AT394117B

AT394117B - Magnetwandlerkopf

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Publication number: AT394117B
Application number: AT0091685A
Authority: AT
Original assignee: Sony Corp
Priority date: 1984-03-29
Filing date: 1985-03-27
Publication date: 1992-02-10
Also published as: NL8500887A; FR2562304B1; DE3511361C2; IT8547878A0; GB8507362D0; NL192638C; NL192638B; US4819113A; ATA91685A; IT1214654B; GB2158282B; DE3511361A1; GB2158282A; FR2562304A1

Description

AT394117B

Die Eifindung betrifft einen Magnetwandlerkopf mit einem ersten magnetischen Kemelement und einem zweiten magnetischen Kemelement, wobei das erste und zweite Kemelement einen magnetischen Ferritblock enthalten, wobei ein magnetischer Metall-Dünnfilm mit dem magnetischen Fenitblock integriert ist, und ein nichtmagnetischer Film großer Härte zwischen dem Ferritblock und dem magnetischen Metall-Dünnfilm liegt, wobei das erste und zweite Kemelement eine erste planare Fläche und eine zweite planare Fläche besitzen, und wobei der magnetische Metall-Dünnfilm auf der zweiten planaren Fläche vorgesehen ist und eine Kante davon der ersten planaren Fläche gegenüber liegt, und die zweite planare Fläche zur ersten planaren Fläche geneigt ist.

In letzter Zeit besteht vermehrt die Tendenz, die Signalaufzeichnungsdichte auf dem Magnetband zu erhöhen, das bei Videobandgeräten verwendet wird. Es stehen vermehrt sogenannte Metall-Magnetbänder, bei denen ein ferromagnetisches Metallpulver, z. B. Fe, Co oder Ni, als Magnetpulver für den Aufzeichnungsträger verwendet wird, oder sogenannte metallisierte Bänder in Verwendung, bei denen der ferromagnetische Metallwerkstoff im Vakuum auf dem Basisfilm abgelagert wird. Das magnetische Material des Magnetwandlerkopfs, der für die Signalaufzeichnung und Wiedergabe verwendet wird, muß eine hohe Sättigungsmagnetflußdichte (Bs) besitzen, um mit der hohen Koerzitivkraft (Hc) der oben erwähnten Aufzeichnungsträger fertig zu werden. Bei dem Ferritwerkstoff, der vorwiegend als Kopfmaterial Verwendung findet, ist die Sättigungsmagnetflußdichte (Bs) ziemlich niedrig, während bei Permalloy ein Problem auftritt, da es eine geringe Verschleißfestigkeit besitzt

Bei der oben erwähnten Tendenz, die Signalaufzeichnungsdichte zu erhöhen, wird eher bevorzugt eine enge Spurbreite des Magnetaufzeichnungsträgers zu verwenden, wodurch der Magnetwandlerkopf eine entsprechend enge Aufzeichnungsspurbreite besitzen muß.

Um diese Anforderungen zu erfüllen, ist ein zusammengesetzter Magnetwandlerkopf im Stand der Technik bekannt, bei dem der ferromagnetische Metall-Dünnfilm, der über eine hohe Sättigungsflußdichte verfügt, auf eine nichtmagnetische Trägerschicht, z. B. aus Keramik, aufgebracht wird, um als Ausfzeichnungsspurteil des Magnetbands verwendet zu werden. Der Magnetwandlerkopf zeigt jedoch einen hohen magnetischen Widerstand, da der Pfad des Magnetflusses nur vom ferromagnetischen Metallfilm von einer verminderten Filmdicke gebildet wird, so daß der Wirkungsgrad entsprechend verkleinert ist Zusätzlich ist ein sehr zeitraubender Vorgang bei der Herstellung des Magnetwandlerkopfs notwendig, da die physikalische Aufdampfung mit einer äußerst langsamen Geschwindigkeit für die Filmausbildung erfolgt um die ferromagnetischen Metall-Dünnfilme auszubilden.

Ein zusammengesetzter Magnetwandlerkopf ist auch im Stand der Technik bekannt, bei dem die magnetischen Kemelemente aus ferromagnetischen Oxyden, beispielsweise Ferrit, hergestellt werden, wobei die ferromagnetischen Metall-Dünnfilme auf die den Magnetspalt bildende Fläche dieser Kemelemente aufgebracht werden.

Der Pfad des Magnetflusses und der Metall-Dünnfilm sind jedoch rechtwinkelig zueinander angeordnet wodurch der Wiedergabeausgang infolge des resultierenden Wirbelstromverlusts herabgesetzt werden kann. Weiters wird zwischen dem Ferrit-Magnetkern und dem Metall-Dünnfilm ein Pseudospalt gebildet, wodurch die Betriebssicherheit beeinträchtigt wird.

Aufgabe der Erfindung ist es, den oben beschriebenen Mangel des Stands der Technik zu überwinden und einen zusammengesetzten Magnetwandlerkopf zu liefern, der aus dem ferromagnetischen Oxyd und den ferromagnetischen Metall-Dünnfilmen besteht, wobei er hinsichtlich der Fließfähigkeit des geschmolzenen Glases, den Klebeeigenschaften und dem Nachlassen der inneren Spannung verbessert sowie frei von Beeinträchtigungen im ferromagnetischen Metall-Dünnfilm oder den ferromagnetischen Oxyden, von Rissen, Bruchstellen, Abnützungen oder Blasen in den Glasfüllungen ist.

Diese Aufgabe wird bei einem Magnetwandlerkopf der eingangs angeführten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das erste und zweite Kemelement miteinander so verbunden sind, daß zwischen der Kante des magnetischen Metall-Dünnfilms auf dem ersten Kemelement und der Kante des magnetischen Metall-Dünnfilms auf dem zweiten Kemelement ein Betriebsmagnetspalt gebildet wird, und daß der magnetische Metall-Dünnfilm auf dem ersten Kemelement und der magnetische Metall-Dünnfilm auf dem zweiten Kemelement in einer gemeinsamen Ebene liegen und vom ersten und zweiten Kemelement eine gemeinsame Berührungsfläche gebildet wird, die einem vorbeilaufenden Magnetaufzeichungsträger gegenüber liegt, daß eine Kante des magnetischen Metall-Dunnfilms, auf der ersten Räche des Magnetkemelements sich parallel zu einer Richtung der Tiefe des Magnetspalts erstreckt und eine andere Kante sich auf der Berührungsfläche längs einer Geraden erstreckt, die einen Winkel mit dem Betriebsmagnetspalt einschließt, der nicht gleich einem rechten Winkel ist, wenn man auf die Berührungsfläche blickt wobei die Kemelemente miteinander so verbunden werden, daß der Betriebsmagnetspalt zwischen den Kanten gebildet wird, die auf der ersten Fläche eines jeden Magnetkemelements auftreten, und die anderen Kanten in einer gemeinsamen Geraden ausgerichtet sind, daß die Magnetkemelemente eine dritte Räche besitzen, die sich neben der ersten planaren Fläche und der Berührungsfläche erstreckt, daß sich die zweite planare Fläche auf dem magnetischen Ferritblock des Kemelements von der ersten planaren Räche zu einer Seite der dritten Fläche erstreckt, daß der magnetische Metall-Dünnfilm auf der zweiten planaren Räche zu einer Seite der dritten Fläche ausgebildet ist, daß der magnetische Metall-Dünnfilm auf der zweiten planaren Fläche sich von der ersten planaren Räche zur Seite der dritten Räche längs einer Geraden erstreckt, die auf den Magnetspalt nicht senkrecht steht, wenn man auf die Berührungsfläche blickt, daß ein nichtmagnetischer Werkstoffteil sich zur ersten planaren Räche, zur Berührungsfläche und zur dritten Räche erstreckt, wobei das erste und zweite Kemelement so verbunden sind, und daß der Betriebsmagnetspalt zwischen Kanten des magnetischen Metall- -2-

AT394117B Dünnfilms ausgebildet wird, die auf der ersten planaren Fläche eines jeden Kemelements auftreten, und die Gerade des ersten Kemelements und des zweiten Kemelements auf einer gemeinsamen Geraden verlaufen, wenn man auf die Berührungsfläche blickt.

