 10, 11 und den ferromagnetischen dünnen Metall
filmen 13. Ein nichtmagnetischen Film 15 mit großer Härte
weist dagegen gemäß Fig. 4 eine Dreischichtstruktur auf,
die eine Cr-Schicht 15a, eine Ta₂O₅-Schicht 15b und eine
zweite Cr-Schicht 15c umfaßt. Diese Dreischichtstruktur
liegt zwischen dem ferromagnetischen dünnen Metallfilm
13 und dem oxidischen Glas 16.
Bei dem magnetischen Wandlerkopf nach Fig. 1 sind die ferro
magnetischen dünnen Metallfilme 13 auf den Flächen 10a,
11a der Ferrit-Kernelemente 10, 11 angeordnet, wobei der
nichtmagnetische Film 12 mit großer Härte zwischen dem
Film 13 und den Flächen 10a, 11a liegt. Hierdurch wird ver
hindert, daß Sauerstoffatome aus den Ferriten, wenn diese
sich während des Sputterns auf einer relativ hohen Temperatur
befinden, austreten und in die ferromagnetischen
dünnen Metallfilme 13 diffundieren können. Die Grenzflächen
der Ferrite werden dadurch vor einer Verschlechterung
ihrer magnetischen Eigenschaften geschützt. Die weichmagnetischen
Eigenschaften dieser Bereiche in der Nähe der Flächen
10a, 11a, die über einen magnetischen Kreis mit dem
ferromagnetischen dünnen Metallfilm 13 verbunden sind,
verschlechtern sich also nicht, so daß keine Verminderung
der Aufzeichnungs- bzw. Widergabeeigenschaften des
magnetischen Wandlerkopfes auftritt. Da die Flächen 10a,
11a, die die ferromagnetischen dünnen Metallfilme 13 tragen,
weiterhin unter einem bestimmten Winkel relativ zur
magnetischen Spaltfläche 14 geneigt sind, werden Pseudo-
bzw. scheinbare Spalte auch dann nicht erzeugt, wenn die
nichtmagnetischen Filme 12 mit großer Härte relativ hohe
Filmdicken erreichen. Die Dicke der nichtmagnetischen Filme
12 sollte allerdings nicht zu groß sein, da das negative
Auswirkungen auf die Wirkungsweise des magnetischen
Kreises hätte.
Vergleichstest zwischen dem magnetischen Wandlerkopf nach
der Erfindung und dem konventionellen magnetischen Wandlerkopf
haben ergeben, daß am Wiedergabeausgang ein Signalpegel
in der Größenordnung von 1 bis 3 dB erhalten wird, wenn
die Signalfrequenz um Bereich von 1 bis 7 MHz liegt.
Da die oben genannte schädliche Grenzfläche innerhalb der
Ferrite nicht entsteht, brauchen während des Sputterverfahrens
keine Begrenzungen hinsichtlich der Sputtergeschwindigkeit
oder Temperatur vorgenommen zu werden, so daß die
Herstellung des magnetischen Wandlerkopfes relativ leicht
ist.
Ferner werden durch die nichtmagnetischen Filme 12 mit hoher
Härte mechanische Spannungen abgebaut bzw. kompensiert,
die aufgrund der unterschiedlichen thermischen Ausdehnungs
koeffizienten der Ferritkernelemente 10, 11 einerseits und
der ferromagnetischen dünnen Metallfilme 13 andererseits
entstehen. Die nichtmagnetischen dünnen Filme 12 mit hoher
Härte verhindern, daß keine Rißbildungen bzw. Brüche in
den dünnen ferromangetischen Metallfilmen 13 erzeugt werden,
wenn eine Abkühlung der Kernelemente nach dem Sputtervorgang
erfolgt. Dies trifft auch für den Schmelzvorgang des
Glases zur Verbindung der Kernelemente bei hoher Temperatur
und der anschließenden Abkühlung zu.
Da ferner ein nichtmagnetischer Film 15 mit großer Härte
zwischen jeweils einem ferromagnetischen dünnen Metallfilm
13 und dem Oxidglas 16 liegt, wird eine Ausdehnung
bzw. Verlängerung des ferromagnetischen dünnen Metallfilms
13 verhindert. Spannungen zwischen den Kernelementen
10, 11 treten ebenflls nicht mehr auf, da auch diese durch
die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte abgebaut bzw.
kompensiert werden. Die Folge davon ist, daß Brüche bzw.
Risse oder Falten in den ferromagnetischen dünnen Metallfilmen
13 nicht mehr entstehen können, so daß der so aufgebaute
magnetische Wandlerkopf eine größere Betriebszuverlässigkeit
aufweist und mit geringerem Ausschuß hergestellt
werden kann.
Es sei nochmals darauf hingewiesen, daß die nichtmagnetischen
Filme mit großer Härte zwischen den Kernelementen
10, 11 und den ferromagnetischen dünnen Metallfilmen 13,
wie in Fig. 5 dargestellt, oder zwischen den ferromagnetischen
dünnen Metallfilmen 13 und dem Oxidglas 16 liegen
können, wie in Fig. 6 gezeigt. Selbstverständlich ist es
auch möglich, an beiden Seiten einer ferromagnetischen dünnen
Metallschicht 13 jeweils einen nichtmagnetischen Film
anzuordnen, wie die Fig. 1 zeigt. In den Fig. 5 und 6 sind
gleiche Elemente wie in Fig. 1 mit den gleichen Bezugszeichen
versehen.
Zur Verdeutlichung des Aufbaues des magnetischen Wandlerkopfes
nach der Erfindung wird nachfolgend sein Herstellungsprozeß
anhand der Fig. 7 bis 14 näher erläutert.
Durch diesen Herstellungsprozeß wird ein magnetischer
Wandlerkopf gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel erhalten.
Zur Herstellung dieses magnetischen Wandlerkopfes werden
mehrere parallele V-förmige Furchen 21 quer in die obere
Fläche 20a eines Substrats 20 aus ferromagnetischen Oxiden
eingebracht, und zwar mit Hilfe eines sich drehenden
Schleifsteins. Das Substrat 20 kann beispielsweise aus
einem Mn-Zn-Ferrit bestehen. Die V-förmigen Furchen 21
dienen zur Herstellung einer Fläche 21a, die später den
ferromagnetischen dünnen Metallfilm 13 trägt (Fig. 7).
Die obere Fläche 20a stellt eine Verbindungsfläche dar,
die einer entsprechenden Fläche eines weiteren Substrats
(weiteren Grundelements) gegenüberliegt. Die Fläche 21a
ist geneigt, und besitzt im vorliegenden Ausführungsbeispiel
einen Neigungswinkel R von etwa 45° relativ zur
Spaltbildungsfläche des Substrats 20, die parallel zur
Fläche 20a liegt.
