DE4021438A1 - Magnetkopf - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Magnetkopf zur Ver­ wendung bei der magnetischen Speicherung und Wiedergabe von Information auf bzw. von einem magnetischen Speicher­ medium.

In neuerer Zeit gibt es einen wachsenden Bedarf an einer höheren Speicherdichte bei der magnetischen Aufzeichnung. Um diesem Bedarf zu genügen, ist es erforderlich, ein magnetisches Speichermedium mit einer höheren Koerzitiv­ kraft sowie einen Magnetspeicherkopf mit verbesserter Leistung zu entwickeln. Beispielsweise benötigt man einen Magnetkopf, der ein hohes Niveau der Sättigungsmagnetfluß­ dichte und magnetischen Permeabilität hat, um die Vorteile magnetischer Speichermedien mit hoher Koerzitivkraft voll auszunutzen. Aus diesem Grund werden herkömmlich verwendete Ferritmaterialien durch kristalline Magnetlegierungen, wie z.b. Ni-Fe- und Fe-Al-Si-Legierungen, und amorphe Magnetlegierungen, wie z. B. Co-Nb-Zr oder Co-Ta-Zr er­ setzt.

Die Spurbreite und die Spaltlänge des Magnetkopfes werden auch als Ergebnis der Steigerung der Speicherdichte ver­ ringert, wodurch eine höhere Bearbeitungsgenauigkeit er­ fordert wird. Der Übertragungsdurchsatz wird auch gestei­ gert, so daß eine Verbesserung bei den Speicher- und Wiedergabeeigenschaften im Hochfrequenzbereich erforder­ lich wird. Diese Anforderungen werden durch Magnetköpfe mit Vielschichtstrukturen erfüllt. Unter diesen Umständen werden Techniken zur Bildung von Dünnschichten, wie z.B. Aufstäuben, Vakuumbedampfung und Galvanisieren, sowie eine Verarbeitungstechnik, wie lithographische Technik, weit verbreitet und anstelle herkömmlicher Bearbeitung kompakter Materialien angewendet, und nach diesen Techni­ ken hergestellte Dünnfilmmagnetköpfe finden mehr und mehr Verbreitung.

Um die Eigenschaften eines Magnetkopfes im Hochfrequenz­ bereich voll auszunutzen, werden ausführlich Anstrengungen unternommen, um die magnetische Anisotropie von Magnet­ filmen im Magnetpfad zu steuern. Es ist bekannt, daß die magnetische Permeabilität eines Magnetfilms in einem Hoch­ frequenzbereich in der Richtung leichter Magnetisierung niedrig und in der Richtung schwieriger Magnetisierung hoch ist. Dies kommt daher, daß der Magnetisierungsprozeß in der Richtung leichter Magnetisierung hauptsächlich von der Bewegung der Magnetbereichswände abhängt, während der Magnetisierungsprozeß in der Richtung harter Magneti­ sierung hauptsächlich von der Rotationsmagnetisierung abhängt.

Zwei Verfahren sind verfügbar, um einem Magnetfilm eine magnetische Anisotropie zu verleihen, nämlich die Anlegung eines Magnetfeldes während der Bildung des Magnetfilms und die Wärmebehandlung des Magnetfilms in einem Magnet­ feld. Durch Anwendung solcher Verfahren ist es möglich, einen Magnetfilm zu erhalten, in dem die Achsen leichter Magnetisierung in der gleichen Richtung wie der Richtung des angelegten Magnetfelds ausgerichtet sind. Im Fall eines Dünnfilms ist es jedoch schwierig, die Achsen leich­ ter Magnetisierung in die Dickenrichtung des Films einzu­ stellen, weil eine zu große Formanisotropie vorliegt. Üblicherweise erstrecken sich daher die Achsen leichter Magnetisierung im Film. Es ist bekannt, daß die Leistung eines Magnetkopfes verbessert wird, wenn dem Magnetfilm eine magnetische Anisotropie derart verliehen wird, daß die Richtung harter Magnetisierung, die eine hohe magneti­ sche Permeabilität liefert, in der Richtung des Magnet­ pfades entwickelt wird.

Diese Dünnfilmmagnetkopfart wird z.B. in Magnetscheiben­ einrichtungen für Computer verwendet, wie beispielsweise in IEEE Transaction on Magnetics, MAG-7, 146, 1971 offen­ bart ist.

Die Fig. 14(a) und 14(b) zeigen ein Beispiel des Dünnfilm­ magnetkopfes im Schnitt bzw. in der Draufsicht. Der Magnet­ kopf hat ein Substrat 1, einen auf dem Substrat gebildeten unteren Magnetfilm 2, einen Isolierfilm auf dem unteren Magnetfilm 2, eine Spule 3 auf dem Isolierfilm und einen oberen Magnetfilm 4 auf der Spule 3, wodurch ein Magnet­ pfad gebildet wird. Die Bezugsziffer 5 bezeichnet eine Oberfläche, die dem Speichermedium zugewandt ist, während die Bezugsziffer 6 die Spurbreite bezeichnet. Der Magnet­ pfad wird derart gebildet, daß die Richtung harter Magneti­ sierung mit der Richtung zum Speichermedium übereinstimmt. Daher stimmt die Richtung 7 leichter Magnetisierung mit der Richtung der Spurbreite überein, die sich in der Film­ ebene erstreckt, wodurch eine hohe magnetische Permeabilität in der Richtung des Magnetpfades erhalten wird.

Allgemein haben jedoch Ringtyp-Magnetköpfe, wie die in VTRs verwendeten, komplizierte Gestaltungen, so daß es nicht leicht ist, den ganzen Magnetpfad in der Richtung hoher magnetischer Permeabilität auszurichten.

Fig. 15 zeigt einen in VTRs verwendeten bekannten Ringtyp- Magnetkopf, wie in INTER MAG CONFERENCE, April, 14-17, 1987 beschrieben ist.

