DE2827647C2 - Vorrichtung zur Befestigung und Stromversorgung von Einrichtungen zur thermischen Vakuumverdampfung eines Metalls - Google Patents

Vorrichtung zur Befestigung und Stromversorgung von Einrichtungen zur thermischen Vakuumverdampfung eines Metalls

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DE2827647C2
DE2827647C2 DE19782827647 DE2827647A DE2827647C2 DE 2827647 C2 DE2827647 C2 DE 2827647C2 DE 19782827647 DE19782827647 DE 19782827647 DE 2827647 A DE2827647 A DE 2827647A DE 2827647 C2 DE2827647 C2 DE 2827647C2
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DE
Germany
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crucible
metal
crucibles
dihedron
power supply
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Application number
DE19782827647
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DE2827647A1 (de
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Andre Gabriel Suresnes Hutin
Jean Charles Antony Nierlich
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Saint Gobain Industries SA
Original Assignee
Saint Gobain Industries SA
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/02Details
    • H05B3/06Heater elements structurally combined with coupling elements or holders
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/26Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source

Description

Ordnung der Fig.1.;
Fig.3 ist eine Seitenansicht der Anordnung nach Fig. l;unddie
F i g. 4 und 5 sind Darstellungen analog zu F i g. 3 und zeigen zwei andere Ausführungsformen nach der ErHn- s dung.
Nach den Fig. 1 bis 3 bildet der mit 1 bezeichnete Tiegel einen Korb, in den man das Metall oder die zu verdampfenden Kügelchen einbringt und wobei die Stromzuführungsschienen das Bezugszeichen 2 tragen. In Ausbildung nach der Erfindung sind, um den Tiegel 1 zu halten und mit Strom zu versorgen, zwei Winkeipro-HIe 3 vorgesehen, deren Schenkel 4 durch Klemmen 5 gegen die Stromzuführungsschienen gepreßt werden, während die Arme 5 eine Lasche 7 umfassen und miteinander durch Mutter und Schraube 8 unter Bildung eines Dieders mit V-förmigem Querschnitt verbunden sind. Ein Ende der Kante dieses Dieders trägt bei 9 einen Ausschnitt in dem den Laschen 7 abgelegenen Teil; der Ausschnitt 9 nimmt den Stromzuführungsdraht la des Tiegels 1 auf, der so zwischen den beiden die V-förmigen Arme des Dieders bildenden Armen 6 eingeklemmt ist
Die Vorgänge der Befestigung der Vorrichtung an den Stromzuführungsschienen sowie das Einsetzen des Tiegels in die Vorrichtung erfolgen also in äußerst einfacher Weise, beispielsweise auch durch nicht fachmännisches Personal. Auch sorgt, wie bereits angegeben, das Zurückziehen des Drahtes la aus dem Ausschnitt 9 oder das Einführen dieses Drahtes durch Reibung gegen die Kanten des Ausschnittes für eine Selbstreinigung hiervon, was einen ausgezeichneten elektrischen Kontakt zwischen den Winkelprofilen und dem Tiegel 1, somit eine konstante reproduzierbare Stromversorgung des Tiegels garantiert
Um das Einsetzen des Drahtes ta in den Ausschnitt 9 zu erleichtern, erweitern sich die Enden der Arme 6 der Winkelprofile 3 entsprechend dem Ende des Ausschnitts 9, über welches cias Einführen des Drahtes la erfolgt, vorzugsweise nach außen, wie bei 10 in F i g. 1 zu sehen, derart daß eine große Einführungsöffnung des Drahtes in den Ausschnitt 9 sichergestellt ist
Die F i g. 4 und 5 erläutern die Anwendung der Erfindung auf den Fall, daß zwei andere Arten von Tiegel an ihrem Ort gehalten und mit Strom versorgt werden sollcn.
In diesen Figuren haben gleiche Teile gleiche Bezugszeichen wie vorher. Nach F i g. 4 besteht der »Tiegel« aus einem einfachen metallischen Draht 11 zweckmäßigen Durchmessers, der zwischen den Stromzuführung!!- so schienen 2 gespannt ist, während in F i g. 5 der Tiegel einen metallischen hoch warmfesten Draht 12 umfaßt der U-förmig gebogen ist und eine Spirale 13 trägt
Die Vorrichtung nach der Erfindung ist einfach und leicht zu handhaben. Es wurde festgestellt daß die zum Ersetzen eines Tiegels durch einen anderen notwendige Zeit nur gleich einem Sechstel der Zeit ist, die bei üblichen Befestigungssystemen aufzuwenden ist
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 6C