Als nächstes wird, wie in Fig. 8 dargestellt, ein nicht
magnetischer Film 22 mit großer Härte durch Sputterung
auf der oberen Fläche 20a des ferromagnetischen Oxid
substrats 20 erzeugt. Zur Bildung des nichtmagnetischen
Films 22 wird zunächst ein erster nichtmagnetischer
Film mit großer Härte auf das Substrat 20 durch Sputtern
aufgebracht, der z. B. aus SiO₂ besteht und eine Dicke
von etwa 30 Nanometern besitzt. Auf diesen ersten nicht
magnetischen Film wird anschließend ein zweiter nicht
magnetischer Film mit großer Härte aufgebracht, der im
vorliegenden Fall aus Cr besteht und ebenfalls eine Dicke
von ca. 30 nm besitzt. Der nichtmagnetische Film 22
weist somit eine Zweischichtstruktur auf.
Gemäß Fig. 9 wird auf den nichtmagnetischen Film 22 ein
ferromagnetischer dünner Metallfilm 23 durch Niederschlag
im Vakuum aufgebracht, beispielsweise durch Sputtern,
Ionenplattierung oder Vakuumverdampfung, der aus einer
Fe-Al-Si-Legierung oder einer amorphen Legierung besteht.
Auf diesen ferromagnetischen dünnen Metallfilm 23 wird
gemäß Fig. 10 anschließend ein weiterer nichtmagnetischer
Film 24, der ebenfalls eine große Härte besitzt,
aufgebracht. Dieser nichtmagnetische Film 24 mit großer
Härte besitzt einen ersten Cr-Film mit einer Dicke von
etwa 0,1 µm, der direkt auf dem ferromagnetischen dünnen
Metallfilm 23 liegt. Darauf befindet sich ein Ta₂O₅-
Film mit einer Dicke von etwa 1 µm, auf dem seinerseits
ein zweiter Cr-Film mit wiederum einer Dicke von etwa
0,1 µm angeordnet ist. Der nichtmagnetische Film 24 mit
großer Härte weist somit eine Dreischichtstruktur auf.
Er besteht vorzugsweise aus hochschmelzenden Metallen,
wie z. B. W, Mo, Si, Ta, deren Oxiden oder entsprechenden
Legierungen. Die Gesamtdicke des nichtmagnetischen
Films 24 liegt vorzugsweise im Mikrometerbereich. Durch
den ersten Cr-Film des nichtmagnetischen Films 24 wird
die Haftung zwischen diesem und dem ferromagnetischen
dünnen Metallfilm 23 verbessert.
In die verbleibenden ersten Furchen 21 wird, nachdem die
Filme 22, 23 und 24 erzeugt worden sind, ein oxidisches
Glasfüllmaterial 25 eingebracht, beispielsweise Glas
mit niedrigem Schmelzpunkt. Die Oberfläche 20a des Substrats
20 wird dann glattgeschliffen, und zwar so, daß
der ferromagnetische dünne Metallfilm 23, der auf der
Fläche 21a liegt, an der oberen Fläche 20a erscheint.
Danach wird gemäß Fig. 12 in der Nähe einer jeweiligen
fläche 21a, die den ferromagnetischen dünnen Metallfilm
23 trägt, eine zweite Furche 26 erzeugt, die parallel
zur ersten Furche 21 verläuft und so angeordnet ist,
daß sie die Seite 21a der ersten Furche 21 leicht über
lappt. Die obere Fläche 20a des Substrats 20 wird dann
zur Erzeugung einer spiegelglatten Fläche weiterhin ein
wenig abgeschliffen. Hierdurch wird die Spurbreite so
eingestellt, daß der magnetische Spalt allein durch den
ferromagnetischen dünnen Metallfilm 23 begrenzt wird.
Die zweite Furche 26 kann statt eines V-förmig ausgebil
deten Querschnitts beispielsweise einen polygonalen Querschnitt
besitzen, wie in Fig. 12 bis 14 dargestellt ist.
Die innere Wandfläche der Furche 26 kann zwei oder mehrmals
abgeknickt sein, wie bei einer Draufsicht auf die
mit dem Magnetband in Kontakt stehende Oberfläche des
magnetischen Wandlerkopfes gemäß Fig. 14 zu erkennen ist.
Hierdurch werden Nebensprechkomponenten, die sich bei der
Reproduktion langer Wellenlängenkomponenten ergeben,
wirksam unterdrückt. Andererseits ist sichergestellt, daß
zwischen dem ferromagnetischen Oxid und dem ferromagnetischen
dünnen Metallfilm ein großer Übergangsbereich
besteht. Aufgrund der genannten Furchenausbildung sind
die Endflächen der ferromagnetischen Oxidelemente gegenüber
der Azimuthwinkelrichtung des magnetischen Spalts
unterschiedlich geneigt, so daß eine Signalaufnahme von
nächsten oder übernächsten Spuren unterdrückt bzw. das
Nebensprechen noch weiter aufgrund von Azimuthverlusten
reduziert wird.
Da zunächst der ferromagnetische dünne Metallfilm 23 auf
der Fläche 21a erzeugt wird und erst anschließend die
zweite Furche 26 zur Regulierung der Spurbreite in das
Substrat 20 eingebracht wird, lassen sich die magnetischen
Wandlerköpfe mit hoher Ausbeute und großer Genauigkeit
bezüglich der Spurbreite herstellen, da die Position
der Schleifeinrichtung zur Erzeugung der zweiten Furchen
26 genau eingestellt werden kann. Bei dem beschriebenen
magnetischen Wandlerkopf verläuft der magnetische Fluß
durch das ferromagnetische Oxidmaterial in nur einem
minimalen Abstand vom magnetischen Spalt, der nur durch
die ferromagnetischen dünnen Metallfilme gebildet ist.
Der Wandlerkopf besitzt daher relativ kleine Abmessungen
und läßt sich somit mit hoher Produktionsrate, geringen
Kosten und hoher Betriebszuverlässigkeit herstellen.
Gemäß den oben beschriebenen Herstellungsschritten werden
zwei gleiche ferromagnetische Oxidsubstrate 20, 30 erzeugt.
Das Substrat 30 besitzt einen weiteren Schlitz 27, wie
in Fig. 13 dargestellt ist, der unter rechtem Winkel zu
den ersten Furchen 21 bzw. den zweiten Furchen 26 entlang
der Oberfläche 30a des Substrats 30 verläuft. Die Furche
27 dient zur Aufnahme einer Spulenwicklung.
Auf der oberen Fläche 20a des Substrats 20 und/oder auf
der oberen Fläche 30a des Substrats 30 werden anschließend
Abstandselemente aufgebracht. Beide Substrate 20, 30 werden
dann, wie in Fig. 14 dargestellt, so übereinanderliegend
angeordnet, daß sich die jeweiligen ferromagnetischen
dünnen Metallfilme 23 der Substrate 20, 30 gegenüberliegen.
Die Substrate 20, 30 werden dann mit Hilfe von geschmolzenem
Glas miteinander verbunden, während gleichzeitig die
zweiten Furchen 26 mit geschmolzenem Glas 28 ausgefüllt
werden. Die Abstandselemente zwischen den Substraten 20,
30 können beispielsweise aus SiO₂, ZrO₂, Ta₂O₅ oder Cr bestehen.