Dieser Magnetkopf hat ein schützendes Substrat 1, eine Mehrzahl von Magnetfilmschichten 2 und ein schützendes Substrat 1′. Dieser Vielschichtaufbau wird in Kernhälften 8 und 8′ unterteilt, und nach Bildung eines Spulenwicklungs­ fensters 9 werden diese beiden Teile durch ein Spaltmaterial 10 miteinander verbunden. Dabei ist die Spurbreite 6 in der Dickenrichtung des Magnetfilms. Bei diesem Ringtyp- Magnetkopf wird der Magnetpfad so gebildet, daß er das Spulenfenster 9 umgibt. Wenn das Prinzip des in Fig. 14 gezeigten Dünnfilm-Magnetkopfes auf den Ringtyp-Magnet­ kopf angewandt wird, versteht man, daß die magnetische Anisotropie diesem Ringtyp-Magnetkopf derart verliehen werden sollte, daß die Richtung leichter Magnetisierung in der Dickenrichtung des Magnetfilms, d.h. der Richtung der Spurbreite vorliegt, welche Richtung zur Richtung des Magnetpfads senkrecht ist. Bei dem in Fig. 15 gezeig­ ten Ringtyp-Magnetkopf ist es jedoch schwierig, die Rich­ tung leichter Magnetisierung in die Dickenrichtung des Films einzustellen, was auf den Einfluß des Entmagneti­ sierungsfeldes zurückzuführen ist, insbesondere wenn die Filmdicke auf beispielsweise 10µm oder weniger zwecks Erhöhung der Spurdichte verringert wird.

Ein gleichartiger Effekt kann erhalten werden, wenn Achsen leichter Magnetisierung in einer Radialrichtung bezüglich eines Ringtypkerns vorgesehen werden. Unter dem Gesichts­ punkt einer Massenfertigung ist es jedoch äußerst schwie­ rig, sämtliche Achsen leichter Magnetisierung längs und senkrecht zum Magnetpfad zu steuern.

Bei dem den Magnetkopf enthaltenden Magnetkreis werden die Eigenschaften des Magnetkopfes stark durch den magneti­ schen Widerstand beeinflußt, der in einem Bereich auftritt, der in der Nähe des Arbeitsspalts angrenzend an die Kopf­ fläche auftritt, die dem Speichermedium zugewandt ist. Es ist zu bemerken, daß eine merkliche Verbesserung in den Eigenschaften erreichbar ist, indem man die Richtung leichter Magnetisierung in dem oben erwähnten Bereich mit der Laufrichtung des magnetischen Speichermediums ausrichtet. Dabei wird jedoch der Teil des Magnetpfades hinter dem oben erwähnten Bereich parallel zur Richtung leichter Magnetisierung, so daß keine befriedigenden Kopf­ eigenschaften erhältlich sind. Weiter wird die Dicke des Magnetfilms im Fall von Köpfen geringer Spurbreiten von 10µm oder weniger verringert. Daher ist beim Magnetkopf des in Fig. 15 dargestellten Typs mit einer verhältnis­ mäßig großen Länge des Magnetpfades der magnetische Wider­ stand des Magnetpfades allgemein hoch, was es unmöglich macht, ein ausreichend hohes Niveau des Wiedergabeausgangs zu erzielen.

Wie erläutert wurde, stößt ein bekannter Magnetkopf auf das Problem, daß die magnetischen Speicher/Wiedergabe- Eigenschaften nicht voll verbessert werden, wenn die Spur­ breite verringert wird. Insbesondere werden beim Ringtyp- Kopf, bei dem die Spurbreite in der Richtung der Film­ dicke auftritt, die magnetischen Aufnahme- und Wiedergabe­ eigenschaften beeinträchtigt und fluktuieren aufgrund der Schwierigkeit, die beim Einstellen der Richtung leich­ ter Magnetisierung senkrecht zum Magnetpfad auftritt.

Der Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, einen Magnetkopf mit verbesserten Aufnahme- und Wiedergabe­ eigenschaften zu entwickeln, mit dem die oben erläuterten Probleme des Standes der Technik überwunden werden.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Magnetkopf gemäß den Patentansprüchen 1, 2, 13 und 17 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen gemäß der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Eine Lösung gemäß der Erfindung sieht also einen Magnet­ kopf mit einem Arbeitsspalt, einem den Arbeitsspalt bil­ denden Magnetpfadkörper und einer einen Magnetfluß im Magnetpfadkörper bildenden Spulenanordnung mit dem Kenn­ zeichen vor, daß der Magnetpfadkörper aus wenigstens zwei Teilen mit verschiedenen Richtungen leichter Magnetisie­ rung zusammengesetzt ist.

Eine Ausgestaltung der Erfindung sieht einen Magnetkopf mit einem Hauptmagnetpfadbildungsfilm zur Bildung eines Hauptmagnetpfades und eines Arbeitsspaltes, welcher Film eine Dicke von höchstens 20µm, jedoch wenigstens 1µm hat, wenigstens einem Hilfsmagnetpfadbildungsfilm zur Bildung eines Hilfsmagnetpfades, welcher Film eine Dicke von wenigstens 10µm, jedoch nicht über 50µm hat und magnetisch mit dem Hauptmagnetpfad gekoppelt ist, und einer Spuleneinrichtung vor, die magnetisch mit wenig­ stens einem der Haupt- und Hilfsmagnetpfadbildungsfilme gekoppelt und zum Leiten elektromagnetischer Umwandlung geeignet ist. So werden der Aufbau, die Materialien und die magnetischen Eigenschaften des Magnetkopfes derart bestimmt, daß Nachteile des Hauptmagnetpfades durch den Hilfsmagnetpfad kompensiert werden.

Der Magnetkopf nach dieser Ausführungsart der Erfindung wird als Magnetkopf mit einer kleineren Spurbreite als der Kernbreite oder -höhe verwendet. Dabei werden die Spurbreite und der Arbeitsspalt durch den Hauptmagnet­ pfadbildungsfilm derart gebildet, daß die Richtung leich­ ter Magnetisierung des Hauptmagnetfilms senkrecht zum Arbeitsspalt gebildet wird, während wenigstens einer der Hilfsmagnetfilme die Richtung leichter Magnetisierung senkrecht zum Hintermagnetpfad hat.

Insbesondere im Fall eines Ringtypkopfes, bei dem die Spurbreite in der Richtung der Dicke des Hauptmagnet­ pfadbildungsfilms auftritt, wird die magnetische Aniso­ tropie des Hauptmagnetpfadbildungsfilms im Bereich an­ grenzend an den Arbeitsspalt so gesteuert, um die magneti­ schen Eigenschaften des Magnetpfads zu optimieren, während die magnetischen Eigenschaften des Hintermagnetpfads durch die Steuerung der magnetischen Anisotropie des Hilfsmagnet­ pfadbildungsfilms optimiert werden.

Erfindungsgemäß ist es möglich, die magnetischen Eigen­ schaften des Magnetpfades dank der Tatsache zu optimieren, daß der Magnetpfadkörper aus einer Mehrzahl von Teilen mit verschiedenen Richtungen leichter Magnetisierung zu­ sammengesetzt ist.

