DE2827647C2 - Vorrichtung zur Befestigung und Stromversorgung von Einrichtungen zur thermischen Vakuumverdampfung eines Metalls - Google Patents
Vorrichtung zur Befestigung und Stromversorgung von Einrichtungen zur thermischen Vakuumverdampfung eines MetallsInfo
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/02—Details
- H05B3/06—Heater elements structurally combined with coupling elements or holders
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
Description
Fig.3 ist eine Seitenansicht der Anordnung nach
Fig. l;unddie
F i g. 4 und 5 sind Darstellungen analog zu F i g. 3 und zeigen zwei andere Ausführungsformen nach der ErHn- s
dung.
Nach den Fig. 1 bis 3 bildet der mit 1 bezeichnete
Tiegel einen Korb, in den man das Metall oder die zu verdampfenden Kügelchen einbringt und wobei die
Stromzuführungsschienen das Bezugszeichen 2 tragen. In Ausbildung nach der Erfindung sind, um den Tiegel 1
zu halten und mit Strom zu versorgen, zwei Winkeipro-HIe 3 vorgesehen, deren Schenkel 4 durch Klemmen 5
gegen die Stromzuführungsschienen gepreßt werden, während die Arme 5 eine Lasche 7 umfassen und miteinander durch Mutter und Schraube 8 unter Bildung eines
Dieders mit V-förmigem Querschnitt verbunden sind. Ein Ende der Kante dieses Dieders trägt bei 9 einen
Ausschnitt in dem den Laschen 7 abgelegenen Teil; der Ausschnitt 9 nimmt den Stromzuführungsdraht la des
Tiegels 1 auf, der so zwischen den beiden die V-förmigen Arme des Dieders bildenden Armen 6 eingeklemmt
ist
Die Vorgänge der Befestigung der Vorrichtung an den Stromzuführungsschienen sowie das Einsetzen des
Tiegels in die Vorrichtung erfolgen also in äußerst einfacher Weise, beispielsweise auch durch nicht fachmännisches Personal. Auch sorgt, wie bereits angegeben, das
Zurückziehen des Drahtes la aus dem Ausschnitt 9 oder das Einführen dieses Drahtes durch Reibung gegen die
Kanten des Ausschnittes für eine Selbstreinigung hiervon, was einen ausgezeichneten elektrischen Kontakt
zwischen den Winkelprofilen und dem Tiegel 1, somit eine konstante reproduzierbare Stromversorgung des
Tiegels garantiert
Um das Einsetzen des Drahtes ta in den Ausschnitt 9
zu erleichtern, erweitern sich die Enden der Arme 6 der Winkelprofile 3 entsprechend dem Ende des Ausschnitts
9, über welches cias Einführen des Drahtes la erfolgt,
vorzugsweise nach außen, wie bei 10 in F i g. 1 zu sehen, derart daß eine große Einführungsöffnung des Drahtes
in den Ausschnitt 9 sichergestellt ist
Die F i g. 4 und 5 erläutern die Anwendung der Erfindung auf den Fall, daß zwei andere Arten von Tiegel an
ihrem Ort gehalten und mit Strom versorgt werden sollcn.
In diesen Figuren haben gleiche Teile gleiche Bezugszeichen wie vorher. Nach F i g. 4 besteht der »Tiegel«
aus einem einfachen metallischen Draht 11 zweckmäßigen Durchmessers, der zwischen den Stromzuführung!!- so
schienen 2 gespannt ist, während in F i g. 5 der Tiegel einen metallischen hoch warmfesten Draht 12 umfaßt
der U-förmig gebogen ist und eine Spirale 13 trägt
Die Vorrichtung nach der Erfindung ist einfach und leicht zu handhaben. Es wurde festgestellt daß die zum
Ersetzen eines Tiegels durch einen anderen notwendige Zeit nur gleich einem Sechstel der Zeit ist, die bei üblichen Befestigungssystemen aufzuwenden ist
Claims (4)
1. Vorrichtung zur Befestigung und Stromversor- gestellten Erzeugnissen aufgrund fehlender Heizhomogung
von Vakuumverdampfungstiegeln eines Me- 5 genität der Tiegel und damit der Verdampfung des Me
tails, gekennzeichnet durch ein meialli- tallsführt
sches Teil (6—8) in Diederform mit V-Querschnitt Darüber hinaus ist ein erheblicher Aufwand an Handfür
den elektrischen Kontakt mit einer Stromquelle, arbeit beim Einsetzen oder Ersetzen dieser Tiegel mit
wobei ein Teil der Kante des Dieders zur Aufnahme solchen Befestigungssystemen erforderlich, da eine Indes
Endes eines leitenden Drahtes (ia) des Tiegels io dustrieanlage zur Behandlung von Verglasungen großer
(1) ausgeschnitten ist Abmessungen beispielsweise mehrere hundert Tiegel
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn- umfassen kann.
