DE3308790A1 - Selektiv absorbierende schicht fuer solarkollektoren sowie verfahren zu deren herstellung - Google Patents
Selektiv absorbierende schicht fuer solarkollektoren sowie verfahren zu deren herstellungInfo
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Description
M.A.N. MASCHINENFABRIK AUGSBURG-NÜRNBERG
Akti engesei 1 schaft
Vertreter: Patentanwalt Helmut Walter Aubinqer Straße 81
D-3000 München 60
Ruhrchemie Aktiengesellschaft
München, 7. März 1983
20 25 30
Selektiv absorbierende Schicht für Solarkollektoren
sowie Verfahren zu deren Herstellung
Die Erfindung bezieht sich auf eine selektiv absorbierende Schicht für Solarkollektoren sowie auf ein Verfahren
zu deren Herstellung.
Ein Solarkollektor muß zur Erzielung eines guten Wirkungsgrades
eine "selektiv absorbierende" Oberfläche aufweisen, das heißt, eine Oberfläche, welche ein möglichst hohes
Absorptionsvermögen öC im Bereich der Sonnenstrahlung und
ein möglichst geringes Emissionsvermögen C im längerwelligen
Bereich elektromagnetischer Strahlung besitzt.
Daher ist auf dem Gebiet der Sonnenkollektoren die Schaffung absorbierender Oberflächenschichten mit guter
Selektivität von besonderer Bedeutung. Die Selektivität
wird im allgemeinen durch die Kombination einer dünnen, im wesentlichen für das <C verantwort1iche Absorberschicht
und einer darunterliegenden Emissionsschicht erreicht.
35
7.2127F
Während nun die bisher bekannten selektiv absorbierenden
Oberflachenschichten im Niedertemperaturbereich eine befriedigende
Selektivität besitzen, zeigen solche Absorberschichten
oberhalb 300 - 350 * C keine befriedigende
Wirkung mehr.
Daher liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine
Absorberschicht für Solarkollektoren zu schaffen, welche auch bei Temperaturen oberhalb etwa 350*C thermisch
stabil ist und gute Selektivität besitzt.
Absorberschicht für Solarkollektoren zu schaffen, welche auch bei Temperaturen oberhalb etwa 350*C thermisch
stabil ist und gute Selektivität besitzt.
Nunmehr wurde überraschenderweise gefunden, daß die
bei thermischer Zersetzung von Chromhexacarbonyl entstehende Abscheidung eine Schicht bildet, die als Absorberschicht wirkt, jedoch hat sich gezeigt, daß sich die Absorptionswirkung erheblich steigern läßt, wenn die
thermische Zersetzung von Cr(CO)6 bei Anwesenheit von
Sauerstoff durchgeführt wird. Durch den Sauerstoff erfolgt eine Oxidation des Chroms, teils während bzw. unmittelbar nach Keimbildung und Kondensation. Es entsteht so eine
Schicht, die besteht aus bzw. enthält ein Gemisch von
Chromoxiden unbestimmter Zusammensetzung. Dies steht im Gegenstatz zu den hochglanzenden, metallischen Schichten, welche sich bei thermischer Zersetzung der Carbonylverbindungen andersr Metalle abscheiden.
bei thermischer Zersetzung von Chromhexacarbonyl entstehende Abscheidung eine Schicht bildet, die als Absorberschicht wirkt, jedoch hat sich gezeigt, daß sich die Absorptionswirkung erheblich steigern läßt, wenn die
thermische Zersetzung von Cr(CO)6 bei Anwesenheit von
Sauerstoff durchgeführt wird. Durch den Sauerstoff erfolgt eine Oxidation des Chroms, teils während bzw. unmittelbar nach Keimbildung und Kondensation. Es entsteht so eine
Schicht, die besteht aus bzw. enthält ein Gemisch von
Chromoxiden unbestimmter Zusammensetzung. Dies steht im Gegenstatz zu den hochglanzenden, metallischen Schichten, welche sich bei thermischer Zersetzung der Carbonylverbindungen andersr Metalle abscheiden.
Demgemäß ist Gegenstand der Erfindung eine selektiv absobierende
Schicht für Solarkollektoren, welche dadurch
gekennzeichnet ist, daß die Absorberschicht aus einem
Gemisch von Ch roinox i den besteht bzw. ein solches enthalt, welches sich bei der thermischen Zersetzung von Chromhexacarbonyl bildet.
Gemisch von Ch roinox i den besteht bzw. ein solches enthalt, welches sich bei der thermischen Zersetzung von Chromhexacarbonyl bildet.