Die Erfindung wird nun anhand der beiliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen zeigt:

In Fig. 1 den Schrägriß einer Ausführungsform des Magnetwandlerkopfs gemäß dieser Erfindung;

Fig. 2 den Grundriß der Berührungsfläche des Magnetwandleikopfs mit dem Magnetband;

Fig. 3 den Schrägriß des Magnetwandlerkopfs von Fig. 1, wobei da* Kopf entlang der Magnetspaltfläche im Explosionsriß dargestellt ist;

Fig. 4 den Grundriß der Berührungsfläche mit dem Magnetband, wobei besonders der Aufbau des nichtmagnetischen Films mit großer Härte dargestellt ist;

Fig. 5 den Schrägriß eines bevorzugten Aufbaus des Magnetwandlerkopfs, bei dem die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte nur auf der Zwischenfläche zwischen dem ferromagnetischen Oxyd und den ferromagnetischen Metall-Dünnfilmen ausgebildet sind, und Fig. 6 den Schrägriß eines bevorzugten Aufbaus des Magnetwandlerkopfs, bei dem die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte nur auf der Zwischenfläche zwischen den ferromagnetischen Metall-Dünnfilmen und dem Oxydglas ausgebildet sind;

Fig. 7 bis 14 vereinfachte Schrägrisse, in denen das Herstellungsverfahren des Magnetwandlerkopfs von Fig. 1 dargestellt ist, wobei in Fig. 7 der Schritt dargestellt ist, in dem eine erste Reihe von Rillen ausgebildet wird, in Fig. 8 der Schritt dargestellt ist, in dem der nichtmagnetische Film mit großer Härte ausgebildet wird; in Fig. 9 der Schritt dargestellt ist, in dem der ferromagnetische Metall-Dünnfilm ausgebildet wird, in Fig. 10 der Schritt dargestellt ist, in dem der nichtmagnetische Film mit großer Härte ausgebildet wird, in Fig. 11 der Schritt dargestellt ist, in dem die geschmolzene Glasfüllung eingefüllt und die Fläche geschliffen wird, in Fig. 12 der Schritt dargestellt ist, in dem eine zweite Reihe von Rillen ausgebildet wird, in Fig. 13 der Schritt dargestellt ist, in dem der Wicklungsschlitz ausgebildet wird, und in Fig. 14 der Schritt dargestellt ist, in dem das Verschmelzen oder das Verkleben mit Glas erfolgt;

Fig. 15 den Schrägriß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 16 bis 24 Schrägrisse, in denen die aufeinanderfolgenden Fertigungsschritte dargestellt sind, wobei in Fig. 16 der Schritt dargestellt ist, in dem eine Reihe von Mehrfachfacetten-Rillen ausgebildet wird, in Fig. 17 der Schritt dargestellt ist, in dem Oxydglas eingefüllt wird, in Fig. 18 der Schritt dargestellt ist, in dem eine zweite Reihe von Mehrfachfacetten-Rillen ausgebildet wird, in Fig. 19 der Schritt dargestellt ist, in dem ein nichtmagnetischer Film mit großer Härte ausgebildet wird, in Fig. 20 der Schritt dargestellt ist, in dem ein ferromagnetischer Metall-Dünnfilm ausgebildet wird, in Fig. 21 der Schritt dargestellt ist, in dem der nichtmagnetische Film mit großer Härte ausgebildet wird, in Fig. 22 der Schritt dargestellt ist, in dem geschmolzenes Oxydglas eingefüllt und die Fläche geschliffen wird, in Fig. 23 der Schritt dargestellt ist, in dem der Wicklungsschlitz ausgebildet wird, und in Fig. 24 der Schritt dargestellt ist, in dem ein Verschmelzen oder Verkleben mit Glas erfolgt; Fig. 25 bis 33 Schrägrisse, in denen die Fertigungsschritte für eine dritte Ausführungsform dieser Erfindung dargestellt sind, wobei in Fig. 25 der Schritt dargestellt ist, in dem eine erste Reihe von Rillen ausgebildet wird, in Fig. 26 der Schritt dargestellt ist, in dem Glas mit hohem Schmelzpunkt eingefüllt wird, in Fig. 27 der Schritt dargestellt ist, in dem eine zweite Reihe von Rillen ausgebildet wird, in Fig. 28 der Schritt dargestellt ist, in dem ein nichtmagnetischer Film mit großer Härte ausgebildet wird, in Fig. 29 der Schritt dargestellt ist, in dem der ferromagnetische Metall-Dünnfilm ausgebildet wird, in Fig. 30 der Schritt dargestellt ist, in dem ein nichtmagnetischer Film mit großer Härte ausgebildet wird, in Fig. 31 der Schritt dargestellt ist, in dem eine geschmolzene Oxydglasfüllung eingefüllt und die Fläche geschliffen wird, in Fig. 32 der Schritt dargestellt ist, in dem der Wicklungsschlitz ausgebildet wird, und in Fig. 33 der Schritt dargestellt ist, in dem eine Verschmelzung oder Verklebung mit Glas erfolgt;

Fig. 34 den Schrägriß des Magnetwandlerkopfs, der mit den Fertigungsschritten von Fig. 25 bis 33 hergestellt wurde;

Fig. 35 bis 37 Schrägrisse von drei weiteren Ausführungsformen der Erfindung; und

Fig. 38 einen Schrägriß, in dem der Aufbau des herkömmlichen Magnetwandlerkopfs dargestellt ist.

Nunmehr weiden die bevorzugten Ausführungsformen beschrieben.

Um die Nachteile zu überwinden, die im Stand der Technik bestehen, schlagen wir einen neuen zusammengesetzten Magnetwandlerkopf vor, der für eine hochdichte Aufzeichnung auf Magnetbändern mit hoher Koerzitiv-kraft geeignet ist, beispielsweise Metallmagnetbändem, die in unserer US-A-4755899 geoffenbart sind. Der Magnetwandlerkopf ist aus zwei Magnetkemelementen (101,102) aus ferromagnetischen Oxyden zusammengesetzt, z. B. Mn-Zn Ferrit, wie dies Fig. 38 zeigt Die aufeinanderliegenden Seiten dieser Kemelemente sind schräg geschnitten, um die Fläche (103,104) zu bilden, auf denen die ferromagnetischen Metall-Dünnfilme (105,106), z. B. eine Fe-Al-Si Legierung (sogenanntes Sendust), in einem physikalischen Aufdampfverfahren abgelagert werden. Der Magnetspalt (107) wird durch das Aufeinanderlegen der ferromagnetischen Metall-Dünnfilme (105, 106) gebildet, wobei Glasfüllungen (108, 109) mit niedrigem Schmelzpunkt oder Glasfüllungen (110, 111) mit hohem Schmelzpunkt in geschmolzenem Zustand eingefüllt werden, um die Berührungsfläche mit dem Band zu bilden und einen Verschleiß der ferromagnetischen Metall-Dünnfilme (105, 106) zu verhindern. Der Magnetwandlerkopf zeigt hinsichtlich der Betriebssicherheit, den Magneteigenschaften und der Verschleißfestigkeit hervorragende Eigenschaften. -3-

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Diese zusammengesetzten Magnetwandlerköpfe leiden jedoch unter Schwierigkeiten, besonders was das Verhalten der Grenzschichten zwischen den unterschiedlichen Werkstoffarten betrifft, beispielsweise der Grenzschichten zwischen ferromagnetischem Oxyd - ferromagnetischem Metall-Dünnfilm - Oxydglas.

Wenn beispielsweise der ferromagnetische Metall-Dünnfilm auf das ferromagnetische Oxyd (Ferrit) gesprüht wird, wird die Ferrit-Zwischenfläche, die mit dem Metall in Berührung steht, einer erhöhten Temperatur im Bereich von 300° bis 700 °C unterworfen. Dies führt dazu, daß auf der Zwischenfläche des ferromagnetischen Metall-Dünnfilms - ferromagnetischen Oxyds eine Reaktion stattfindet, wobei im Temperaturbereich von 300° bis 500 °C Sauerstoffatome im Ferrit damit beginnen, in einen Gleichgewichtszustand zu diffundieren, um mit Al, Si und Fe in Verbindung zu treten. Dies führt dazu, daß die Ferritfläche etwas desoxydiert und der Gehalt an Sauerstoffatomen herabgesetzt wird, so daß die Grenzschicht auf der Zwischenfläche zwischen dem Ferrit und dem ferromagnetischen Metall-Dünnfilm in ihren Mapeteigenschaften beeinträchtigt wird. Wenn die Grenzschicht mit den verschlechterten Mapeteigenschaften auf diese Weise erzeugt wird, werden die schwachen Mapeteigenschaften des Ferrits durch ein Anwachsen des Mapetwiderstandes in der Schicht herabgesetzt, so daß die Aufzeichnungseigenschaften und der Wiedergabeausgang des Mapetwandlerkopfs vermindert werden. Zusätzlich wird der Mapetwandlerkopf von ferromapetischen Metall-Dünnfilmen und ferromapetischen Oxyden gebildet, die unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzen. Beispielsweise liegt der Wärmeausdehnungskoeffizient einer Fe-Al-Si Legierung bei 130 bis 160 x 10'^/ °C, während jener des Ferrits bei 90 bis 110 x lO'fy’C liegt. Dadurch werden im Material nach dem Aufsprühverfahren, beispielsweise beim Zusammenschmelzen, zwangsläufig Spannungen induziert, was zu einer Vernichtung oder zu einem Riß der ferromapetischen Metall-Dünnfilme oder zu einer Beeinträchtigung der mechanischen Eigenschaften führen kann.

Wenn weiters das Glas direkt im geschmolzenen Zustand nach der Ablagerung der Fe-Al-Si Legierung eingefüllt wird, kann der ferromapetische Metallwerkstoff bei verschiedenen geschmolzenen Glasarten erodiert werden. Die Reaktion zwischen dem Metall und dem Glas kann zu einer Verformung der Kanten oder der Fläche der ferromapetischen Metall-Dünnfilme führen, wodurch die Werkstoffeigenschaften oder die Maßhaltigkeit beeinflußt werden. Bei verschiedenen Werkstoffarten, die direkt mit dem geschmolzenen Glas in Berührung kommen, treten Probleme auf, die sich durch eine verminderte Fließfähigkeit oder durch Blasen im geschmolzenen Glas zeigen.

Der Mapetwandlerkopf gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung wird nun zuerst erläutert, wobei ein ferromapetischer Metall-Dünnfilm fortlaufend auf der Stirnfläche oder der Berührungsfläche des Kopfs mit dem Mapetband zur Hinterseite oder der den Rückspalt bildenden Fläche des Mapetwandlerkopfs ausgebildet wird.