Der Hauptmagnetpfadbildungsfilm dient zur Lieferung opti­ maler magnetischer Eigenschaften im Bereich nahe dem Ar­ beitsspalt, während der Hilfsmagnetpfadbildungsfilm einge­ setzt wird, um optimale magnetische Eigenschaften im Hinter­ magnetpfad zu liefern, wodurch verbesserte magnetische Eigenschaften im Magnetpfad eines Ringtyp-Magnetkopfes erhalten werden.

Wenn die Erfindung auf einen Magnetkopf mit einer geringen Spurbreite angewendet wird, dient der Hilfsmagnetpfad zur Vermeidung einer Verringerung der Wirksamkeit des Hinter­ magnetpfades, so daß befriedigende Kopfeigenschaften auch dann erhalten werden, wenn die Spurbreite auf 10µm oder darunter verringert wird.

Weiter wird die Aufnahmeleistung durch Verwendung eines Magnetmaterials mit einem hohen Niveau der Sättigungs­ magnetflußdichte verbessert, während das Material des Hilfsmagnetpfadbildungsfilms gewählt werden kann, um eher eine hohe magnetische Permeabilität als die Sättigungs­ magnetflußdichte zu liefern, wodurch ein Magnetkopf mit einer hohen Speicherdichte erhalten werden kann.

Die Erfindung wird anhand der in der Zeichnung veranschau­ lichten Ausführungsbeispiele näher erläutert; darin zeigen:

Fig. 1 eine Perspektivdarstellung eines Ausführungs­ beispiels des Magnetkopfes gemäß der Erfin­ dung;

Fig. 2 bis 6 Darstellungen eines Verfahrens zur Herstellung eines Magnetkopfs gemäß der Erfindung;

Fig. 7 eine Perspektivdarstellung eines anderen Ausführungsbeispiels des Magnetkopfes gemäß der Erfindung;

Fig. 8 bis 12 Darstellungen eines Verfahrens zur Herstellung des in Fig. 7 gezeigten Magnetkopfes;

Fig. 13 eine graphische Darstellung der Ergebnisse eines Versuchs, der zur Bestätigung der Vorteile der Erfindung durchgeführt wurde;

Fig. 14a und 14b eine Schnittansicht bzw. eine Draufsicht eines in einer bekannten Magnetscheiben­ einrichtung verwendeten bekannten Dünn­ filmwindungen-Magnetkopfes; und

Fig. 15 eine Perspektivansicht eines in einem VTR verwendeten bekannten Magnetkopfes.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung haben die folgenden Merkmale:

• i) Der Magnetkopf hat einen Hauptmagnetpfadbildungsfilm, der wenigstens einen Arbeitsspalt bildet, und wenigstens einen Hilfsmagnetpfadbildungsfilm, der den Hauptmagnet­ pfadbildungsfilm ergänzt, wobei der Hilfsmagnetpfadbildungs­ film hinter der Spalttiefe des Magnetkerns angeordnet und mit dem Hauptmagnetpfadbildungsfilm magnetisch ge­ koppelt ist.
• ii) Der Hilfsmagnetpfadbildungsfilm ist auf einer oder auf beiden Seiten des Hauptmagnetpfades vorgesehen.
• iii) Wenigstens einer der Hilfsmagnetpfadbildungsfilme hat eine von der Richtung leichter Magnetisierung des Hauptmagnetpfadbildungsfilms verschiedene Richtung leich­ ter Magnetisierung. Vorzugsweise ist die Richtung leich­ ter Magnetisierung des Hauptmagnetpfadbildungsfilms senk­ recht zur Tiefenrichtung des Arbeitsspalts (d. h. sie ist die Laufrichtung des Speichermediums), und wenigstens einer der Hilfsmagnetpfadbildungsfilme hat die Richtung leichter Magnetisierung, die einen Winkel von etwa 90° zur oben erwähnten Richtung leichter Magnetisierung des Hauptmagnetpfadbildungsfilms bildet.
• iv) Die Haupt- und Hilfsmagnetpfadbildungsfilme bestehen aus einer kristallinen Legierung, wie z.B. einer Ni-Fe- Legierung, Fe-Al-Si-Legierung od. dgl., oder einem amorphem Legierungsfilm, wie z. B. einer Co-Ta-Zr-Legierung. Es ist auch möglich, als ein Material mit einer hohen Sätti­ gungsmagnetflußdichte einen Vielschichtfilm aus Fe-C/Ni-Fe- Legierungen zu verwenden. Der Film wird durch Hochfrequenz­ zerstäubung, Ionenstrahlzerstäubung, Vakuumverdampfung oder eine andere geeignete Dünnfilmbildungstechnik gebil­ det.

Die Haupt- und Hilfsmagnetpfadbildungsfilme können aus dem gleichen Material bestehen, oder es können je nach den Verwendungsfällen verschiedene Materialien verwendet werden. Vorzugsweise besteht der Hauptmagnetpfadbildungs­ körper aus einem Material mit einem hohen Niveau der Sättigungsmagnetflußdichte, während der Hilfsmagnetpfad­ bildungsfilm aus einem Material besteht, das eine hohe magnetische Permeabilität hat und verläßlich und leicht bearbeitbar ist.

Ein schützendes Substrat, auf dem diese Magnetfilme ge­ bildet werden, kann aus einem kristallisierten Glas, wie "Photoserum" (Warenzeichen) von Corning Glass (USA), einem Steinsalztyp-Material, wie MnO-NiO oder NiO.MgO, oder einem nicht-magnetischen Material, wie Zn-Ferrit, Fe₂O₃ oder ZrO₂, bestehen.

Beispiele des erfindungsgemäßen Magnetkopfes werden nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.

Beispiel 1

Fig. 1 zeigt den Aufbau eines Beispiels des grundsätz­ lichen Aufbaus einer Ausführungsart des Magnetkopfes gemäß der Erfindung. Dieser Magnetkopf ist von einem Typ mit einem ringartigen Magnetpfad und aus zwei Teilen zusammen­ gesetzt, deren jeder zwei Arten von metallischen Magnet­ schichten 21, 22 und Substraten 23, 23′ enthält, zwischen denen die metallischen Magnetschichten 21, 22 laminiert sind, welche beiden Teile durch Bindeglasschichten 24, 24′ über einen Spalt 25 verbunden sind.