7 . 2 1 2 7 F
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Bei der Herstellung von solarselektiven Schichten durch Abscheidung aus der Gasphase, wobei es sich um extrem dünne
Schichten von wenigen Zehntel Mikrometer handelt, spielt neben dem abzuscheidenen Stoff auch die Verdampfbarkeit
der dafür in Betracht kommenden Stoff verbindungen eine sehr
wichtige Rolle. Generell von Vorteil sind Stoffverbindungen,
die schon bei niedrigen Temperaturen einen beachtlichen Dampfdruck haben und deren Verdampfungs-Zersetzungstemperature,n
nicht so eng beieinander liegen, damit die thermische Zersetzung nicht so rasch und vollständig
in einem sehr engen Temperaturbereich erfolgt.
Dieses läßt sich bei der thermischen Zersetzung von Cr(CO)6
durch genaue Ermittlung der günstigsten Abscheidungsbedingungen und deren Einhaltung während der Beschichtung
real is i eren.
Eine gezielte Zersetzungsgeschwindigkeit kann gemäß
einer Weiterbildung der Erfindung durch Substitution
einfacher Carbonyle erreicht werden. Damit ist der Abschei dungsprozeß besser beherrschbar, so daß reproduzierbare,
extrem dünne Absorberschichten im Bereich um 0,3 μη herstellbar sind.
Als Substituenten können vorzugsweise aromatische oder
aliphatische Amine, Phosphine, Phosphite oder Sauerstoff- und Stickstoff-Heterozyklen verwendet werden. Bevorzugte
substituierte Carbonyle sind Chrompentacarbonyl tri triethylamin,
Chrompentacarbonyl-pyridiη, Chrompentacar-
bonyl-pyrrol i din, Tri methyl phosphitchro in pentacarbonyl.
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-δ-Die erfindungsgemäße Absorberschicht läßt sich besonders
vorteilhaft aus der Gasphase pyrolytisch unter Verwendung eines inerten Trägergases abscheiden. Als inertes
Trägergas verwendet man vorzugsweise Argon, Helium oder ein Gemisch beider Gase.
Die Pyrolysetemperatur beträgt vorzugsweise etwa 300 bis
etwa 450*C. Die Konzentration an Carbonyl trägt zweckmäßig
etwa 0,05 bis 5 Vol.%, während der Sauerstoffzusatζ zur
Gasphase sich im Bereich von etwa 0,01 bis 0,6 Vol.% bewegt. Als Gasdruck wendet man bei der Pyrolyse zweckmäßig
Umgebungsdruck an. Auch ein Arbeiten bei Unter- bzw. überdruck ist möglich.
Die abzuscheidende Absorberschichtdicke liegt in der
Regel im Bereich von etwa 0,2 bis 0,6 pm, wobei diese Dicke, je nach der angewandten Chromcarbonyl-Konzentration
und der Temperatur, in einer Zeit von 15 Minuten bis
1 Stunde bei Umgebungsdruck abgeschieden wird.
Bei der praktischen Anwendung der erfindungsgemäßen
Absorberschicht zur Herstellung eines Solarkollektors
geht man von den üblichen Substratwerkstoffen für solche Kollektoren wie Stahl, Kupfer, Titan, Keramik usw. aus,
welche in Form von Platinen, Blech, Folien, Rohren oder anderen zweckmäßigen geometrischen Gestaltungen vorliegen.
Auf das KoI1ektorsubstrat wird nun eine Zwischenschicht
aus einem der üblicherweise hierzu verwendeten Metalle mit niedrigen Emissionsvermögen, eine sogenannte
3^ Reflektor-Zwischenschicht, beispielsweise aus Nickel,
Rhodium, Ruthenium, Platin, Molybdän oder Wolfram aufgetragen, wonach man dann die erfindungsgemäße Absorberschicht
auf der Zwischenschicht durch Pyrolyse von Chromhexacarbonyl
in Gegenwart von Sauerstoff abscheidet.
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-7-
Vorzugsweise schlägt man in einer einzigen Anläge durch
Anwendung von CVD-Technik (Chemical Vapor Deposition, siehe Zeitschrift "Metall", Heft 12, 1981, Seite 1253 ff;
Metal 1-Verlag GmbH, Berlin) auf dem Substrat zunächst eine
Zwischenschicht aus Molybdän oder Wolfram durch chemische
Zersetzung geeigneter Verbindungen dieser Metalle (z.B. Carbonyle) aus der Gasphase nieder und danach bringt man
nach der gleichen Technik auf die niedergeschlagene
Il
Zwischenschicht die erfindungsgemäße Absorberschicht auf.
Mit Hilfe des beschriebenen Verfahrens ist es möglich,
Schichten mit hohem Absorptionsvermögen zu erzeugen, die
trotzdem so dünn sind, daß sie zusammen mit einer der üblichen
Reflektor-Zwischenschichten, sogenannte solarselektive
Beschichtungen bilden. So wird mit ihnen ein Absorptionsgrad «6 bis zu etwa 0,96 und ein IR-Emissionsgrad
6 bis zu etwa 0,2 erreicht. Weiterhin zeichnen sich die Schichten bei entsprechender Reflektor-Zwischenschicht
durch hohe thermische Beständigkeit oberhalb 350'C aus.