Fig. 1 zeigt den Schrägriß eines Beispiels des zusammengesetzten Mapetwandlerkopfs, der diese Erfindung verkörpert. Fig. 2 zeigt den Grundriß der Berührungsfläche des Kopfs mit dem Mapetband und Fig. 3 den Schrägriß des Mapetwandlerkopfs, der längs jener Fläche im Explosionsriß dargestellt ist, die den Spalt bildet

Dieser Kopf ist aus Kemelementen (10,11) zusammengesetzt die aus ferromapetischen Oxyden, z. B. Mn-Zn Ferrit hergestellt werden. Auf den Verbindungsflächen der Kemelemente (10,11) sind ferromapetische Metall-Dünnfilme (13) aus einem ferromapetischen Metall oder einer hochpermeablen Metallegierung, beispielsweise Fe-Al-Si Legierungen, ausgebildet wobei ein physikalisches Aufdampfverfahren, beispielsweise ein Aufsprühen auf nichtmapetische Filme mit poßer Härte (12) verwendet wird. Der Film (13) wird durchgehend von der den Vorderspalt bildenden Fläche zu der den Rückspalt bildenden Fläche ausgebildet Diese Kernelemente (10, 11) werden aufeinander gelegt wobei dazwischen ein Abstandsstück aus z. B. SiOj ausgebildet wird, so daß die aufeinanderliegenden Flächen der Dünnfilme (13) als Mapetspalt (g) mit einer Spurbreite (Tw) dienen. Wenn man den Kopf von der Berührungsfläche mit dem Mapetband her betrachtet sind die Dünnfilme (13) auf den Kernelementen (10,11) längs einer durchgehenden Geraden angeordnet, die unter einem Winkel (Θ) zu einer den Mapetspalt bildenden Fläche (14) oder zu den Verbindungs- oder Auflageflächen der Magnetkemelemente (10,11) geneigt ist.

Weiters sind auf den ferromagnetischen Metall-Dünnfilmen (13) nichtmapetische Filme mit poßer Härte (15) ausgebildet In der Nähe der Mapetspaltfläche oder an beiden Seiten eines Mapetspalts (g) auf der dem Mapetband gegenüberliegenden Kopffläche wird nichtmapetisches Oxydglas bei (16,17) eingefüllt um die Spurbreite festzulegen.

Der Winkel zwischen den Flächen (10a, 11a), die der ferromapetische Metall-Dünnfilm bildet, und der den Mapetspalt bildenden Fläche (14) liegt vorzugsweise im Bereich von 20° bis 80°. Ein Winkel (Θ) unter 20° wird nicht bevorzugt da das Übersprechen mit anpenzenden Spuren vergrößert wird. Am meisten wird ein Winkel poßer 30° bevorzugt. Ein Winkel (Θ) kleiner etwa 80° wird auch deshalb bevorzup, da die Verschleißfestigkeit bei einem Winkel von 90° vermindert wird. Ein Winkel (Θ) gleich 90° wird auch deshalb nicht bevorzugt da die Dicke des Dünnfilms (13) gleich der Spurbreite (Tw) sein muß, was zu einem uneinheitlichen Filmaufbau und zu einem zeitraubenden Vorgang bei der Dünnfilmherstellung im Vakuum oder unter vermindertem Druck führt -4-

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Der abgelagerte Metall-Dünnfilm (13) muß nur eine Filmdicke (t) besitzen, so daß t=Tw sin Θ wobei (Tw) eine Spurbreite und (Θ) der Winkel zwischen den Flächen (10a, 11a) und der den Magnetspalt bildenden Fläche (14) ist. Dies fuhrt dazu, daß der Film nicht in einer Dicke abgelagert werden muß, die gleich der Spurbreite ist, wodurch die für die Herstellung des Magnetwandleikopfs erforderliche Zeit beträchtlich verkürzt werden kann.

Die Metall-Dünnfilme (13) können aus ferromagnetischen Metallen ausgebildet werden, einschließlich Fe-Al-Si Legierungen, Fe-Al Legierungen, Fe-Si Legierungen, Fe-Si-Co Legierungen, Ni-Fe Legierungen (sogenanntem Permalloy), ferromagnetischen amorphen Metallegierungen, beispielsweise amorphen Metall/-Nichtmetall-Legierungen, z. B. einer Legierung von einem oder mehrmen Elementen, die aus der Gruppe von Fe, Ni und Co ausgewählt werden, mit einem öderer mehreren Elementen, die aus der Gruppe von P, C, B und Si ausgewählt werden, oder aus einer Legierung, die im wesenüichen aus der zuerst erwähnten Legierung besteht und Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr, Hf oder Nb enthält, oder einer amorphen Metall/Metall-Legierung, die im wesentlichen aus Übergangsmetallelementen und glasbildenden Metallelementen besteht, beispielsweise Hf oder Zr.

Die Filme (13) kamen in jedem Vakuumverfahren für die Filmausbildung abgelagert werden, einschließlich eines Aufflamm-, Vakuumabscheide-, Galvanisier-, Aufsprüh- oder Ionenstrahlbüschelverfahrens.

Vorzugsweise wird die Zusammensetzung der Fe-Al-Si Legierungen so gewählt, daß der Al-Gehalt im Bereich von 2 bis 10 Gewichtsprozenten und der Si-Gehalt im Bereich von 4 bis 15 Gewichtsprozenten liegt, wobei mit Fe ausgeglichen wird. Es wird bevorzugt, daß dann, wennn die Fe-Al-Si Legierungen ausgedrückt werden mit

Fe a Al b Si c wobei a, b und c das Gewichtsveihältnis der entsprechenden beigefügten Bestandteile darstellen, die Werte von a, b und c in einem Bereich liegen, so daß 70 £ a £ 95 2 < b < 10 4 < c < 15

Wenn der Al- oder Si-Gehalt zu niedrig oder zu hoch ist, werden die Magneteigenschaften der Fe-Al-Si Legierungen herabgesetzt.

Bei der oben erwähnten Zusammensetzung kann ein Teil von Fe durch zumindest eines der Elemente Co und

Ni ersetzt weiden.

Die Sättigungsmagnetflußdichte kann dadurch verbessert werden, daß ein Teil von Fe durch Co ersetzt wird. Die maximale Sättigungsmagnetflußdichte (Bs) ereicht man allgemein dann, wenn 40 Gewichtsprozente von Fe durch Co ersetzt werden. Vorzugsweise beträgt der Anteil von Co 0 bis 60 Gewichtsprozente relativ zu Fe.

Wenn andererseits ein Teil von Fe durch Ni ersetzt wird, kann die magnetische Permeabilität auf einem höheren Wert gehalten werden, ohne die Sättigungsmagnetflußdichte (Bs) herabzusetzen. In diesem Fall liegt der Anteil von Ni vorzugsweise im Bereich von 0 bis 40 Gewichtsprozenten relativ zu Fe.

Andere Elemente können den Fe-Al-Si Legierungen ebenfalls beigegeben werden, um deren Korrosions- und Verschleißfestigkeit zu verbessern. Die Elemente, die für diese Beifügungen verwendet werden können, können Elemente der Gruppe ma einschließlich Lanthaniden, z. B. Sc, Y, La, Ce, Nd und Gd; Elemente der Gruppe IVa, z. B. Ti, Zr oder Hf; Elemente der Gruppe Va, z. B. V, Nb oder Ta; Elemente der Gruppe Via, z. B. Cr, Mo oder W; Elemente der Gruppe Vlla, z. B. Mn, Te oder Re; Elemente der Gruppe Ib, z. B. Cu, Ag oder Au; Elemente der Platingruppe, z. B. Ru, Rh oder Pd; sowie Ga, In, Ge, Sn, Sb oder Bi enthalten.

Wenn die Fe-Al-Si Legierung verwendet wird, werden die ferromagnetischen Metall-Dünnfilme (13) vorzugsweise so abgelagert, daß die Richtung des Kristallstengelwachstums unter einem vorgegebenen Winkel (λ) von 5° bis 45° zu einer Geraden geneigt ist, die auf die Flächen (10a, 11a) der Magnetkemelemente (10, 11) senkrecht steht.

Wenn die Dünnfilme (13) auf diese Art unter einem vorgegebenen Winkel (λ) zur Senkrechten auf die Flächen (10a, 11a) zum Wachsen gebracht werden, sind die Magneteigenschaften der resultierenden ferromagnetischen Metall-Dünnfilme (13) stabil und hervorragend, was zu verbesserten Magneteigenschaften des Magnetwandlefkopfs führt.

Obwohl die Filme (13) als einzige Schicht mit dem oben beschriebenen physikalischen Aufdampfverfahren ausgebildet werden, kann auch eine Vielzahl von dünnen Metallschichten mit einem elektrisch isoliraenden Film oder Filmen, z. B. S1O2, T^O^, AI2O3, Z1O2 oder S13N4, zwischen der benachbarten dünnen Metallschicht oder Schichten ausgebildet werden. Eine gewünschte Anzahl von ferromagnetischen Metallschichten kann für die -5-

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Ausbildung des Metall-Dünnfilms verwendet werden.

Die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte (12), die zwischen den Kemelementen (10,11) und den Metall-Dünnfilmen (13) liegen, können (A) aus ein oder mehreren Oxyden, beispielsweise S1O2, TK^, Ta20j, AI2O3» oder dem Glas mit hohem Schmelzpunkt ausgebildet und mit einer Filmdicke von 50 bis 2000 Ä abgeschieden werden, oder (B) aus nichtmagnetischen Metallen, z. B. Cr, Ti oder Si entweder allein oder als Legierung ausgebildet und mit einer Filmdicke von 50 bis 2000 A abgeschieden werden. Die Werkstoffe der Gruppen (A) und (B) können getrennt oder gemeinsam verwendet werden. Den nichtmagnetischen Filmen mit großer Härte (12) ist durch den Pseudospalt und deshalb eine Grenze gesetzt, da der Magnetwiderstand bei einer höheren Filmdicke nicht mehr vernachlässigt werden kann.