Das Ausfüllen der zweiten Furchen 26 mit Glas 28
braucht darüber hinaus nicht gleichzeitig mit dem Verbindungsvorgang
der Substrate 20, 30 zu erfolgen. Dieses
Glas 28 kann auch schon in dem in Fig. 13 gezeigten Schritt
in die Furchen 26 eingebracht werden, so daß im Schritt
nach Fig. 14 nur noch die Verbindung beider Substrate 20,
30 durch Schmelzen von Glas erfolgt.
Die aufeinanderfolgenden Substrate 20, 30 können anschließend
beispielsweise entlang der Linien A-A und A′-A′,
wie in Fig. 14 gezeigt, zur Erzeugung einer Vielzahl
von magnetischen Wandlerköpfen zerschnitten werden.
Die später mit einem Magnetband in Kontakt stehende
Fläche eines jeden Wandlerkopfes wird dann zu einer
zylindrischen Fläche geschliffen, wie anhand der Fig.
1 zu erkennen ist. Selbstverständlich können die Linien
A-A und A′-A′ auch relativ zur Verbindungsfläche beider
Substrate 20, 30 geneigt sein, um auf diese Weise einen
magnetischen Wandlerkopf für die Azimuthaufzeichnung
zu erhalten.
Gemäß Fig. 1 besteht das Kernelement 10 im wesentlichen
aus dem ferromagnetischen Oxidsubstrat 20, während das
andere Kernelement 11 im wesentlichen aus dem ferromagnetischen
Oxidsubstrat 30 besteht. Der ferromagnetische
dünne Metallfilm 13 in Fig. 1 entspricht dem ferromagnetischen
dünnen Metallfilm 23 in Fig. 14, während die
nichtmagnetischen Filme 12, 15 mit großer Härte jeweils
den nichtmagnetischen Filmen 22 bis 24 entsprechen. Der
ferromagnetische dünne Metallfilm 23 auf der ebenen Fläche
besitze eine hohe und gleichförmige magnetische
Permeabilität entlang des Weges des magnetischen Flusses.
Ein zweites Ausführungsbeispiel eines magnetischen Wandlerkopfes
nach der Erfindung wird anhand der Fig. 15 bis
24 näher erläutert. Bei diesem magnetischen Wandlerkopf
wird der ferromagnetische dünne Metallfilm nur in der
Nähe des magnetischen Spalts gebildet.
Der magnetische Wandlerkopf besitzt zwei Kernelemente
40, 41, die jeweils aus einem ferromagnetischen Oxid,
beispielsweise einem Mn-Zn-Ferrit bestehen. Der ferromagnetische
dünne Metallfilm 42 liegt nur in geringer
Tiefe im Frontbereich des magnetischen Wandlerkopfes sowie
wie in der Nähe des magnetischen Spalts g und besteht
aus einer hochpermeablen Legierung, wie z. B. eine Fe-
Al-Si-Legierung. Er wird vorzugsweise durch Niederschlag
im Vakuum, beispielsweise durch Sputtern, erzeugt.
Glasfüllmaterial 43, 44 wird in geschmolzenem
Zustand im Bereich der Spaltbildungsfläche angeordnet.
Nichtmagnetische Filme 45 mit großer Härte bestehen
beispielsweise aus SiO₂, TiO₂ oder Ta₂O₅ oder aus nichtmagnetischen
Metallen, wie z. B. Cr, Ti oder Si. Diese
nichtmagnetischen Filme 45 liegen zwischen den magnetischen
Kernelementen 40, 41 und den ferromagnetischen
dünnen Metallfilmen 42. Weitere nichtmagnetische Filme
46 mit hoher Härte, die beispielsweise aus schwerschmelzenden
Metallen oder entsprechenden Oxiden wie z. B.
Ta₂O₅, Cr, TiO₂ bestehen, sind zwischen den
ferromagnetischen dünnen Metallfilmen 42 und den jeweiligen
oxidischen Glasfüllmaterialien 43 angeordnet. Der
ferromagnetische dünne Metallfilm 42 ist gegenüber der
Spaltbildungsfläche um einen vorgegebenen Winkel R geneigt,
wie bei einer Draufsicht auf die mit dem Magnetband
in Berührung stehende Oberfläche des magnetischen
Wandlerkopfes zu erkennen ist.
Die einzelnen Fertigungsstufen dieses magnetischen Wandlerkopfes
werden anhand der Fig. 16 bis 24 erläutert.
Gemäß Fig. 16 werden zunächst mehrere Furchen 51 mit
polygonalem Querschnitt an einer Längskante des ferromagnetischen
Oxidsubstrats 50, das beispielsweise aus
einem Mn-Zn-Ferrit besteht, mit Hilfe eines rotierenden
Schleifsteins oder durch ein elektrolytisches Ätzverfahren
erzeugt. Die obere Fläche 50a des Substrats 50 entspricht
einer Spaltbildungsfläche des Magnetspalts g.
Die Furchen 51 mit einer Vielzahl von einzelnen Flächen
liegen in der Nähe derjenigen Position, an der später
der Spalt g im Substrat 50 zu liegen kommt.
Gemäß Fig. 17 werden die Furchen 51 zunächst mit oxidischem
Glasmaterial 52 in geschmolzenem Zustand ausgefüllt, während
anschließend die obere Fläche 50a und die Frontseite
50b des Substrats 50 glattgeschliffen werden.
Wie in Fig. 18 dargestellt, werden anschließend mehrere
V-förmige Furchen 53 an derselben Substratkante erzeugt,
die in der Nähe der Furchen 51 verlaufen und diese teilweise
überlappen. Die Furchen 51 sind dabei schon mit dem
Glasfüllmaterial 52 ausgefüllt. Das Glasfüllmaterial 52
in den Furchen 51 wird daher zum Teil freigelegt, und
zwar an der jeweiligen Furchenfläche 53a der Furchen 53.
Die Schnittlinie 54 zwischen der inneren Wand bzw. Furchenfläche
53a und der Oberfläche 50a verläuft dabei senkrecht
zur Frontseite 50b des Substrats 50. Der Winkel zwischen
der inneren Wandfläche 53a und der Oberfläche 50a
beträgt beispielsweise 45°. Gemäß Fig. 19 wird auf das
nach Fig. 18 ausgebildete Substrat eine SiO₂-Schicht aufgebracht,
die eine Dicke von etwa 30 nm aufweist, um die
Furchen 53 abzudecken. Darauf wird eine Cr-Schicht gebildet,
die ebenfalls eine Dicke von 30 nm besitzt, so daß
auf diese Weise ein nichtmagnetischer Film 55 mit großer
Härte erhalten wird, der aus den zuletzt genannten Schichten
besteht (Zweischichtstruktur).
Im Schritt nach Fig. 20 wird auf den nichtmagnetischen
Film 55 ein ferromagnetischer dünner Metallfilm 56 aufgebracht,
der aus einer hochpermeablen Legierung, beispielsweise
einer Fe-Al-Legierung besteht und vorzugsweise
die Furchen 53 abdeckt. Dieser Film 56 kann beispielsweise
durch einen Sputterprozeß erzeugt werden.
