DE2530606A1 - Verfahren zum testen eines zweidimensionalen musters mit hilfe von zwei synchronisierten aufnahmeanordnungen - Google Patents
Verfahren zum testen eines zweidimensionalen musters mit hilfe von zwei synchronisierten aufnahmeanordnungenInfo
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Description
PHN
7
DIETER PODDIG WN/RJ
f atenUbbessot 12.6.75
Anmelder: tJ.V. Phffcs' Θε;:!:*? sntobrtekeii
AktonNr.: FSBH" 7641
Anmeldung vom; 8. Juli 1975
AktonNr.: FSBH" 7641
Anmeldung vom; 8. Juli 1975
"Verfahren zum Testen eines zweidimensionalen Musters
mit Hilfe von zwei synchronisierten AufnahmeanOrdnungen"
.
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Testen eines zweidimensionalen Musters mit
Hilfe von zwei synchronisierten Aufnahmeanordnungen, und zwar einer zum Aufnehmen des zu testenden Musters
und einer zum Aufnehmen eines Bezugsmusters, wobei die von den zwei Aufnahmeanordnungen erzeugten
Signale verglichen werden und eine Differenz zwischen den Signalen, die einer Differenz zwischen
den Mustern entspricht, zu einer Fehleranzeige führt,
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sowie auf eine dazu geeignete Anordnung.
Ein derartiges. Verfahren ist in der U.S. Patentschrift 35^6377 beschrieben worden. Das Testen
erfolgt durch einen Vergleich des Profils eines zu testenden Gegenstandes mit dem eines genormten
Gegenstands als Bezugswert. Um zu vermeiden, dass
bereits eine geringe erlaubte Abweichung zwischen dem zu testenden Muster und dem Bezugsmuster ein·
Fehlersignal hervorruft, ist eine Schwellenanordnung mit einem Schwellenwert vorgesehen, der vom Fehler
überschritten werden muss. Weiter gilt, dass der Profilvergleich eine nahezu identische Abtastung
bei den Abtastrastern in den beiden Aufnahmeanordnungen erfordert. Es stellt sich heraus, dass eine
derartige Anforderung für den Mustervergleich in der Praxis kaum verwirklichbar ist. Eine Erhöhung des
Schwellenwertes ergibt keine Lösung, da eine Lageuverschiebung,
die gerade ausserhalb des Toleranzgebietes fallt, einen gleich grossen Fehler ergibt
wie eine weitere Verschiebung.
Die Erfindung bezweckt nun., ein Verfahren zum Testen vim Musteren anzugeben, wobei keine kritischen
Anforderungen für die Musterüberdeckung auftreten. Das erfindungsgemässe Verfahren weist dazu
das Kennzeichen auf, dass das Bezugsmuster als modifiziertes Muster mit mindestens drei Arten von Muster-
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bahnen mit unterschiedlichen Leuchtdichten ausgebildet
ist, wobei die Breiten von zwei Arten von Musterbahnen, die von den genannten drei Leuchtdichten je eine der
beiden aussersten Leuchtdichten haben, schmäler sind als die in dem zu testenden Muster, während der Signalvergleich
zur Bestimmung der Musterunterschiede nur bei den letztgenannten zwei Arten von Musterbahnen
im Bezugsmuster stattfindet.
Eine zum Durchführen des erfindungsgemässen Verfahrens geeignete Anordnung weist dazu das Kennzeichen
auf, dass der Ausgang der Aufnahmeanordnung zum Aufnehmen des Bezugsmusters mit zwei Schwellenschaltungen
verbunden ist, von denen die eine einen . Durchlassbereichiifuxc-Signale, die zu niedrigen Leuchtdichten
gehören und die andere einen Durchlassbereich für Signale hat, die zu hohen Leuchtdichten gehören,
und die Durchlassbereiche in einem Mittenbereich einander überlappen, wobei die Schwellenschaltungen an
einen Fehlerdetektor angeschlossen sind, mit dem weiter über einen Schwellwertschalter der Ausgang der
AufnahmeanOrdnung zum Aufnehmen des zu testenden Musters
verbunden ist, welcher Fehlerdetektor mit logischen Schaltungen zum Vergleich des einen und des
anderen Binärwertes, der zu dem zu testenden Muster mit den genannten beiden aussersten Leuchtdichten im
Bezugsmuster gehört, ausgebildet ist.