Die metallischen Magnetschichten 21 liefern einen Haupt­ magnetpfad, wobei sich die Spurbreite Tw in dessen Dicken­ richtung erstreckt, und liegen an einer Oberfläche des Magnetkopfes frei, die dem Speichermedium zugewandt ist. Die metallische Magnetschicht 21 hat eine mit der Richtung A des Laufs des Kopfes übereinstimmende Richtung leichter Magnetisierung (senkrecht zur Tiefenrichtung des Arbeits­ spalts), um eine hohe magnetische Permeabilität in der dem Speichermedium gegenüberstehenden Richtung, d. h. in der Richtung der Höhe des Kopfes zu liefern.

Andererseits ergibt die metallische Magnetschicht 22 einen Hilfsmagnetpfad, der nach unten um einen der Spalttiefe d gleichen Abstand (5 bis 30µm) von der freiliegenden Oberfläche des Hauptmagnetpfadbildungsfilms 21 beabstandet ist, um zur Verringerung des magnetischen Widerstandes des Hintermagnetpfades zu dienen, der der Teil des Magnet­ pfades hinter der Spalttiefe d ist. So hat die metallische Magnetschicht 22 eine Richtung leichter Magnetisierung, die mit der Richtung C übereinstimmt, in der der Kopf dem Speichermedium zugewandt ist, um eine magnetische Permeabilität von höherem Wert bezüglich des Hintermagnet­ pfads in der Richtung A des Laufs des Speichermediums zu liefern.

In diesem Ausführungsbeispiel liegt der Hilfsmagnetpfad­ bildungsfilm unter der Spalttiefe d. Gemäß dieser Anordnung wird die Dicke des Hauptmagnetpfadbildungsfilms, die der Spurbreite entspricht, konstant abwärts zur Spalttiefe d gehalten, so daß der Magnetkopf verwendet werden kann, bis der Kopf bis zur Tiefe d hinunter verschlissen ist.

Mit diesen Merkmalen ist es möglich, die Wirksamkeit des Magnetpfades über den gesamten Ringtypmagnetkopf zu ver­ bessern und ausgezeichnete magnetische Kopfeigenschaften zu erhalten.

Die metallischen Magnetschichten 21 können eine höhere Sättigungsmagnetflußdichte als die der metallischen Magnet­ schicht 22 haben, so daß beide metallischen Magnetschichten unterschiedliche Rollen spielen können, wodurch ein Magnet­ kopf mit verbesserten Aufnahme- und Wiedergabeeigenschaften erhältlich ist. Außerdem kann das Gleitgeräusch unter­ drückt werden, da der gesamte Magnetpfad aus metallischen Magnetteilen gebildet ist.

Es wird nun eine Beschreibung eines Verfahrens zur Her­ stellung dieses Magnetkopfes anhand der Fig. 2 bis 6 ge­ geben. Als erster Schritt wird eine Nut von etwa 50µm in einer Oberfläche eines Substrats 23 aus einem nicht­ magnetischen Steinsalztyp-Material aus MnO.NiO gebildet, welche Nut sich in der Richtung A des Laufs des magneti­ schen Mediums erstreckt, wie in Fig. 2 gezeigt ist.

Anschließend wurde ein Aufstäuben zur Bildung einer me­ tallischen Magnetschicht 22 von 20 bis 30µm durchgeführt, die einen Hilfsmagnetpfad in der Nut lieferte, wie in Fig. 3 gezeigt ist, worauf ein Schleifen und Polieren zum Entfernen eines überschüssigen Teils der metallischen Magnetschicht zwecks Bildung einer ebenen Oberfläche folgte. Bei diesem Beispiel wurde eine amorphe Co₈₂-NB₁₄-Zr₄ (At. %)- Legierung mit einer Sättigungsmagnetflußdichte von 0,8 T als die metallische Magnetschicht 22 verwendet. Die Magnetschicht 22 wurde in einer Argongasatmosphäre von 6,5 mbar unter Verwendung einer mit einer Hochfrequenz­ leistung von 250 W betriebenen Hochfrequenz-Aufstäub­ vorrichtung gebildet. Während des Aufstäubens wurde ein Magnetfeld von 100 Oe angelegt, oder es wurde nach dem Aufstäuben eine Wärmebehandlung durchgeführt, bei der die metallische Magnetschicht 30 Minuten in Anwesenheit eines Magnetfeldes von 5 kOe bei 350°C gehalten wurde, wonach sie in der Vorrichtung abkühlte. Die Bedingungen des Magnetfeldes usw., die während des Aufstäubens verwen­ det wurden, und die Bedingungen der Wärmebehandlung waren derart, daß die metallische Magnetschicht eine Leicht­ magnetisierungsrichtung Ea hat, die mit der Richtung C übereinstimmt, in der der Magnetkern dem Speichermedium zugewandt ist.

Anschließend wurden metallische Magnetschichten 21 als ein Hauptmagnetpfadbildungsfilm auf der so erhaltenen Substratoberfläche gebildet, wie Fig. 4 zeigt. Die Dicke dieses Films wurde gleich der Spurbreite gewählt. Eine Mehrzahl dieser Schichten wurden abwechselnd mit Isolier­ schichten aus SiO₂ od. dgl. Material laminiert. Dieser Laminataufbau ist wirksam zur Verringerung des Streustrom­ verlustes, so daß die magnetischen Eigenschaften im Hoch­ frequenzbereich verbessert werden. In diesem Beispiel wurde eine amorphe Co₈₄-Nb₁₃-Zr₃ (At. %)-Legierung mit einer Sättigungsmagnetflußdichte von 0,9 T als das Material der metallischen Magnetschichten 21 verwendet. Fünf solche Schichten, jeweils 3µm dick, wurden abwechselnd mit den SiO₂-Isolierschichten laminiert, um so den metallischen Magnetfilm 21 zu bilden. Dieser laminierte Film wurde durch Aufstäuben gebildet, das unter Einfluß eines Magnet­ feldes von 100 Oe so durchgeführt wurde, daß die Richtung Ea′ leichter Magnetisierung dieses Films mit der Lauf­ richtung des magnetischen Mediums oder Kerns überein­ stimmt. So hat der Hauptmagnetpfadbildungsfilm 21 eine mit der Laufrichtung des Magnetkerns übereinstimmende Leichtmagnetisierungsrichtung, und die Leichtmagnetisie­ rungsrichtung des Hilfsmagnetpfadbildungsfilms wird fest­ gelegt, um einen Winkel von etwa 90° zur Leichtmagneti­ sierungsrichtung des Hauptmagnetpfadbildungsfilms zu bilden.