Während des Sputterns kann das Substrat 50 so gekippt
sein, daß das ferromagnetische Metall zur Bildung des
Films 56 vorzugsweise auf der inneren Wandfläche 53a der
Furchen 53 niedergeschlagen wird.
Auf den so erzeugten dünnen Metallfilm 56 wird ein weiterer
nichtmagnetischer Film 57, der ebenfalls eine große
Härte besitzt, aufgebracht. Dieser Schritt ist in
Fig. 21 gezeigt. Der weitere nichtmagnetische Film 57
kann beispielsweise aus Ta₂O₅, TiO₂ oder SiO₂ bestehen
und ebenfalls durch einen Sputterprozeß erzeugt werden.
Im vorliegenden Ausführungsbeispiel besitzt der weitere
nichtmagnetische Film 57 eine Zweischichtstruktur, wobei
zuerst ein Cr-Film auf den ferromagnetischen dünnen Metallfilm
56 mit einer Dicke von 0,1 µm durch Sputtern aufgebracht
wird. Anschließend wird auf diesem Cr-Film ein
Ta₂O₅-Film mit einer Dicke von etwa 1 µm, ebenfalls durch
einen Sputterprozeß, erzeugt. Durch den Cr-Film auf dem
ferromagnetischen dünnen Metallfilm 56 wird erreicht, daß
der zweite bzw. Ta₂O₅-Film fest relativ zum ferromagnetischen
dünnen Metallfilm 56 positioniert ist.
Der weitere nichtmagnetische Film 57 mit großer Härte muß
nicht unbedingt die zuvor genannte Struktur besitzen.
Er kann beispielsweise auch aus einem Dreischichtsystem
bestehen, das eine erste Cr-Schicht, eine zweite SiO₂-
Schicht und eine dritte Ta₂O₅-Schicht in dieser Reihenfolge
umfaßt. Der nichtmagnetische Film 57 kann andererseits
auch aus einer ersten Ti-Schicht mit einer Dicke von
1 µm und einer zweiten TiO₂-Schicht, ebenfalls mit einer
Dicke von 1 µm, bestehen.
Nach Bildung des nichtmagnetischen Films 55, des ferromagnetischen
dünnen Metallfilms 56 und des nichtmagnetischen
Films 57 in den Furchen 53 werden die verbleibenden
Bereiche der Furchen 53 mit geschmolzenem Glas 58
ausgefüllt, dessen Schmelzpunkt geringer ist als derjenige
des Glases 52. Dieser Schritt ist in Fig. 22 dargestellt.
Sowohl die obere Fläche 50a als auch die Frontfläche
50b des Substrats 50 werden dann spiegelglatt geschliffen.
Auf der Frontfläche 50b des Substrats 50 erscheint
dann der ferromagnetische dünne Metallfilm 56,
der auf der inneren Wandfläche 53a der Furche 53 liegt
und von den zuvor genannten nichtmagnetischen Filmen 55,
57 von beiden Seiten eingeschlossen ist.
Nach Fig. 23 wird in ein weiteres Substrat 60, das dem
Substrat 50 in Schritt 22 entspricht, eine Furche 59
eingebracht, die entlang der Oberfläche 60a und parallel
zur Frontseite 60b des Substrats 60 verläuft, und zwar
im Bereich der Furchen 53. Diese Furche 59 dient zur Aufnahme
einer Spulenwicklung.
Beide Substrate 50, 60 werden gemäß Fig. 24 so aufeinanderliegend
angeordnet, daß sich die Flächen 50a des Substrats
50 und 60a des Substrats 60 direkt gegenüberliegen.
Beide Flächen 50a, 60a stellen sogenannte Spaltbildungsflächen
dar. Zwischen beiden Flächen 50a und 60a sind sog.
Abstandselemente vorhanden, die mit einer der genannten
Flächen oder beiden verbunden sind. Um einen gemeinsamen
Block zu erhalten, werden die Substrate 50, 60 miteinander
durch ein Glas verschmolzen. Der Block wird dann entsprechend
der Fig. 24 entlang der Linien B-B und B′-B′ in
Scheiben zerschnitten, um eine Vielzahl von magnetischen
Wandlerköpfen zu erzeugen. Die Schnittebenen innerhalb
des genannten Blockes können zur Erzeugung bestimmter Azimuthwinkel
des magnetischen Spalts entsprechend geneigt
sein.
Die mit dem Magnetband später in Kontakt stehende Oberfläche
jedes magnetischen Wandlerkopfes wird anschließend
zylindrisch geschliffen, wie in Fig. 15 gezeigt ist. Das
magnetische Kernelement des Wandlerkopfes nach Fig. 15
besteht dabei im wesentlichen aus dem ferromagnetischen
Oxidsubstrat 50 nach Fig. 24, während das andere Kernelement
40 im wesentlichen aus dem ferromagnetischen Oxidsubstrat
60 besteht. Die nichtmagnetischen Filme 45, 46
nach Fig. 15 entsprechen jeweils den nichtmagnetischen
Filmen 55, 57 nach Fig. 24. Dagegen entspricht der ferromagnetische
dünne Metallfilm 42 dem ferromagnetischen dünnen
Metallfilm 56. Das Glasfüllmaterial 43 stimmt mit dem
Glasfüllmaterial 58 überein.
Bei dem magnetischen Wandlerkopf gemäß den Fig. 15 bis 24
besitzt der ferromagnetische dünne Metallfilm 42 eine hohe
und gleichmäßige Permeabilität in Richtung des Weges des
magnetischen Flusses, so daß der Wandlerkopf ein hohes
und stabiles Ausgangsverhalten aufweist. Der ferromagnetische
dünne Metallfilm 42 bzw. 56 ist darüber hinaus
durch den nichtmagnetischen Film 45 bzw. 55 vor Brüchen
oder Deformationen geschützt.
Die ferromagnetischen Oxide 50, 60 bzw. 41, 40 im vorliegenden
Ausführungsbeispiel sind mit Hilfe von Glas direkt
miteinander verbunden, und zwar in einem Bereich, der am
hinteren Ende des Wandlerkopfes liegt. Dort ist kein ferromagnetischer
dünner Metallfilm mehr vorhanden. Auf diese
Weise werden eine hohe Festigkeit des magnetischen Wandlerkopfes
und eine sichere Positionierung des ferromagnetischen
dünnen Metallfilms in seinem vorderen Bereich erhalten.
Wie bereits erwähnt, ist dieser ferromagnetische
dünne Metallfilm nur in der Nähe des magnetischen Spalts
g vorhanden. Der Metallfilm 42 nimmt daher nur eine sehr
kleine Fläche ein. Das bedeutet, daß pro Arbeitsgang bzw.
pro Substrat eine sehr große Anzahl von magnetischen Wandlerköpfen
erzeugt werden kann.
Die Fig. 25 bis 34 zeigen ein drittes Ausführungsbeispiel
eines magnetischen Wandlerkopfes nach der Erfindung.
