DE2812912C2 - Aufdruckbare Widerstandsmassen - Google Patents

Aufdruckbare Widerstandsmassen

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01C17/065Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thick film techniques, e.g. serigraphy
    • H01C17/06506Precursor compositions therefor, e.g. pastes, inks, glass frits
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    • H01C17/0654Oxides of the platinum group

Description

a) b)
c) d) e)
2bis45Gew.-%RuO2l
40 bis 70 Gew.-% Glas, das 30 bis 55 Gew.-<!
PbO enthält,
0,1 bis 0,8 Gew.-% Nb2O5,
O bis 5 Gew.-% CaF2, und
15 bis 40 Gew.-% inertem Medium besteht.
Die Erfindung betrifft aufdruckbare Widerstandsmassen aus einem feinzerteilten, anorganischen Pulver auf der Grundlage von RuO2 und PbO-enthaltendem Glas, das in einem inerten, flüssigen Medium dispergiert ist, die sich zur Herstellung von an Substraten haftenden Widerstandsmustern eignen.
Widerstandsmassen, die auf dielektrische Substrate (aus Glas, Glas/Keramik oder Keramik) aufgebracht und eingebrannt werden, enthalten gewöhnlich f einteilige anorganische Pulver (z. B. Metall- und/oder Metalloxidteilchen und anorganische Bindemittelteilchen) und werden auf die Substrate häufig nach der sogenannten »Dickfilmtechnik« in Form einer Dispersion in einem inerten, flüssigen Medium aufgebracht Beim Einbrennen oder Sintern des Films erfüllt der Metall- und/oder Metalloxidbestandteil der Masse den funktionellen Zweck (d.h. erzeugt die gewünschte Leitfähigkeit), während das anorganische Bindemittel (z. B. Glas oder kristalline Oxide, wie B12O3) die Metallteilchen aneinander und an das Substrat bindet Die Dickfilmtechnik steht im Gegensatz zur Dünnfilmtechnik, bei der Teilchen durch Aufdampfen oder Aufstäuben niedergeschlagen werden. Dickfilmmethoden sind im »Handbook of Materials and Processes for Electronics«, C. A. Harper, Herausgeber, McGraw-Hill, N. Y. (1970), Kapitel 12, beschrieben.
Zahlreiche Patentschriften beschreiben Massen, bei denen pyrochlor-verwandte Metalloxide der allgemeinen Formel A2B2O6-7 und ein Glasbindemittel in einem Medium dispergiert sind und die nach Aufdrucken auf Substrate und Einbrennen Widerstandselementfilme ergeben; vgl. die US-PS 35 83 931, 35 53 109 und 38 96 055.
Aus der US-PS 33 04 199 sind Widerstandsmassen aus einem feinzerteilten, anorganischen Pulver auf der Grundlage von RuO2 mit Rutil-Kristallstruktur und PbO-enthaltendem Glas, das in einem inerten, flüssigen Medium dispergiert ist, bekannt
Ähnliche Zusammensetzungen sind auch aus der US-PS 38 68 334 bekannt Diese können zusätzlich noch CaF2 enthalten. Hinsichtlich des Temperaturkoeffizienten des Widerstands sind derartige Massen nicht vollständig zufriedenstellend.
In der US-PS 36 37 530 sind Widerstandsmassen beschrieben, weiche ein einphasiges (Spalte 2, Zeile 64) Reaktionsprodukt aus bestimmten Anteilen von Niobpentoxid und Rutheniumdioxid sowie Glas, dispergiert in einem Medium, enthalten. Diese Patentschrift lehrt, daß das Vorhandensein von nichtumgesetztem Niobpentoxid für die Erzielung der dort angestrebten Resultate extrem schädlich ist (Spalte 2, Zeile 66). In Beispiel 2 wird Bleiborsilikatglas genannt, ohne daß jedoch die Grenzen seiner Anteile erwähnt werden. Das Nb2Os/RuO2-Produkt dieser Patentschrift wird durch Vorerhitzen der Reaktionskomponenten auf Temperaturen von mindestens 10000C erzeugt (Spalte 2, Zeile 56).