Anschließend wurde ein auf seiner einen Seite mit einer Bindeglasschicht versehenes Substrat 23′ auf dem metalli­ schen Magnetfilm 21 angeordnet, wie Fig. 5 zeigt, und das Bindeglas wurde durch Hitze so geschmolzen, daß ein verbundener Block erhalten wurde. Ein kristallisiertes Glas, das im wesentlichen PbO, SiO₂, B₂O₃, Al₂O₃ und ZnO enthielt und zum Kristallisieren nach Wärmeschmelzen unter Aufweisen eines Anstiegs des Erweichungspunkts geeignet war, wurde als das Bindeglas verwendet. Die Verbindungs­ temperatur war 480°C.

Der Block wurde dann, wie in Fig. 6 gezeigt ist, in ein Paar von Kernhälften zertrennt. Eine Spulennut 26 wurde in einem der Kernhalbteile gebildet, und nach Polieren und Glätten der Spaltflächen wurden diese zwei Hälften durch einen nicht-magnetischen SiO₂-Dünnfilm so miteinander verbunden, um eine Spaltlänge von 0,3µm zu bilden. Die Verbindung wurde durch Bilden einer Vertiefung außerhalb des Arbeitsspalts und Füllen der Vertiefung mit einem Niedrigschmelzpunkt-Pb-Glas durchgeführt. Der so erhaltene Aufbau wurde dann zu einer geeigneten Kernbreite geschnitten, wodurch ein Magnetkopfkern mit einer Länge von 2 mm, einer Höhe von 1,5 mm und einer Breite von 160µm erhalten wurde, wie in Fig. 1 gezeigt ist.

Beispiel 2

Ein anderes Beispiel wird nun unter Hinweis auf Fig. 7 beschrieben. Dieses Beispiel ist zur Auslegung eines Magnet­ kopfes mit einer Spurbreite von höchstens 10µm, jedoch nicht unter 1µm geeignet, welcher Magnetkopf eine hohe Speicherdichte aufweist. Wie Fig. 7 zeigt, hat dieses Ausführungsbeispiel des Magnetkopfes metallische Magnet­ schichten 21 zur Bildung eines Hauptmagnetpfades und zwei Arten von metallischen Magnetschichten 22, 22′ zur Bildung von Hilfsmagnetpfaden.

Die metallische Magnetschicht 21 hat eine Leichtmagneti­ sierungsrichtung, die mit der Kopflaufrichtung A (zur Richtung der Tiefe des Spalts senkrechte Richtung) über­ einstimmt. Eine der beiden Arten von metallischen Magnet­ schichten 22, 22′ hat die gleiche Richtung leichter Magneti­ sierung wie die metallischen Magnetschichten 21, während die andere eine Richtung leichter Magnetisierung hat, die im Winkel von etwa 90° zur Richtung leichter Magneti­ sierung der metallischen Magnetschichten 21 steht.

Diese Anordnung wird aus dem folgenden Grund vorgenommen. Wenn die Spurbreite auf 10µm oder darunter verringert wird, zeigt der nur aus den metallischen Magnetschichten 21 gebildete Magnetpfad einen drastischen Anstieg im mag­ netischen Widerstand, so daß die Aufnahme- und Wiedergabe­ eigenschaften beeinträchtigt werden. Dieses Problem kann durch die Verwendung eines Hinterhilfsmagnetpfades vermie­ den werden, der die gleiche Richtung leichter Magnetisierung wie die metallischen Magnetschichten 21 hat.

Ein Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung dieses Magnet­ kopfes wird unter besonderem Hinweis auf die Fig. 8 und 9 beschrieben. Dieses Verfahren ist im wesentlichen das gleiche wie das zuvor im Zusammenhang mit den Fig. 2 bis 6 beschriebene.

Wie im Fall des Verfahrens nach Beispiel 1 wird ein nicht­ magnetisches MnO.NiO-Steinsalztypmaterial als Material des Substrats verwendet. In diesem Beispiel wird ein Paar von Substraten 23, 23′ mit darin gebildeten Nuten vorge­ sehen. Die Nuten sind parallel zur Richtung A des Laufs des Magnetkerns, d. h. senkrecht zum Arbeitsspalt. Die Nuttiefe ist 30 bis 50µm.

Anschließend wurde eine Aufstäubung zur Bildung der me­ tallischen Magnetschichten 22, 22′ vorgenommen, die die Hilfsmagnetpfade ergeben, worauf ein Schleifen und Po­ lieren zur Ebnung der Oberfläche folgten. Bei diesem Bei­ spiel wurde eine amorphe Co₈₂-Nb₁₄-Zr₄-Legierung mit einer Sättigungsmagnetflußdichte von 0,8 T als Material der metallischen Magnetschichten verwendet. Die metallischen Magnetschichten wurden so gebildet, daß die metallische Magnetschicht 22 eine von der der metallischen Magnet­ schicht 22′ verschiedene Richtung leichter Magnetisierung hatte. Und zwar hatte, wie in Fig. 9(a) gezeigt ist, die metallische Magnetschicht 22 eine Richtung Ea leichter Magnetisierung, die, wie durch A angedeutet ist, senkrecht zum Arbeitsspalt des Magnetkerns (parallel zu den Nuten in den Substraten) war, während die Richtung Ea leichter Magnetisierung der metallischen Magnetschicht 22′ mit der Richtung C (zu den Nuten in den Substraten senkrechte Richtung) übereinstimmte, in der der Kopf dem Speicher­ medium gegenübersteht, wie in Fig. 9(b) gezeigt ist. Die Richtung leichter Magnetisierung wurde erzeugt, indem man eine Wärmebehandlung durchführte, bei der die Magnet­ schichten 30 Minuten bei 450°C in einem Magnetfeld von 5 kOe mit nachfolgender Abkühlung in der Vorrichtung gehal­ ten wurden. Die so behandelte metallische Magnetschicht zeigte effektive magnetische Permeabilitätswerte von 400 und 1500 in der Richtung leichter Magnetisierung bzw. in der Richtung harter Magnetisierung.

Anschließend wurden metallische Magnetschichten 21, die den Hauptmagnetpfad ergeben, auf dem in Fig. 9(a) gezeigten Substrat gebildet, wie Fig. 10 zeigt. Um einen Kopf mit kleiner Breite der Spur zu erhalten, wurde die Filmdicke mit 5µm bestimmt. Die metallischen Magnetschichten 21 hatten einen aus Fe₉₉-C₁ (At. %)/Ni₉₀-Fe₁₀ (At. %) bestehen­ den Laminataufbau. Die Laminierungsabfolge war derart, daß eine Ni₉₀-Fe₁₀-Schicht von 5 nm auf eine Fe₉₉-C₁- Schicht von 0,1µm aufgebracht wurde und eine BN-Isolier­ schicht von 10 nm Dicke je 10 gesamte Schichten dieser zwei Arten von Schichten eingefügt wurde. Dieser lami­ nierte Film wurde durch Ionenstrahlaufstäuben gebildet.