Gemäß Fig. 25 sind eine Vielzahl von Furchen 71 mit quadratischem
Querschnitt in eine Oberfläche 70a eines ferromagnetischen
Oxidsubstrats 70 eingebracht. Diese Furchen
71 verlaufen nicht unter rechtem Winkel zur Frontseite
70b des Substrats 70. Das Substrat 70 kann ebenfalls aus
einem Mn-Zn-Ferrit bestehen. Abweichend von den zuvor beschriebenen
Ausführungsbeispielen ist hier die Oberfläche
70a diejenige Fläche, die später mit dem Magnetband in Berührung
steht. Bei den beiden anderen Ausführungsbeispielen
waren dies dagegen die Frontflächen. Die Furchen 71
besitzen eine solche Tiefe, daß sie später einen in das
Substrat eingebrachten Schlitz zur Aufnahme einer Wicklung
erreichen (vgl. Fig. 32).
Wie in Fig. 26 dargestellt, wird als nächstes ein Glasfüllmaterial
72 mit hohem Schmelzpunkt in geschmolzenem
Zustand in die Furchen 71 eingefüllt. Die obere Fläche
70a und die Frontfläche 70b des Substrats 70 werden dann
glattgeschliffen.
Im Anschluß daran werden, wie in Fig. 27 dargestellt ist,
zweite Furchen 73 mit quadratischem Querschnitt in die
obere Fläche 70a des Substrats 70 eingebracht. Diese zweiten
Furchen verlaufen ebenfalls wie die ersten Furchen
71 quer entlang der Oberfläche und so, daß sie jeweils
benachbarte erste Furchen im Bereich der Vorder- bzw. Rückseite
des Substrats 70 wenigstens teilweise überlappen.
Wie bereits erwähnt, wurden die ersten Furchen 71 vorher
mit dem Glasfüllmaterial
72 ausgefüllt. Die inneren Seiten
73a der zweiten Furchen 73 verlaufen senkrecht zur
oberen Fläche 70a des Substrats 70 und bilden darüber hinaus
einen Winkel von z. B. 45° mit der Vorderfläche 70b. Diese
inneren Seiten 73a der zweiten Furchen 73 schneiden die
benachbarten ersten Furchen 71 in der Nähe der Vorderseite
70b des Substrats 70, so daß das Glasfüllmaterial 72
an der Seite 73a teilweise freigelegt wird.
Nach der Einbringung der Furchen 71, 73 in die obere Fläche
70a des ferromagnetischen Oxidsubstrats 70 wird ein nichtmagnetischer
Film 74, der eine große Härte aufweist und
z. B. aus SiO₂ oder Cr besteht, im Bereich der Furchen
73 auf das Substrat 70 niedergeschlagen. Dieser Schritt
ist in Fig. 28 dargestellt. Der nichtmagnetische Film
74 kann beispielsweise durch Aufdampfung im Vakuum, durch
Sputtern oder durch ein anderes geeignetes Verfahren
erzeugt werden. Er kann dieselbe Zusammensetzung besitzen,
wie diejenigen nichtmagnetischen Filme, die bereits im
Zusammenhang mit den beiden zuvor genannten Ausführungsbesispielen
beschrieben worden sind.
Wie anhand der Fig. 29 zu erkennen ist, wird im Anschluß
daran ein ferromagnetischer dünner Metallfilm 75, beispielsweise
aus einer Fe-Al-Si-Legierung, auf den nichtmagnetischen
Film 74 aufgebracht. Dies kann ebenfalls
durch Niederschlag im Vakuum, beispielsweise durch Sputtern,
erfolgen. Das Substrat 70 kann hierbei in der Sputtervorrichtung
so gekippt sein, daß der Niederschlag des
ferromagnetischen dünnen Metallfilms 75 bevorzugt auf
einer gewünschten Fläche erfolgt.
Gemäß Fig. 30 wird im nächsten Schritt auf den ferromagnetischen
Film 75 ein weiterer nichtmagnetischer Film 76
mit großer Härte aufgebracht, der zum Beispiel harte Metalle
oder entsprechende Oxide bzw. Legierungen enthält.
Dieser nichtmagnetische Film 76 kann aus einer oder mehreren
Schichten bestehen und in derselben Weise zusammengesetzt
sein, wie die bereits im Zusammenhang mit den zuvor
erwähnten Ausführungsbeispielen beschriebenen nichtmagnetischen
Filme dieser Art.
Im Schritt nach Fig. 31 wird der verbleibende Bereich der
Furchen 73, in denen jetzt die nichtmagnetischen Filme 74,
76 und der ferromagnetische dünne Metallfilm 75, wie beschrieben,
der Reihe nach übereinander angeordnet sind,
mit einem oxidischen Glasfüllmaterial 77 ausgefüllt. Das
Glasfüllmaterial 77 befindet sich zu diesem Zweck in
geschmolzenem Zustand und besitzt einen geringeren Schmelzpunkt
aus das Glasfüllmaterial 72, das zuvor in geschmolzenem
Zustand in die Furchen 71 eingebracht worden ist.
Die obere Fläche 70a und die Frontfläche 70b des Substrats
70 werden anschließend spiegelglatt geschliffen. Der ferromagnetische
dünne Metallfilm 75 liegt dabei an der inneren
Seite 73a der Furchen 73 und wird beidseitig durch die
genannten nichtmagnetischen Filme 74, 76, die eine große
Härte besitzen, eingeschlossen bzw. geschützt. Zwar sind
auch an der der inneren Furchenseite 73a gegenüberliegenden
Furchenseite und am Boden einer Furche 73 die Filme 74,
75 und 76 vorhanden. Sie besitzen jedoch aufgrund der besonderen
Stellung des Substrats beim Aufbringen der jeweiligen
Filme in diesen Bereichen nur eine vernachlässigbare
Filmdicke und sind daher in den nachfolgenden Figuren
in diesen Bereichen nicht miteingezeichnet.
Ein Substrat 80 der oben genannten Art wird im nachfolgenden
und in Fig. 32 dargestellten Schritt mit einer weiteren
Furche 78 versehen, die zur Aufnahme einer Spulenwicklung
dient, wie bereits beschrieben. Diese Furche 78 verläuft
auf der Vorderseite 80b des Substrats 80 und parallel zu
dessen Oberfläche 80a. Die der Oberfläche 80a zugewandte
Furchenseite schneidet dabei die Furchen 71 bzw. 73.
Wie in Fig. 33 dargestellt, werden anschließend das Substrat
80 mit der Furche 78 und das Substrat 70 ohne eine
derartige Furche so miteinander verbunden, daß sich ihre
Vorderflächen 70b, 80b gegenüberliegen. Zwischen beiden
Substraten 70, 80 sind Abstandselemente vorhanden, die mit
wenigstens einer Frontseite 70b, 80b verbunden sind. Durch
diese Abstandselemente wird die Spaltbreite festgelegt.
Die genannten Vorderflächen 70b, 80b stellen die bereits
erwähnten Spaltbildungsflächen dar. Beide Substrate 70,
80 sind miteinander verschmolzen, beispielsweise unter
Zuhilfenahme von Glas und so zueinander positioniert,
daß sich die ferromagnetische dünnen Metallfilme beider
Substrate jeweils gegenüberliegen. Die ferromagnetischen
dünnen Metallfilme 75 liegen also jeweils paarweise in
einer Ebene.
