DE3247224C2

DE3247224C2 - Widerstandspaste und daraus hergestellter elektrischer Widerstand

Info

Publication number: DE3247224C2
Application number: DE3247224A
Authority: DE
Inventors: Eiichi Tokyo Asada; Toshio Fujisawa Kanagawa Inokuma; Hiroyuki Oume Tokyo Saito
Original assignee: Shoei Chemical Inc
Current assignee: Shoei Chemical Inc
Priority date: 1981-12-29
Filing date: 1982-12-21
Publication date: 1985-02-28
Also published as: FR2519182B1; US4439352A; GB2112376B; DE3247224A1; GB2112376A; FR2519182A1; CA1191022A

Abstract

Es wird eine neue Zusammensetzung für Widerstände geschaffen, die a) Rutheniumoxid, b) Glas, c) mindestens ein Metalloxid aus der Gruppe von Lanthanoxid, Neodymoxid, Praseodymoxid und Samariumoxid und d) einen organischen Träger enthält. Ferner werden Widerstände zur Verfügung gestellt, die hergestellt worden sind unter Verwendung der Zusammensetzung, indem ein Widerstands-Film, der Rutheniumoxid, Glas und mindestens ein Metalloxid aus der Gruppe von Lanthanoxid, Neodymoxid, Praseodymoxid und Sama rium oxid enthält, auf ein elektrisch isolierendes Substrat aufgebrannt wird. Die Verwendung der Metalloxide in den Zusammensetzungen für Widerstände verbessert überraschenderweise den TCR-Wert (Temperaturkoeffizient des Widerstandes), insbesondere in Bereichen hohen Widerstandes, und bringt den TCR-Wert nahe an Null heran. Zusätzlich zu dem Effekt der Verbesserung des TCR-Wertes erhöhen die Metall oxide den Widerstand und verbessern die Geräusch- und VCR-Eigenschaften (Spannungskoeffizient des Widerstandes).

Description

:o Die Erfindung betrifft eine Widerstandspaste, die Rutheniumoxid, Glas, ein Oxid eines seltenen Erdmetalls sowie einen organischen Träger enthält, sowie einen unter Verwendung einer solchen Widerstandspaste hergestellten elektrischen Widerstand mit einem elektrisch Isolierenden Substrat und einem auf das Substrat aufgebrannten Widerstandsfilm mit verbesserten Widerstandseigenschaften, Insbesondere einem verbesserten Temperaturkoeffizienten (TCR-Wert), einem verbesserten Rausch- und Spannungskoeffizienten (VCR-Wert) In

^λ> hohen Widerstandsbereichen.

Elektrische Widerstände, die durch Aufbrennen verhältnismäßig dicker, Rutheniumoxid und Glas enthaltender Filme auf eine Oberfläche eines elektrisch Isolierenden Substrats hergestellt werden, ändern ihren Widerstand über einen breiten Bereich von einigen Ohm pro Quadrat bis 10 Megaohm pro Quadrat entsprechend der Änderung des Gewichtsverhältnisses von Rutheniumoxid zu Glas In dem Bereich von 60:40 bis 5 :95. Die

.χι gewünschten Widerstandswerte werden daher in der Regel durch entsprechende Einstellung dieses Gewichtsverhältnisses erhalten.

Ein einmal eingestellter Widerstandswert soll jedoch beim praktischen Gebrauch eines solchen elektrischen Widerstandes möglichst konstant sein, d. h. unabhängig von Schwankungen der Umgebungstemperatur sein, d. h. Im Idealfalle einen TCR-Wert von Null haben. Es Ist allgemein bekannt, daß ein TCR-Wert von Null In

■<> der Praxis nur In mittleren Widerstandsbereichen erzielt werden kann, wobei auch noch zu berücksichtigen ist, daß dieser Wert von der Teilchengröße und Zusammensetzung des In dem elektrischen Widerstand enthaltenen Rutheniumoxids und Glases abhängt.