Die folgenden Ausführungsbeispiele dienen der weiteren
Erläuterung der erfindungsgemäßen Absorberschicht, ihrer
Herstellung und ihrer Eigenschaften: 25
Be i s ρ i e 1 1:
Auf ein Plättchen aus rostfreiem Stahl mit einer einseitigen
Oberfläche von 9 cm wurde galvanisch eine Ni-Zwischenschi cht von etwa 5 \tm aufgebracht. Darauf wurde
ou nach der CVD-Technik die Absorberschicht abgeschieden.
Dazu wurde die Probe in Argonatmosphäre auf 350*C erhitzt.
Nachdem sich die Temperatur stabilisiert hat, wurde über die Probenoberfläche Prozeßgas geleitet, das außer Argon
noch 0,7 Vol-% Cr(CO)6 in Dampfform und 0,2 Vol.-% Sauer-
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-δι stoff enthielt. Nach 30 Min. wurde das Prozeßgas abgeschaltet
und die beschichtete Probe unter Argonatmosphäre auf Raumtemperatur abgekühlt. Die erhaltene Absorberschicht
hatte eine Dicke von 0,6 pm. Die Werte betragen für X 0,95 und für t 0,23.
Auf ein Plattchen aus rostfreiem Stahl mit einer einseitigen Oberflache von 9 cm wurde galvanisch eine Ni-Schicht
von etwa 5 \\m und darauf eine Rh-Schicht von etwa
1 μηι abgeschieden. Die Absorberschicht wurde wie im Beispiel
1 beschrieben nach der CVD-Technik aufgebracht. Die so erhaltene Schicht hatte eine Dicke von 0,5 μπί. Die
Werte betrugen für «£ 0,94 und für £,0,17.
Es wurde ein Rohrabschnitt mit 4 cm Durchmesser und 20 cm
Länge aus rostfreiem Stahl beschichtet. Auf die Oberfläche
von ca. 250 cm' wurde ohne galvanische Zwischenschicht nach der CVD-Technik eine Absorberschicht aufgebracht.
Die Probe wurde in Argonatmosphäre auf 400 * C erhitzt. Dann wurde über die Probenoberflache Prozeßgas
geleitet, das neben Argon noch 1,0 Vol.-% Cr(CO)6 in
Dampfform und 0,4 Vol.-% Sauerstoff enthielt. Nach einer Abscheidungszeit von 60 Min. wurde das Prozeßgas abgeschaltet
und die Probe in Argonatmosphäre auf Raumtemperatur abgekühlt. Die Absorberschicht hatte eine Dicke von
0,5 μιιι. Die Werte betrugen für X 0,96 und für £ 0,25.
^0 Beispiel 4
a) Ausgehend von Cr(CO)6 wurde zunächst ein Vorprodukt
Cr(CO)^ ΤΗΓ-Koinpl ex hergestellt. Hierzu wurden 5,5 g
Cr(CO)6 = 25 m Mol in 500 ml Tetrahydrofuran gelöst.
Durch Hinwirken von UV-Licht iiuf das Gemisch wurden bei
:3h et wo ?0 *C nach 20 Min. 2h m Mol CO <ibgc>sp<i 1 Lon, wobei
sich ο i η intensiv gelb gof.irb tor Komplex, in Γ c ι ra hy dro-Hj
ran gelbst, gebildet hat.
7 . ? 1 2 1Γ
Π/.03. 1983
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* b) Das nach a gewonnene Vorprodukt wurde anschließend
zur Herstellung von Chrompentacarbonyl-trimethylamin
wie fölgt behandelt.
^ Das Vorprodukt wurde mit 10,5 g einer 40 Gew.-%igen
wässrigen Trimethylami η-Lösung versetzt. Nach 5 Min.
Reaktionszeit wurde das Lösungsmittel einschließlich
dem überschüssigen Trimethylami η im Rotationsverdampfer
bei 40*C abgedampft. Nach Umkristal1isat ion in Hexan lag
die genannte Verbindung in Form gelber Kristalle vor. Insgesamt wurden 1,42 g der Verbindung ausgebracht, das
entspricht einer Ausbeute von etwa 23% der Theorie, bezogen
auf das angesetzte Chromhexacarbonyl.
1^ c) Das auf diese Weise gewonnene substituierte Carbonyl
wurde im Abseheidungsprozeß unter den im Beispiel 1
angegebenen Bedingungen verwendet.