Der aus den Substraten 70, 80 gebildete Block wird entlang
der Linien C-C und C′-C′ in Fig. 33 zur Erzeugung einer
Vielzahl bausteinförmiger magnetischer Wandlerköpfe in
Scheiben unterteilt. Die später in Kontakt mit einem
Magnetband stehende Oberfläche dieser Wandlerköpfe wird
dann zylindrisch geschliffen, um einen Wandlerkopf zu
erhalten, wie er in der Fig. 34 dargestellt ist.
Der magnetische Wandlerkopf nach Fig. 34 besitzt ein Kernelement
81, das mit dem Substrat 70 aus ferromagnetischem
Oxid gemäß Fig. 33 übereinstimmt. Das Kernelement 82
besteht dagegen im wesentlichen aus dem Substrat 80. Der
dünne ferromagnetische Metallfilm 84 des Wandlerkopfes
nach Fig. 34 stimmt mit dem ferromagnetischen dünnen Metallfilm
75 überein, wohingegen die nichtmagnetischen
Filme 83, 85 den nichtmagnetischen Filmen 74, 76 entsprechen.
Das Glasfüllmaterial 86 nach Fig. 34 entspricht
dem Glasfüllmaterial 77 in Fig. 33.
Bei dem magnetischen Wandlerkopf nach Fig. 34 ist der ferromagnetische
dünne Metallfilm 84 an beiden Seiten des Schiebers
mit einem nichtmagnetischen Film 83, 85 mit großer
Härte bedeckt und durch diesen gegen Brüche, Deformationen
und gegen Veränderungen im Grenzbereich der ferromagnetischen
Oxide geschützt, ähnlich wie bei den vorher beschriebenen
Ausführungsbeispielen, so daß der magnetische
Wandlerkopf nach Fig. 34 gleich gute Eigenschaften wie
diejenigen magnetischen Wandlerköpfe besitzt, die anhand
der Fig. 1 und 15 beschrieben worden sind. Der ferromagnetische
dünne Metallfilm 84 ist gegenüber der Spaltbildungsfläche
zur Erzeugung des magnetischen Spaltes g
um einen vorbestimmten Winkel geneigt und verläuft linear
und gleichmäßig entlang ein und derselben Oberfläche,
so daß eine hohe und gleichförmige magnetische Permeabilität
entlang des Weges des magnetischen Flusses und
dadurch ein gleich gutes Ausgangsverhalten des magnetischen
Wandlerkopfes erhalten wird, wie bei den zuvor beschriebenen
Ausführungsbeispielen.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich ebenfalls auf magnetische
Wandlerköpfe, bei denen der mit dem Magnetband in
Berührung stehende Bereich durch nichtmagnetische Elemente
mit großer Härte beispielsweise durch keramische
Elemente, geschützt ist. Derartige magnetische Wandlerköpfe
sind in den Fig. 35 bis 37 dargestellt.
Der magnetische Wandlerkopf nach Fig. 35 entspricht im
wesentlichen demjenigen nach Fig. 1, so daß gleiche Elemente
mit gleichen Bezugszeichen versehen sind. Der Wandlerkopf
nach Fig. 35 besitzt zusätzliche Schutzelemente
91, 92, die aus nichtmagnetischem, verschleißfestem Material
bestehen, z. B. aus Kalziumtitanat (Ti-Ca-Keramik),
aus oxidischen Glaselementen, aus TiO₂ oder aus Al₂O₃.
Die Schutzelemente 91, 92 sind dabei im gesamten Bereich
des magnetischen Wandlerkopfes angeordnet, der mit dem
Magnetband in Kontakt kommt. Sie sind mit dem jeweils
darunter liegenden Substrat 10, 11 aus ferromagnetischem
Oxid, beispielsweise ein Mn-Zn-Ferrit, mit Hilfe einer
unter hohem Druck geschmolzenen Glasplatte zwischen den
jeweiligen Elementen verbunden. Die geschmolzene Glasplatte
besitzt etwa eine Dicke von einigen Zehnteln µm.
Die Substrate, aus denen die Kernelemente 10, 11 erhalten
werden, sind entsprechend den Fig. 7 bis 14 hergestellt.
Da die Ferrite allerdings nicht bis zu derjenigen Fläche
reichen, die später mit dem Magnetband in Kontakt steht,
ist der Schritt gemäß Fig. 12 zur Bildung zweiter Furchen
26 ausgelassen worden.
Der magnetische Wandlerkopf nach Fig. 36 entspricht demjenigen,
der bereits anhand der Fig. 15 erläutert worden
ist. Auch hier sind einander entsprechende Elemente mit
gleichen Bezugszeichen versehen. Der magnetische Wandlerkopf
nach Fig. 36 besitzt Schutzelemente 93, 94 mit hoher
Verschleißfestigkeit, die aus nichtmagnetischem Material
bestehen. Sie sind in der Umgebung derjenigen Oberfläche
des Wandlerkopfes angeordnet, die später mit einem Magnetband
in Kontakt steht. Die Herstellung dieses Wandlerkopfes
erfolgt im wesentlichen entsprechend der Fig. 16
bis 24. Allerdings ist im vorliegenden Fall der Schritt
gemäß Fig. 16 zur Erzeugung der Furchen 51 und das Ausfüllen
der Furchen mit geschmolzenem Glas 52, wie in Fig.
17 gezeigt, ausgelassen worden.
Der in Fig. 37 dargestellte magnetische Wandlerkopf entspricht
demjenigen nach Fig. 34, so daß gleiche Elemente
wiederum mit gleichen Bezugszeichen versehen worden sind.
Der genannte Wandlerkopf nach Fig. 37 weist Schutzelemente
95, 96 mit hoher Verschleißfestigkeit auf, die ebenfalls
aus nichtmagnetischem Material bestehen und in der Nähe
der Kontaktoberfläche des Wandlerkopfes angeordnet sind,
die später mit dem Magnetband in Berührung steht. Dieser
Wandlerkopf wird im wesentlichen entsprechend der in den
Fig. 25 bis 33 dargestellten Schritte hergestellt. Allerdings
sind der Schritt zur Ausbildung der Furchen 71 gemäß
Fig. 25 und das Ausfüllen dieser Furchen mit geschmolzenem
Glas 72 gemäß Fig. Fig. 26 ausgelassen.
Bei den magnetischen Wandlerköpfen nach den Fig. 35 bis
37 werden die verschleißfesten und nichtmagnetischen Elemente
mit dem Block aus ferromagnetischem Oxid zumindest
verbunden und anschließend zur Ausbildung derjenigen
Fläche, die später mit dem Magnetband in Berührung steht,
abgeschnitten. In diesem Fall wird eine mit dem Magnetband
in Berührung stehende Kontaktfläche erhalten, die
mit Ausnahme des ferromagnetischen dünnen Metallfilms
vollständig aus nichtmagnetischem Material mit hoher
Verschleißfestigkeit besteht. Wie bereits erwähnt, trifft
dies auch für nichtmagnetische Filme zu, die eine große
Härte besitzen. An der mit dem Magnetband in Kontakt
stehenden Oberfläche erscheinen also keine Teile des
ferromagnetischen Oxidmaterials der Kernelemente mehr.
