DE3237818A1 - Verfahren zum pruefen von gegenstaenden auf fehler - Google Patents

Verfahren zum pruefen von gegenstaenden auf fehler

Info

Publication number
DE3237818A1
DE3237818A1 DE19823237818 DE3237818A DE3237818A1 DE 3237818 A1 DE3237818 A1 DE 3237818A1 DE 19823237818 DE19823237818 DE 19823237818 DE 3237818 A DE3237818 A DE 3237818A DE 3237818 A1 DE3237818 A1 DE 3237818A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sampling period
binary
coded data
data value
scanning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19823237818
Other languages
English (en)
Other versions
DE3237818C2 (de
Inventor
Tatsuo Hino Tokyo Yamamura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Publication of DE3237818A1 publication Critical patent/DE3237818A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3237818C2 publication Critical patent/DE3237818C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Description

Beschreibung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Schaltungsanordnung nach den Oberbegriffen der Ansprüche 1 bzw. 5
Es handelt sich um die Prüfung auf Fehler wie Brüche, Sprünge oder Flecken eines Gegenstands beispielsweise in Form einer Tablette. Die Rasterabtastung des Gegenstands kann mit einer industriellen Fernsehkamera erfolgen.
Grundsätzlich müssen Fehler wie Brüche, Sprünge oder Flecken in einem untersuchten Gegenstand wie einer Tablette, in gleicher Weise festgestellt werden, unabhängig davon, wo sie sich befinden. Ein entfernt vom Rand im Inneren des Gegenstands liegender Fehler kann dadurch festgestellt werden, daß er im Bildsignal einer Horizontalabtastung der Kamera einen Pegelsprung verursacht. Ein Fehler am Rand, das heißt an der Kante, die Teil der Kontur des Gegenstands ist, läßt sich aber durch Beobachtung des Bildsignals einer Horizontalabtastung auf Pegelsprünge nicht immer feststellen.
Diese Verhältnisse sollen im einzelnen beschrieben werden. Zur Ermittlung von Fehlern eines untersuchten Gegenstands ist die Verwendung einer Schaltungsanordnung bekannt, durch die eine wesentliche Pegeländerung im Abtast- bzw. Bildsignal festgestellt wird, die bei den einzelnen Abtastzeilen einer Abtastperiode auftritt, wobei beurteilt wird, ob die Anzahl der Pegeländerungen größer als die Anzahl ist, die in gleicher Weise von der Kontur des Gegenstands herrühren.
Fig. 1 ist ein Diagramm zur Erläuterung des Prinzips einer solchen Prüfschaltungsanordnung. Die Fig. 2a und 2b zeigen Videosignale, die eine den geprüften Gegenstand abtastende Kamera bei Abtastung längs den Abtastlinien
(i) bzw. (ii) in Fig. 1 abgibt.
In Fig. 1 ist mit 1 der Gegenstand bezeichnet, der geprüft wird. 2 ist ein Fehler im Inneren des Gegenstands, 3 ein solcher am Rand, und (i) und (ii) sind Abtastlinien einer Kamera. In Fig. 2 sind die zugehörigen Videosignale mit 6 und 8 bezeichnet. 7 ist eine jeweilige Umkehrstelle des Videosignalpegels (nachfolgend Signalflanke genannt). (Im Fall des geprüften Gegenstands kann 7 auch als Wechselpunkt zwischen einer großen und einer kleinen Menge reflektierten Lichts oder als Wechselpunkt zwischen Licht und Schatten bzw. zwischen einem Weißwert und einem Schwarzwert bezeichnet werden). S ist in den Fig. 2a und 2b ein Horizontalsynchronsignal.
Bei Abtastung des Gegenstands längs der Linie (i), auf der kein Fehler liegt, ergibt sich das Videosignal 6, das nur zwei, von der Kontur des Gegenstands hervorge-■ rufene Flanken 7 zwischen einem Weißwert und einem Schwarzwert aufweist. Auf der Abtastlinie (ii) befinden· sich die Fehler 2 und 3, und das zugehörige Videosignal 8 besitzt zusätzlich zu den auf der Kontur des Gegenstands beruhenden beiden Flanken 7 die beiden Flanken 7', die von einem der Fehler herrühren. Aufgrund des Unterschieds der Anzahl von Flanken kann der Fehler festgestellt werden. Wie aber der Verlauf des Videosignals 8 zeigt, kann ein Fehler am Rand des Gegenstands nicht festgestellt werden, weil er Teil der Kontur ist und im Videosignal keine auf ihn zurückzuführende Flanke auftritt.