Wenn man den nichtmagnetischen Film mit großer Härte (15) auf dem Metall-Dünnfilm (13) ausbildet, kann man einen Magnetwandlerkopf mit hohem Ausgang erhalten. Dies rührt von einer verminderten Glaserosion, einem verminderten Bruch des ferromagnetischen Metall-Dünnfilms (13), einer verbesserten Maßhaltigkeit, Glasfließfähigkeit oder Fertigungsrate sowie einer Zerstreuung der Restdeformation her, die bei der Glasverklebung induziert wird. Der nichtmagnetische Film mit großer Härte (15) kann zusätzlich zu den Werkstoffen der Gruppen (A) und (B) für die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte (12) auch aus feuerfesten Metallen gebildet werden, z. B. W, Mo oder Ta sowie deren Oxyden. Diese Materialien können allein oder als Beimengung verwendet, z. B. als Cr, Cr + Ta20g + Cr, Cr + S1O2 + Cr, Ti + T1O2 + Ti, und mit einer Dicke kleiner als einige Mikron ausgebildet werden.

Wie das Beispiel von Fig. 4 zeigt, ist ein nichtmagnetischer Film mit großer Härte (12), der aus einem zweilagigen Aufbau einer S^-Schicht (12a) und einer Cr-Schicht (12b) besteht, zwischen den Kemelementen (10, 11) und dem Metall-Dünnfilm (13) vorgesehen, wobei ein nichtmagnetischer Film mit großer Härte (15), der aus einem dreilagigen Aufbau einer Cr-Schicht (15a), einer Ta205-Schicht (15b) und einer zweiten Cr-Schicht (15c) besteht, zwischen dem Metall-Dünnfilm (13) und dem Oxydglas (16) ausgebildet sein kann.

Bei dem oben beschriebenen Magnetwandlerkopf werden die ferromagnetischen Metall-Dünnfilme (13) auf den Rächen (10a, 11a) der Ferrit-Kemelemente (10,11) abgelagert, wobei die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte (12) dazwischenliegen. Da die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte (12) vorhanden sind, wird auch bei hohen Temperaturen, die während des Aufsprühens auftreten, verhindert, daß Sauerstoffatome des Ferrits in die Metall-Dünnfilme (13) diffundieren, um zu verhindern, daß die Grenzschicht mit schlechteren Magneteigenschaften ausgestattet wird. Da die weichen Magneteigenschaften in der Nähe der Flächen (10a, 11a), die über einen Magnetkreis mit dem Metall-Dünnfilm (13) verbunden sind, nicht beeinträchtigt werden, werden die Aufzeichnungseigenschaften und der Wiedergabeausgang des Magnetkopfs nicht herabgesetzt. Da weiters die Rächen (10a, 11a), auf denen die magnetischen Metall-Dünnßlme (13) ausgebildet sind, unter einem bestimmten Winkel zu der den Magnetspalt bildenden Räche (14) geneigt sind, werden auch dann keine Pseudospalte induziert, wenn die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte (12) eine bestimmte Filmdicke besitzen. Ein Film (12) mit einer zu großen Dicke ist jedoch für eine ordentliche Funktion des Magnetkreises unerwünscht.

Vergleichende Prüfungen des Wiedergabeausgangs des Magnetwandlerkopfs mit jenem des herkömmlichen Magnetkopfs haben ergeben, daß ein Ansteigen im Ausgangspegel in der Größe von 1 bis 3 dB mit der Signalfrequenz, z. B. von 1 bis 7 MHz, erzielt werden kann.

Da die oben erwähnte Grenzschicht nicht während des Aufsprühvorgangs gebildet wird, können Einschränkungen hinsichtlich der Sprühgeschwindigkeit oder der Temperatur beseitigt werden, was teilweise zu einer vereinfachten Herstellung des Wandlerkopfs führt

Da weiters die Wärmespannung, die durch die unterschiedliche Wärmeausdehnung zwischen den Ferrit-Kem-elementen (10,11) und den ferromagnetischen Metall-Dünnfilmen (13) induziert wird, durch das Vorhandensein des nichtmagnetischen Films mit großer Härte (12) entspannt wird, entstehen auch beim Abkühlen, das auf das Aufsprühen oder auf das Erwärmen beim darauffolgenden Schritt des Glasschmelzens folgt keine Sprünge im Metall-Dünnfilm (13). Dies ist auch hinsichtlich einer Verbesserung der Magneteigenschaften vorzuziehen.

Da der nichtmagnetische Film mit großer Härte (15) ^wischen dem Film (13) und dem Oxydglas (16) ausgebildet ist ist es gleichfalls möglich, eine Längenzunahme der ferromagnetischen Metall-DünnfÜme (13) zu verhindern oder nur eine sogenannte Kurzspannung zu liefern, indem die zwischen den Kemelementen (10,11) und dem Oxydglas (16) induzierte Spannung zerstreut wird. Sprünge oder Spalten in den Filmen (13) werden ebenfalls verhindert, um die Betriebssicherheit des Magnetkopfs und die Fertigungsrate bei der Herstellung des Wandlerkopfs zu verbessern.

Dabei sei darauf hingewiesen, daß die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte auf der Zwischenfläche zwischen den Kemelementen (10, 11) und den Metall-Dünnfilmen (13) vorgesehen sein können, wie das Fig. 5 zeigt, oder auf der Zwischenfläche zwischen den Metall-Dünnfilmen (13) und dem Oxydglas (16) vorgesehen sein können, wie dies Fig. 6 zeigt. In Fig. 5 und 6 sind gleiche Teile oder Bauelemente wie in Fig. 1 mit den gleichen Bezugsziffem versehen.

Nunmehr wird das Fertigungsverfahren der oben beschriebenen Ausführungsform erläutert, um den Aufbau des Magnetwandlerkopfs klarzustellen. -6-

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Bei der Herstellung des Magnetwandlerkopfs der gezeigten Ausführungsform wird eine Vielzahl von parallelen, V-förmigen Rillen (21) auf der oberen Fläche (20a) einer Trägerschicht (20) aus ferromagnetischen Oxyden, z. B. Mn-Zn Ferrit, mit Hilfe eines rotierenden Schleifsteins ausgebildet, um eine Fläche (21) herzustellen, auf der die ferromagnetischen Metall-Dünnfilme abgelagert werden (Fig. 7). Die obere Fläche (20a) stellt die Verbindungs- oder Auflagefläche für die ferromagnetische Oxydträgerschicht (20) mit der entsprechenden Fläche einer passenden Trägerschicht dar. Die Fläche (21) wird als schräge Fläche ausgebildet, die einen vorgegebenen Neigungswinkel (Θ) (bei dieser Ausführungsform etwa gleich 45°) zu der den Magnetspalt bildenden Fläche der Trägerschicht (20) besitzt.

Daraufhin wird, wie Fig. 8 zeigt, ein nichtmagnetischer Film mit großer Härte (22) auf der oberen Fläche (20a) der ferromagnetischen Oxydträgerschicht (20) ausgebildet, beispielsweise aufgesprüht. Dieser Film (22) wird dadurch gebildet, daß ein erster nichtmagnetischer Füm mit großer Härte, z. B. SiC^, mit einer Dicke von 300 Ä und ein zweiter nichtmagnetischer Film mit großer Härte, beispielsweise ein Cr-Film, mit einer Dicke von 300 Λ auf dem ersten nichtmagnetischen Film mit großer Härte abgelagert werden.

Daraufhin wird, wie Fig. 9 zeigt, eine Fe-Al-Si Legierung oder eine amorphe Legierung auf den nichtmagnetischen Film mit großer Härte (22) aufgebracht, indem irgendein physikalisches Aufdampfverfahren, beispielsweise ein Aufsprühen, Galvanisieren oder eine Vakuumabscheidung verwendet wird, um den ferromagnetischen Metall-Dünnfilm (23) auszubilden.

Daraufhin wird, wie Fig. 10 zeigt, ein nichtmagnetischer Film mit großer Härte (24) ebenfalls auf dem ferromagnetischen Metall-Dünnfilm (23) ausgebildet. Der Film (24) wird dadurch ausgebildet, daß ein erster Cr-Film mit einer Dicke von etwa 0,1 pm, daraufhin ein T^Og-Film mit einer Dicke von 1 pm und schließlich ein zweiter Cr-Film mit Dicke von etwa 0,1 pm aufgebracht werden. Der Film (24) wird vorzugsweise aus einem hochschmelzenden Metall, beispielsweise W, Mo, Si oder Ta, deren Oxyden oder Legierungen hergestellt und mit einer Dicke kleiner als einige Mikron abgelagert. Die Bindung des nichtmagnetischen Films mit großer Härte (24) am ferromagnetischen Metall-Dünnfilm wird durch den ersten Cr-Film verbessert

Wie Fig. 11 zeigt, wird daraufhin eine Oxydglasfüllung (25), z. B. das Glas mit niedrigem Schmelzpunkt in die ersten Rillen (21) gefüllt, in denen die Filme (23,22,24) vorher abgelagert wurden. Die obere Fläche (20a) der Trägerschicht (20) wird glatt geschliffen, um die obere Fläche (20a) des ferromagnetischen Metall-Dünnfilms (23) freizulegen, der auf der Fläche (21a) abgelagert ist.