Wenn die Widerstände unterhalb des Bereiches, In dem der TCR-Wert Null Ist, herabgesetzt werden, steigen die TCR-Werte Im positiven Bereich bei aonehmendem Widerstandswert, während oberhalb des Bereiches mit

4(1 dem TCR-Wert Null bei steigenden Widerstandswerten der TCR-Wert negativer wird. Daher werden die bisher auf dem Markt befindlichen elekirlschen Widerstände In nahezu allen Widerstandsbereichen durch die Umgebungstemperatur In unerwünschter Welse beeinflußt und es Ist sehr schwierig, Ihren absoluten TCR-Wert auf Null einzustellen.
Es Ist bereits bekannt, zur Verbesserung Ihres TCR-Wertes den elektrischen Widerständen verschiedene

4^ Additive zuzusetzen. Beispielswelse haben den TCR-Wert regulierende Additive, wie MnO₂, Al₂O₃, TlO₂ und ZrO₂ den Effekt, den TCR-Wert In die negative Richtung zu verschieben. Diese Additive sind zwar wirksam und geeignet für elektrische Widerstände In niedrigen Widerstandsbereichen und mit einem sehr positiven TCR-Werl, für elektrische Widerstände In hohen Widerstandsbereichen wurde trotz zahlreicher entsprechender Versuche bisher noch keine zufriedenstellende Lösung gefunden.

<ii In der US-PS 33 24 049 wird als Mittel zur Einstellung des TCR-Wertes eines elektrischen Widerstands die Zugabe von Kupferoxid und die Verwendung eines Kupferoxid enthaltenden Glases als glasbildendem Bestandteil vorgeschlagen. Damit kann zwar bei stark negativen TCR-Werten eine Annäherung an den Wert Null erreicht werden, gleichzeitig wird der Widerstandswert jedoch In unerwünschter Welse herabgesetzt und der VCR-Wert wird unvermeidlich verschlechtert.

>> In der GB-PS 14 70 497 wird vorgeschlagen, die Einstellung des TCR-Wertes eines elektrischen Widerstands durch Zugabe von kolloidalem AlOOH zu bewirken, um dadurch den TCR-Wert In positiver Richtung zu verschieben. Aber auch In diesem Falle Ist eine gleichzeitig auftretende unerwünschte Herabsetzung des Widerstandswertes unvermeidlich. Es Ist damit also nicht möglich, elektrische Widerstände mit einem TCR-Wert In der Nähe von Null bei hohen Widerstandsbereichen zu erhalten.

(■" Man hat auch bereits versucht, den TCR-Wert ekektrlscher Widerstände durch Vergröberung der entsprechenden Teilchengrößen von Rutheniumoxid und Glas einzustellen, dies führt jedoch zu einem unerwünschten Ansteigen des Rauschpegels und zu einer großen Schwankung des Widerstandswertes, so daß auch dieses Verfahren für die Praxis nicht geeignet Ist.
Aus der DE-AS 19 03 925 sind elektrische Widerstände bekannt, die RuO₂ χ nH₂0 (n = 0,l bis 3,5) und Ag,

'<> Au und/oder Pt als Leiterkomponente In einer Glasfrltte als Matrix sowie, gegebenenfalls ein Oxid eines Metalls der Gruppe IIIB oder IVB des Periodischen Systems der Elemente (z. B. ZrO₂, TlO₂ oder La₂O₃) enthalten. Die darin beschriebenen Widerstände weisen zwar sehr breite Widerstandsbereiche von bis zu 10 Megaohm pro Quadrat auf, Ihre Rauschpegel Ist jedoch unbefriedigend. Das gilt auch für die aus der US-PS 41 60 748 bekann-

ten elektrischen Keramikwiderstände aus Zinkoxid, einem seltenen Erdmetalloxid, einem spezifischen Erdalkalimetalloxid und Kobaltoxid.

Aufgabe der Erfindung war es daher, die Nachtelle der bekannten elektrischen Widerstände zu beseitigen, insbesondere ihre TCR-Werte, Ihre Rauschpegel und Ihre VCR-Werte in hohen Widerstandsbereichen zu verbessern.

Es wurde nun gefunden, daß diese Aufgabe erfindungsgemäß bei einer Rutheniumoxid, Glas, ein Oxid eines seltenen Erdmetalls sowie einen organischen Träger enthaltenden Widerstandspaste dadurch gelöst weiden kann, daß sie als Oxid der seltenen Erdmetalle mindestens ein Oxid aus der Gruppe Lanthanoxid, Neodymoxid, Praseodymoxid und Samariumoxid enthält, daß das Gewichtsverhältnis von Rutheniumoxid zu Glas Im Bereich von 30: 70 bis 5 :95 Hegt und daß die Gesamtmenge der Metalloxide Im Bereich von 0,05 bis 7 Gewichtstellen auf 100 Gewichtsteile des Gesamtgewichtes von Rutheniumoxid und Glas liegt.