Eine Methode zur Feststellung eines Fehlers am Rand in
2/3
Form einer Abweichung von der Soll-Kontur besteht bei kreisförmigen Gegenständen darin, die Koordinaten der Kreisform zu speichern und sie mit den für die jeweiligen Koordinaten erzielten Videosignaldaten zu vergleichen,um auf diese Weise Unterschiede festzustellen und auf einen Fehler am Umfangsrand des Gegenstands zu schließen. Je größer eine Abweichung von der Soll-Kontur ist, desto leichter kann sie mit dieser Methode festgestellt werden, während eine lokale Änderung kaum zu ermitteln 1st. Diese Methode eignet sich daher nicht zur Prüfung auf kleine Fehler am umfangsrand, ganz abgesehen davon, daß bei dieser Methode die Größe des Gegenstands eine Rolle spielt und dementsprechend Änderungen der Größe jeweils berücksichtigt werden müssen. Da die Koordinaten einzeln verglichen werden müssen, ist eine lange Verarbeitungszeit notwendig und ein Speicher zur Speicherung der Koordinaten erforderlich, was zu einem nachteiligen Kostenanstieg führt.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs angegebenen Art zu schaffen, die mit geringem Kostenaufwand durchführbar bzw. herstellbar sind und Fehler als Teil der Kontur in gleicher Weise wie Fehler im Inneren festzustellen gestatten, die Verarbeitungszeit verringern, so daß die Prüfung gleichzeitig mit der Abtastung eines Bildes abgeschlossen ist, und die keinen Speicher speziell für die Speicherung der Koordinaten benötigen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale in den kennzeichnenden Teilen der Ansprüche 1 bzw. 2 gelöst.
Die Erfindung soll nachfolgend anhand der Zeichnungen im einzelnen erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 eine Darstellung zur Erläuterung eines
herkömmlichen Verfahrens einer Prüfung
auf Fehler,
Fig. 2 Videosignale, die bei der Abtastung längs den in Fig. 1 gezeigten Abtastlinien auf
treten,
Fig. 3 eine Darstellung zur Erläuterung des erfindungsgemäßen Verfahrens,
Fig. 4 ein Blockschaltbild einer Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 5 ein Schaltbild eines konkreten Beispiels der Komparatoren 13, 14 in Fig. 4,
Fig. 6 ein Impulsdiagramm von Signalen der Schaltung von Fig. 5 und
Fig. 7 eine Darstellung einer bestimmten Anwendung
der Erfindung.
Fig. 3a stellt den Fall einer vertikalen Rasterabtastung eines untersuchten Gegenstands 1, der keinen Fehler am Rand aufweist, dar. Bei einer Abtastung längs der in Fig. 3a gezeigten Abtastlinie tritt im Videosignal an den den Punkten a und b entsprechenden Stellen eine Flanke auf, die beim Punkt a einen Signalwechsel vom . Schwarzwert zum Weißwert und beim Punkt b einen solchen vom Weißwert zum Schwarzwert bringt.
Fig. 3b zeigt den Fall einer vertikalen Rasterabtastung eines untersuchten Gegenstands 1, der am Umfangsrand einen Fehler 3 aufweist. In diesem Fall tritt bei Abtastung längs der gezeichneten Abtastlinie an den den
• 1 f
•j Punkten a und b und außerdem an den den Punkten c und d entsprechenden Stellen im Videosignal eine Flanke auf, von denen die Flanken entsprechend den Punkten c und d auf den Fehler 3 zurückzuführen sind. Bei der dem Punkt c entsprechenden Flanke wechselt das Videosignal vom
Weißwert zum Schwarzwert, bei dem Punkt d vom Schwarzwert zum Weißwert. Diese von dem Fehler hervorgerufenen Flanken an den Punkten c und d sind damit gerade umgekehrt wie die von dem normalen ümfangsrand herrührenden Flanken -JQ an den Punkten a und b. Unter Berücksichtigung dieser Tatsache kann der Fehler am Ümfangsrand des Gegenstands ermittelt werden.