Der so erhaltene Laminatfilm zeigte eine Sättigungsmagnet­ flußdichte von etwa 2 T, während die wirksame magnetische Permeabilität in der Richtung schwieriger Magnetisierung bei 5 MHz 2000 war. Die Verwendung einer Magnetschicht mit einer so hohen Sättigungsmagnetflußdichte ermöglicht ein Speichermedium mit einer hohen Koerzitivkraft, auch wenn die Spurbreite verringert ist. Die magnetische An­ isotropie im vorerwähnten Vielschichtfilm wurde erzeugt, indem man aufgestäubte Teilchen schräg auf das Substrat auftreffen ließ. Die Einzelheiten dieser Technik und die Bedingungen zur Bildung des Fe₉₉-C₁/Ni₉₀-Fe₁₀-Vielschicht­ films sowie die magnetischen Eigenschaften dieses Films sind in der JP-OS 63-0 65 604 beschrieben.

Anschließend wurde eine Bindeglasschicht auf der Oberfläche der metallischen Magnetschicht auf dem Substrat 23′ gebil­ det, und das Substrat 23′ wurde auf dem Substrat 23, wie in Fig. 11 gezeigt, angebracht, worauf das Hitzeschmelzen des Bindeglases folgte und so ein verbundener Block erhal­ ten wurde. Die anschließenden Schritte dieses Verfahrens sind praktisch die gleichen wie die in dem zuvor im Zu­ sammenhang mit den Fig. 5 und 6 erläuterten Verfahren. Die Breiten der Nuten können so bestimmt werden, daß die als Hilfsmagnetpfade dienenden Magnetschichten 22, 22′ die ganze Seitenoberfläche der Hauptmagnetpfadbildungs­ schichten 21 bedecken. Die Anordnung kann jedoch derart sein, daß die Wirkung zur Verringerung des magnetischen Widerstandes des gesamten Magnetpfades durch die Hilfs­ magnetpfadbildungsschicht 22 mit der gleichen Richtung leichter Magnetisierung wie die Hauptmagnetpfadbildungs­ schichten 21 erzeugt wird, während die Hilfsmagnetpfad­ bildungsschicht 22′ mit der zu der der Schichten 21 senk­ rechten Richtung leichter Magnetisierung nur im hinteren Teil des Magnetpfads vorgesehen wird, wie in Fig. 12 ge­ zeigt ist.

Vorzugsweise hat jede Hilfsmagnetpfadbildungsschicht eine Dicke im Bereich zwischen 10µm und 50µm. Die Wirkung des Hilfsmagnetpfades wurde verringert, wenn die Dicke 10µm oder darunter war. Verbesserte Hochfrequenzeigenschaften lassen sich erhalten, auch wenn die Dicke 50µm oder größer ist, vorausgesetzt, daß der Vielschichtaufbau mit Isolier­ schichten verwendet wird. In diesem Fall trifft man jedoch Probleme, wie die Delaminierung des Films oder Verlängerung der Filmbildungszeit, an, die eine Massenproduktion des Magnetkopfes erschweren.

Es wurde bestätigt, daß der Magnetkopf gemäß der Erfindung mit der vorstehend beschriebenen Anordnung der Magnet­ filme befriedigend bei Aufnahme und Wiedergabe von In­ formation in bzw. von einem Speichermedium hoher Koerzitiv­ kraft bis zu 2000 Oe verwendet werden kann, auch wenn die Spurbreite auf einen Wert von höchstens 5µm, jedoch wenigstens 1µm verringert wird.

Beispiel 3

Ein Magnetkopf gemäß der Erfindung wurde aus den gleichen Materialien und unter den gleichen Bedingungen wie im Beispiel 1 gebildet. Zusätzlich wurde ein Vergleichsmagnet­ kopf eines bekannten Aufbaus ohne Hilfsmagnetpfad gebildet. Diese Magnetköpfe wurden auf einer VTR-Vorrichtung zur Aufnahme und Wiedergabe geprüft, und die Wiedergabeaus­ gangswerte bei 5 MHz je Spurbreiteneinheit wurden gemessen. Die Beziehungen zwischen den gemessenen Werten des Ausgangs und der Spurbreite sind in Fig. 13 gezeigt. Das bei der Messung verwendete Band war ein Metallpulverband mit einer Koerzitivkraft von 1500 Oe, das man mit einer Relativge­ schwindigkeit von 3,75 m/s laufen ließ. Die Spaltlänge des Magnetkopfes war 0,3µm, während die Spalttiefe 20µm war.

Der bekannte Magnetkopf ohne Hilfsmagnetpfad zeigte eine schroffe Verringerung des Wiedergabeausgangs je Spurbreiten­ einheit, jedoch der Magnetkopf gemäß der Erfindung zeigte keinen wesentlichen Abfall des Wiedergabeausgangsniveaus, auch wenn die Spurbreite auf 5µm oder darunter verringert wird.

Der Hauptmagnetpfadbildungsfilm und der Hilfsmagnetpfad­ bildungsfilm können aus dem gleichen Magnetmaterial be­ stehen, oder die Materialien können so gewählt werden, daß eine der Haupt- und Hilfsmagnetpfadbildungsschichten aus einem polykristallinen Film aus einer Fe-Al-Si-Legierung, Fe-Si-Legierung oder Fe-C-Legierung besteht, während die andere von beiden aus einem amorphen Film, z.B. aus einer Co-Nb-Zr-Legierung, Co-Ta-Zr-Legierung od. dgl., gebildet wird. Beispielsweise kann der in Fig. 1 gezeigte Magnet­ kopf aus der Hilfsmagnetpfadbildungsschicht 22 aus einer Fe-Al-Si-Legierung und einem Hauptmagnetpfadbildungsfilm 21 aus einer amorphen Co-Nb-Zr-Legierung zusammengesetzt sein.