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Das erfindungsgemässe Verfahren und die erfindungsgemässe
Anordnung Werden an einem Ausführungsbeispiel
der Erfindung in den Zeichnungen dargestellt. Es zeigen:
Fig. 1 ein Beispiel eines zu testenden Musters,
Fig. 2 ein zu dem zu testenden Muster nach Fig. 1 gehörendes modifiziertes Bezugsmuster,
Fig. 3 eine Ausbildung einer erfindungsgemässen
Anordnung.
In Fig. 1 ist ein zu testendes Muster 1 dargestellt. Das Muster 1 ist beispielsweise ein
Teil einer sogenannten gedruckten Schaltung, wobei metallische Leiterbahnen auf einem Träger aus isolierendem
Material vorgesehen sind. Weiter könnte das Muster 1 ein Teil einer, sogenannten integrierten
Schaltung sein, wobei die gezeichneten Bahnen Schichten aus Halbleitermaterial in einem Halbleiterkörper
entgegengesetzten Leitfähigkeitstyps sjLnd.
Das Muster 1 könnte ebenfalls ein geätztes Muster auf beispielsweise einer Glasplatte sein. Die genaue
Ausbildung des Musters 1 ist belanglos, und es wird einfachheitshalber.angenommen, dass auf einem Träger
(schraffierte) Musterbahnen vorhanden sind.
Das Testen des Musters 1 nach Fig. 1 bedeutet, dass ermittelt werden muss, dass die gezeich-
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PHN
neten Musterbahnen nicht unterbrochen und ohne unzulässige Verengungen bzw. Verbreiterungen sind, wodurch
die getrennt liegenden Bahnen einander zu dicht nähern könnten. Weiter gilt, dass eine vorgeschrxebene
spezifische örtliche Form einer Bahn innerhalb angemessener Toleranzen angenähert sein muss.
Statt dass das beispielsweise gut ausgebildete Muster 1 nach Fig. 1 mit einem dann identischen
Bezugsmuster verglichen wird, wird der Vergleich mit einem modifizierten Bezugsmuster 2, das in Fig. 2
dargestellt ist, durchgeführt. Das Bezugsmuster 2 ist in Fig. 2 mit drei Arten von Musterbahneh dargestellt,
und zwar mit schmalen schwarzen Bahnen, schmalen weissen Bahnen und zwischenliegenden schraffierten
Gebieten als Musterbahnen. Die schwarz schraffiert und weiss dargestellten Musterbahnarten
im Muster 2 haben verschiedene Leuchtdichten,
wobei Schwarz mit Schwarz, Weiss mit Maximalweiss und
schraffiert mit Grau auf einer Leuchtdichteskala übereinstimmen. Zwischen Schwarz und Maximalweiss als
äusserste Leuchtdichten liegt das Grau beispielsweise gerade in der Mitte.
Die schwarzen Musterbahnen im Bezugsmuster 2 nach Fig. 2 stimmen mit den Mittellinien der schraffiert
dargestellten Musterbahnen des zu testenden Musters 1 nach Fig. 1 überein. Die Breite der schwär-
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zen Musterbahnen im Muster 2 ist beispielsweise die minimal erlaubte Breite der Bahnen im Muster 1. Die
weissen Musterbahnen im Bezugsmuster 2 werden beim Testen dazu benutzt, um festzustellen, dass es zwischen
den jeweiligen getrennten Bahnen des Musters 1 keine Verbindungen und einen minimalen Abstand gibt. Die
schraffierten Gebiete im Bezugsmuster 2 werden beim Testen als solche nicht benutzts sondern in diesen
Gebieten liegen die erlaubten Toleranzen.
Das erfindungsgemässe Verfahren mit dem
gegenüber dem Muster 1 nach Fig. 1 modifizierten Bezugsmuster
2 nach Fig. 2 wird an Hand der Αία or dnung nach Fig. 3 näher erläutert. In Fig. 3 sind die Muster
.1 und 2 nach Fig. 1 und 2 auf schematische Weise dax^gestellt. Das zu testende Muster 1 wird durch eine
Aufnahmeanordnung 3> die als Fernsehkamera ausgebildet sein kann, aufgenommen. Dabei kann in der Aufnahme-,
anordnung 3 eine völlig elektrische Informationsaufnahme
stattfinden oder auch eine teilweise mechanische Informationsaufnahme, beispielsweise mit sich bewegenden
Spiegeln usw. Dasselbe gilt für die Aufnahmeanordnung 4, mit der das Bezugsmuster 2 aufgenommen
wird. Die Ausbildung der AufnahmeanOrdnungen 3 und k
ist an sich irrelevant; von Bedeutung ist nur, dass die Anordnungen 3 und 4 je ein elektrisches Signal
liefern, das die Muster 1 und 2 repräsentiert und
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"bei der Wiedergabe eine getreue Abbildung derselben
bildet. Ausgehend von einer nor»ialen Ferns ehlcameraausbildung,
die aus einer Steuereinheit 5 gesteuert wird, die dazu ein Steuer- und Synchronsignal DS1 bzw.
DS2 liefert, liefern die Anordnungen 3 und k ein Videosignal VBS 1 bzw. VBS 2. Der Steuereinheit 5
wird ein Fernsehsynchronsignal S zugeführt, das beispielsweise ein zusammengestelltes Horizontal-
und Vei-tikal-Synchronsignal ist. Die Videosignale VBS
enthalten die den Mustern 1 und 2 entsprechende Videoinformation und Austast- und Synchronimpulse, so dass
die Signale für die Wiedergabe unmittelbar einer Wiedergabeanordnung zugeführt werden könnten.
Das Bezugsmuster 2 ist our Aufnahme vor eine Aufnahmeanordnung h gestellt, während das zu testende
Muster 1 als eines aus vielen einige Zeit vor die Aufnahmeanordnung 3 gebracht wird. Dazu ist in Fig.
3 dargestellt, dass das Muster 1 über zwei Trommeln 6 und 7 und ein Führungsband ' 8 zur AufnahmeanOrdnung
3 gebracht wird. Die Trommel 6 wird von einer Antriebseinheit 9 mit einem Motor angetrieben.. Die
Antriebseinheit 9 wird ebenso wie die Steuereinheit 5 auf noch näher zu beschreibende Weise gesteuert,
während die Antriebseinheit 9 mit der Steuereinheit
5 verbunden ist, und zwar um anzugeben, dass das zu testende Muster 1 sich in der richtigen Lage vor der
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Aufnahmeanordnung 3 befindet.
Die mechanische Anordnung des Musters 1 vor der Aufnahmeanordnung 3 wird praktisch niemals derart
sein, dass ohne weitere Massnahmen bei der Wiedergabe der Signale VBS1 und VBS2 eine genaue Musterdeckung
auftritt. Dazu werden die Signale VBS1 und VBS 2 einer Phasenvergleichsschaltung 10 zugeführt. Die Phasen*-
vergleichsschaltung 10 ist mit dem Ausgang an die Aufnahmeanordnung 3 gelegt und verursacht darin eine Aufnahmeverschiebung
beim Aufnehmen des Musters 1, bis eine Koinzidenz zwischen den Signalen VBS 1 und VBS 2
vorliegt, was bei Wiedergabe einer Musterdeckung entsprechen würde. Bei einer genauen Signalkoinzidenz
gibt die Phasenvergleichsschaltung 10 weiter eine Schwellen- und Begrenzerschaltung 11 frei, die an
den Ausgang der Aufnahmeanordnung 4 angeschlossen ist. Das Resultat ist, dass nach der mechanischen
Anordnung des zu testenden Musters .1 vor der Aufnahmeanordnung 3 eine elektronische Ausrichtung
stattfindet, wonach über die Schaltung 11 das Testen anfangen kann.
Die Schaltungsanordnung 11 teilt das Signal VBS2 in ein Signal -VB2 mit Videοinformation und
zwischenliegenden Austastzeiten und das Synchronsignal S auf. Das Synchronsignal S wird einem Impulsgenerator
12 zugeführt, der je zwei zeilenversetzte
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Fernseh.tellbilder ein impulsförmiges Bildsynchronsignal
SV zu einem Eingang eines MICHT-TJND-Tores 13 liefert.
Das Signal VB2 wird zwei Scliwellen-Begrenzerschal tungen 14 und 15 zugeführt-. Die Schwell en schaltung
14 hat einen Durchlassbereich für Signale, die zu niedrigen Leuchtdichten bis zu einem ihr zugeführten
Schwellenwert Uw gehören, bei welchem Durchlassbereich
die Schwellenschaltung lh einen bestimmten
hohen Signalpegel führt. Die Schwellenschaltung 15 hat einen Durchlassbereich für Signale, die von
einem ihr zugeführten Schwellenwert Ub bis zu hohen Ißuchtdichten gehören. Da der Schwellenwert Ub niedriger
liegt als der Schwellenwert Uw, gibt es einen überlappenden Mittenbereich, wobei die beiden Schwellenschaltungen
lh und 15 das Signal VB2 mit hohem Signalpegel durchlassen. Die Schwellen-Begrenzerschaltungen
ΛΗ und 15 lassen das Videosignal VB2 als binäres Signal b bzw. w durch. Für die Binärsignale
b und w und noch weiter zu beschreibenden Binärsignale' gitt, dass der hohe Signalpegel einer logischen
1 und der niedrige Signalpegel einer logischen O entspricht.
Die Signale b und w werden einem Fehlerdetektor 16 zugeführt. Der Ausgang der Aufnahmeanordnung
3 ist mit dem Fehlerdetektor 16 über eine
Reihenschaltung aus einer Schwell en schal tung 17 zum
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Ableiten eines Signals VB1 aus dem Signal VBS1 , einer·
Schaltung 18 zur Verbesserung der Flankensteilheiten im Signal VB1 und einem Schwellwertschalter 19» der
ein binäres Videosignal BV liefert, verbunden. Der Fehlerdetektor 16 bestimmt, ob bei der logischen 1
im Signal b (d.h. Schwarz im Signal VB2) oder im Signal w (d.h. Maximalweiss im Signal VB2) die logische
0 (ist Schwarz) oder die logische 1 (ist Weiss) im Binäx"signal BV auftritt. Wenn dies der Fall ist,
besteht kein Unterschied zwischen dem zu testenden Muster 1 und dem Bezugsmuster 2. Gibt es jedoch bei
der logischen 1 im Signal b oder w nicht die entsprechende logische 0 bzw. 1 im Signal BV, so besteht
ein Unterschied, der als Fehler detektiert wird.
In Fig. 3 ist für den Fehlerdetektor 16
eine mögliche Ausführungsform gegeben. Die Signale b und w werden Eingängen eines NICHT-UND-Tores 20
zugefülii't. Der Ausgang des Tores 20 führt ein Signal
g, ,wofür gilt., dass darin die logische 0 für Leuchtdichte im genannten Mittenbereich bei der
logischen 1 im Signal b sowie w auftritt. Der Ausgang des. Tores 20 liegt an einem Eingang eines NICHT-UND-Tores
21. Das Signal w wird einem Eingang eines NICHT-UND-Tores 22 zugeführt, dessen anderem Eingang
das Signal BV zugeführt wird. Das Signal b wird einem
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Eingang eines NICHT-UND-Tores 23 zugeführt, während einem anderen Eingang über einen Signalinverter 2-h
das Signal BV zugeführt wird.· Die Ausgänge der Tox'e 22 und 23» die die Signale Pw bzw. Pb führen, liegen
an Eingängen eines NICHT-UND-Tores 25. Der Ausgang des Tores 25 führt ein Signal P und liegt über einen
Signalinverter 26 an einem Eingang des Tores 21. Der Ausgang des Tores 21 bildet den Ausgang des Fehlerdetektors
10, der ein Signal F führt. Andere Ausfüh-* rungsformen des Fehlerdetektors 16 mit den logischen
Schaltungen 20 bis einschliesslich 26 sind möglich.
Die Wirkungsweise des Fehlerdetektors 16 folgt aus der untenstehenden Tafel, und zwar unter
Berücksichtigung der NICHT-UND-Ioglsehen Funktionen
1.1=0 und 0.0=0.1=1.
TAFEL
VB2 w b g # BV Pw Pb PF
VB2 w b g # BV Pw Pb PF
U< Ub 0 11 Ub < U
U Uw 10 1
Daraus folgt, .dass bei einem Signalwert U im Signal VB2 unter dem Schwellenwert Ub (d.h.
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1 | 1 | 1 | 0 | 0 |
0 | . 1 | 0 | 1 | 1 |
1 | 0 | 1 | r | 1 |
0 | 1 | Ό | 1- | 1 |
1 | 0 | 1 | 1 | 1 |
0 | 1 | 1 | 0 | 0 |
PHN
Schwarz) die mit Wdiss im Signal BV übereinstimmende
logische 1 eine logische 0 im Signal F ergibt. Dasselbe geschieht bei einem Signalwert U im Signal VB2
über dem Schwellenwert Uw (d.h. Weiss), wenn die mit schwarz im Signal BV übereinstimmende logische 0 im
Signal F auftritt. Es ergibt sich, dass die logische 0 im Signal V die Fehleranzeige ist.
Signal F auftritt. Es ergibt sich, dass die logische 0 im Signal V die Fehleranzeige ist.
Iu dem Fall, wo der Signalwert U im Signal VB2 kleiner ist als Ub (Schwarz) bzw. grosser ist als
Uw (Weiss) und im Signal BV die logische 0 (Schwarz) bzw. die logische 1 (Weiss) auftritt, hat das Signal
F die logische 1, was bedeutet, dass kein Fehler vorliegt. Für den Mittenbereich mit dem Signalwert U im
Signal VB2 zwischen den Schwellenwerten Ub und Uw
gilt, dass dabei kein Signalvergleich stattfindet;
das Signal g, dann mit der logischen 0, sperrt das
Tor 21, so dass im Signal F die logische 1 vorhanden ist. . . .
gilt, dass dabei kein Signalvergleich stattfindet;
das Signal g, dann mit der logischen 0, sperrt das
Tor 21, so dass im Signal F die logische 1 vorhanden ist. . . .
Es stellt sich heraus, dass das Bezugsmuster 2 nach Fig. 2 dazu'oenutzt wird, bei schmalen
schwarzen Musterbahnen und schmalen weissen Musterbahnen im Fehlerdetektor 16 nach Fig. 3 eine Messung zur Bestimmung durchzuführen, ob das zu testende
Muster 1 nach Fig. 1 damit übereinstimmt. Eine derartige Messung wird nicht in den schraffiert dargestellten Musterbahnen des Bezugsmusters 2 nach
schwarzen Musterbahnen und schmalen weissen Musterbahnen im Fehlerdetektor 16 nach Fig. 3 eine Messung zur Bestimmung durchzuführen, ob das zu testende
Muster 1 nach Fig. 1 damit übereinstimmt. Eine derartige Messung wird nicht in den schraffiert dargestellten Musterbahnen des Bezugsmusters 2 nach
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Fig. 2 durchgeführt. Dadurch gibt es keine kritischen Probleme in bezug auf eine genaue Ausrichtung und
Abtastung der Muster 1 und 2 bei der Aufnahmeanordnung
3 und k.
Das Signal F wird nach Fig. 3 einem Speicher 27» einer Addierstufe 28 und einer Ausgangsklemme
zugeführt. Der Addierstufe 28 wird weiter das von der AufnahmeanOrdnung 3 herrührende Videosignal VBS1 zugeführt
$ und der Ausgang der Addierstufe 28 liegt an
der Wiedergabeanordnung 30. Der Speicher 27 ist mit einem Stelleingang ausgebildet, dem über einen von
Hand zu betätigenden Schalter 31 eine an der Klemme 32 vorhandene Spannung entsprechend einer Logischen
zugeführt werden kann. Der Ausgang des Speichers 27 liegt an einem Eingang des Tores 13 und am Eingang
einer Speiseschaltung 33> die mit einer Anzeigelampe 3k verbunden ist. Der Ausgang des Tores 13 liegt
an Eingängen der Antriebseinheit 9 und der Steuereinheit 5· In Eg· 3 ist das Signal F dargestellt mit
einer möglichen Signalform, wobei der Speicher 27 ein gezeichnetes Signal MF abgibt.
Für die Wirkungsweise der Anordnung nach
Fig. 3 gil-fc folgendes. Ein zu testendes Muster 1
wird über die Antriebseinheit 9 und das Führungsband
7 vor die AufnahmeanOrdnung 3 gebracht. Nach
Anordnung in der richtigen Lage gibt die Antriebs-
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einheit 9 ein entsprechendes. Signal zur Steuereinheit
5. Die Steuereinheit 5 gibt danach die Steuer- und
Synchronsignale DS1 und DS2 zu den AufnähmeanOrdnungen
3 und k, die dadurch die Videosignale VBS1
und VBS2 erzeugen. Über die Phasenvergleichsschaltung
10 wird das Signal VBS1 mit dem Signal VBS2 in
Koinzidenz gebracht, wobei die Schaltung 11 gesperrt ist. Nach Koinzidenz der Signale VBS1 und VBS2 wird
die Schaltungsanordnung 11 freigegeben. Bei der folgenden
Abtastung der Muster 1 und 2 in zwei ein zeilenversetztes Fernsehbild bildenden Fernsehhalbbil—
dern findet die Signalmessung bzw. der Signalvergleich im Fehlerdetektor 16 statt. Gibt es keinen Fehler im
Muster 1, so wird das Signal F während der zwei Teilbildperioden immer die logische 1 führen, die
ebenfalls im Signal MF vorhanden ist. Am Ende der £wei Vertikalpex'ioden gibt der Impulsgenerator 12
das impulsförmige Signal SV zum Tor 13 ab. Das Tor 13 ist durch die logische 1 im Signal MF freigegeben,
so dass der Impuls mit einer logischen 1 im Signal SV eine logische 0 am Ausgang des Tores 13
ergibt, was eine Anzeige für die Steuereinheit 5 und die Antriebseinheit 9 ist, dass das Testen
des Musters 1 stattgefunden hat. Die Antriebseinheit 9 bringt, danach ein anderes zur testendes Muster
1 vor die Aufnahmeanordnung 3» wonach der
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PHN 76hl
beschriebene Zyklus von neuem anfängt.
Tritt jedoch in dem 7-j. testenden Muster
ein Fehler auf, so tritt in den zwei beschriebenen Vertikalperioden vom Testen die- logische Ό im Signal
F auf, was in Fig. 3 dargestellt ist'. Die zur Zeit bzw. an der Stelle des Fehlers auftretende logische
O im Signal F ist die Fehleranzeige. Diese Fehleranzeige kann der Ausgangskleiiune 29 entnommen
werden, um beim Zurückweisen des Musters 1 benutzt zu werden. Die Zurückweisung erfolgt beispielsweise
dadurch, dass das Muster 1 vom Führungsband 8 entfernt'
wird, oder das Muster 1 - kann mit einem Zurückweisungszeichen versehen werden. Weiter kann die Fehleranzeige
beim-.. UfeergänJgGZuveinem folgenden zu testenden Muster
benutzt werden.
Der Speicher 27, die 'Wiedergabeanordnung 30 und die Anzeigelampe 3k werden zum Durchführen
einer visuellen Kontrolle eines zurückgewiesenen Musters 1 benutzt. Der in den zwei Test-Vertikal-Perioden
auftretende Fehler, wobei im Signal F während kurzer Zeit die logische 0 auftritt, ergibt nach
Speicherung im Speicher 27 die logische 0 im Signal MF. Dadurch wird das Tor 13 gesperrt, so dass das
Signal SV mit dem Impuls am Ende der zweiten Test-Vertikal-Periode"
für die Antriebseinheit 9 und die Steuereinheit 5 nicht verfügbar ist. Anstatt auf ein
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-.•16 -
PHN 7641
folgendes Muster 1 überzugehen, wird das zurückgewiesen*e
Hnster 1 nun kontinuierlich aufgenommen. D±e Anizeigelämpe
3^ deutet dies an. Das Videosignal VBSI
wird' an der Wiedergabeanordnung 30 wiedergegeben,
wattreaä das Signal F die Stelle des Fehlers im wiedergegebenen
Bild des Musters 1 durch eine Örtliche SignalabSchwächung
bzw. -verstärkung, die einen dunklen bzw. hellen Flecken ergibt, anzeigt. Bei mehreren
Fehlern treten mehrere dieser Flecken auf. Der Vorteil
der viöuellen Kontrolle ist, dass unmittelbar
festgestellt werden kann, wo die Fehler auftreten, so dass dies bei des Musterfertigung berücksichtigt
werden kann. Wach visueller Kontrolle kann der Schalter 31 geschlossen werden, wofür beispielsweise eine
minimale Zeit entsprechend 2 Vertikal—Perioden gilt.
Dabei tritt am.Ausgang des Speichers 27 die logische
1 auf, unabhängig von Fehler im Signal F. Das Tor 31 isi; dadurch in der genannten Minimalzeit freigegeben,
so dass über das Signal SV am Ende der zwei Vertikal-Perioden auf ein folgendes zu testendes
Muster 1 übergegangen wird.
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Claims (2)
- -.17 -PHN 7641Patentansprüche:Verfahren zum Testen eines zweidimensionalen Musters mit Hilfe von zwei synchronisierten Aufnahmeanordnungen, und zwar einer zum Aufnehmen des zu testenden Musters und einer zum Aufnehmen eines Bezugsmusters, wobei die von den zwei Aufnahmeanordnungen erzeugten Signale miteinander verglichen werden und eine Differenz zwischen den Signalen, die einer Differenz zwischen den Mustern entspricht, zu einer Fehleranzeige; führt , dadurch gekennzeichnet, dass das Bezugsmuster als modifiziertes Muster mit mindestens drei Arten von Musterbahnen mit unterschiedlichen Leuchtdichten ausgebildet ist, wobei die Breiten von zwei Arten von Musterbahnen, die von den genannten drei Leuchtdichten je eine der beiden äussersten Leuchtdichten haben, schmäler sind als die in dem zu testenden Muster, während der Signalvergleich zur Bestimmung der Musterunterschiede - nur bei den letztr genannten zwei Arten von Musterbahnen im Bezugsmuster stattfindet.
- 2. Anordnung zum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Ausgang der Aufnahmeanordnung zum Aufnehmen;des Bezugsmusters mit zwei Schwellenschaltungen verbunden ist, von denen die eine einen Durchlassbereich für Signale, die zu niedrigen Leuchtdichten gehören,509887/0928und die andere einen Durchlassbereich für Signale, die zu hohen Leuchtdichten gehören, hat und die Durchlassbereiche einander in einem Mittenbereich überlappen, wobei die Schwellenschaltungen an einen Fehlerdetektor angeschlossen sind, mit dem weiter über einen Schwellenwertschalter der Ausgang der Aufnähmeanordnung zum Aufnahmen des zu testenden Musters verbunden ist, welcher Fehlerdetektor mit logischen Schaltungen, zum Vergleich des einen und des anderen Binärwertes, der zu dem zu testenden Muster mit den genannten beiden äussersten Leuchtdichten im Bezugsmuster gehört, aus-, gebildet'ist.3· Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Fehlerdetektor an einen Speicher zur Speicherung der Fehleranzeige angeschlossen istc. h. Anordnung nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, dass für wiederholte Aufnahme der Speicher mit der Aufnahmeanordnung für das zu testende Muster gekoppelt ist, wobei der Ausgang der Aufnahmeanordnung für das zu testende Muster und der Ausgang des Fehlerdetektors an eine Wiedergabeanordnung angeschlossen sind.509887/0928L e e r s e i \ e
Applications Claiming Priority (1)
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NL7409850A NL7409850A (nl) | 1974-07-22 | 1974-07-22 | Werkwijze en inrichting voor het testen van een tweedimensionaal patroon. |
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Publication Number | Publication Date |
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DE2530606A1 true DE2530606A1 (de) | 1976-02-12 |
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DE19752530606 Withdrawn DE2530606A1 (de) | 1974-07-22 | 1975-07-09 | Verfahren zum testen eines zweidimensionalen musters mit hilfe von zwei synchronisierten aufnahmeanordnungen |
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