Normalerweise wird ein zu Prüfzwecken einer Rasterabtas-ΗΓ tung unterzogener Gegenstand abar horizontal, nicht vertikal abgetastet. Es ist daher notwendig, ein auf dem beschriebenen Prinzip beruhendes Prüfverfahren für eine Horizontalabtastung zu finden. Dieses Verfahren soll anhand von Fig. 3c erläutert werden.
In Fig. 3c ist χ eine erste Horizontalabtastlinie, y die darauf folgende zweite Horizontalabtastlinie und ζ die weiterhin folgende dritte Horizontalabtastlinie. Für jede dieser Abtastlinien werden die Signalpegel des zugehörigen Videosignals an speziellen, einander entsprechenden Bildelementstellen A, B und C festgestellt, und miteinander verglichen, um so aus der Art der auftretenden Flanken aufgrund des obigen Prinzips einen Fehler zu ermitteln. Die Anzahl der einzelnen Bildelemente
5Q an den Stellen A, B und C, die miteinander verglichen werden, kann abhängig von der Größe eines zu suchenden Fehlers festgelegt werden.
Die Erfindung soll nun anhand einer Ausführungsform einer zur Durchführung des Verfahrens geeigneten Schal-
tungsanordnung beschrieben werden.
Fig. 4 zeigt ein Blockschaltbild einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung. In Fig. 4 ist 9 ein mit einer Fernsehkamera verbundener Videosignaleingang. 10 ist ein Binärkodierer, 11 und 12 sind Schieberegister, 13 und 14 sind Komparatoren, 15 ist der Ausgang des !Comparators 13 und 16 ist der Ausgang des Komparators 14. Im Binärkodierer 10 wird das von einer nicht gezeigten Fernsehkamera stammende und am Eingang 9 anliegende Videosignal mit einem bestimmten Schwellenwert verglichen und dadurch in binärkodierte Daten umgesetzt. Die binärkodierten Daten werden dem ersten Schieberegister 11 eingegeben, dessen Kapazität für die Daten einer Horizontalabtastperiode ausreicht, und.dort verschoben. Das aufgrund dieser Verschiebung auftretende Ausgangssignal des ersten Schieberegisters 11 wird dem zweiten Schieberegister 12, dessen Kapazität gleich der des ersten ist, eingegeben und dort verschoben. Von einander entsprechenden Stufen beider Schieberegister (beispielsweise den drei Stufen QA, QB und QC) werden die Daten entnommen und zum Zwecke des Vergleichs dem Komparator 13 eingegeben. Bezogen auf Fig. 3c entspricht dies dem Vergleich des Pegels der Videosignale dreier horizontal beabstandeter Bildelemente an der Stelle A der Abtastzeile χ und dreier horizontal beabstandeter Bildelemente an der Stelle B der Abtastlinie .
Im Komparator 13 werden die Daten AO, BO, CO der drei Bildelemente vom Schieberegister 11 mit den Daten A1, B1, C1 der drei Bildelemente vom Schieberegister 12 verglichen, und,wenn zwischen ihnen ein Pegelsprung vorhanden ist, die ersteren Daten also zum Beispiel dem Weißwert und die letzteren dem Schwarzwert entsprechen, dann
4/5
erzeugt der erste Komparator 13 ein Ausgangssignalan seinem Ausgang 15 und setzt den zweiten Komparator 14 in Betrieb. Im Komparator 14 werden nach Ablauf einer Horizontalabtastperiode seit dem Vergleich im ersten Komparator 13 die Daten von drei Bildelementen des ersten Schieberegisters 11 mit den Daten von drei Bildelementen des zweiten Schieberegisters 12 verglichen. Bezogen auf Fig. 3c bedeutet dies, daß ein Pegelvergleich stattfindet hinsichtlich dreier horizontal beabstandeter Bildelemente an der Stelle B der Abtastlinie y und dreier horizontal beabstandeter Bildelemente an der Stelle C der Abtastlinie z. Wenn dabei ein Pegelsprung festgestellt wird, also beispielsweise die ersteren Daten dem Schwarzwert und die letzteren dem Weißwert entsprechen, dann erzeugt der zweite Komparator 14 ein Ausgangssignal an seinem Ausgang 16, welches die Tatsache der Feststellung eines Fehlers anzeigt.