Wie Fig 12 zeigt wird daraufhin in die Fläche (21a), auf der vorher der ferromagnetische Metall-Dünnfilm (23) aufgebracht wurde, eine zweite Rille (26) parallel zur ersten Rille (21) so eingeschnitten, daß sie eine Seitenkante (21a) der ersten Rille (21) etwas überlappt Die obere Fläche (20a) der Trägerschicht (20) wird dann spiegelblank geschliffen. Durch diesen Fertigungsschritt wird die Spurbreite so eingestellt, daß der Magnetspalt nur durch den ferromagnetischen Metall-Dünnfilm abgegrenzt ist

Statt daß die zweite Rille (26) V-förmig ausgebildet wird, kann sie auch einen polygonalen Querschnitt besitzen, wobei die Innenwandfläche der Rille (26) in zwei oder mehr Schritten abgestuft werden kann, um für einen Abstand vom ferromagnetischen Oxyd und den ferromagnetischen Metall-Dünnfilmen zu sorgen, wenn der Kopf von der Berührungsfläche mit dem Band betrachtet wird. Mit diesem Rillenaufbau ist es möglich, ein Übersprechen herabzusetzen, das anderenfalls durch die Wiedergabe von langwelligen Signalen hervorgerufen werden kann, während die große Verbindungsfläche zwischen dem ferromagnetischen Oxyd und dem ferromagnetischen Metall-Dünnfilm sichergestellt wird. Bei dem oben beschriebenen Rillenaufbau ist weiters die Endfläche des ferromagnetischen Oxyds in eine Richtung unterschiedlich zur Richtung des Azimutwinkels des Magnetspalts geneigt, so daß ein Signalabgriff von der benachbarten oder der übernächsten Spur oder ein Übersprechen mit Hilfe des Azimutverlusts herabgesetzt werden können.

Da weiters der ferromagnetische Metall-Dünnfilm (23) zuerst auf der Fläche (21a) ausgebildet und dann die zweite Rille (26) für die Einstellung der Spurbreite hergestellt wird, ist es möglich, den Magnetwandlerkopf mit einer hohen Fertigungsrate und hoher Genauigkeit der Spurbreite zu fertigen, indem die Bearbeitungsstelle der zweiten Rille (26) justiert wird. Wenn daher der Wandlerkopf so aufgebaut ist, daß der Magnetfluß durch das ferromagnetische Oxyd über einen Minimalabstand vom Magnetspalt fließt, der nur vom ferromagnetischen Metall-Dünnfilm gebildet wird, können sowohl der Ausstoß und die Produktivität als auch die Betriebssicherheit des Kopfs bei niedrigen Herstellungskosten verbessert werden.

Mit dem oben beschriebenen Verfahren werden zwei ähnliche ferromagnetische Oxydträgerschichten (20) hergestellt. In eine der Trägerschichten wird senkrecht zur ersten Rille (21) und zur zweiten Rille (26) eine Rille eingeschnitten, um eine ferromagnetische Oxydträgerschicht (30) herzustellen, die mit einem Wicklungsschlitz (27) versehen ist (Fig. 13).

Daraufhin wird auf die obere Fläche (20a) der Trägerschicht und/oder die obere Fläche (30a) der Trägerschicht (30) ein Spaltbeabstander aufgebracht Wie Fig. 14 zeigt, werden diese Trägerschichten (20,30) dann so angeordnet, daß die jeweiligen Metall-Dünnfilme (23) aufeinanderliegen. Diese Trägerschichten (20, 30) werden mit geschmolzenem Glas verklebt, während gleichzeitig die zweite Rille (26) mit geschmolzenem Glas (28) gefüllt wird. Der Spaltbeabstander kann, falls erforderlich, aus SK^, Z1O2, Ta^^ oder Cr gebildet werden. Bei dem oben beschriebenen Verfahren muß das Einfüllen des Glases (28) in die zweite Rille (26) nicht gleichzeitig mit dem Verkleb«! der Trägerschichten (20, 30) erfolgen. Das Glas (28) kann in dem in Fig. 13 -7-

AT394117B dargestellten Schritt eingefüllt werden, so daß der Schritt von Fig. 14 lediglich aus einem Glasklebeschritt besteht.

Die aufeinanderliegenden Trägerschichten (20,30) werden dann längs den Achsen (A-A) und (A'-A') von Fig. 14 geschnitten, um eine Vielzahl von Kopfplättchen herzustellen, wobei die Berühnmgsfläche eines jeden Kopfplättchens mit dem Magnetband zylindrisch geschliffen wird, um den Magnetwandlerkopf von Fig. 1 zu liefern. Die Schnittrichtung durch die Trägerschichten (20, 30) kann zur Auflagefläche geneigt sein, um den Magnetwandlerkopf für eine Azimutaufzeichnung herzustellen.

Dabei sei darauf hingewiesen, daß eines der Kemelemente (10) im wesentlichen aus der ferromagnetischen Oxydträgerschicht (20) besteht, während das andere Kemelement (11) im wesentlichen aus der ferromagnetischen Oxydträgerschicht (30) besteht. Der ferromagnetische Metall-Dünnfilm (13) entspricht dem ferromagnetischen Metall-Dünnfilm (23) und die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte (12, 15) den nichtmagnetischen Filmen mit großer Härte (22, 24). Der ferromagnetische Metall-Dünnfilm (23), der auf einer planaren Fläche ausgebildet ist, zeigt längs des Magnetflußpfads eine sehr gleichförmige magnetische Permeabilität

Der Magnetwandlerkopf gemäß einer abgeänderten Ausführungsform, bei der der ferromagnetische Metall-Dünnfilm nur in der Nähe des Magnetspalts ausgebildet ist, wird nunmehr im Zusammenhang mit Fig. 15 erläutert

Bei der gezeigten Ausführungsform ist der ferromagnetische Metall-Dünnfilm nur in der Nähe des Magnetspalts des Magnetwandlerkopfs ausgebildet, wobei zwei magnetische Kernelemente (40, 41) aus ferromagnetischen Oxyden, z. B. Mn-Zn Ferrit hergestellt werden, und die ferromagnetischen Metall-Dünnfilme (42) nur an der Stirnseite des Magnetspalts (g) ausgebildet werden, indem die hochpermeable Legierung, z. B. eine Fe-Al-Si Legierung, in einem physikalischen Aufdampfverfahren, z. B. einem Sprühverfahren, aufgebracht wird. Oxydglasfüllungen (43, 44) werden in geschmolzenem Zustand in die Nähe der den Spalt bildenden Fläche gefüllt. Die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte (45) bestehen beispielsweise aus Oxyden, z. B. SiC>2, T1O2 oder Ta205» oder aus nichtmagnetischen Metallen, z. B. Cr, Ti oder Si, und sind zwischen den ferromagnetischen Metall-Dünnfilmen (42) und den magnetischen Kemelementen (40, 41) der ferromagnetischen Oxyde ausgebildet, wie dies auch bei der vorhergehenden Ausführungsform der Fall war. Nichtmagnetische Filme mit großer Härte (46), die beispielsweise aus feuerfesten Metallen oder deren Oxyden bestehen, z. B. Ta20j, Cr, TiC>2 oder Si02, sind zwischen den Metall-Dünnfilmen (42) und den Oxydglasfüllungen (43) vorgesehen. Die Metall-Dünnfilme (42) sind unter einem vorgegebenen Winkel (Θ) relaüv zu der den Magnetspalt bildenden Fläche geneigt, wenn man den Kopf von der Bandberührungsfläche betrachtet, wie dies auch bei der vorgehenden Ausführungsform der Fall war.

Der Magnetwandlerkopf kann mit den in Fig. 16 bis 24 gezeigten Fertigungsschritten hergestellt werden.

Wie Fig. 16 zeigt, wird zuerst eine Vielzahl von Rillen (51) mit polygonalem Querschnitt an einer Längskante der ferromagnetischen Okydträgerschicht (50) aus Mn-Zn Ferrit mit Hilfe eines rotierenden Schleifsteins oder eines elektrolytischen Ätzverfahrens ausgebildet. Die obere Fläche (50a) der Trägerschicht (50) entspricht der den Magnetspalt bildenden Fläche, wobei die Mehrfachfacetten-Rille (51) in der Nähe jener Stelle der Trägerschicht (50) vorgesehen ist, die den Magnetspalt bildet.

Wie Fig. 17 zeigt, werden daraufhin Oxydglasfüllungen (52) in geschmolzenem Zustand in die Rille (51) gefüllt, wobei sowohl die obere Fläche (50a) als auch die Stirnfläche (50b) glatt geschliffen werden.

Wie Fig. 18 zeigt, wird daraufhin eine Vielzahl von V-förmigen Rillen (53) an der Kante der Trägerschicht so ausgebildet, daß sie neben einer Facette der Rille (51) liegen und diese teilweise überlappen, in die vorher die Glasfüllung gefüllt wurde, wie dies oben beschrieben ist Zu diesem Zeitpunkt liegt ein Teil des Glases (52) auf der Facetten- oder Innenwandfläche (53a) der Rille (53) frei. Die Schnittlinie (54) zwischen der Innenwandfläche (53a) und der oberen Fläche (50a) steht auf die Stirnfläche (50b) der Trägerschicht (50) senkrecht Der Winkel der Innenwandfläche (53a) mit der oberen Fläche kann beispielsweise 45° betragen. Wie Fig. 19 zeigt, wird dann SiC^ mit einer Dicke von beispielsweise 300 Ä aufgebracht, um zumindest die Rillen (53) der Trägerschicht (50) zu bedecken. Daraufhin wird Cr mit einer Dicke von 300 Ä aufgebracht, um einen nichtmagnetischen Film mit großer Härte (55) zu liefern.