Claims (4)

1 2 Aufgrund dieses Nachteils sind die so hergestellten Patentansprüche: elektrischen Kontakte wenig zuverlässig und reproduzierbar, was zu erheblichem Ausschuß bei hieraus her-
1. Vorrichtung zur Befestigung und Stromversor- gestellten Erzeugnissen aufgrund fehlender Heizhomogung von Vakuumverdampfungstiegeln eines Me- 5 genität der Tiegel und damit der Verdampfung des Me tails, gekennzeichnet durch ein meialli- tallsführt
sches Teil (6—8) in Diederform mit V-Querschnitt Darüber hinaus ist ein erheblicher Aufwand an Handfür den elektrischen Kontakt mit einer Stromquelle, arbeit beim Einsetzen oder Ersetzen dieser Tiegel mit wobei ein Teil der Kante des Dieders zur Aufnahme solchen Befestigungssystemen erforderlich, da eine Indes Endes eines leitenden Drahtes (ia) des Tiegels io dustrieanlage zur Behandlung von Verglasungen großer (1) ausgeschnitten ist Abmessungen beispielsweise mehrere hundert Tiegel
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn- umfassen kann.
zeichnet, daß ein, vorzugsweise beide Arme des Die- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese ders einen seitlichen Schenkel (4) zum Anpressen Nachteile zu vermeiden, insbesondere indem eine neue gegen eine elektrische Stromzuführungsschiene (2) 15 Befestigungsart für thermische Vakuumverdampfungsaufweisen, der gegen diese Schiene vermittels an tiegel für ein Metall vorgeschlagen wird, wobei ein Einsich bekannter Einrichtungen wie Klemmen (5) ge- spannen und Quetschen metallischer Drähte zwischen halten ist Backen nicht vorgesehen ist
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn- Hierzu geht die Erfindung aus von einer Vorrichtung zeichnet, daß die Ebenen des Dieders und der züge- 20 zur Befestigung und Stromspeisung von Vakuumverordnete Schenkel (4) ein Winkelprofil (3) bilden und dampfungstiegeln eines Metalls und zeichnet sich aus daß jede der beiden Ebenen des Dieders über die durch ein metallisches Teil in Diederform mit V-Quer-Kante des Dieders hinaus als Lasche (7) in dem Teil schnitt für den elektrischen Kontakt mit einer Stromder Einrichtung verlängert ist, der von der den quelle, wobei ein Teil der Kante des Dieders zur Auf-Stromzuführungsdraht {ia) des Tiegels aufnehmen- 25 nähme des Endes eines leitenden Drahtes des Tiegels den Aussparung am weitesten entfernt ist, wobei die ausgeschnitten ist
beiden Laschen der beiden WinkelproFile durch Ver- Dieser leitende Draht wird so elastisch eingeklemmt
bindungseinrichtungen, insbesondere Muttern und und im Ausschnitt dieses Organs von Diederform zwi-
Bolzen (8), zusammengefügt sind. sehen den beiden Ebenen des Dieders zentriert; somit
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 —3, 30 wird das Einsetzen des Tiegels mit rascher Aufeinanderdadurch gekennzeichnet daß der ausgeschnittene folge ohne jede Beschädigung von Befestigungseinrich-Teil (9) der Kante des Dieders einen sich nach außen tung und Tiegel auch durch Hilfspersonal möglich. Das erweiternden Teil (10) zum Erleichtern des Einfüh- Einspannen des Drahtes des Tiegels in den Ausschnitt rens des Stromzuführungsdrahts zum Tiegel auf- der Vorrichtung und das Herausziehen des Drahtes fühweist 35 ren zu einer Selbstreinigung der Kanten dieses Ausschnitts, die in elektrischem Kontakt mit dem metalli-
sehen Draht stehen; dies garantiert im zeitlichen Verlauf
einen äußerst konstanten elektrischen Kontakt und somit eine günstige Reproduzierbarkeit der Heizbedin-