Bei der obigen Beschreibung sind drei Bildelemente als Einheit für den Pegelvergleich gewählt, es kann aber abhängig von der Größe eines festzustellenden Fehlers eine beliebige Anzahl von Bildelementen als Pegelvergleichseinheit gewählt werden.
Fig. 5 ist ein Schaltbild eines konkreten Ausführungsbeispiels der Komparatoren 13 und 14 in Fig. 4. In Fig. 5 sind mit 22 und 23 gegeneinander verriegelte Schalter, mit 24 und 40 UND-Glieder mit je drei Eingängen, mit 25 und 41 NOR-Glieder mit je drei Eingängen, mit 26 und 42 UND-Glieder mit je zwei Eingängen und mit 27 und 28 JK-Flipflops bezeichnet.
Die Arbeitsweise der Schaltung von Fig. 5 soll nun unter der Annahme beschrieben werden, daß bei einer Signalflanke zwischen Weißwert und Schwarzwert dem Weißwert der Wert 1 und dem Schwarzwert der Wert 0 zugeordnet sind.
5/6
In Fig. 5 seien die Schalter 22 und 23 von der gezeichneten Stellung in die entgegengesetzte Stellung umgeschaltet. Wenn die oberen Bildelementdaten A1, B1 und C1 den Wert 1 und die unteren Bildelementdaten AO, BO und CO den Wert 0 haben, dann hat das Ausgangssignal des UND-Glieds 24 den Wert 1 ,.. und auch das Ausgangssignal des NOR-Glieds 25 hat den Wert 1, so daß das Ausgangssignal des UND-Glieds 26 den Wert 1 hat und das JK-Flipflop 27 gesetzt wird. Dieser Zustand entspricht der Feststellung einer Signalflanke vom Weißwert zum Schwarzwert. Das Ausgangssignal QA des Flipflops 27 erscheint am Löscheingang des JK-Flipflops 28 und hebt dessen Löschzustand auf, so daß das Flipflop 28 arbeitet. Nach Ablauf einer Horizontalabtastperiode hiernach hat, wenn die oberen Bildelementdaten A1, B1 und C1 den Wert 0 und die unteren Bildelementdaten AO, BO und CO den Wert 1 besitzen, das Ausgangssignal des UND-Glieds 40 den Wert 1, das Ausgangssignal des NOR-Glieds 41 den Wert 1 und das Ausgangssignal des UND-Glieds 42 den Wert 1,SO daß das Flipflop 28 gesetzt wird. Dieser Zustand • bedeutet, daß eine Signalflanke vom Schwarzwert zum Weißwert gefunden wurde. Nachdem also zunächst eine Flanke vom Weißwert zum Schwarzwert gefunden wurde, wurde als zweites eine solche vom Scharzwert zum Weißwert festgestellt, das heißt es wurde ein Fehler ermittelt.
Wenn die Schaltarme der beiden verriegelten Schalter 22, 23 nicht an die mit den Bildelementdaten A1, AO, B1 bzw.
3Q BO beaufschlagten Kontakte geschaltet sind, dann erstreckt sich die Prüfung auf jeweils ein einziges Bildelement pro Abtastlinie, mit anderen Worten es werden die Daten von zwei vertikal angeordneten Bildelementen miteinander verglichen, so daß irgendein sich vom Rand des untersuchten Gegenstands in dessen Inneres erstrecken-
der Fehler selbst dann festgestellt wird, wenn er in der Größe einem Bildelement entspricht. Wenn nur der Schalter 22 nicht an die den Bildelementdaten A1 bzw. AO entsprechenden Kontakte geschaltet ist, kann ein nach innen gehender Fehler entsprechend der Größe von zwei Bildelementen oder mehr erfaßt werden. Wenn die Schaltarme beider verriegelter Schalter 22, 23 auf die mit den Bildelementdaten A1, AO, B1 bzw. BO beaufschlagten Kontakte geschaltet sind, kann ein Fehler erfaßt werden, der nach innen geht und dessen Größe drei Bildelementen oder mehr entspricht. Mit dem Schaltzustand der Schalter 22, 23 kann also die Empfindlichkeit der Fehlererfassung nach der Größe eines Fehlers eingestellt werden, das heißt es kann die Erfassung von Fehlern in der Größe ab einem Bildelement aufwärts, solche in der Größe ab zwei Bildelementen aufwärts oder solche in der Größe ab drei Bildelementen aufwärts vorgewählt werden.
Da bei dieser Art der Prüfung ein Wechsel zwischen Weißwert und Schwarzwert anhand von Daten entsprechend vertikal angeordneter Bildelemente zur Ermittlung eines Fehlers festgestellt werden, kann bei einem kreisförmigen Prüfgegenstand ein Fehler am Rand des Kreises oder in seinem Inneren in gleicher Weise erfaßt werden.