Wie Fig. 20 zeigt, wird dann eine hochpermeable Legierung, z. B. eine Fe-Al-Si Legierung, in der Nähe der Rillen (53) über dem nichtmagnetischen Film mit großer Härte (55) ausgebildet, wobei irgendeines der oben beschriebenen physikalischen Aufdampfverfahren, z. B. ein Aufsprühverfahren, verwendet wird, um den ferromagnetischen Metall-Dünnfilm (56) herzustellen. Während der Ausbildung des Metall-Dünnfilms (56) kann die Trägerschicht (50) in der Aufsprühvorrichtung schräg angeordnet werden, so daß das ferromagnetische Metall auf der Facetten- oder Innenwandfläche (53a) der Rille (53) wirkungsvoll abgelagert werden kann.

Auf dem so abgelagerten Metall-Dünnfilm (56) wird der nichtmagnetische Film mit großer Härte (57), der z. B. aus Ta20j, T1O2 oder S1O2 besteht, in einem Sprühverfahren niedergeschlagen (Fig. 21). Bei diesem Beispiel wird der zweilagige nichtmagnetische Film mit großer Härte (57) dadurch ausgebildet, daß ein Cr-Film auf dem Metall-Dünnfilm (56) mit einer Dicke von 0,1 μπι in einem Sprühverfahren aufgebracht wird, wobei auf diesen ein Ta20j-Film mit einer Dicke von etwa 1 μπι gleichfalls in einem Sprühverfahren aufgebracht wird. -8-

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Dadurch, daß der Cr-Film auf dem Metall-Dünnfilm (56) ausgebildet wird, wird die Ablagerung des Ta^j-Films auf dem Metall-Dünnfilm verbessert. Obwohl der nichtmagnetische Film mit großer Härte (57) bei dieser Ausführungsform aus der Cr- und Ta205-Schicht besteht, kann er auch durch eine Ablagerung der Cr-Si02-Ta205-Schichten in dieser Reihenfolge oder durch eine Ablagerung des Ti-Films mit etwa 1 Jim und der Ti02-

Schicht mit etwa 1 μιηίη dieser Reihenfolge ausgebildet weiden.

Daraufhin werden in der Rille (58), in der der nichtmagnetische Film mit großer Härte (55), der ferromagnetische Metall-Dünnfilm oder die Schicht (56) und der nichtmagnetische Film mit großer Härte (57) übereinander abgelagert sind, das Oxydglas (58) in geschmolzenem Zustand eingefüllt, das einen niedrigeren Schmelzpunkt als das Oxydglas (52) besitzt (Fig. 22). Die obere Fläche (50a) und die Stirnfläche (50b) der Trägerschicht (50) werden spiegelblank geschliffen. An der Stirnfläche (50b) der Trägerschicht (50) liegt der ferromagnetische Metall-Dünnfilm (56), der an der Innenwandfläche (53a) der Rille (53) ausgebildet ist, zwischen den vorher aufgebrachten nichtmagnetischen Filmen mit großer Härte (55,57).

Um das wicklungsschlitzseitige Magnetkemelement auszubilden, wird ein Wicklungsschlitz (59) in die ferromagnetische Oxydträgerschicht (50) geschnitten, die vorher hergestellt wurde, wie dies oben beschrieben ist (Fig. 22), um die ferromagnetische Oxydträgerschicht (70) von Fig. 23 heizustellen.

Die Trägerschichten (50,60) werden so aufeinander gelegt, wie dies Fig. 24 zeigt, wobei die obere oder die den Magnetspalt bildende Fläche (50a) da* Trägerschicht (50) mit der oberen oder der den Magnetspalt bildenden Fläche (60a) der Trägerschicht (60) in Berührung steht, wobei an einer der oberen Flächen (50a, 60a) ein dazwischenliegender Spaltbeabstander angebracht wird. Die Trägerschichten (50, 60) werden mit geschmolzenem Glas zu einem zusammengesetzten Block verklebt, der dann längs den Achsen (B-B) und (B’-B') von Fig. 24 geschnitten wird, um eine Vielzahl von Kopfplättchen herzustellen. Der Schneidevorgang kann auch unter dem schrägen Azimutwinkel erfolgen.

Die Berührungsfläche des Kopfplättchens mit dem Magnetband wird zylindrisch geschliffen, um den Magnetwandlerkopf von Fig. 15 fertigzustellen.

Es sei darauf hingewiesen, daß eines der magnetischen Kemelemente (41) des Magnetwandlerkopfs von Fig. 15 im wesentlichen aus der ferromagnetischen Oxydträgerschicht (50) besteht, während das andere Kernelement (40) im wesentlichen aus der ferromagnetischen Oxydträgerschicht (60) besteht. Die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte (45, 46) entsprechen den nichtmagnetischen Filmen mit großer Härte (55, 57), während der ferromagnetische Metall-Dünnfilm (42) dem ferromagnetischen Metall-Dünnfilm (56) entspricht. Die Oxydglasfüllung (43) entspricht der Oxydglasfüllung (58).

Bei dem Magnetwandlerkopf, der, wie oben beschrieben, aufgebaut ist, zeigt der ferromagnetische Metall-Dünnfilm (42) eine sehr gleichförmige magnetische Permeabilität längs der Richtung des Magnetflußpfads, wodurch ein sehr stabiler Ausgang des Magnetwandlerkopfs sichergestellt wird. Weiters ist der ferromagnetische Metall-Dünnfilm durch die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte (45) gegen ein Reißen oder Verformen geschützt

Bei dem Magnetwandlerkopf dieser Ausführungsform werden die ferromagnetischen Oxyde direkt mit Glas auf der hinteren Verbindungsfläche oder der Rückspaltfläche zusammengeklebt, wodurch eine große Zerstörungsfestigkeit des Kopfplättchens und eine verbesserte Fertigungsrate geliefert werden, während die Stabilität des ferromagnetischen Metall-Dünnfilms sichergestellt ist Da der Metall-Dünnfilm nur in der Nähe des Magnetspalts (g) ausgebildet ist, muß der Metall-Dünnfilm (42) weiters nur in einem relativ kleinen Bereich ausgebildet werden. Damit wird die Anzahl der Stücke größer, die in einer Serie in der Aufsprühvorrichtung angeordnet werden können, woraus eine verbesserte Massenfertigung folgt

Ein weiteres Beispiel des Magnetwandlerkopfs, der in einem anderen Verfahren hergestellt wird, ist im Zusammenhang mit Fig. 25 bis 34 beschrieben.

Bei der Herstellung des Magnetwandlerkopfs wird, wie Fig. 25 zeigt, eine Vielzahl von rechteckigen Rillen (71) schräg zur oberen Fläche (70a) ausgebildet, die der Berührungsfläche mit dem Magnetband der ferromagnetischen Oxydträgerschicht (70) entspricht, die z. B. aus Mn-Zn Ferrit hergestellt ist. Die Rillen (71) sind so tief, daß sie den Wicklungsschlitz des Kopfs erreichen.

Wie Fig. 26 zeigt, wird daraufhin die Glasfüllung (72) mit hohem Schmelzpunkt in geschmolzenem Zustand in die Rillen (71) gefüllt. Die obere Fläche (70a) und die Stirnfläche (70b) werden dann glatt geschliffen.

Wie Fig. 27 zeigt, wird daraufhin eine Vielzahl von zweiten rechteckigen Rillen (73) auf der oberen Fläche (70a) in der entgegengesetzten schrägen Richtung zu den ersten rechteckigen Rillen (71), die vorher mit der Glasfüllung (72) gefüllt wurden, so ausgebildet, daß sie die rechteckigen Rillen (71) teilweise überlappen. Die Rille (73) ist nahezu gleich tief wie die Rille (71). Die Innenseite (73a) der Rille (73) steht zur oberen Fläche (70a) der Trägerschicht (70) senkrecht und schließt mit der Stirnfläche (70b) einen Winkel von z. B. 45° ein. Die Innenseite (73a) der Rille (73) schneidet die zugehörende erste Rille (71) in der Nähe der Stirnfläche (70b) der Trägerschicht (70), um die Glasfüllung (72) etwas abzuschneiden.

Nachdem die Rillen (71, 73) auf diese Weise auf der oberen Fläche (70a) der ferromagnetischen Oxydträgerschicht (70) ausgebildet wurden, wird ein nichtmagnetischer Film mit großer Härte (74), z. B. Si02 oder Cr, in der Nähe der Rille (73) der Trägerschicht (70) abgelagert, wie dies Fig. 28 zeigt, indem irgendeines der oben beschriebenen physikalischen Aufdampfverfahren, beispielsweise ein Aufsprühverfahren, verwendet -9-

AT 394 117 B wird. Der nichtmagnetische Film mit großer Härte (74) kann aus den gleichen Werkstoffen gebildet werden, wie dies bei den vorherigen Ausführungsformen erläutert wurde.

Daraufhin wird, wie Fig. 29 zeigt, eine hochpermeable Legierungsschicht, z. B. eine Fe-Al-Si Legierungsschicht, auf dem Film (74) ausgebildet, um einen ferromagnetischen Metall-Dünnfilm (75) zu liefern, wobei irgendeines der oben beschriebenen physikalischen Aufdampfverfahren, beispielsweise ein Sprühverfahren, verwendet wird. Die Trägerschicht (70) kann in der Aufsprühvorrichtung schräg angeordnet werden, um eine wirkungsvolle Ablagerung der Legierungsschicht zu erreichen.