Diese Kombination von Materialien ermöglicht eine leichte Steuerung der Richtungen leichter Magnetisierung der Haupt- und Hilfsmagnetpfadbildungsschichten 21 und 22. Beispiels­ weise wurde bei einem Magnetkopf-Herstellungsverfahren, wie in Fig. 2 bis 6 gezeigt, ein 85 Gew.% Fe-6 Gew.% Al- 9 Gew.% Si-Legierungsfilm als der Hilfsmagnetpfadbildungs­ film 22 nach Fig. 3 gebildet. Anschließend wurde eine Wärmebehandlung durchgeführt, bei der der Film 30 Minuten bei 550 bis 650°C unter dem Einfluß eines Magnetfeldes von 5 kOe mit nachfolgender Kühlung in der Vorrichtung gehalten wurde, wodurch eine Richtung leichter Magneti­ sierung in den Richtungen von Pfeilen Ea entwickelt wurde. Anschließend wurde ein amorpher Co-Nb-Zr-Legierungsfilm als der Hauptmagnetpfadbildungsfilm 21 durch Aufstäuben gebildet. Dieser Film wurde dann wärmebehandelt, indem man ihn bei 350°C, was unter der Kristallisierungstempe­ ratur ist, 30 Minuten unter dem Einfluß eines Magnetfeldes von 5 kOe mit nachfolgender Abkühlung in der Vorrichtung hielt, wodurch eine Richtung leichter Magnetisierung in den Richtungen der Pfeile Ea entwickelt wurde. Dies ist der Fall, da eine amorphe Legierung eine leichte Steuerung der Richtung leichter Magnetisierung durch eine im Her­ stellungsverfahren unter dem Einfluß eines Magnetfeldes durchgeführte Wärmebehandlung im Gegensatz zu polykri­ stallinen Legierungen ermöglicht, die keine leichte Steue­ rung der Richtung leichter Magnetisierung nach einer Wärme­ behandlung ermöglichen. Daher ist es, wenn ein amorpher Legierungsfilm als ein Teil des Magnetpfades verwendet wird, möglich, die Magnetisierungsrichtung auch in den in Fig. 5 und 6 gezeigten Verbindungsschritten zu steuern. Jedoch ist es, wenn ein amorpher Legierungsfilm verwendet wird, erforderlich, daß die Wärmebehandlung bei einer Temperatur unter der Kristallisationstemperatur durchge­ führt wird und daß das Bindeglas einen niedrigen Schmelz­ punkt hat.

Andererseits ist es, wenn sowohl der Hauptmagnetpfadbil­ dungsfilm als auch der Hilfsmagnetpfadbildungsfilm aus einer polykristallinen Legierung bestehen, möglich, ein Bindeglas zu verwenden, das einen hohen Schmelzpunkt und somit einen hohen Grad von Verläßlichkeit hat. So können die Magnetmaterialien je nach der Verwendung ausgewählt werden.

Ein anderes beim Magnetkopf-Herstellungsverfahren ange­ troffenes Problem beruht darauf, daß eine Reaktion oder eine Delaminierung an der Grenze zwischen dem Substrat und dem Hilfsmagnetpfadbildungsfilm oder zwischen dem Hilfsmagnetpfadbildungsfilm und dem Hauptmagnetpfadbil­ dungsfilm aufzutreten neigt. Die Delaminierung ist dem Unterschied des Wärmeausdehnungskoeffizienten und inneren Spannungen in den Filmen zuzuschreiben. Um eine Delami­ nierung zu vermeiden, ist es möglich, diese Filme je nach den Verwendungszwecken über Zwischenschicht oder Unter­ schicht zu bilden. Die Reaktion läßt sich durch die Ver­ wendung eines Materials unterdrücken, das eine geringere Neigung zur Reaktion hat, wie z.B. Cr, Ti, BN, SiC, SiO₂, Al₂O₃ od. dgl.

Durch Verwendung einer Unterschicht oder einer Zwischen­ schicht zwischen den angrenzenden Bestandteilsschichten des Magnetkopfes, d. h. zwischen dem nicht-magnetischen Substrat und der Hilfsmagnetpfadbildungsschicht, zwischen der Hilfsmagnetpfadbildungsschicht und der Hauptmagnetpfad­ bildungsschicht, und zwischen der Hauptmagnetpfadbildungs­ schicht und der anderen Hilfsmagnetpfadbildungsschicht, ist es möglich, die Reaktion und die Laminierung zu unterdrücken, wodurch es ermöglicht wird, den Magnetkopf gemäß der Erfin­ dung mit hoher Ausbeute herzustellen.

Wie erläutert wurde, bietet die Erfindung die folgenden Vorteile. Erstens ist festzustellen, daß sowohl der Haupt­ magnetpfadbildungsfilm als auch der Hilfsmagnetpfadbildungs­ film die Rollen der entsprechenden Magnetpfade eines Ring­ typ-Magnetkopfes spielen, so daß die Wirksamkeit des Magnet­ pfades unter Verbesserung der Eigenschaften des Magnetkopfes gesteigert wird. Wenn der Magnetkopf eine geringe Spurbreite hat, dient der Hilfsmagnetpfad zur Verringerung des ma­ gnetischen Widerstandes an einem hinteren Teil des Magnet­ kerns, so daß die Aufnahme- und Wiedergabeeigenschaften bei hohen Frequenzen verbessert werden, auch wenn die Speicherdichte hoch ist. Es wurde ein Magnetkopf erhalten, der Aufnahme und Wiedergabe befriedigend leistet, auch wenn eine sehr kleine Spurbreite von 5µm oder darunter vorliegt. Weiter macht es die weite Auswahl der Materialien der Haupt- und Hilfsmagnetpfadbildungsfilme möglich, den erfindungsgemäßen Magnetkopf an verschiedene Typen von Magnetspeichervorrichtungen anzupassen. Beispielsweise kann der Magnetkopf gemäß der Erfindung geeignet als ein Magnetkopf eines Digital-VTR verwendet werden, der eine Speicherung mit hoher Dichte und bei hoher Signalfrequenz leisten muß, sowie auch als ein Magnetkopf eines Digital- VTR für Hochqualitäts-TV, das als "high-vision" bekannt ist. Der Magnetkopf gemäß der Erfindung kann in einer Magnetscheibeneinrichtung zum Speichern von Signalen mit hoher Dichte verwendet werden, wenn er mit einem geeigneten schwimmenden Gleitstück kombiniert ist.

Claims (19)

1. Magnetkopf mit einem Hauptmagnetpfadbildungsfilm (21), der einen Hauptmagnetpfad bildet, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnetkopf wenigstens einen Hilfsmagnetpfad­ bildungsfilm (22) aufweist, der einen Hilfsmagnetpfad bildet, der magnetisch mit dem Hauptmagnetpfadbildungs­ film (21) so gekoppelt ist, daß er die magnetischen Eigenschaften des Hauptmagnetpfads verbessert.