Fig. 6 zeigt ein Zeitdiagramm von Signalen an verschiedenen Stellen der Schaltung von Fig. 5. Darin bezeichnet HSYC ein Synchronsignal der Horizontalabtastung einer Fernsehkamera. Ein Bild wird synchron mit diesem Synchronsignal nacheinander von oben nach unten abgetastet. CLOCK bezeichnet ein Taktsignal mit einer festen Periodendauer, welches am Takteingang der Schieberegister 11, 12 in Fig. 4 anliegt. Synchron mit diesem Taktsignal werden die binärkodierten Daten sequentiell verschoben.
Signale AO, BO, CO sind vom Taktsignal CLOCK sequentiell
verschobene binärkodierte Daten des dem Eingang von der Kamera gelieferten Bildsignals, die um einen Schritt (ein Bildelement) gegeneinander verschoben sind. Die Signale A1, BT, C1 sind die entsprechenden Signale, nachdem die Signale AO, BO und CO um eine Horizontalabtastperiode verschoben wurden. Betrachtet man AO, BO, CO und A1, B1 und C1 zum gleichen Zeitpunkt, dann handelt es sich um die Daten von jeweils drei aneinander anschließenden Bildelemente in einer oberen und einer unteren Abtastlinie. QA ist das Ausgangssignal des Flipflops 27 in Fig. 5, das eine Flanke S1 aufweist, wenn sich anhand der Signale A1, B1, C1 und AO, BO, CO ein Wechsel des Bildsignals vom Weißwert zum Schwarzwert ergibt. DEFEKT ist das Ausgangssignal des Flipflops 28 in Fig. 5, das eine Flanke S2 besitzt, wenn sich aus den Signalen A1, B1, C1 und AO, BO, CO ein Wechsel vom Schwarzwert zum Weißwert ergibt, nachdem das Ausgangssignal QA den logischen Wert 1 angenommen hat. Diese Flanke S2 zeigt an, daß ein Fehler festgestellt wurde. CLEAR ist ein Signal zum Löschen des letzten Prüfergebnisses vor dem Beginn der nächsten Prüfung.
Da bei der Prüfung gemäß der Erfindung die Daten von einem durch Abtastung gewonnenen Bild in Vertikalrichtung betrachtet werden, können Fehler festgestellt werden, die in Vertikalrichtung gegenüber dem vom Umfang des abgetasteten Gegenstands hervorgerufenen Signalwechsel einen weiteren Signalwechsel verursachen. Dies gilt nicht nur für Fehler, die einen solchen Signalwechsel sowohl in vertikaler als auch in horizontaler Richtung verursachen, wie dies etwa für Fehler innerhalb eines kreisförmigen bzw-, runden Gegenstands der Fall ist, sondern auch für Fehler, die als Teil der Kontur eines kreisförmigen bzw. runden Gegenstands in horizontaler Richtung anzusehen sind, also Fehler, die sich an den Umfang anschließen.
Darüberhinaus kann solch ein Fehler, der einen Fehler im Inneren einschließt, erfaßt werden. Da die Verarbeitung allein durch Verschieben der Daten für eine horizontale Abtastperiode bewirkt wird, reicht als Verarbeitungszeit die Bildaufnahmeperiode für ein Bild aus, so daß die Verärbeitungsgeschwindigkeit nicht weiter berücksichtigt zu werden braucht.
Da bei diesem Prüfsystem die Umfangskoordinaten des Gegenstands selbst nicht benötigt werden, hat eine Vergrößerung oder Verkleinerung oder eine Verschiebung des Gegenstands innerhalb des Kameraabtastfeldes keinen Einfluß auf die Prüfung.
Der Prüfgegenstand braucht nicht kreisförmig, sondern kann auch elliptisch sein, und die vorliegende Erfindung kann zur Fehlerermittlung bei jedem Gegenstand eingesetzt werden, solange er symmetrisch ist und durch eine konvexe Kurve gebildet ist. Ein Prüfgegenstand mit einer gemäß Fig. 7 vertikal verlaufenden linearen Kontur 43 wird auf Unebenheiten D1, D2 geprüft, die eigentlich nicht vorhanden sein sollten. Hierdurch wird es möglich, die Linearität zu überprüfen. Im Fall der Erfassung eines konvexen Fehlers werden Schwarz und Weiß des abgetasteten Bildes umgekehrt, so daß die konvexe Form in eine konkave Form geändert wird. Daher kann solch ein Fehler mit dem erfindungsgemäßen Verfahren erfaßt werden.
/fit
Leerseite