Die Spurbreite wird darüber hinaus nur noch durch die
Größe der geneigten Bereiche der ferromagnetischen dünnen
Metallfilme bestimmt. Diese ferromagnetischen dünnen Metallfilme
sind ferner durch die nichtmagnetischen Filme,
die eine große Härte aufweisen, insbesondere vor mechanischen
Einflüssen geschützt, die im Verlauf von Abkühlvorgängen
auftreten. Mechanische Spannungen oder Deformationen
in den Substraten können daher nicht mehr zu
Rißbildungen bzw. Verformungen innerhalb der ferromagnetischen
dünnen Metallfilme führen. Der Wandlerkopf kann
daher mit relativ großer Ausbeute hergestellt werden und
besitzt ein hohes und stabiles Ausgangsverhalten.
In Video-Magnetbandgeräten werden üblicherweise Einkristallferrite
zur Ausbildung der mit dem Magnetband in
Kontakt stehenden Oberfläche verwendet, da die Relativgeschwindigkeit
zwischen dem Magnetkopf und dem Magnetband
sehr hoch ist. Hierdurch erhöhen sich die Materialkosten
für einen derartigen Wandlerkopf erheblich. Bei
den zuletzt genannten Ausführungsbeispielen stehen die
Ferrit- bzw. Kernelemente nicht mit dem Magnetband in
Kontakt, so daß sie aus einem hochpermeablen polykristallinen
Ferrit (z. B. einem gesinterten polykristallinen
Ferrit) bestehen können, wodurch sich die Materialkosten
für die genannten Wandlerköpfe erheblich verringern.
Wie bereits eingangs erläutert, wird durch den nichtmagnetischen
Film mit großer Härte zwischen dem ferromagnetischen
dünnen Metallfilm und dem ferromagnetischen Oxid verhindert,
daß Sauerstoffatome aus dem ferromagnetischen Oxid
bei erhöhter Temperatur, beispielsweise während des Aufbringens
des ferromagnetischen dünnen Metallfilms, herausdiffundieren
können. Eine Verminderung der magnetischen
Eigenschaften in der genannten Ferritgrenzfläche aufgrund
eines verminderten Sauerstoffgehaltes braucht daher nicht
befürchtet zu werden. Die weichmagnetischen Eigenschaften
des ferromagnetischen Oxids verschlechtern sich also nicht,
so daß keine Verminderung der Aufzeichnungs- bzw. Wiedergabequalität
des magnetischen Wandlerkopfes eintritt.
Durch den genannten nichtmagnetischen Film auf dem ferromagnetischen
Oxid wird außerdem erreicht, daß beim Aufbringen
des ferromagnetischen dünnen Metallfilms keine Beschränkungen
hinsichtlich der Sputtergeschwindigkeit oder
Temperatur eingehalten zu werden brauchen, was den Herstellungsprozeß
derartiger Wandlerköpfe erleichtert.
Der nichtmagnetische Film mit großer Härte zwischen dem
Glasfüllmaterial und dem ferromagnetischen dünnen Metallfilm
verbessert darüber hinaus die Fließfähigkeit des
Glases, schützt das oxidische Glas und verhindert eine
Erosion oder Deformation des ferromagnetischen dünnen Metallfilmes
durch das Glas.
Die genannten nichtmagnetischen Filme mit großer Härte
dienen weiterhin dazu, eine sichere Verbindung des ferromagnetischen
dünnen Metallfilms mit der darunterliegenden
Schicht herzustellen und darüber hinaus lokale Spannungen
abzubauen, die beispielsweise aufgrund unterschiedlicher
Temperaturausdehnungskoeffizienten der einzelnen Materialien
entstehen, wenn diese nach Beendigung z. B. des Sputterprozesses
wieder abgekühlt werden. Rißbildungen oder
Brüche innerhalb des ferromagnetischen dünnen Metallfilms
werden dadurch wirkungsfoll verhindert.
Der ferromagnetische dünne Metallfilm wird somit durch
die nichtmagnetischen Filme gesichert bzw. stabilisiert,
besitzt demzufolge verbesserte bzw. gleichmäßig gute
magnetische Eigenschaften und eignet sich zur Festlegung
einer genauen Spurbreite, so daß ein mit ihm aufgebauter
magnetischer Wandlerkopf eine hohe Betriebszuverlässigkeit
besitzt und zur Abtastung eines Aufzeichnungsmediums
mit hoher magnetischer Koerzitivkraft geeignet ist.
Claims (26)
1. Magnetischer Wandlerkopf, mit einem ersten (10) und einem zweiten
(11) magnetischen Kernelement, das jeweils einen magnetischen Ferritblock
und einen mit dem Ferritblock integral verbundenen magnetischen
Metalldünnfilm (13) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß
- - jedes der genannten Kernelemente (10, 11) eine erste ebene Fläche (20a, 30a) und eine zweite ebene Fläche (10a, 11a) aufweist,
- - beide Kernelemente (10, 11) eine gemeinsame und mit einem sich bewegenden Aufzeichnungsmedium in Kontakt bringbare Kontaktfläche (11c) bilden,
- - jedes der Kernelemente (10, 11) eine dritte Fläche (11b) besitzt, die benachbart zur ersten Fläche (20a, 30a) und zur Kontaktfläche (11c) liegt,
- - der magnetische Metalldünnfilm (13) auf der zweiten ebenen Fläche (10a, 11a) angeordnet ist und mit einer Kante an der ersten ebenen Fläche (20a, 30a) liegt, relativ zu der die zweite ebene Fläche (10a, 11a) geneigt ist,
- - an mindestens einer Seite des magnetischen Metalldünnfilms (13) eine nichtmagnetische Schicht anliegt, und daß
- - die ersten und zweiten Kernelemente (10, 11) so miteinander verbunden sind, daß ein magnetischer Arbeitsspalt (g) zwischen der Kante des magnetischen Metalldünnfilms (13) auf dem ersten Kernelement (10) und der Kante des magnetischen Metalldünnfilms (13) auf dem zweiten Kernelement (11) gebildet ist und beide magnetischen Metalldünnfilme (13) in einer gemeinsamen Ebene liegen.
2. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die nichtmagnetische Schicht ein nichtmagnetischer Film
(12) mit großer Härte ist, der zwischen dem Ferritblock und dem magnetischen
Metalldünnfilm (13) angeordnet ist.
3. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 1 und Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß
- - der Arbeitsspalt (g) im wesentlichen senkrecht zur Kontaktfläche in Tiefenrichtung ins Innere des Wandlerkopfes verläuft,
- - der magnetische Metalldünnfilm (13) so ausgebildet ist, daß eine seiner Kanten an der ersten Fläche (20a, 30a) des magnetischen Kernelements (10, 11) liegt und sich parallel zur Tiefenrichtung erstreckt, während eine andere Kante des magnetischen Metalldünnfilms (13) an der Kontaktoberfläche (11c) erscheint und sich entlang einer Linie erstreckt, die nicht unter rechtem Winkel zur Längsrichtung des magnetischen Arbeitsspaltes (g) bei Draufsicht auf die Kontaktfläche (11c) verläuft, und daß
- - die Kernelemente (10, 11) so miteinander verbunden sind, daß der magnetische Arbeitsspalt (g) zwischen den genannten Kanten der magnetischen Metalldünnfilme (13) liegt, die jeweils an der ersten Fläche (20a, 30a) des Kernelementes (10, 11) erscheinen, während die anderen genannten Kanten auf einer gemeinsamen geraden Linie liegen.
4. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß
- - die zweite ebene Fläche (10a, 11a) sich von der ersten ebenen Fläche (20a, 30a) zu einer Seite der dritten Fläche (11b) erstreckt,
- - der magnetische Metalldünnfilm (13) auf der zweiten ebenen Fläche (10a, 11a) angeordnet ist und sich von der ersten ebenen Fläche (20a, 30a) zu der Seite der dritten ebenen Fläche (11b) entlang einer Linie erstreckt, die nicht senkrecht zur Spaltlängsrichtung bei Draufsicht auf die Kontaktfläche (11c) verläuft, und daß
- - die Kernelemente (10, 11) so miteinander verbunden sind, daß der magnetische Arbeitsspalt (g) zwischen denjenigen Kanten des magnetischen Metalldünnfilms (13) liegt, die jeweils an der ersten Fläche (20a, 30a) des Kernelementes (10, 11) erscheinen, während die Kanten des magnetischen Metalldünnfilms (13) in der Kontaktfläche (11c) bei Draufsicht auf die Kontaktfläche (11c) entlang einer gemeinsamen geraden Linie verlaufen.
5. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß eine der nichtmagnetischen Schichten ein nichtmagnetischer
Film (12) ist, der sich zwischen der ersten ebenen Fläche (20a, 30a),
der Kontaktfläche (11c) und der dritten Fläche (11b) erstreckt, eine große
Härte aufweist und jeweils zwischen dem magnetischen Ferritblock und
dem magnetischen Metalldünnfilm (13) angeordnet ist.
6. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet,
daß
- - ein nichtmagnetischer Materialteil (16) zwischen der ersten ebenen Fläche (20a, 30a), der Kontaktfläche (11c) und der genannten dritten Fläche (11b) liegt, und daß
- - eine der nichtmagnetischen Schichten ein nichtmagnetischer Film (15) mit großer Härte ist, der zwischen dem magnetischen Metalldünnfilm (13) und dem nichtmagnetischen Materialteil (16) angeordnet ist.
7. Magnetischer Wandlerkopf nach einem der Ansprüche 1 bis
6, dadurch gekennzeichnet, daß
der magnetische Arbeitsspalt (g) im Zentralbereich der
Kontaktfläche liegt.
8. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß der Winkel zwischen der ersten
ebenen Fläche (20a, 30a) und der zweiten Fläche (10a,
11a bzw. 21a) bei Draufsicht auf die Kontaktfläche
zwischen 20° und 80° liegt.
9. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
daß in wenigstens einem der Kernelemente (10,
11) eine Öffnung zur Aufnahme einer Spule vorhanden ist,
die Öffnung sich bis an die Seite der ersten ebenen
Fläche (20a, 30a) erstreckt und den magnetischen Arbeitsspalt
(g) in einen vorderen und einen hinteren
Spaltbereich unterteilt, und daß eine Spule durch die
Öffnung hindurchgewickelt ist.
10. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 9, dadurch
gekennzeichnet, daß sich der magnetische
Metalldünnfilm (13) bis in den hinteren Spaltbereich
hinein erstreckt.
11. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 9 oder 10, dadurch
gekennzeichnet, daß der hintere
Spaltbereich zwischen den Ferritblöcken der genannten
Kernelemente (10, 11) liegt.
12. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet,
daß der magnetische Metalldünnfilm (13) im wesentlichen
eine gleichmäßige säulenförmige Struktur über
seinen gesamten Flächenbereich besitzt.
13. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet,
daß der magnetische Metalldünnfilm (13) aus
einer kristallinen Legierung besteht.
14. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet,
daß der magnetische Metalldünnfilm
(13) aus einer Fe-Al-Si-Legierung besteht.
15. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet,
daß der magnetische Metalldünnfilm
(13) im wesentlichen eine gleichförmige magnetische
Anisotropie über seinen gesamten Flächenbereich aufweist.
16. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet,
daß der magnetische Metalldünnfilm
(13) aus einer amorphen Legierung besteht.
17. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet,
daß der magnetische Metalldünnfilm
(13) aus einer amorphen Metall-Metalloid-Legierung besteht.
18. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet,
daß der magnetische Metalldünnfilm
(13) aus einer amorphen Metall-Metall-Legierung besteht.
19. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 2 und 5 bis 18, dadurch gekennzeichnet,
daß der nichtmagnetische
bzw. erste nichtmagnetische Film (12) mit großer Härte
eine Dicke zwischen 5 und 200 Nanometern besitzt.
20. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet,
daß die nichtmagnetischen Filme
(12, 15) mit großer Härte aus nichtmagnetischem Oxidmaterial,
aus nichtmagnetischem Metall oder aus entsprechenden
nichtmagnetischen Legierungen bestehen.
21. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 6 oder 20, dadurch
gekennzeichnet, daß der nichtmagnetische
dünne Film (15) auch aus einem Metall mit
hohem Schmelzpunkt oder einem entsprechenden Oxid dieses
Metalls bestehen kann.
22. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 20, dadurch
gekennzeichnet, daß das
nichtmagnetische Oxidmaterial Glas mit hohem Schmelzpunkt
oder SiO₂, TiO₂, Ta₂O₅, Al₂O₃ bzw. Cr₂O₃ ist.
23. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 20, dadurch
gekennzeichnet, daß das
nichtmagnetische Metall Cr, Ti oder Si ist und eine
entsprechende Legierung aus einem oder mehreren dieser
Elemente besteht.
24. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 21, dadurch
gekennzeichnet, daß das
Metall mit hohem Schmelzpunkt W, Mo oder Ta ist und
ein entsprechendes Oxid wenigstens eines dieser Elemente
enthält.
25. Magnetischer Wandlerkopf nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß der
zweite nichtmagnetische Film (15) zwischen dem magnetischen
Metalldünnfilm (13) und dem nichtmagnetischen
Materialteil (16) nach einem oder mehreren der Ansprüche
20 bis 24 ausgebildet ist.
26. Magnetischer Wandlerkopf nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet,
daß jedes Kernelement (10, 11) Ausnehmungen
enthält, die zwischen der ersten ebenen
Fläche (20a, 30a), der Kontaktfläche und derjenigen
Fläche liegen, die der dritten Fläche gegenüberliegt.
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