Die Erfindung betrifft Einrichtungen zum Befestigen 40 gungen der Tiegel und der Verdampfung des verwende-
und zur Stromversorgung für thermische Vakuumver- ten Metalls,
dampfungseinrichtungen für ein Metall. Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfin-
Bekanntiich werden solche allgemein »Tiegel« ge- dung umfassen ein und vorzugsweise beide Arme des
nannte Einrichtungen zur Herstellung metallischer Ab- Dieders einen seitlichen Schenkel, der gegen eine
Scheidungen auf Verglasungen verwendet 45 Stromzuführungsschiene gepreßt wird und zwischen
Diese Tiegel bestehen gewöhnlich aus Drähten des zu dieser Schiene durch an sich bekannte Einrichtungen,
verdampfenden Metalls oder einem hochwarmfesten beispielsweise eine Klammer, gehalten wird.
Metalldraht, die derart gewickelt sind, daß sich eine Art Bei einer einfachen Ausführungsform der Vorrich-
gitterförmiger Metallkorb bildet. tung nach der Erfindung bilden jede Ebenen des Dieders
Diese Tiegel können auch so bestimmt sein, im Vaku- 50 und der zugeordnete Schenkel ein Winkelprofil; jede
um zu verdampfende Metallkügelchen aufzunehmen dieser beiden Ebenen dieses Dieders ist durch eine La-
und ihnen durch Jouleeffekt die Wärme zukommen zu sehe über die Kante des Dieders hinaus in dem Teil der
lassen, die zum Schmelzen des Metalls und zu seiner Vorrichtung verlängert der von der einen Stromzufüh-
Verdampfung notwendig ist rungsdraht zum Tiegel aufnehmenden Ausnehmung am
Um die Tiegel in ihrer Stellung zu halten und sie dabei 55 weitesten entfernt ist, wobei die beiden Laschen der
mit Strom zu versorgen, werden die freien Enden der beiden Winkelprofile durch Einrichtungen wie Muttern
metallischen, in den Tiegelaufbau geführten Drähte, und Schrauben und dergleichen zusammengefügt sind,
zwischen zwei metallischen mit einer elektrischen Außer den Vorteilen in der Anwendung läßt sich also
Stromquelle verbundenen Backen im allgemeinen ein- die Vorrichtung nach der Erfindung äußerst einfach und
gequetscht. 60 bei geringem preislichen Aufwand herstellen.
Um für ein wirksames Einquetschen oder Einspannen Beispielsweise Ausführungsformen der Erfindung solder Drähte zu sorgen, besteht eine der metallischen len nun mit Bezug auf die Zeichnungen näher erläutert Backen gewöhnlich aus einem walzbaren oder dehnba- werden, wonach verschiedene Arten von Tiegeln gehalren Metall wie Kupfer; die Qualität der elektrischen ten und mit Strom versorgt werden.
Kontakte ist aber nur mittelmäßig, da dieses Metall nur 65 In diesen zeigt
unregelmäßig gequetscht wird und weil sich Fremdma- F i g. 1 eine perspektivische Darstellung einer ersten
terialien, die nur gegebenenfalls leitfähig sind, hierin an- Anwendung auf einen Tiegel in Spiralform;
sammeln. F i g. 2 ist eine schematische Draufsicht auf die An-
DE19782827647 1977-06-24 1978-06-23 Vorrichtung zur Befestigung und Stromversorgung von Einrichtungen zur thermischen Vakuumverdampfung eines Metalls Expired DE2827647C2 (de)

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FR7719521A FR2395330A1 (fr) 1977-06-24 1977-06-24 Perfectionnements apportes aux moyens de fixation et d'alimentation electrique des dispositifs d'evaporation thermique sous vide d'un metal

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DE2827647A1 DE2827647A1 (de) 1979-01-18
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4409761B4 (de) * 1994-03-22 2007-12-27 Vtd Vakuumtechnik Dresden Gmbh Einrichtung zur plasmagestützten Verdampfung in einem Bogenentladungsplasma

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