Claims (2)

  1. BLUMBACH . WESER · BERGEN · KRAMER
    ZWIRNER - HOFFMANN
    PATENTANWÄLTE IN MÜNCHEN UND WIESBADEN
    Patentconsult Radecfcestrafle 43 80QO München 60 Telefon (089)883603/883604 Telex 05-212313 Telegramme Palentconsull Patentconsult Sonnenberger StroCe 43 6200 Wiesbaden Telefon (06121) 562943/561998 Telex 01-186237 Telegramme Patenlconsull
    Fuji Electric Company, Ltd. 82/87100
    No. 1-1, Tanabeshinden, HO/mü
    Kawasaki-ku, Kawasaki-shi,
    Kanagav/a, Japan
    Patentansprüche
    Verfahren zum Prüfen von Gegenständen auf
    Fehler
    1 ·/* Verfahren zum Prüfen von Gegenständen auf Fehler anhand von binärkodierten Daten eines durch Rasterabtastung des Gegenstands erhaltenen Bildsignals, dadurch gekennzeichnet , daß die binärkodierten Daten wenigstens zweier aufeinanderfolgender Abtastperioden gesondert gespeichert werden, daß der einer vorgegebenen Bildelementposition des Rasters entsprechende Datenwert aus einer ersten Abtastperiode mit dem entsprechenden Datenwert einer zweiten Abtastperiode verglichen wird und .daß auf der Grundlage von wenigstens drei aufeinanderfolgenden Abtastperioden im Abtastraster ein einen Fehler anzeigendes Signal erzeugt wird, wenn der Vergleich der Signalwerte einer ersten und einer darauf folgenden zweiten Abtastperiode einen Unterschied ergibt und der Vergleich der Signalwerte der zweiten Abtastperiode und einer darauf folgenden dritten Abtastperiode ebenfalls einen Unterschied zwischen den verglichenen Signalwerten ergibt.
    München: R. Kramer Olpl.-Ing. · W. Weser Olpl.-Phys. Dr. rer. nat. · E, Hoffmann Dlpl.-Ing. Wiesbaden: P.G. Blumbach Olpl.-Ing. . P. Bergen Prof.Dr. jur.Oipl.-lng., Pat.'Ass., Pal.-Anw.bis 1979 . G. Zwirner Dipl.-Ing. Dlpl.-W.-Ing.
  2. 2. Schaltungsanordnung zur Prüfung von Gegenständen auf Fehler anhand von binärkodierten Daten eines durch Rasterabtastung des Gegenstands mittels einer Bildaufnahmevorrichtung gewonnenen Bildsignals/ g e k e η η zeichnet durch eine Speicheranordnung (11, 12) zur gesonderten Speicherung der binärjkodierten Daten von wenigstens zwei aufeinanderfolgenden Äbtastperioden des Abtastrasters, durch eine Leseanordnung zum Lesen des Datenwerts an einer vorgegebenen Bildelementposition für die erste Abtastperiode und des Datenwerts in einer entsprechenden vorgegebenen Bildelementposition für eine zweite Abtastperiode und durch eine Vergleichsanordnung (13, 14) zum Vergleich der gelesenen Datenwerte, wobei hinsichtlich der Daten zu wenigstens drei aufeinanderfolgende Abtastperioden im Abtastraster auf das Vorliegen eines Fehlers aufgrund unterschiedlicher Datenwerte geschlossen wird, wenn der binärkodierte Datenwert in einer speziellen Bitelementposition bei einer ersten Abtastperiode verschieden von dem binärkodierten Datenwert in einer entsprechenden Bildelementposition bei der folgenden zweiten Abtastperiode ist und der binärkodierte Datenwert in einer entsprechenden Bildelementposition bei der weiter folgenden dritten Abtastperiode verschieden von dem binärkodierten Datenwert in einer entsprechenden Bildelementposition der zweiten Abtastperiode ist.
DE19823237818 1981-10-14 1982-10-12 Verfahren zum pruefen von gegenstaenden auf fehler Granted DE3237818A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56162725A JPS5863838A (ja) 1981-10-14 1981-10-14 欠陥検出回路