zeichnet, daß ein, vorzugsweise beide Arme des Die- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese
ders einen seitlichen Schenkel (4) zum Anpressen Nachteile zu vermeiden, insbesondere indem eine neue
gegen eine elektrische Stromzuführungsschiene (2) 15 Befestigungsart für thermische Vakuumverdampfungsaufweisen,
der gegen diese Schiene vermittels an tiegel für ein Metall vorgeschlagen wird, wobei ein Einsich
bekannter Einrichtungen wie Klemmen (5) ge- spannen und Quetschen metallischer Drähte zwischen
halten ist Backen nicht vorgesehen ist
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn- Hierzu geht die Erfindung aus von einer Vorrichtung
zeichnet, daß die Ebenen des Dieders und der züge- 20 zur Befestigung und Stromspeisung von Vakuumverordnete
Schenkel (4) ein Winkelprofil (3) bilden und dampfungstiegeln eines Metalls und zeichnet sich aus
daß jede der beiden Ebenen des Dieders über die durch ein metallisches Teil in Diederform mit V-Quer-Kante
des Dieders hinaus als Lasche (7) in dem Teil schnitt für den elektrischen Kontakt mit einer Stromder
Einrichtung verlängert ist, der von der den quelle, wobei ein Teil der Kante des Dieders zur Auf-Stromzuführungsdraht
{ia) des Tiegels aufnehmen- 25 nähme des Endes eines leitenden Drahtes des Tiegels
den Aussparung am weitesten entfernt ist, wobei die ausgeschnitten ist
beiden Laschen der beiden WinkelproFile durch Ver- Dieser leitende Draht wird so elastisch eingeklemmt
bindungseinrichtungen, insbesondere Muttern und und im Ausschnitt dieses Organs von Diederform zwi-
Bolzen (8), zusammengefügt sind. sehen den beiden Ebenen des Dieders zentriert; somit
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 —3, 30 wird das Einsetzen des Tiegels mit rascher Aufeinanderdadurch
gekennzeichnet daß der ausgeschnittene folge ohne jede Beschädigung von Befestigungseinrich-Teil
(9) der Kante des Dieders einen sich nach außen tung und Tiegel auch durch Hilfspersonal möglich. Das
erweiternden Teil (10) zum Erleichtern des Einfüh- Einspannen des Drahtes des Tiegels in den Ausschnitt
rens des Stromzuführungsdrahts zum Tiegel auf- der Vorrichtung und das Herausziehen des Drahtes fühweist
35 ren zu einer Selbstreinigung der Kanten dieses Ausschnitts, die in elektrischem Kontakt mit dem metalli-
sehen Draht stehen; dies garantiert im zeitlichen Verlauf
einen äußerst konstanten elektrischen Kontakt und somit eine günstige Reproduzierbarkeit der Heizbedin-
Die Erfindung betrifft Einrichtungen zum Befestigen 40 gungen der Tiegel und der Verdampfung des verwende-
und zur Stromversorgung für thermische Vakuumver- ten Metalls,
dampfungseinrichtungen für ein Metall. Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfin-
Bekanntiich werden solche allgemein »Tiegel« ge- dung umfassen ein und vorzugsweise beide Arme des
nannte Einrichtungen zur Herstellung metallischer Ab- Dieders einen seitlichen Schenkel, der gegen eine
Scheidungen auf Verglasungen verwendet 45 Stromzuführungsschiene gepreßt wird und zwischen
Diese Tiegel bestehen gewöhnlich aus Drähten des zu dieser Schiene durch an sich bekannte Einrichtungen,
verdampfenden Metalls oder einem hochwarmfesten beispielsweise eine Klammer, gehalten wird.
Metalldraht, die derart gewickelt sind, daß sich eine Art Bei einer einfachen Ausführungsform der Vorrich-
gitterförmiger Metallkorb bildet. tung nach der Erfindung bilden jede Ebenen des Dieders
Diese Tiegel können auch so bestimmt sein, im Vaku- 50 und der zugeordnete Schenkel ein Winkelprofil; jede
um zu verdampfende Metallkügelchen aufzunehmen dieser beiden Ebenen dieses Dieders ist durch eine La-
und ihnen durch Jouleeffekt die Wärme zukommen zu sehe über die Kante des Dieders hinaus in dem Teil der
lassen, die zum Schmelzen des Metalls und zu seiner Vorrichtung verlängert der von der einen Stromzufüh-
Verdampfung notwendig ist rungsdraht zum Tiegel aufnehmenden Ausnehmung am
Um die Tiegel in ihrer Stellung zu halten und sie dabei 55 weitesten entfernt ist, wobei die beiden Laschen der
mit Strom zu versorgen, werden die freien Enden der beiden Winkelprofile durch Einrichtungen wie Muttern
metallischen, in den Tiegelaufbau geführten Drähte, und Schrauben und dergleichen zusammengefügt sind,
zwischen zwei metallischen mit einer elektrischen Außer den Vorteilen in der Anwendung läßt sich also
Stromquelle verbundenen Backen im allgemeinen ein- die Vorrichtung nach der Erfindung äußerst einfach und
gequetscht. 60 bei geringem preislichen Aufwand herstellen.
Um für ein wirksames Einquetschen oder Einspannen Beispielsweise Ausführungsformen der Erfindung solder
Drähte zu sorgen, besteht eine der metallischen len nun mit Bezug auf die Zeichnungen näher erläutert
Backen gewöhnlich aus einem walzbaren oder dehnba- werden, wonach verschiedene Arten von Tiegeln gehalren
Metall wie Kupfer; die Qualität der elektrischen ten und mit Strom versorgt werden.
Kontakte ist aber nur mittelmäßig, da dieses Metall nur 65 In diesen zeigt
Kontakte ist aber nur mittelmäßig, da dieses Metall nur 65 In diesen zeigt
unregelmäßig gequetscht wird und weil sich Fremdma- F i g. 1 eine perspektivische Darstellung einer ersten
terialien, die nur gegebenenfalls leitfähig sind, hierin an- Anwendung auf einen Tiegel in Spiralform;
sammeln. F i g. 2 ist eine schematische Draufsicht auf die An-
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7719521A FR2395330A1 (fr) | 1977-06-24 | 1977-06-24 | Perfectionnements apportes aux moyens de fixation et d'alimentation electrique des dispositifs d'evaporation thermique sous vide d'un metal |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2827647A1 DE2827647A1 (de) | 1979-01-18 |
DE2827647C2 true DE2827647C2 (de) | 1986-02-06 |
Family
ID=9192568
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19782827647 Expired DE2827647C2 (de) | 1977-06-24 | 1978-06-23 | Vorrichtung zur Befestigung und Stromversorgung von Einrichtungen zur thermischen Vakuumverdampfung eines Metalls |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2827647C2 (de) |
FR (1) | FR2395330A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4409761B4 (de) * | 1994-03-22 | 2007-12-27 | Vtd Vakuumtechnik Dresden Gmbh | Einrichtung zur plasmagestützten Verdampfung in einem Bogenentladungsplasma |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012102210A1 (de) * | 2012-03-15 | 2013-09-19 | Solibro Gmbh | Heizsystem für eine Vakuumabscheidequelle und Vakuumabscheidevorrichtung |
-
1977
- 1977-06-24 FR FR7719521A patent/FR2395330A1/fr active Granted
-
1978
- 1978-06-23 DE DE19782827647 patent/DE2827647C2/de not_active Expired
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
NICHTS-ERMITTELT |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4409761B4 (de) * | 1994-03-22 | 2007-12-27 | Vtd Vakuumtechnik Dresden Gmbh | Einrichtung zur plasmagestützten Verdampfung in einem Bogenentladungsplasma |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2395330A1 (fr) | 1979-01-19 |
FR2395330B1 (de) | 1980-04-18 |
DE2827647A1 (de) | 1979-01-18 |
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