Das Rutheniumoxid, das Glas und die seltenen Erdmetalloxide liegen In der erfindungsgemäßen Widerstandspaste vorzugsweise In felntelllger Form mit einer Teilchengröße von nicht mehr als 10 μηι. Insbesondere von 0,1 bis 2 μτη, vor.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung werden das Rutheniumoxid und/oder die seltenen Erdmetalloxide in dem Glas homogen verteilt, bevor dieses fein gemahlen und zur Herstellung der Widerstandspaste verwendet wird.

Gegenstand der Erfindung Ist ferner ein elektrischer Widerstand mit einem elektrisch Isolierenden Substrat und einem auf das Substrat aufgebrannten Widerstandsfilm, der unter Verwendung einer Widerstandspaste, wie sie vorstehend beschrieben wurde, hergestellt worden Ist.

Die erfindungsgemäße Widerstandspaste, die Rutheniumoxid als Leiterkomponente enthält, und die daraus hergestellten elektrischen Widerstände zeichnen sich dadurch aus, daß sie In hohen Widerstandsbereichen überraschend vorteilhafte TCR-, VCR- und Rauschpegelwerte besitzen. Dieser technische Effekt, der offensichtlich auf die Verwendung eines oder mehrerer der genannten seltenen Erdmetalloxide In einer wirksamen Menge zusammen mit Rutheniumoxid zurückzuführen ist, ist um so überraschender, als dabei die bisher stets in solchen Fällen zu beobachtende Abnahme des Widerstandswertes nicht auftritt. Die genannten Zusätze bewirken vielmehr sogar eine Erhöhung des spezifischen Widerstandes zusätzlich zur Verbesserung der TCR-, VCR- und Rauschpegelwerte.

Während die bisher bekannten elektrischen Widerstände mit hohen Widerstandswerten In der Größenordnung von Klloohm pro Quadrat bis Megaohm pro Quadrat eine sehr große Menge Glasfrltte enthalten, wodurch der TCR-Wert unvermeidlich in die negative Richtung verschoben wird, weisen die hler beanspruchten elektrischen Widerstände sehr hohe Widerstandswerte auf mit einem verhältnismäßig hohen Gehalt an Leiterkomponente, ohne daß die vorgenannte unerwünschte TCR-Verschlebung auftritt.
|^;; Mit der vorliegenden Erfindung Ist es daher In bemerkenswerter Welse gelungen, die TCR-Werte von elektrl-

i| sehen Widerständen In hohen Widerstandsbereichen durch Zusatz mindestens einer Verbindung aus der Gruppe

lh Lanthanoxid, Neodymoxid, Praseodymoxid und Samariumoxid zu elektrischen Widerständen vom Ruthenlum-

|; oxld-GIas-Typ zu verbessern durch Elnregulierung des TCR-Wertes auf ein gewünschtes Niveau In der Nähe

^ des Wertes Null. Zusätzlich zur Verbesserung des TCR-Wertes werden erfindungsgemäß auch die Rauschpegel-

k werte und die VCR-Werte verbessert, so daß die erfindungsgemäßen elektrischen Widerstände für praktische

Anwendungen sehr geeignet sind.

Das in der erfindungsgemäßen Widerstandspaste verwendete Rutheniumoxid und das Glas sind von der auf diesem Gebiet üblichen Art und werden In Form felntelllger Pulver eingesetzt. Dabei wird ein Gewlchtsverhältnis von Rutheniumoxid zu Glas Im Bereich von 30 : 70 bis 5 : 95 eingehalten.

; Bevorzugte Beispiele für erfindungsgemäß verwendbare Gläser sind Borsilikatgläser, wie Blelborslllkatglas,

und Boratgläser.

Vorzugswelse kann das Rutheniumoxid auf an sich bekannte Welse dem Glas einverleibt werdsn, bevor dieses zur Herstellung der Widerstandspaste verwendet wird.

Die erfindungsgemäß verwendeten organischen Träger sind beliebige herkömmliche organische Träger, die beim Brennen verdampfen oder verbrennen. Beispiele für erfindungsgemäß verwendbare organische Träger sind : organische Lösungsmittel, wie Terplneol, Butylcarbltol, Butylcarbltolacetat oder ähnliche Verbindungen und

Gemische von organischen Lösungsmitteln und Harzen, wie Ethylcellulose, Nitrocellulose und Alkydharz, oder Plastifizierungsmittel. Der erfindungsgemäß verwendete Träger dient der Herstellung einer Paste, wobei seine Menge von der Art abhängt, In der die Paste auf ein elektrisch Isolierendes Substrat zur Herstellung eines Widerstandes aufgebracht wird.