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3237818A1 true DE3237818A1 (de) 1983-04-28
DE3237818C2 DE3237818C2 (de) 1991-08-22

Family

ID=15760083

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19823237818 Granted DE3237818A1 (de) 1981-10-14 1982-10-12 Verfahren zum pruefen von gegenstaenden auf fehler

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4486777A (de)
JP (1) JPS5863838A (de)
CH (1) CH659707A5 (de)
DE (1) DE3237818A1 (de)
GB (1) GB2108656B (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3314465A1 (de) * 1983-04-21 1984-10-25 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren zur optischen oberflaechenpruefung
DE3337468A1 (de) * 1983-10-14 1985-04-25 Optische Werke G. Rodenstock, 8000 München Verfahren und vorrichtung zur pruefung der oberflaeche von bauteilen
DE3535400A1 (de) * 1984-11-22 1986-05-22 Hajime Industries, Ltd., Tokio/Tokyo Pruefverfahren und pruefvorrichtung

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60114748A (ja) * 1983-11-26 1985-06-21 Takeda Chem Ind Ltd 固形製剤の表面異物のカメラ検査方法およびその装置
US4556903A (en) * 1983-12-20 1985-12-03 At&T Technologies, Inc. Inspection scanning system
JPS6147542A (ja) * 1984-08-13 1986-03-08 Fuji Photo Film Co Ltd 感光フィルムの表面検査方法および装置
JPS6168541A (ja) * 1984-09-12 1986-04-08 Hayashi Yakuhin Kikai Kk ビデオ式錠剤検査方法
US4697088A (en) * 1985-06-24 1987-09-29 Beltronics, Inc. Method of and apparatus for discriminating sharp edge transitions produced during optical scanning of differently reflective regions
KR900007548B1 (ko) * 1985-10-04 1990-10-15 다이닛뽕스쿠링세이소오 가부시키가이샤 패턴 마스킹 방법 및 그 장치
DE3624959A1 (de) * 1986-07-23 1988-01-28 Mannesmann Ag Automatisches verfahren zur beruehrungslosen dreidimensionalen vermessung von objekten grosser ausdehnung
EP0263473B1 (de) * 1986-10-03 1994-07-27 Omron Tateisi Electronics Co. Gerät zur Untersuchung einer elektronischen Vorrichtung in fester Baugruppe
JPH0739999B2 (ja) * 1991-01-24 1995-05-01 肇産業株式会社 欠陥検出方法
DE4200801A1 (de) * 1992-01-15 1993-08-19 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung zur durchfuehrung einer qualitaetskontrolle
US6459448B1 (en) 2000-04-19 2002-10-01 K-G Devices Corporation System and method for automatically inspecting arrays of geometric targets
KR100387197B1 (ko) * 2000-08-03 2003-06-12 주식회사 비솔 고속 결함 검출 시스템 및 방법
US7080140B2 (en) 2001-10-05 2006-07-18 International Business Machines Corporation Storage area network methods and apparatus for validating data from multiple sources
CN113167561B (zh) * 2018-09-19 2023-12-22 康宁股份有限公司 使用边缘缺陷量规测量玻璃片的边缘缺陷尺寸的方法及相应的边缘缺陷量规

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2635042A1 (de) * 1976-08-04 1978-05-11 Deutsch Pruef Messgeraete Verfahren und vorrichtung zum automatischen erkennen und bewerten von optischen rissanzeigen auf der oberflaeche von werkstuecken
DE3011014A1 (de) * 1979-03-22 1980-10-02 Hajime Industries Fehlerpruefvorrichtung
DE3012559A1 (de) * 1979-04-05 1980-10-16 Fuji Electric Co Ltd Vorrichtung und verfahren zur automatischen untersuchung von produkten