Wie Fig. 30 zeigt, werden daraufhin sehr harte Metalle, Oxyde oder deren Legierungen auf dem Film (75) aufgebracht, beispielsweise aufgesprüht, um den nichtmagnetischen Film mit großer Härte (76) zu liefern. Der nichtmagnetische Film mit großer Härte (76) kann ein- oder mehrlagig aus den gleichen Werkstoffen aufgebaut sein, die in den vorherigen Ausführungsformen erläutert wurden.

Wie Fig. 31 zeigt, wird dann in die Rillen (73), in denen die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte (74,76) sowie der ferromagnetische Metall-Dünnfilm (75) aufeinander abgelagert wurden, in geschmolzenem Zustand eine Oxydglasfüllung (77) eingefüllt, die einen niedrigeren Schmelzpunkt als die Glasfüllung (72) besitzt, mit der die Rille (71) gefüllt wurde. Die obere Fläche (70a) und die Stirnfläche (70b) der Trägerschicht (70) werden spiegelblank geschliffen. Daraus folgt, daß der Metall-Dünnfilm (75) von den nichtmagnetischen Filmen mit großer Härte (74, 76) auf der Innenseite (73a) der Rille (73) eingeschlossen und geschützt wird. Obwohl die Filme (74, 75, 76) auf der anderen Innenseite sowie am Boden der Rille (73) weiter bestehen, kann ihre Menge vernachlässigt werden, so daß sie in den Zeichnungen nicht dargestellt sind.

Daraufhin wird in eine der Trägerschichten ein Wicklungsschlitz (78) geschnitten, um die ferromagnetische Oxydträgerschicht (80) zu liefern (Fig. 32).

Wie Fig. 33 zeigt, werden dann die Trägerschicht (80), die mit dem Wicklungsschlitz (78) versehen ist, und die Trägerschicht (70), die keinen Wicklungsschlitz besitzt, Seite an Seite angeordnet, wobei dazwischen ein Spaltbeabstander auf zumindest einer den Magnetspalt bildenden Stirnfläche (70b, 80b) angeordnet wird, so daß die Metall-Dünnfilme aufeinander liegen. Daraufhin werden die Trägerschichten (70,80) mit Glas verbunden oder zu einem einheitlichen Block verschmolzen.

Der aus den Trägerschichten (70,80) auf diese Weise hergestellte Block wird längs den Achsen (C-C) und (C'-C') von Fig. 33 geschnitten, um eine Vielzahl von Kopfplättchen herzustellen. Die Auflageflächen dieser Kopfplättchen mit dem Magnetband werden dann zylindrisch geschliffen, um den Magnetwandlerkopf von Fig. 34 fertigzustellen.

Bei dem Magnetwandlerkopf von Fig. 34 entspricht eines der magnetischen Kemelemente (81) der ferromagnetischen Oxydträgerschicht (70), während das andere Kemelement der ferromagnetischen Oxydträgerschicht (80) entspricht. Der ferromagnetische Metall-Dünnfilm (84) entspricht dem ferromagnetischen Metall-Dünnfilm (75), während die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte (83,85) dem nichtmagnetischen Film mit großer Härte (74,76) entsprechen. Die Oxydglasfßllung (86) entspricht der Oxydglasfüllung (77).

Beim Magnetwandlerkopf von Fig. 34 liegt der ferromagnetische Metall-Dünnfilm (84) zwischen den nichtmagnetischen Filmen mit hoher Härte (83, 85), von denen er gegen Bruch, Verformung oder Beeinträchtigung der Grenzfläche mit den ferromagnetischen Oxyden geschützt wird, wie dies bei den vorhergehenden Ausführungsformen ähnlich der Fall war, so daß man wie bei den Magnetwandlerköpfen von Fig. 1 und 15 optimale Ergebnisse erzielt. Der Metall-Dünnfilm (84) ist unter einem vorgegebenen Winkel zu der den Magnetspalt (g) bildenden Räche geneigt und gerade sowie fortlaufend auf ein und der derselben Fläche ausgebildet, wodurch eine sehr gleichförmige magnetische Permeabilität längs des Magnetflußpfads sichergestellt und ein sehr stabüer Ausgang erreicht werden, wie dies bei den vorhergehenden Ausführungsformen der Fall war.

Diese Erfindung wird auch auf einen Magnetwandlerkopf angewandt, bei dem die Umgebung der Berührungsfläche mit dem Magnetband durch nichtmagnetische Elemente mit großer Härte geschützt ist, z. B. durch keramische Elemente.

Fig. 35 bis 37 zeigt eine Ausführungsform des Magnetwandlerkopfs, bei der die Umgebung der Berührungsfläche mit dem Magnetband durch nichtmagnetische Elemente mit großer Härte geschützt ist, z. B. durch keramische Elemente.

Der Magnetwandlerkopf von Fig. 35 entspricht dem Kopf von Fig. 1, so daß Bauteile, die den Bauteilen von Fig. 1 gleichen, mit den gleichen Bezugsziffem versehen sind. Der Magnetwandlerkopf von Fig. 35 entspricht somit dem Kopf von Fig. 1, wobei die Schutzelemente (91, 92), die aus nichtmagnetischen, verschleißfesten Werkstoffen hergestellt wurden, z. B. Kalziumtitanat (Ti-Ca Keramik), Oxydglasplättchen, Titandioxyd (TiO^ oder Aluminiumoxyd (AI2O3), in der Umgebung der Berührungsfläche mit dem Magnetband vorgesehen sind.

Der Wandlerkopf von Fig. 35 enthält im wesentlichen eine zusammengesetzte Trägerschicht, die durch ein Wärmedruckklebeverfahren einer sehr verschleißfesten, nichtmagnetischen Trägerschicht, z. B. Kalziumtitanat, Oxydglas, Titandioxyd oder Aluminiumoxyd, auf eine Endfläche einer ferromagnetischen Oxydträgerschicht, z. B. Mn-Zn Ferrit, hergestellt wird, wobei dazwischen eine geschmolzene Glasplatte liegt, die einige zehntel Mikron dick ist Die Trägerschicht wird in Übereinstimmung mit dem Verfahren hergestellt das jenem von Fig. 7 bis 14 gleicht Da der magnetische Werkstoff, z. B. Ferrit, nicht auf der Berührungsfläche mit dem Magnetband freiliegt, kann auf den Fertigungsschritt von Fig. 12 verzichtet werden, in dem die zweite Rille (26) ausgebildet -10-

AT 394 117 B wird.

Der Magnetwandlerkopf von Fig. 36 entspricht dem Magnetwandlerkopf von Fig. 15, wobei jene Bauteile, die den Bauteilen von Fig. 15 entsprechen, mit den gleichen Bezugsziffem versehen sind. Der Magnetwandlerkopf von Fig. 36 entspricht dem Magnetwandlerkopf von Fig. 15, wobei Schutzelemente (93, 94) eines sehr verschleißfesten, nichtmagnetischen Werkstoffs in der Nähe der Berührungsfläche mit dem Magnetband vorgesehen sind. Der Magnetwandlerkopf von Fig. 36 wird aus der gleichen zusammengesetzten Trägerschicht und mit dem Fertigungsverfahren von Fig. 16 bis 24 hergestellt. In diesem Fall kann auf den Fertigungsschritt für die Rille (51) von Fig. 15 und den Füllschritt der geschmolzenen Oxydglasfüllung (52) von Fig. 17 verzichtet werden.

Der Magnetwandlerkopf von Fig. 37 entspricht dem Magnetwandlerkopf von Fig. 34, wobei entsprechende Bauteile des Magnetwandlerkopfs von Fig. 34 mit den gleichen Bezugsziffem versehen sind. Der Magnetwandlerkopf von Fig. 37 entspricht dem Kopf von Fig. 34, wobei Schutzelemente (95, 96) eines sehr verschleißfesten, nichtmagnetischen Werkstoffs in der Nähe der Berührungsfläche mit dem Magnetband vorgesehen sind. Der Magnetwandlerkopf dieser Ausführungsform wird aus den zusammengesetzten Trägerschichten der vorhergehenden Ausführungsformen und unter Verwendung des Verfahrens hergestellt, das dem Verfahren von Fig. 25 bis 33 gleicht. In diesem Fall kann auf den Fertigungsschritt zum Ausbilden der Rille (71) von Fig. 25 sowie den Füllschritt der hochschmelzenden Glasfüllung (72) in geschmolzenem Zustand von Fig. 26 gleichfalls verzichtet werden.