Aufgabe der Erfindung ist es, Widerstandsmassen zur Verfügung zu stellen, aus denen eingebrannte Widerstandselemente- bzw. Resistorfilme hergestellt werden können, welche eine verminderte Differenz (Streuung) zwischen dem Temperaturkoeffizienten des Widerstands (TCR) in der Hitze und Kälte (d.h. 0±250 ppm/°C, vorzugsweise 0±100 ppm/°C) und trotzdem einen niedrigen Koeffizienten der Änderung des spezifischen Widerstandes (CVR) aufweisen.
Gelöst wird diese Aufgabe durch die im Patentanspruch näher gekennzeichnete aufdruckbare Widerstandsmasse. Die Teilchengröße des Pulvers ist dabei vorzugsweise kleiner als 37 μπι. Die erfindungsgemäßen Massen eignen sich zur Herstellung gesinterter Filmwiderstände bzw. -resistoren, die an dielektrischen Substraten haften. Die Massen bestehen im wesentlichen aus folgenden Bestandteilen (sämtliche Angaben in Gewichtsprozent):
Pulver allgemein bevorzugt besonders
bevorzugt
RuO2 2 bis 45 3 bis 30 4 bis 20
Glas 40 bis 70 45 bis 65 47 bis 62
Nb2O5 0,1 bis 0,8 0,2 bis 0,7 0,2 bis 0,7
CaF2 0 bis 5 0 bis 5 1 bis 3
Medien 15 bis 40 20 bis 40 20 bis 40
Das Glas enthält 30 bis 55% PbO, vorzugsweise 40 bis 45% PbO. Durch die Erfindung werden Massen geschaffen, welche RuO2 und Nb2Os enthalten, jedoch den Vorteil haben, daß das RuO2 und Nb2Os nicht — wie es bei der
US-PS 36 37 530 notwendig ist - bei 10000C
vorgebrannt zu werden brauchen.
Die TCR-Merkmale der erfindungsgemäß erzeugten
eingebrannten Filme sind reproduzierbar. Die erhaltenen spezifischen TCR-Eigenschaften hängen von den jeweiligen Massen ab. Die absoluten TCR-Werte (»heißer« TCR-Wert, gemessen zwischen +250C und + 1250C, und »kalter« TCR-Wert, gemessen zwischen - 55° C und + 25° C) können jedoch 0 ± 250 ppm/0 C im Normalfall, 0± 100 ppm/0C für die bevorzugten Massen und sogar lediglich 0±50 ppm/" C betragen. Die Differenz zwischen »heißem« und »kaltem« TCR (ATCR) kann ferner für jede Masse innerhalb 100
ppm/0 C liegen. Wie Tabelle III zeigt, können diese Massen auch zur Herstellung von eingebrannten Filmen verwendet werden, die eine verminderte Schwankung des spezifischen Widerstandes mit der Länge des Widerstandselementes (Resistor) (was einen bedeuten den VerarbeitungsvorteU darstellt) und CVR-Werte von 8% oder darunter aufweisen.
Die erfindungsgemäßen Massen enthalten die vorgenannten Anteile von RuO2, Nb2Os, PbO-haltigem Glas
und Medium (Träger). CaF2 ist ein fakultativer Bestandteil
Mindestens 2% RuO2 sind in den Massen zur Erzielung einer angemessenen Leitfähigkeit enthalten. Der RuO2-Anteil beträgt jedoch nicht mehr als 45%, damit angemessene Mengen des Glasbindemittels verwendet werden können und somit eine gute Haltung erzielt wird. Bevorzugt werden RuO2-Anteile von 3 bis 30%, insbesondere 4 bis 20%. Anstelle von RuO2 können auch Hydrate von RuO2 (z. B. RuO2 · 3 H2O) in zur Erzielung der genannten RuOr Anteile geeigneten Mengen verwendet werden.
Die Massen enthalten mindestens 0,1% Nb2O5 zur Verminderung der TCR-Streuung, jedoch ist der Nb2O5-Anteil nicht höher als 0,8%, da TCR durch )5 größere Mengen nachteilig beeinflußt werden würde. Vorzugsweise sind 0,2 bis 0,7% Nb2O5 vorhanden.
Das CaF2 wird eingesetzt, um die Abhängigkeit des spezifischen Widerstandes von der Resistorlänge zu vermindern. CaF2 ist ein fakultativer Bestandteil; um eine ins Gewicht fallende Änderung des spezifischen Widerstandes und des TCR auszuschließen, sind jedoch normalerweise nicht mehr ais 5% CaF2 vorhanden. Bevorzugt wird ein CaF2-Anteil von 1 bis 3%.
Das Glas bindet die leitfähigen Teilchen aneinander und an das Substrat Das Glas enthält 30 bis 55% PbO, vorzugsweise 40 bis 45% PbO. Ein Gehalt des Glases von mehr als 55% PbO vermindert die Feuchtigkeitsbeständigkeit und macht das Glas empfindlicher gegenüber Veränderungen unter reduzierenden Bedingungen. Man verwendet mindestens 30% Bleioxid zur Regelung der Glasviskosität und damit des Koeffizienten der Änderung des spezifischen Widerstandes (CVR). Der Anteil der Masse an PbO-haltigem Glas beträgt 40 bis 70%, vorzugsweise 45 bis 65%, insbesondere 47 bis 62% (bezogen auf die Masse). Ein Glasanteil von weniger als 40% verschlechtert die Haftung, während mehr als 70% Glas einen zu hohen spezifischen Widerstand ergeben. Das Glas kann auch andere übliche Glasbestandteile, wie B2Oi SiO2 und/oder A12O3, enthalten.
Die relativen Anteile der vorgenannten anorganischen Materialien werden in gegenseitiger Abhängigkeit aus den vorgenannten Bereichen nach den bekannten Gesichtspunkten ausgewählt, die in der Dickfilmtechnik für die Erzielung gewünschter Eigenschäften des eingebrannten Films maßgeblich sind.
Als Medien bzw. Träger der erfindungsgemäßen Massen dienen herkömmliche Substanzen (durch Polymere viskos eingestellte Lösungsmittel). Der Anteil des Mediums, welcher für brauchbare Druckeigenschaf- so ten benötigt wird, beträgt 15 bis 40% (vorzugsweise 20 bis 40%) der Masse. Solche herkömmlichen Medien sind in der US-PS 39 43 168 beschrieben.
Man vermischt die Bestandteile der Massen in üblicher Weise (z. B. an einem Walzenstuhl) zu einer Dispersion, welche dann in herkömmlicher Weise durch ein Sieb auf ein Substrat aufgedruckt werden kann. Man verwendet normalerweise herkömmliche Substrate, wie vorgebranntes Aluminiumoxid. Die bedruckten Substrate werden dann normalerweise zur Entfernung der flüchtigen Bestandteile des Mediums getrocknet (z. B. etwa 10 min bei 100 bis 15O0C) und hierauf zur Austreibung des im Medium enthaltenen polymeren Viskositätsreglers und zur Sinterung der anorganischen Bestandteile zu einem zusammenhängenden, am Substrat haftenden Überzug eingebrannt Das Einbrennen erfolgt vorzugsweise bei einer Temperatur von 800 bis 900° C insbesondere bei etwa 8500C1 während mindestens 5 min, vorzugsweise etwa 10 min, bei der Maximaltemperatur. Das Einbrennen kann in Kammeroder Bandöfen durchgeführt werden. Es wird an der Luft vorgenommen.
Beispiele
Die nachstehenden Beispiele und Vergleichsbeispiele erläutern die Erfindung. In den Beispielen beziehen sich — ebenso wie in der sonstigen Beschreibung und in den Patentansprüchen — sämtliche Teil-, Prozent- und Verhältnisangaben auf das Gewicht, sofern es nicht anders angegeben ist
Sämtliche gemäß den Beispielen verwendeten anorganischen Materialien weisen eine mittlere Teilchengröße von 0,2 bis 8 μηι auf, wobei praktisch keine Teilchen mit einer Größe oberhalb 15 um vorhanden sind. Die ungefähren spezifischen Oberflächen der gemäß Tabelle II, III und V verwendeten Gläser sind aus Tabelle I ersichtlich. Die spezifische Oberfläche des eingesetzten RuO2 ist in jedem Beispiel angegeben; das CaF2 besitzt eine spezifische Oberfläche von 2,8 mVg, das Nb2O5 eine solche von 6,5m2/g. Man verwendet herkömmliche Medien, wis 1 Teil Äthylcellulose in 9 Teilen eines Gemisches aus Terpineol und Dibutylcarbitol. Einige Medien enthalten Tridecylphosphat als Netzmittel.
Die anorganischen Feststoffe und das Medium werden nach herkömmlichen Walzmethoden gründlich vermischt Die erhaltene Dispersion wird durch ein gemusteites Sieb mit einer lichten Maschenweite von 74 μπι auf vorgebrannte Pd/Ag-Schlußelemente an einem Aluminiumoxidsubstrat aufgedruckt Die Abmessungen des Widerstandselements betragen im allgemeinen etwa 38μπι im Quadrat Man trocknet den Aufdruck 10 min .bei etwa 1500C Der getrocknete Aufdruck besitzt eine Dicke von etwa 25 μπι. Er wird in einem herkömmlichen Bandofen während eines 60minütigen Zyklus, wobei etwa 10 min auf die Maximaltemperatur von etwa 8500C entfallen, eingebrannt. Der eingebrannte Aufdruck besitzt eine Dicke von etwa 12 bis 13 μπι.
Der spezifische Widerstand wird mit Hilfe eines Widerstandsmessers bestimmt und für ein quadratisches Widerstandselement wiedergegeben. Der Temperaturkoeffizient des Widerstands (TCR) (allgemein ausgedrückt in ppm/" C) ist ein wichtiges Merkmal von Widerstandselementen, da Temperaturänderungen bei hohem TCR zu relativ starken Widerstandsänderungen führen. Man bestimmt TCR durch Messung des Widerstands eines gegebenen Widerstandselements bei -55°C, 25° C und 125° C. Die Widerstandsänderung wird als Funktion des Widerstands bei Raumtemperatur, dividiert durch die Temperaturerhöhung, wie folgt ausgedrückt:
TCR =
R,
•Bezugstemperalur "
[ppm/°C]
Der Koeffizient der Änderung des spezifischen Widerstands (CVR) ist das Maß für die Fähigkeit zur reproduzierbaren Erzielung eines gegebenen spezifischen Widerstandes während der Herstellung. Man bestimmt den Koeffizienten der Änderung des spezifischen Widerstandes (CVR) unter Anwendung der allgemeinen Formel für den Anderungskoeffizienten bei einer Reihe von Werten, d. h. die Standardabweichung dividiert durch den Mittelwert mal 100, wobei die
Standardabweichung (Sigma) der folgenden Gleichung genügt:
Sigma
Γ Έ(χ-χΫ Ί1
der Wert eines Widerstanrirelements innerhalb der getesteten Reihe von Widerstandselementen, der Mittelwert für eine Reihe von Widerstandselementen und
die Zahl der getesteten Widerstandselemente sind.
10
Tabelle I zeigt die Zusammensetzung der Gläser, welche in den aus den Tabellen II, IH und V ersichtlichen Massen eingesetzt werden. Bei der Verwendung der in den Tabellen II bis V angeführten Massen werden die in den betreffenden Tabellen angegebenen Eigenschaften erzielt
Das in den Vergleichsbeispielen A bis D und in den Beispielen 1 bis 6 verwendete RUO2 weist eine spezifische Oberfläche von 76 m2/g auf. Die Vergleichsbeispiele A und B sowie die Beispiele 1 bis 3 bilden eine Versuchsreihe, bei denen der Nb2Os-Gehalt unter Konstanthaltung der übrigen Bestandteile variiert wird, und erläutern die Abhängigkeit des TCR vom Nb2Os-Gehalt Diese Widerstandselemente mit niedrigem spezifischen Widerstand zeigen ein optimales TCR-Verhalten bei einem Nb2Os-Gehalt der Masse von 0,4%. Die Massen von Vergleichsbeispiel A (Nb2O5-frei) und Vergleichsbeispiel B (1% Nb2Os) ergeben ein schlechtes TCR-Verhalten. Gute CVR- und TCR-Werte werden in Beispiel 1 bis 3 erzielt
Die Vergleichsbeispiele C und D sowie die Beispiele 4 bis 6 betreffen Widerstandselemente, deren spezifische Widerstände um eine Größenordnung höher als in den vorangehenden Beispielen sind. Auch in diesem Falle
Tabelle II
ergeben die Nb2O5-freie Masse (Vergleichsbeispiel C) und die Masse mit 1% Nb2O5 (Vergleichsbeispiel D) unterlegene Resultate. Dis Masse mit 0,6% Nb2Os ergibt bei diesen höheren spezifischen Widerständen die besten TCR-Resultate.
In Beispiel 7 werden unter Verwendung von 03% Nb2Os ein noch höherer spezifischer Widerstand (100 000 Ohm/Quadrat) und hervorragende TCR- und CVR-Werte erzielt
Die Beispiele 8 bis 11 (Tabelle III) zeigen die verminderte Abhängigkeit des spezifischen Widerstandes von den Widerstandselementabmessungen, welche bei Verwendung der bevorzugten CaF2-haltigen Massen der Erfindung erzielt wird. Tabelle III zeigt, daß RuO2 mit zwei verschiedenen spezifischen Oberflächen eingesetzt wird.
Tabelle
Gläser in den Tabellen II, III und V
Bestandteil
Glas (Gew.-%)
A B
PbO
B2O3
SiO2
MnO2
Al2O3
ZnO
ZrO2
CuO spezifische Oberfläche
(m2/g)
49,4 37,5 44,5
13.9 19,2 11,3
24,8 22,3 24,4
7,9 - -
4,0 4,8 4,5
- 10,8 10,2
- 3,6 4,3
- 1,8 0,8
7,5 7,0 6,6
Komponenten/Eigenschaften
Beispiel (Nr.) oder Vergleichsbeispiel (Buchstabe) A 1 2 3
Zusammensetzung (Gew.-%) 20 20
RuO2 23,75 23,75
Glas A 23,75 23,75
Glas B - -
Glas C 2 2
CaF2 - 0,4
Nb2O5 30,5 30,1
Medium
Eigenschaften 51 91
spezifischer Widerstand
(Ohm/Quadrat)
0,0127 mm dick
TCR (ppm/°C) + 285 + 47
-55 bis + 25°C + 255 + 6
+25 bis +1250C 30 41
ATCR 2 4
CVR (%)
* K bedeutet 1000.
20 20 20 6
23,75 23,75 23,75 -
23,75 23,75 23,75 31
- - - 31
2 2 2 2
0,6 0,8 1,0 -
29,9 29,7 29,5 30,0
28 157 202 3,9 K*
142
223
81
240 + 250
338 + 240
98 10
6 5
Tabelle II (Fortsetzung) 28 Beispiel Nr. 6,9 1291 2 9 6 6,0 6 t 8 6 10 - 7 4,3 11 -
7 Komponenten/Eigenschaften 8 - - - t - 7 - 6,6
22.2 21,9 31 |t 31 22,2 31,8 21,7
Zusammensetzung (Gew.-%) Beispiel (Nr.) oder > 40,4 39.6 31 D 31 40,4 31,8 39,7
RuO3 4 5 - 2 2 2 - 2 2
Glas A 0.5 0,5 0,8 1,0 0,4 0,3 0,4
Glas B 6 30 'crglcichsbcispiel (Buchstabe) 30 29,2 29,0 30 29,8 29,6
Glas C -
CaF3 31 10,7 K* 14,3 K* 101 K*
Nb2O, 31 6
Medium 2 -
Eigenschaften 0,4 10,5 K* 31 10,0 K * 10,7 K* 8,2 K*
spezifischer Widerstand 29.6 9,4 K* 31 9.4 K* 117 - 199 ΙΟ,ΟΚ* + 14 7,9 K*
(Ohm/Quadrat) 8,3 K* 2 8,9 K" 164 -269 9,4 K* + 45 7,9 K*
0,0127 mm dick 4,7 K* 0,6 - 47 70 31
TCR (ppm/ C) + 7 29,4 - 73 3 3 + 50 2 + 84
-55 bis + 25 C
+25 bis +125 C 8,2 K* +
JTCR + 130
CVR (%) + 111
• K bedeutet 1000. 19
Tabelle III 5 12
Komponenten/Eigenschaften 42
30
Zusammensetzung (Gew.-%) 2
RuO2 (80 m2/g)
RuO2 (68 m:/g)
Glas B
Glas C
CaF2
Nb2O5
Medium
Spezifischer Widerstand
(Ohm/Quadrat) für Widerstände
mit folgenden Abmessungen
(Länge x Breite):
4 mm x 1 mm
2 mm x 1 mm
1 mm x 1 mm
TCR (ppm/'-C)
+ 25 bis +125=C
Die Vergleichsbeispiele E, F und G (Tabelle IV) 65 man RuO2 (68 mVg) und ein Bi2O3-GIaS (50,4% Bi2O3,
erläutern die Bedeutung des Einsatzes von PbO 33% PbO, 9,2% B2O3,32£% SiO2,43% Al2O3), was zu
enthaltendem Glas und Nb2O5-Pulver gemäß der schlechten CVR-Werten führt Erfindung. Bei diesen Vergleichsbeispielen verwendet
Tabelle IV
Vergleichsbeispiel E F
Zusammensetzung
(Gew.-%)
RuO2
Glas
Medium
10 60 30
Eigenschaften
spezifischer 11,7 K*
Widerstand
(Ohm/Quadrat)
CVR(%) 11,6
TCR (ppm/"C)
+25 bis +125°C - 20
*K = 1000.
12 58 30
2,2 K
17,7 + 52
14 "'
56
30
13
0,63 K
17
20
Die Vergleichsbeispiele H, I und J (Tabelle V) zeigen die Bedeutung des erfindungsgemäßen Nb2O5-GeIIaItS. RuO2 (80 m2/g) und PbO enthaltendem Glas führen zu schlechten »heißen« TCR-Werten (>300ppm/°C), wenn kein Nb2Os zugesetzt wird.
Tabelle V
Vergleichsbeispiel
H I J
25
Zusammensetzung
(Gew.-%)
RuO2
Glas B
Glas C
CaF2
Medium
35,2 24,8
2 30
6 31 31
2 30
24,8 35,2 2 30
IO
Die in der nachfolgenden Tabelle VI angegebenen Zusammensetzungen der Beispiele 12 und 13 wurden auf vorgebrannte Pb/Ag-Schlußelemente durch ein gemustertes Sieb mit einer lichten Maschenweite von 74 μΐη aufgedruckt. Die Abmessungen der Widerstandselemente betrugen 38 μπι im Quadrat. Die gedruckten Widerstände wurden 10 min bei einer Temperatur von 150° C zu einer Dicke von etwa 25 μπι getrocknet. Die getrockneten Teile wurden dann in einem üblichen Bandofen während eines 60minütigen Zyklus gebrannt, wobei 10 min auf die Maximaltemperatur von 8500C entfielen.
Tabelle VI Beispiel
13
30
35
40 Zusammensetzung
(Gew.-%)
Ru2O
Glas A, Tab. I
Nb2O5
inertes Medium
Eigenschaften
spezifischer
Widerstand
(Ohm/Quadrat)
TCR, (ppm/°C)
+25 bis +125°C
TCR, (ppm/°C)
-55 bis +250C
CVR (%)
"K= 1000.
35,0
40,0
0,1
24,9
8,3K =
117
42
3,6
40,0
40,0
0,3
19,7
ll,0K*
+ 63
-25
6,2
Eigenschaften
spezifischer
Widerstand
(Ohm/Quadrat)
CVR (%)
TCR (ppm/0 C)
+25 bis+125° C +344
*K = 1000.
9,98 K* 15,2 K 12,2 K
3,6
+ 308
4,6
+ Aus der Tabelle VI ist ersichtlich, daß die beanspruchten Widerstandsmassen auch mit höherem RuO2-Gehal ten die angestrebten Eigenschaften aufweisen. Bei beiden Proben liegt die Differenz zwischen dem Temperaturkoeffizienten des Widerstandes in der Hitze und in der Kälte wesentlich unterhalb des angestrebten Grenzwertes von ±250 ppm/0 C, bei niedrigem Koeffizienten der Änderung des spezifischen Widerstandes (CVR).
Das Beispiel 12 zeigt darüber hinaus, daß auch bei einem Gehalt von NbjOs von 0;1 Gew.-% gearbeitet werden kann. Schließlich zeigt das Beispiel 13, daß der erfindungsgemäß angestrebte Erfolg auch bei einem entsprechenden Anteil von 19,7 Gew.-% an inertem Medium eintritt

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Aufdruckbare Widersiandsmassen aus einem feinzerteilten, anorganischen Pulver auf der Grundlage von RuO2 und PbO-enthaltendem Glas, das in einem inerten, flüssigen Medium dispergiert ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse aus
DE2812912A 1977-03-25 1978-03-23 Aufdruckbare Widerstandsmassen Expired DE2812912C2 (de)

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