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2256617C3 (de) * 1971-11-19 1978-08-31 Hitachi, Ltd., Tokio Einrichtung zur Analyse einer Vorlage
JPS5283745A (en) * 1976-01-01 1977-07-12 Squibb & Sons Inc Pharmaceutically active compound
US4207593A (en) * 1976-07-31 1980-06-10 Karl Deutsch Pruf- Und Messgeratebau Gmbh & Co. Kg Method and apparatus for the automatic recognition and evaluation of optical crack indications on the surface of workpieces
JPS55129731A (en) * 1979-03-29 1980-10-07 Kan Oteru Automatic detector for deficient tablet
DE2934038C2 (de) * 1979-08-23 1982-02-25 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Rißfortschritts-Meßeinrichtung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2635042A1 (de) * 1976-08-04 1978-05-11 Deutsch Pruef Messgeraete Verfahren und vorrichtung zum automatischen erkennen und bewerten von optischen rissanzeigen auf der oberflaeche von werkstuecken
DE3011014A1 (de) * 1979-03-22 1980-10-02 Hajime Industries Fehlerpruefvorrichtung
DE3012559A1 (de) * 1979-04-05 1980-10-16 Fuji Electric Co Ltd Vorrichtung und verfahren zur automatischen untersuchung von produkten

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3314465A1 (de) * 1983-04-21 1984-10-25 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren zur optischen oberflaechenpruefung
DE3337468A1 (de) * 1983-10-14 1985-04-25 Optische Werke G. Rodenstock, 8000 München Verfahren und vorrichtung zur pruefung der oberflaeche von bauteilen
DE3535400A1 (de) * 1984-11-22 1986-05-22 Hajime Industries, Ltd., Tokio/Tokyo Pruefverfahren und pruefvorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
GB2108656A (en) 1983-05-18
JPS5863838A (ja) 1983-04-15
DE3237818C2 (de) 1991-08-22
CH659707A5 (de) 1987-02-13
US4486777A (en) 1984-12-04
GB2108656B (en) 1985-04-24
JPS6355650B2 (de) 1988-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3237818A1 (de) Verfahren zum pruefen von gegenstaenden auf fehler
DE3205726C2 (de) Fehlerprüfvorrichtung
DE3612233C2 (de)
DE3012559C2 (de)
DE3228010C2 (de) Fehlerprüfvorrichtung
DE3639636C2 (de) Automatische Inspektion von Textilbahnen
DE69728482T2 (de) Zweidimensionaler Codeleser
DE3686386T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur mustermaskierung.
DE2938585C2 (de)
DE4201514A1 (de) Verfahren zur ermittlung von fehlerhaften stellen
DE2612971A1 (de) Bildmuster-erkennungssystem
DE69126853T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Herstellungsfehlern in Festkörperbauteilen
DE2417282A1 (de) Vorrichtung zum erkennen eines musters
DE3415470A1 (de) Geraet und verfahren zum codieren und speichern von rasterabtastbildern
DE2404183B2 (de) Vorrichtung zur Erkennung der Lage eines Musters
DE2753593A1 (de) Vorrichtung zur automatischen aussenpruefung von objekten
DE3718151A1 (de) Vorrichtung zum erfassen von fehlern in einseitig bedeckten wellpappen
DE3879015T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur ueberfruefung von lochmaskenplatten.
DE102006051950B3 (de) Steuerung für eine elektronische Zeilenkamera
DE3336470A1 (de) Verfahren und anordnung zum vergleich von bildern
DE112020006938T5 (de) Kamera-mehrzeilen-zeitteilungs-belichtungsverarbeitungsverfahren und -system
DE2530606A1 (de) Verfahren zum testen eines zweidimensionalen musters mit hilfe von zwei synchronisierten aufnahmeanordnungen
DE2256617C3 (de) Einrichtung zur Analyse einer Vorlage
DE102009040649A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von digitalen Einzelbildern von scheibenförmigen Elementen in einem Herstellungsprozess
DE2653590B2 (de) Vorrichtung zum Ermitteln von Fehlern in flächenhaften Mustern, insbesondere in Photomasken

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee