DE3112269A1 - Elektrische vorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Elektrische vorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung

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DE3112269A1
DE3112269A1 DE19813112269 DE3112269A DE3112269A1 DE 3112269 A1 DE3112269 A1 DE 3112269A1 DE 19813112269 DE19813112269 DE 19813112269 DE 3112269 A DE3112269 A DE 3112269A DE 3112269 A1 DE3112269 A1 DE 3112269A1
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Description

Die Erfindung betrifft eine elektrische Vorrichtung und ihre Herstellung.
Gemäß einem Gesichtspunkt der Erfindung wird eine derartige Vorrichtung bzw. ein elektrisches Gerät mit einem Bereich,der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, geschaffen, wobei der Bereich, der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, durch ein Verfahren, das einen Niederschlag auf ein Substrat aus einer Lösung oder Dispersion einschließt, gebildet wurde. ·
Gemäß einem anderen Gesichtspunkt der Erfindung wird.ein Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Vorrichtung mit einem Bereich, der ausgewählte elektrische Eigen-
VII/WW/st
«■(089)988272-74
Telegramme (cable):
BERGSTAPFPATENT München
Telex: OS 24 560 BERGd Telekopierer: (089) 98 30 49
KaIIe Infotec 6000
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schäften besitzt, geschaffen, das die Bildung des ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzenden Bereichs, oder eines Vorläufers dafür, durch Niederschlag auf ein Substrat aus einer Lösung oder einer Dispersion einschließt.
Der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzende Bereich kann z.B. ein ionendurchlässiger Bereich oder ein isolierender Bereich oder ein halbleitender Bereich sein.
Der Ausdruck "ionendurchlässig", wie in dieser Beschreibung verwendet, bedeutet: fähig, den Durchgang bzw. -fluß von Ionen (z.B. durch Ionenleitung oder auf sonstige Weise) zu erlauben.
Der Ausdruck "Lösung", wie hier verwendet, bedeutet "echte Lösung". Der Ausdruck "Dispersion", wie hier verwendet, umfaßt eine kolloidale Dispersion, eine Suspension und eine Aufschlämmung oder Emulsion.
In einer Ausführungsform ist die Dispersion bevorzugt eine kolloidale Lösung (d.h. ein Sol).
In einer anderen Ausführungsform enthält die Dispersion bevorzugt einenkolloidalen Bestandteil (oder Bestandteile) und einen (oder mehrere) andere(n) Bestandteil(e) (z.B. kann eine Dispersion ein Sol und ein gelöstes Metallsalz umfassen).
Wenn dieDispersion eine kolloidale Lösung ist oder eine Dispersion mit einem kolloidalen Bestandteil (oder Bestandteilen) und einem (oder mehreren) anderen Bestandteil (en) ist ,wird der Bereich der elektrischen Vorrichtung, der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, aus der Dispersion durch Bewirken einer Sol-Gel-Umwandlung und nachfolgendes Erhitzen des dadurch gebildeten Gels/ wenn solches Erhitzen notwendig ist, bevorzugt gebildet.
Die Sol-Gel-Umwandlung kann durch irgendein geeignetes Verfahren bewirkt werden. Solche Verfahren umfassen Wasserentziehung und Anionenextraktion, die an sich bekannt sind.
Bevorzugt wird der Bereich der elektrischen Vorrichtung, der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, als Schicht auf einem anderen Material (d.h. einem Substrat) gebildet. "Schicht", wie hier verwendet, umfaßt "Film" und "Überzug" bzw. "Beschichtung".
Folglich kann z.B. eine ionendurchlässige Schicht gemäß der Erfindung geschaffen werden, die als elektrolytische Schicht oder als Schutzschicht, die den Durchfluß ausgewählter Ionen erlaubt, wirkt..
Eine Schicht, die ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, wird auf einem Substrat gemäß einer Ausführungs-
Ol I Z Z 0 ^ - 9 -
form der Erfindung bevorzugt durch Eintauchen des Substrats in die Lösung oder Dispersion gebildet, um dadurch das Substrat mit Lösung oder Dispersion zu überziehen und die Lösung oder Dispersion in die Schicht umzuwandeln.
Nach einer anderen Ausführungsform wird eine Schicht, die ausgewählte elektrische Eigenschaften- besitzt, be* vorzugt auf einem Substrat durch Auftragen der Lösung oder Dispersion auf einen ausgewählten Bereich eines Substrats und Umwandeln der Lösung oder Dispersion in die schicht gebildet.
Die Lösung oder Dispersion kann durch irgendeine geeignete Technik, z.B. "Malen", Dickfilmverfahren oder Aufoder Abstreichmesser aufgetragen werden.
Im Falle der Verwendung einer Dispersion, die eine kolloidale Lösung ist oder einen kolloidalen Bestandteil hat , gemäß den beiden unmittelbar vorangehenden Ausführungsformen
/auf dem Substrat der Erfindung, kann die Dispersion behandelt werden, um eine Sol-Gel-Umwandlung (z.B. durch Trocknen) zu bewirken, um eine feste Schicht auf dem Substrat zu ergeben. Diese Schicht kann nachfolgend hitzebehandelt werden, um eine Schicht, die ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt (z.B. eine keramische Schicht) zu erzeugen.
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Die Erfindung hat eine weite Anpassungsfähigkeit in bezug auf die Art des Bereichs der Vorrichtung mit ausgewählten elektrischen Eigenschaften, da die Lösung oder Dispersion aus einem breiten Bereich ausgewählt werden kann. Z.B. können zahlreiche chemische Verbindungen in kolloidaler Lösung oder in einer Dispersion mit einem kolloidalen Bestandteil (oder Bestandteilen) erhalten werden.
Folglich können isolierende Bereiche aus kolloidalen Lösungen oder Dispersionen mit einem kolloidalen Bestandteil (oder Bestandteilen), aus denen ein isolierendes Oxid (z.B. A1OO_ oder SiO„) gebildet werden kann, hergestellt werden.
Ähnlich kann beispielsweise ein ionendurchlässiger Bereich (z.B. ein Elektrolyt) aus (i) einer kolloidalen Lösung, oder einer Dispersion mit einem kolloidalen Bestandteil (oder Bestandteilen), aus der ionenleitende Oxid-Elektro-Iyte (z.B. ZrO_ oder CeO„ dotiert mit zweiwertigen oder
2+ 3+ dreiwertigen Ionen wie Ca oder Y ) gebildet werden können oder (ii) einer kolloidalen Lösung, oder einer Dispersion · mit einem kolloidalen Bestandteil (oder Bestandteilen) aus der alkali-ionische leitende Elektrolyte (z.B. NaßAl„O oder Na Zr Si P O10 (d.h. "NASICON")) gebildet werden können, hergestellt werden.
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Kolloidale Lösungen (d.h. Sole), die gemäß der Erfindung verwendet werden können, schließen z.B. eins Zerdioxid-SoIe, wie das Zerdioxid-Sol, das in der britischen Patentschrift 1342 893(UKAEA), S. 3, Z. 49, offenbart wurde, Zirkonerde-Sole, wie das Zirkonerde-Sol, das in der britischen Patentschrift 1 181 794 offenbart wurde, ein TiO„-Sol wie in der britischen Patentschrift 1 412 offenbart, und ein SiO-SoI, von dem man annimmt, daß es durch Hydrolysieren von Natriumsilicat erzeugt wird und das im Handel von Monsanto unter dem Handelsnamen "Syton" erhältlich ist.
Hierzu ist,als Beispiel, zu bemerken, daß die britische Patentschrift 1 386 244 (UKAEA) unter anderem die Herstellung von ß-Aluminiumoxid (Tonerde) aus einem Sol (d.h. kolloidaler Lösung) angibt und daß die britische Patentanmeldung 79 20 506 (UKAEA) (jetzt als britische Patentanmeldung 20 52 462 veröffentlicht) ein Verfahren zur Verwendung bei Herstellung eines Materials der allgemeinen Formel Na1 Zr Si P, O1„ (NASICON) angibt.
Andere Dispersionen, die eine kolloidale Lösung oder eine Dispersion mit einem kolloidalen Bestandteil (oder Bestandteilen) und einem (oder mehreren) anderen Bestandteil (en) umfassen, können gemäß der Erfindung verwendet werden, um in einei. elektrischen Vorrichtung einen Bereich (z.B. eine Schicht), der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, zu schaffen.
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Somit können geeignete Dispersionen gemäß der Erfindung verwendet werden, um in einer elektrischen Vorrichtung Bereiche, die halbleitende Eigenschaften (z.B. TiO_ und In-O :SnO„),Eigenschaften einer höhen dielektrischen Konstante (z.B. TiO3 und CaTiO.,), oder ferroelektrische Eigenschaften (z.B. PbTi1 Zr 0 ), oder ferromagnetische Eigenschaften (z.B. Sr-Ferrite) aufweisen, zu schaffen.
Hierzu ist, als Beispiel, zu bemerken, daß die britische Patentschrift 1 351 113 (UKAEA) unter anderem die Herstellung eines Indiumoxid-Gels aus einem Sol (d.h. kolloidaler Lösung)· beschreibt und daß auch die britische Patentschrift 1 266 494 (UKAEA) unter anderem ein Verfahren zur Bildung von gemischten Oxidverbindungen (z.B..Ferriten) aus einer Lösung beschreibt.
Bei Anwendungen, in denen das Herstellen einer Schicht, die ausgewählte elektrische Eigenschaften'(z.B. beim Herstellen elektrolytischer Schichten)> besitzt^ gewünscht wird, wird allgemein das Auswählen einer Dispersion, die eine kolloidale Lösung ist,oder einer Dispersion mit einem kolloidalen Bestandteil (oder Bestandteilen) und einem (oder mehreren) anderen Bestandteil(en), derart, daß eine kompakte Schicht (d.h. eine Schicht mit niedriger Porosität) bei der SoI-Ge1-Umwandlung erzeugt wird, bevorzugt. Z.B. bei Verwendung eines Cerdioxid-Sols, wie oben beschrieben, kann eine Dichte von 98 %TD in einer Schicht mit üblicherweise 1 yam oder einigen Mikron Dicke erreicht werden.
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Wo eine spezielle Anwendung Porosität in einer Schicht erfordert, kann die Dispersion dementsprechend ausgewählt werden.
Somit kann z.B. eine Dispersion, die ein Sol aufweist oder enthält, das durch Dispergieren eines Pulvers, das durch ein Dampfphasenkondensationsverfahren (z.B. Flammenhydrolyse) hergestellt wurde, in Wasser gebildet wurde, verwendet werden, um Porosität in eine Schicht einzuführen. Die britische Patentanmeldung 43 463/75 (UKAEA) (jetzt GB-PS 1 567 003) beschreibt u.a. die Herstellung von Solen aus einem handelsüblichen Pulver, das durch Flammenhydrolyse hergestellt wurde.
Zusätzlich zur Auswahl der Dispersion kann die Porosität und Dichte einer Schicht durch das Auftragverfahren, das Verfahren zum Bewirken einer SoI-Ge1-ümwandlung und irgendeinen darauffolgenden Verfahrensschritt (z.B. das Brennen einer Gelschicht, um eine Keramikschicht zu erhalten) beeinflußt werden.
In elektrischen Vorrichtungen, in denen ein fester Elektrolyt verwendet wird, wie selektive Ionenüberwacher, Batterien und Brennstoffzellen, können Vorteile erzielt werden, '<c"n dar Elektrolyt so dünn wie praktisch möglich ist.
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Dies tritt hauptsächlich deswegen auf/ weil in Vorrichtungen, die merklich Strom entnehmen, der innere Widerstand proportional zur Dicke des Elektrolyten ist.
In bekannten elektrischen Vorrichtungen werden Elektrolytschichten von ungefähr 1 mm Dicke verwendet. Die Erfindung kann zum Herstellen signifikant dünnerer(z.B.ungefähr 1 /um bis einige Mikron) Elektrolytschichten in.elektrischen Vorrichtungen, um dadurch verringerten inneren Widerstand zu bieten, benutzt werden. Die Patentanmeldung Nr. PCT/ GB78/00029 der United Kingdom Atomic Energy Authority, durch PCT-Vertrag angemeldet, mit der internationalen Veröffentlichungs-Nr. WO79/OO247 beschreibt eine Erfindung, die das Schaffen von Substraten mit Überzügen, die aus Solen erhalten werden können, betrifft.
Wie vorstehend offenbart, hat die Erfindung eine weite Anpassungsfähigkeit in bezug auf die Art des Bereichs der Vorrichtung, die ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt," da die Lösung oder Dispersion aus einem weiten Bereich ausgewählt werden kann.
Somit findet die Erfindung z.B. Anwendung in bezug auf einen breiten Bereich elektrischer Vorrichtungen und Verwendungen, wofür die Folgenden Beispiele sind:
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fl.) Nernstsensoren zum Messen oder Ermitteln von z.B. Sauerstoff oder oxidierenden Gasen. (Eine Schicht aus Elektrolyt kann gemäß der Erfindung geschaffen werden).
(2.) Gassensoren unter Benutzung von halbleitenden Materialien (z.B. unter Verwendung einer Schicht aus halbleitendem Oxid, das gemäß der Erfindung hergestellt wurde). ■ . -
(3.) Gassensoren unter Benutzung katalytischer oder poröser Überzüge, die gemäß der Erfindung geschaffen wurden.
(4J Vorrichtungen, in denen ein Oxid-Dünnfilm auf einem
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Halbleiter wie Silicon verwendet wird, entweder um ein spezielles elektrisches Verhalten (z.B. wie ein MOS-Transistor) zu erzeugen oder eine Sensorvorrxchtung herzustellen, in der die elektrischen.Eigenschaften der Halbleiteroxidstruktur verwendet werden, um Veränderungen in der Umgebung der Vorrichtung zu fühlen.
(5.) Batterien oder Brennstoffzellen mit dünnen Trockenelektrolytschichten, die gemäß der Erfindung geschaffen wurden.
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(6.) Dünne leitende überzüge oder durchsichtige bzw. transparente überzüge, um auf der Oberfläche von Materialien elektrische Leitung zu schaffen, z.B. als Elektroden oder Verbindungsglieder für elektro-optische Sichtanzeigen oder als Überzüge, die das Aufladen von opti-. sehen Oberflächen oder Oberflächen, die zur Wärmesteuerung
von Vorrichtungen, z.B. in Raumsatelliten, verwendet werden, verhindern.
(Ί.) Dünne Halbleiter (z.B. Oxide) in photovoItaischen oder Photoelektrolyse-Vorrichtungen.
(8.) Schützende oder einkapselnde überzüge für Halbleiter- oder andere elektrische Vorrichtungen.
(9.) Piezoelektrische oder pyroelektrische Dünnschichtvorrichtungen (z.B. Wandler und Strahlungsnachweisgerate).
Dünnschichtmagnetvorrichtungen (z.B. für Speicher- · vorrichtungen).
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung wird der Bereich nach der Bildung vom Substrat bevorzugt entfernt und nachfolgend in eine elektrische Vorrichtung eingearbeitet. Somit kann z.B. eine Schicht auf einem Substrat abgelagert werden und nachfolgend entfernt und in einer elektrischen Vorrichtung verwendet werden. Ein geformtes Teil (z.B. fingerhut-, ring-, rohr- oder buchsenförmig) zum Einarbeiten in eine elektrische Vorrichtung kann durch
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Niederschlag (Ablagerung) auf ein geeignet geformtes Substrat und nachfolgende Entfernung davon gebildet werden.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung noch näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1, 2 und 3 diagraimnatische Darstellungen elektrischer
Vorrichtungen mit Bereichen, die ausgewählte elektrische Eigenschaften gemäß der Erfindung besitzen. Die gezeigten elektrischen Vorrichtungen sind Sauerstoff sensoren und ein Bereich, der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, ist in jedem der Fälle eine Trockenelektrolytschicht.
In Fig. 1 ist ein Rohr 1 (z.B. aus Metall oder Keramikmaterial) , das an einem Ende mit einem porösen Stopfen 2 verschlossen ist, gezeigt. (Der poröse Stopfen 2 kann eine poröse Art des Materials des Rohres 1 sein. Wenn z.B. das Rohr 1 aus Nickel ist,, kann der Stopfen 2 aus porösem Nickel sein). Die Porosität des Stopfens 2 ist derart, daß im Betrieb ein Bezugsgas mit festem Sauerstoff partialdruck (p _) hindurchdringen kann. Eine
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Trockenelektrolytschicht 3 ist auf dem Stopfen 3 vorgesehen und' ist teilweise mit einer Fühlelektrode 4 (z.B. einer Platinelektrode) überdeckt. Elektrische Verbindungen 5 und 6 zum Verbinden des porösen Stopfens bzw. der Fühlelektrode 4 mit einem Millivoltmeter (nicht gezeigt) sind vorgesehen.
Der Stopfen 2 ist aus einer Substanz hergestellt, die
1 2-im Betrieb' die Bezugselektrodenreaktion "O0T + 2e=0 katalysieren kann.
Im Betrieb wird ein Bezugsgas mit festem Sauerstoffpartialdruck (p ,.) in der Zone 7 aufrechterhalten und eine Flüssigkeit, deren Sauerstoffpartialdruck (p) gemessen werden soll, wird in Zone 8 zur Verfügung gestellt.
Die Nernst-Spannung (V) zwischen Stopfen 2 und Elektrode 4, die mit dem Millivoltmeter (nicht gezeigt) gemessen wird, kann zum Berechnen des Sauerstoffpartialdrucks'in Zone 8 durch die Beziehung
V - § in (Pref/p)
verwendet werden.
(Hier muß bemerkt werden, daß der Stopfen 2 wahlweise aus einer Substanz, die die Bezugselektrodenreaktion nicht katalysiert, gemacht sein kann. In diesem Fall
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wird eine brauchbare katalysierende Elektrode, die zum Katalysieren der Reaktion geeignet ist (z.B. poröses Pt), zwischen Stopfen 2 und Elektrolyt 3 vorgesehen, und dicj Verbindung 5 wird zum Verbinden der katalysierenden Elektrode mit dem Millivoltmeter (nicht gezeigt) verwendet..
Die Trockenelektrolytschicht 3 wird auf dem Stopfen 2 durch Auftragen einer Dispersion einer geeigneten Zusammensetzung auf den Stopfen 2 und nachfolgendes Bewirken einer Sol-Gel-Umwandlung und danach Erhitzen zur Bildung einer Keramikschicht geschaffen.
Die Fühlelektrode 4 (z.B. Pt) kann durch Niederschlag, z.B. aus einer geeigneten Dispersion, geschaffen werden.
Fig. 2 zeigt ein inertes Substrat 1, das eine Metall/ Metalloxidbezugselektrode 2 trägt. Eine Schicht aus Trockenelektrolyt 3 ist über der Elektrode 2 vorgesehen und eine Fühlelektrode 4 ist vorgesehen, die den Elektrolyten 3 teilweise überdeckt. Elektrische Verbindungen 5 bzw. 6 sind zum Verbinden der Bezugselektrode 2 und der Fühlelektrode 4 mit einem Millivoltmeter (nicht gezeigt) vorgesehen.
Im Betrieb ist eine Flüssigkeit, deren Sauerstoffpartialdruck gemessen werdexi soll, in Zone 17 vorgesehen.
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• · · · · "··**·♦* a.. * «ι. οι I Z Z b ο
Die Nernst-Spannung (V), die mit dem Millivoltmeter (nicht gezeigt) gemessen wird, kann zum Berechnen des ■Sauerstoffpartialdrucks in Zone 17, wie vorstehend in bezug auf Fig. 1 dargelegt, verwendet werden.
Die Trockenelektrolytschicht 3 (und gewünschtenfalls die Fühlelektrode 4) können wie in bezug auf Fig. 1 gezeigt vorgesehen sein.
In Fig. 3 wird ein inertes Substrat 21, das ein poröses Material 22 trägt, in dem Sauerstoff oder ein sauerstoffhaltiges Gas eingeschlossen ist, gezeigt. Das Material ist mit einer Elektrode 23 (z.B. aus Pt) ausgestattet und beide werden von einer Trockenelektrolytschicht 24 überlagert.
Eine Fühlelektrode 25 überlagert teilweise den Trockenelektrolyten 24, und elektrische Verbindungen 26 und 27 verbinden die Elektrode 23 bzw. die Fühlelektrode 25 mit einem Millivoltmeter (nicht gezeigt).
Im Betrieb befindet sich eine Flüssigkeit, deren Sauerstoff partialdruck gemessen werden soll,in Zone 28.
Die Nernst-Spannung, die durch das Millivoltmeter (nicht gezeigt) gemessen wird, kann zum Berechnen des Sauerstoff-
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partialdrucks in Zone28, wie oben in bezug auf Fig. 1 dargelegt, verwendet werden.(Es wird klar sein, daß das Material 22(das Sauerstoff oder ein sauerstoffhaltiges Gas enthält) und die Elektrode 23 eine Bezugselektrode bilden).
Die Trockenelektrolytschicht24 (und gewünschtenfalls in den Elektroden 23 und25) kann, wie vorstehend in bezug auf Fig. 1 dargelegt, vorgesehen sein.
Leerseite

Claims (24)

London / Großbritannien Elektrische Vorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung Patentansprüche
1. Elektrische Vorrichtung mit einem Bereich, der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, dadurch gekennzeichnet, daß der Bereich, der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, durch ein Verfahren, das Niederschlag bzw. Ablagerung auf ein Substrat aus einer Lösung oder einer Dispersion einschließt, gebildet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß aer cereich, der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, _ir) ionendurchlässiger Bereich ist oder ein isolierender Bereich oder ein halbleitender Bereich.
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3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Bereich der Vorrichtung, der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, als eine Schicht auf einem Substrat ausgebildet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht eine ionendurchlässige Schicht ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht eine schützende Schicht, die den Durchgang von ausgewählten Ionen erlaubt, ist.
6.; Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Vorrichtung mit einem Bereich, der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, dadurch gekennzeichnet, daß es den Schritt der Bildung des ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzenden Bereichs, oder eines Vorläufers dafür, durch Niederschlag auf ein Substrat aus einer Lösung oder einer Dispersion aufweist.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Dispersion eine kolloidale Lösung ist.
8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Dispersion einen kolloidalen Bestandteil (oder Bestandteile)' und einen (oder mehrere) andere Bestandteil (e) enthält.
9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Bereich, der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, aus der Dispersion durch Bewirkung einer Sol-Gel-Umwandlung, um ein Gel zu bilden, gebildet wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Gel nachfolgend erhitzt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Sol-Gel-Umwandlung durch Wasserentziehung oder Anionenextraktion bewirkt wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht, die ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, auf einem Substrat durch Eintauchen des Substrats in die Lösung oder Dispersion, um dadurch das Substrat mit Lösung oder Dispersion zu überziehen, und Umwandeln der Lösung oder Dispersion in die Schicht, gebildet wird.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht, die ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzt, auf einem Substrat durch Auftragen der Lösung oder Dispersion auf eine ausgewählte Zone des bUDstrats und Umwandeln der Lösung oder Dispersion in die Schicht gebildet wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung oder Dispersion durch Aufstreichen oder durch ein Dickfilmverfahren oder mit einer Rakel aufgetragen wird.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzende Bereich ein isolierender Bereich ist und aus einer kolloidalen Lösung oder einer Dispersion mit einem kolloidalen Bestandteil, woraus ein isolierendes Oxid gebildet werden kann, hergestellt wird.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet,
daß das isolierende Oxid Aluminium. oxid (Tonerde)
oder SiliciumXdi)oxid (Kieselerde) ist.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung oder Dispersion derart ist, daß der ausgewählte elektrische Eigenschaften besitzende Bereich ein ionendurchlässiger Bereich ist.
18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung oder Dispersion eine kolloidale Lösung oder eine Dispersion mit einem kolloidalen Bestandteil ist, woraus ionenleitende Oxidelektrolyte gebildet werden können.
19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Oxidelektrolyt Zirkon(di)oxid (Zirkonerde) oder Cerdioxid, das mit einem zweiwertigen oder einem dreiwertigen Ion dotiert ist, ist.
20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet,
2+
daß das zweiwertige Ion Ca ist.
21. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet,
3+
daß das dreiwertige Ion Y ist.
22. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung oder Dispersion eine kolloidale Lösung oder eine Dispersion mit einem kolloidalen Bestandteil, woraus ein alkali-ionen-leitender Elektrolyt gebildet werden kann, ist.
23. Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß der alkali-ionenleitende Elektrolyt NaAl O oder
Na1 Zr„Si P_ 0,_ ist.
1+x 2 χ 3-x 12
24. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß der ausgewählte elektrische Eigenschaften aufweisende Bereich auf einem Substrat ausgebildet, vom Substrat entfernt und nachfolgend in eine elektrische Vwirichtung eingebaut wird.
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Cited By (1)

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