Be i s ρ i e 1 5
Mit dem nach Beispiel 4a hergestellten Vorprodukt wurde Chrompentacarbonyl-pyridiη wie folgt hergestellt:
Das Vorprodukt wurde mit 6 g Pyridin versetzt. Nach 10 Min. Reaktionszeit wurde der gebildete Rückstand
durch Filtration abgetrennt. Das gelb gefärbte Filtrat wurde durch Destillation aufkonzentriert und der Restanteil
des Lösungsmittels durch anschließende Vakuumdestillation
abdestilliert. Es verblieben 1,62 g gelbgrüner Kristalle, das entspricht einer Ausbeute von ca.
» ρ
24% der Theorie, bezogen auf das eingesetzte Chromhe^acarbonyl.
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.!..::."· ÜO Ό·..*= 330879Ü
-ιοί Die CVD-Abscheidung erfolgte entsprechend Beispiel 1.
Herstellung von Chrompentacarbonyl-pyrrolidin Ein wie unter Beispiel 4a beschriebenes Vorprodukt wurde mit 5,4 g Pyrrolidin versetzt. Während einer
Reaktionszeit von 20 Min. färbte sich die ursprünglich
intensiv gelb gefärbte Lösung grün. Im Vakuum wurde bei 40*C und 20 mm Hg das Lösungsmittel sowie das überschüssige
Pyrrolidin abdestilliert. Es verblieben 1,59 g
der Verbindung als gelb-grüner Feststoff, das entspricht
einer Ausbeute von etwa 25% der Theorie, bezogen auf das eingesetzte Chromhexacarbonyl.
Herstellung von Trimethylphosphitchrompentacarbonyl
Ein Gemisch bestehend aus 5,5 g Cr(CO)6 = 25 m Mol, 3,1 g Trimethylphosphit und 50 ml Diethylenglycolididiethylether
wurde 3 Std. bei 145 - 150" C zur Reaktion gebracht. Die klare grün gefärbte Lösung wurde einer
Vakuumdestillation unterworfen um das Lösemittel und
das überschüssige Trimethylphosphit abzudesti11ieren.
Bei 130 * C und 20 mm Hg verblieben 4,7 g der Verbindung
als grünes Gel. Diese Menge entspricht einer Ausbeute von etwa 60% der Theorie, bezogen auf das eingesetzte
Chromhexacarbonyl.
Unter Verwendung der nach den Beispielen 6 und 7 gewonnenen substituierten Carbonyle wurden jeweils Ab-Scheidungsprozesse
entsprechend Beispiel 1 durchgeführt. Es konnten homogene Schichten erzeugt werden, deren
Schichtdicke 0,2 bis 0,3 μ in betrugen.
7 . 21 2 7 F
07.03.1083
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Claims (1)
- Anmelder: Vertreter:gU/sd Patentanwa1tHelmut WalterM.A.N. MASCHINENFABRIK AUGSBURG-NÜRNBERG Aubinqer Straße Aktiengesel1 schaftD-8000 MünchenRuhrchemie AktiengesellschaftMünchen, 7. März 1983 10Paten tansprüche1. Selektiv absorbierende Schicht für Solarkollektoren, dadurch gekennzeichnet, daß die Absorberschicht aus einem Gemisch von Chromoxiden besteht bzw. ein solches enthält, welches sich bei der thermischen Zersetzungvon Chromhexacarbonyl bildet.2. Verfahren zur Herstellung einer selektiv absorbierenden Schicht für Solarkollektoren2^ nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichent, daßman aus der Gasphase unter Verwendung eines inerten Trägergases ein Gemisch von Chromoxiden durch thermische Zersetzung von Chromhexacarbonyl in Gegenwert von Sauerstoff zurAbscheidung bringt.3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß substituiertes Chromcarbonylthermisch zersetzt wird.
357.2127F-2-4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Substituent ein aromatisches oder aliphatisches Amin, Phosphin, Phosphit oder Sauerstoff- oder Stickstoff-Heterozyklen verwendet wird.5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daQ als substituiertes Chromcarbonyl, Chrompentacarbonyltrimethylamin, Chrompentacarbonyl-pyridin, Chrompentacarbonyl -pyrrol i din oder Trimethylphosphitchrompentacarbonyl verwendet wird.6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß man diethermische Zersetzung bei einer Temperatur von etwa 150 bis etwa 450*C, vorzugsweise von etwa 300 bis 450'C durchführt.7. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß man als inertes Trägergas Argon, Helium oder ein Argon-Helium-Gemisch verwendet.8. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß man in der Gasphase eine Carbonylkonzentration von etwa 0,05 bis etwa 5 Vol.% und eine Sauerstoffl· on ζ im) trat ion von etwa 0,01 bis etwa 0,6VoI .7 einhalt.ι .?\v η
ο/. 03. 1
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