2. Magnetkopf mit einem Hauptmagnetpfadbildungsfilm (21), der einen Arbeitsspalt bildet, dadurch gekennzeichnet,
daß der Magnetkopf wenigstens einen Hilfsmagnetpfad­ bildungsfilm (22) aufweist, der den Hauptmagnetpfad­ bildungsfilm (21) ergänzt, hinter der Spalttiefe des Magnetkerns des Magnetkopfes angeordnet und mit dem Hauptmagnetpfadbildungsfilm (21) gekoppelt ist,
daß der Hauptmagnetpfadbildungsfilm (21) eine Richtung leichter Magnetisierung hat, die senkrecht zur Tiefen­ richtung des Arbeitsspalts ist, und
daß der Hilfsmagnetpfadbildungsfilm (22) eine Richtung leichter Magnetisierung hat, die mit der Richtung über­ einstimmt, in der der Magnetkopf einem Speichermedium gegenübersteht.

3. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Hilfsmagnetpfadbildungsfilm (22, 22′) auf jeder Seite des Hauptmagnetpfadbildungsfilms (21) vorgesehen ist und
daß einer der zwei Hilfsmagnetpfadbildungsfilme (22, 22′) die gleiche Richtung leichter Magnetisierung wie der Hauptmagnetpfadbildungsfilm (21) hat.

4. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Hauptmagnetpfadbildungsfilm (21) eine größere Sättigungsmagnetflußdichte als der Hilfsmagnetpfadbil­ dungsfilm (22) hat.

5. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Hauptmagnetpfadbildungsfilm (21) aus einer amorphen Magnetlegierung besteht, während der Hilfs­ magnetpfadbildungsfilm (22) aus einer polykristallinen Magnetlegierung besteht.

6. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Hauptmagnetpfadbildungsfilm (21) aus einer polykristallinen Magnetlegierung besteht. während der Hilfsmagnetpfadbildungsfilm (22) aus einer amorphen Magnetlegierung besteht.

7. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens der Hilfsmagnetpfadbildungsfilm (22) in einer in einem nichtmagnetischen Substrat (23) gebil­ deten Nut eingebettet ist.

8. Magnetkopf nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Hauptmagnetpfadbildungsfilm (21) ein Vielschicht­ film aus Fe-C-Legierung oder Fe-Si-Legierung ist und der Hilfsmagnetpfadbildungsfilm (22) aus einer Fe-Al- Si-Legierung oder einer amorphen Magnetlegierung besteht.

9. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der die Magnetpfade bildenden Magnetfilme (21, 22) ein Vielschichtfilm mit nichtmagnetischen Isolierzwischenschichten ist.

10. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Filmdicke des Hauptmagnetpfadbildungsfilms (21) die Spurbreite (TW) von 1 bis 20µm ergibt und daß der Hilfsmagnetpfadbildungsfilm (22) eine Dicke von 10 bis 50µm hat.

11. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Filmdicke des Hauptmagnetpfadbildungsfilms (21) die Spurbreite (TW) von 1 bis 10µm ergibt und daß der Hilfsmagnetpfadbildungsfilm (22) eine Dicke von 10 bis 50µm hat.

12. Magnetkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Dünnfilm aus wenigstens einem aus der aus Cr, Ta, Ti, BN, SiC, SiO₂ und Al₂O₃ bestehenden Gruppe gewählten Material zwischen dem nichtmagnetischen Sub­ strat (23) und dem Hilfsmagnetpfadbildungsfilm (22), zwischen dem Hilfsmagnetpfadbildungsfilm (22) und dem Hauptmagnetpfadbildungsfilm (21), und zwischen dem Hauptmagnetpfadbildungsfilm (21) und dem anderen Hilfs­ magnetpfadbildungsfilm (22′) vorgesehen ist.

13. Magnetkopf mit einem Arbeitsspalt, einem den Arbeitsspalt bildenden Magnetpfadkörper und einer einen Magnetfluß im Magnetpfadkörper bildenden Spulenanordnung, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnetpfadkörper aus wenigstens zwei Teilen (21, 22) mit verschiedenen Richtungen leichter Magneti­ sierung zusammengesetzt ist.

14. Magnetkopf nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
daß der Magnetkörper einen Hauptmagnetpfadbildungsteil (21) mit einer Richtung leichter Magnetisierung, die senkrecht zur Tiefenrichtung des Arbeitsspalts ist,
und wenigstens einen Hilfsmagnetpfadbildungsteil (22, 22′) mit einer anderen, von der des Hauptmagnet­ pfadbildungsteils (21) verschiedenen Richtung leichter Magnetisierung aufweist.

15. Magnetkopf nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Hilfsmagnetpfadbauteil (22, 22′) eine Richtung leichter Magnetisierung hat, die mit der Tiefenrichtung des Arbeitsspalts übereinstimmt.

16. Magnetkopf nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnetpfadkörper wenigstens eine Magnetschicht (21) enthält, deren Dicke die Spurbreite (TW) des Ar­ beitsspalts ergibt.

17. Magnetkopf mit einem einem Speichermedium gegenüber­ stehenden Arbeitsspalt und einem Magnetpfadkörper zur Erzeugung eines durch den Arbeitsspalt gehenden Magnet­ flusses, so daß Signale durch den Magnetfluß vom Ar­ beitsspalt im Speichermedium, das sich relativ zum Magnetkopf bewegt, magnetisch gespeichert werden, dadurch gekennzeichnet,
daß der Magnetpfadkörper mit einem den Arbeitsspalt bildenden Hauptmagnetpfadteil (21) und wenigstens einem mit dem Hauptmagnetpfadteil (21) magnetisch gekoppelten Hilfsmagnetpfadteil (22, 22′) versehen ist,
daß der Hauptmagnetpfadteil (21) in der zur Ebene des Speichermediums senkrechten Richtung eine größere magnetische Permeabilität als in anderen Richtungen hat und
daß der Hilfsmagnetpfadteil (22, 22′) in der Bewegungs­ richtung des Speichermediums eine größere magnetische Permeabilität als in anderen Richtungen hat.

18. Magnetkopf nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des Hauptmagnetpfadteils (21) so bemessen ist, um die Spurbreite (TW) des Magnetkopfes zu ergeben.

19. Magnetkopf nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Hauptmagnetpfadteil (21) durch Laminieren einer Mehrzahl von Schichten gebildet ist.