Bei den in Fig. 35 bis 37 gezeigten Magnetwandlerköpfen werden verschleißfeste, nichtmagnetische Elemente vorher auf den ferromagnetischen Oxydblock geklebt und geschliffen, um die Auflagefläche mit dem Magnetband auszubilden. Auf diese Weise ist der Teil der Auflagefläche einschließlich der Spaltfläche anders als der magnetische Metall-Dünnfilm des nichtmagnetischen Materials aufgebaut, d. h. das verschleißfeste, nichtmagnetische Material und die nichtmagnetischen Filme mit großer Härte, so daß der ferromagnetische Oxydwerkstoff nicht an der Außenseite freiliegt. Die Spurbreite wird daher von der Größe des schrägen Teils des ferromagnetischen Metall-Dünnfilms unabhängig vom Endpunkt des Schleifvorgangs für die Spaltfläche festgelegt, der auf die Ausbildung des ferromagnetischen Metall-Dünnfilms folgt, wodurch eine größere Herstellungstoleranz für den Trägerschichtblock zulässig ist. Weiters wird der ferromagnetische Metall-Dünnfilm durch den nichtmagnetischen Film mit großer Härte geschützt, so daß der Magnetwandlerkopf vor einer Verformung, Bruch oder einer Verschlechterung der Grenzschicht während der Glasverklebung geschützt wird, wodurch eine hohe Fertigungsrate und ein sehr stabiler Ausgang des Magnetwandlerkopfs sichergestellt weiden. Bei Köpfen für Videobandgeräte ist es notwendig, einen Einkristall-Ferrit zu verwenden, der auf die Bandauflagefläche vorspringt, da die Relativgeschwindigkeit zwischen Kopf und Band höher ist, woraus sich höhere Materialkosten ergeben. Bei den oben beschriebenen Ausführungsformen ist der Ferrit der Rückspaltseite kaum einer Teilabnützung bei der Berührung mit dem Band unterworfen, so daß ein hoch-μ polykristalliner Ferrit (d. h. ein gesinteter polykristalliner Ferrit) sicher verwendet werden kann und sich eine Senkung der Materialkosten ergibt.

Aus der obigen Beschreibung erkennt man, daß diese Erfindung einen Aufbau des Magnetwandlerkopfs liefert, gemäß dem ein nichtmagnetischer Film mit großer Härte zwischen dem ferromagnetischen Metall-Dünnfilm und den ferromagnetischen Oxyden liegt, so daß die Diffusion der Sauerstoffatome in den ferromagnetischen Oxyden auch bei höheren Temperaturen während des Aufbringens des ferromagnetischen Metall-Dünnfilms verhindert wird und damit keine Gefahr besteht, daß die Grenzschicht mit schlechten Magneteigenschaften versehen wird, die vom niedrigen Sauerstoffatomgehalt in der Grenzschicht mit den ferromagnetischen Oxyden herrühren. Daraus folgt, daß die weichen Magneteigenschaften der ferromagnetischen Oxyde nicht beeinträchtigt werden und die Aufzeichnungseigenschaften und der Wiedergabeausgang des Magnetwandlerkopfs nicht verschlechtert werden. Da die Grenzschicht durch das Aufsprühen nicht mit schlechten Magneteigenschaften versehen wird, können Einschränkungen bei der Sprühgeschwindigkeit oder Temperatur während des Aufbringens des ferromagnetischen Metall-Dünnfilms beseitigt werden, was teilweise zu einem Gewinn bei der Fertigungsleistung führt

Der nichtmagnetische Film mit großer Härte, der zwischen der Oxydglasfüllung und dem ferromagnetischen Metall-Dünnfilm liegt, dient dazu, um das Oxydglas zu schützen und die Glasfließfähigkeit zu verbessern, während die Erosion durch das Oxydglas oder eine Verformung des ferromagnetischen Metall-Dünnfilms verhindert werden.

Dadurch, daß entsprechende nichtmagnetische Filme mit großer Härte vorgesehen sind, kann auch die Bindung des ferromagnetischen Metall-Dünnfilms verbessert und örtliche Spannungen, beispielsweise Wärmespannungen, beseitigt werden, die anderenfalls durch die unterschiedliche Wärmeausdehnung zwischen benachbarten Bauteilen während des nach dem Aufsprühen folgenden Vorgangs entstehen, beispielsweise dem Abkühlvorgang, um einen Bruch oder ähnliche Mängel zu verhindern.

Der ferromagnetische Metall-Dünnfilm ist daher stabiler, wobei die Magneteigenschaften ebenfalls mit einer verbesserten Genauigkeit in der Spurbreite stabil sind, so daß der Magnetwandlerkopf eine zuverlässige Festigkeit besitzt und mit einem Magnetaufzeichnungsträger von hoher Koerzitivkraft verwendet werden kann. -11-

Claims

AT 394 117 B PATENTANSPRÜCHE 1. Magnetwandlerkopf mit einem ersten magnetischen Kemelement und einem zweiten magnetischen Kem-element, wobei das erste und zweite Kemelement einen magnetischen Ferritblock enthalten, wobei ein magnetischer Metall-Dünnfilm mit dem magnetischen Ferritblock integriert ist, und ein nichtmagnetischer Film großer Härte zwischen dem Ferritblock und dem magnetischen Metall-Dünnfilm liegt, wobei das erste und zweite Kemelement eine erste planare Fläche und eine zweite planare Fläche besitzen, und wobei der magnetische Metall-Dünnfilm auf der zweiten planaren Fläche vorgesehen ist und eine Kante davon der ersten planaren Fläche gegenüber liegt, und die zweite planare Fläche zur ersten planaren Fläche geneigt ist, dadurch gekennzeichnet, daß das erste und zweite Kemelement (10,11) miteinander so verbunden sind, daß zwischen der Kante des magnetischen Metall-Dünnfilms (13) auf dem ersten Kemelement (10) und der Kante des magnetischen Metall-Dünnfilms (13) auf dem zweiten Kemelement (11) ein Betriebsmagnetspalt (g) gebildet wird, und daß der magnetische Metall-Dünnfilm auf dem ersten Kemelement und der magnetische Metall-Dünnfilm auf dem zweiten Kemelement in einer gemeinsamen Ebene liegen und vom ersten und zweiten Kemelement eine gemeinsame Berührungsfläche gebildet wird, die einem vorbeilaufenden Magnetauf-zeichungsträger gegenüber liegt, daß eine Kante des magnetischen Metall-Dünnfilms, auf der ersten Fläche des Magnetkemelements (10,11) sich parallel zu einer Richtung der Tiefe des Magnetspalts (g) erstreckt und eine andere Kante sich auf der Berührungsfläche längs einer Geraden erstreckt, die einen Winkel mit dem Betriebsmagnetspalt (g) einschließt, der nicht gleich einem rechten Winkel ist, wenn man auf die Berührungsfläche blickt wobei die Kemelemente (10,11) miteinander so verbunden werden, daß der Betriebsmagnetspalt (g) zwischen den Kanten gebildet wird, die auf der ersten Fläche eines jeden Magnetkemelements auftreten, und die anderen Kanten in einer gemeinsamen Geraden ausgerichtet sind, daß die Magnetkemelemente (10,11) eine dritte Fläche besitzen, die sich neben der ersten planaren Fläche (14) und der Berührungsfläche erstreckt, daß sich die zweite planare Fläche (10a, 11a) auf dem magnetischen Ferritblock des Kemelements von der ersten planaren Fläche (14) zu einer Seite der dritten Fläche erstreckt, daß der magnetische Metall-Dünnfilm (13) auf der zweiten planaren Räche (10a, 11a) zu einer Seite der dritten Räche ausgebildet ist, daß der magnetische Metall-Dünnfilm (13) auf der zweiten planaren Räche (10a, 11a) sich von der ersten planaren Räche (14) zur Seite der dritten Räche längs einer Geraden erstreckt, die auf den Magnetspalt (g) nicht senkrecht steht, wenn man auf die Berührungsfläche blickt, daß ein nichtmagnetischer Werkstoffteil sich zur ersten planaren Räche, zur Berührungsfläche und zur dritten Fläche erstreckt, wobei das erste und zweite Kemelement so verbunden sind, und daß der Betriebsmagnetspalt (g) zwischen Kanten des magnetischen Metall-Dünnfilms (13) ausgebildet wird, die auf der ersten planaren Fläche eines jeden Kemelements auftreten, und die Gerade des ersten Kemelements (10) und des zweiten Kemelements (11) auf einer gemeinsamen Geraden verlaufen, wenn man auf die Berührungsfläche blickt
2. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Betriebsmagnetspalt (g) im Mittelteil der Berührungsfläche vorgesehen ist
3. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Winkel der ersten planaren Räche (14) und der zweiten planaren Fläche (10a, 11a) zwischen 20° und 80° liegt, wenn man auf die Berührungsfläche blickt
4. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er weiters eine Öffnung für die Wicklungsspule enthält, die zumindest auf einem Kemelement (10,11) vorgesehen ist und der ersten planaren Räche (14) gegenüber liegt, den Betriebsmagnetspalt und einen Rückspalt trennt und eine Spule durch diese Öffnung gewickelt wird.
5. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Metall-Dünnfilm (13) sich zum Rückspalt erstreckL
6. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Rückspalt zwischen jedem Ferritblock des Kemelements (10,11) gebildet wird.
7. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Metall-Dünnfilm (13) über die gesamte Fläche des magnetischen Metall-Dünnfilms ein im wesentlichen gleichförmiges Stengelwachstum besitzt. -12- AT 394 117 B
8. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Metall-Dünnfilm (13) aus einer kristallinen Legierung besteht
9. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Metall-Dünnfilm (13) aus Fe-Al-Si Legierungen besteht.
10. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Metall-Dünnfilm (13) über die gesamte Fläche des magnetischen Metall-Dünnfilms im wesentlichen gleichförmige Eigenschaften der magnetischen Anisotropie besitzt.
11. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Metall-Dünnfilm (13) aus einer amorphen Legierung besteht
12. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Metall-Dünnfilm (13) aus einer amorphen Metall/Nichtmetall-Legierung besteht.
13. Magnetwandlerkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Metall-Dünnfilm (13) aus einer amorphen Metall/Metall-Legierung besteht. Hiezu
14 Blatt Zeichnungen -13-