Die Teilchengröße der erfindungsgemäß verwendeten seltenen Erdmetalloxide liegt, wenn auch keine spezlflsehen Beschränkungen bestehen, vorzugsweise bei nicht mehr als 10 um, Insbesondere Im Bereich v->n 0,1 bis 2 μΐη. Sie können allein oder zusammen mit Rutheniumoxid dem Glas einverleibt werden, bevor dieses In dem organischen Träger dlspe^glert wird. Die Gesamtmenge der zugesetzten seltenen Erdmetalloxide liegt Im Bereich von 0,05 bis 7 Gewichtstellen auf 100 Gewichtsteile des Gesamtgewichtes von Rutheniumoxid und Glas. Wenn weniger als 0,05 Gewichtstelle der seltenen Erdmetalloxide verwendet werden, können die obengenannten Wirkungen nicht erzielt werden. Andererseits führte die Verwendung der seltenen Erdmetalloxide In Mengen von mehr als 7 Gewichtstellen zu einer unerwünschten Verschiebung des TCR-Wertes Im negativen Bereich und daher sind solche überschüssigen Mengen für die Zwecke der vorliegenden Erfindung unerwünscht.

Im allgemeinen wird die erfindungsgemäße Widerstandspaste hergestellt durch homogenes Verm.sehen der obengenannten Komponenten (Rutheniumoxid, Glas, seltenes Erdmetalloxid und organischer Träger). Die dabei erhaltene Wlderstandspaste kann anschließend In dem gewünschten Muster auf an sich bekannte Welse auf ein elektrisch Isolierendes Substrat aufgebracht werden und zu einem elektrischen Widerstand gebrannt werden.

Als elektrisch Isolierendes Substrat wird ein beliebiges herkömmliches Substrat, zum Beispiel ein solches aus

Keramik, Glas, mit Porzellan versehenem emailliertem Stahl, oder ein ähnliches Substrat verwendet.

Die auf das elektrisch isolierende Substrat aufgebrachte Widerstandspaste wird getrocknet und bei einer Temperatur von 500 bis 1000° C gebrannt, wobei man den erfindungsgemäßen elektrischen Widerstand erhält.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Beispielen und Vergleichswiderständen näher erläutert. Die darin angegebenen Teile, Verhältnisse und Prozentwerte beziehen sich, wenn nichts anderes angegeben ist, alls auf das Gewicht.

Beispiele 1 bis 20 und Vergleichswiderstände 1 bis 7

In drr nachstehenden Tabelle 1 sind die Beispiele 1 bis 20 den Vergleichswiderständen 1 bis 7 gegenübergestellt. Zum Zwecke des Vergleichs sind die untersuchten Eigenschaften in einer Kombination von erfindungsgemäßen Widerständen und einem Versleichswiderstand, wobei beide etwa denselben Widerstandswert aufweisen, zusammengefaßt.

Mit Ausnahme der Beispiele 4, 7 und 17 bis 20 wurden die entsprechenden Widerstands-Zusammensetzungen der Beispiele und Vergleichswiderstände durch Vermischen der Bestandteile in Verhältnissen, wie sie in Tabelle 1 angegeben sind, und nachfolgendes Rollmischen, um einheitlich dispergierte Pasten zu schaffen, hergestellt. Es wurde Glas in feinteiligem Zustand eingesetzt und die Widerstands-Zusammensetzungen bestanden aus 52,0% PbO, 8,3% B₂O₁, 36,5% SiO₂ und 3,3% Al₂O₃ bei einer durchschnittlichen Teilchengröße von 3 μην Ferner wurden feiner Rutheniumoxid-Teilche.i mit einer spezifischen Oberfläche von 23 m²/g eingesetzt und der organische Träger enthielt ein einheitliches Gemisch von 7,5 Teilen Elhylcellulose, 32,5 Teilen Terpineol und 5.0 Teilen Dibutylphthalat.

Zur Herstellung der Widerstands-Zusammensetzung nach Beispiel 4 wurde ein homogenes Gemisch von Rutheniumoxid, Glas und Lanthanoxid in einen Platintiegel gegeben, auf die Schmelztemperatur des Glases erhitzt und rasch abgeschreckt.

Das so erhaltene Glas, das Ruthenlumoxtd und Lanthanoxid in den In Tabelle ! angegebenen Mengen enthielt, wurde sodann fein gemahlen und einheitlich In dem organischen Träger, wie zuvor erwähnt, dlspergiert unter Bildung einer Widerstandspaste.

Im Beispiel 7 wurde das Gemisch aus Glas und Lanthanoxid In der gleichen Welse wie In Beispiel 4 behandelt, wobei ein felntelllges Glas, das Lanthanoxid enthielt, erhalten wurde. Das behandelte Glas und felntelllges Rutheniumoxid wurden in den in Tabelle 1 angegebenen Mengen einheitlich In dem oben erwähnten organischen Träger dlspergiert, um eine Widerstands-Zusammensetzung In Pastenform herzustellen.

In ähnlicher Welse wurden In Beispiel 17 das Glas und Neodymoxid in den In Tabelle 1 angegebenen Verhältnissen gemischt und behandelt zur Herstellung eines Neodymoxid enthaltenden Glases. Das Neodymoxid enthaltende Glas wurde sodann mit Rutheniumoxid, Praseodymoxid und einem organischen Träger vermischt, wobei man eine Widerstandspaste mit der In Tabelle 1 angegebenen Zusammensetzung erhielt.

Ferner wurden zur Herstellung der Widerstands-Zusammensetzungen nach den Beispielen 18 bis 20 entsprechende homogene Gemische von Glas und zwei seltenen Erdmetalloxiden aus der Gruppe Praseodymoxid, Samariumoxid, Lanthanoxid und Neodymoxid in einen Platintiegel gegeben, auf die Schmelztemperatur des Glases erhitzt und rasch abgeschreckt.

Sodann wurden die Gläser, die zwei seltene Erdmetalloxide in den in Tabelle 1 angegebenen entsprechenden Verhältnissen enthielten, fein gemahlen und Innig mit Rutheniumoxid und dem organischen Träger vermischt zur Herstellung von Widerstandspasten.

In Tabelle 1 gibt die Markierung (*) an, daß das Ruthenlumoxld und die seltenen Erdmetalloxide vor der Herstellung der Widerstandspaste dem G'as einverleibt wurden.

Die so erhaltenen Widerstandspasten wurden In einem Muster von 1 mm χ 1 mm durch Siebdruck auf ein Aluminium-Substrat mit Anschlüssen vom Ag-Pd-Typ eines dicken Fllm-Lelters aufgebracht, getrocknet und In einem Gü.ielofen bei einer Spitzentemperatur von 850°C gebrannt, wobei die Brennzelt bei der Spitzentemperatur 10 Minuten betrug.

Bei den hergestellten Widerständen wurden Widerstand, TCR, Rauschpegel und VCR gemessen und die Ergebnisse sind In Tabelle 1 angegeben. Die In Tabelle 1 angegebenen Widerstandswerte geben jeweils den spezifischen Widerstand In Ohm pro Quadrat des Wlderstandsfllms einer Dicke von 12 μηι an.

TCR-Messungen wurden In einem Temperaturbereich von -25 bis +125° C durchgeführt.

Der Rauschpegel wurde unter Verwendung eines Wlderstands-Rauschtest-Sets gemessen, wobei ein möglichst niedriger Rauschpegel erwünscht ist.

VCR-Messungen wurden im Spannungsbereich von 10 bis 100 V durchgeführt und es 1st bevorzugt, daß der Wert dem Wert Null möglichst nahekommt, wie auch TCR.

Tabelle 1

Rutheniumoxid Glas

(Teile)

Lanthanoxid Neodymoxid Praseodym- Samariumoxid oxid (Teile) (Teile) (Teile) (Teile)

Organischer spezifischer TCR Rauschen VCR

Träger Widerstand

(Teile) (Ohm/Quadrat) (ppm/°C) (dB) (%/V)

Beispiel 1	24,5	75,5	3,0
Vergleichs- Widerstand 1	19,0	81,0
Beispiel 2	24,5	75,5	5,0
Vergleichs- Widerstand 2	17,5	82,5
Beispiel 3	16,3	83,7	1,0
Vergleichs- Widerstand 3	14,3	85,7
Beispiel 4 Beispiel 5 Beispiel 6	16,3*) 14,3 14,3	83,7 85,7 85,7	2,0*) 1,0 0,5
Vergleichs- Widerstand 4	11,3	Ou, /	"
Beispiel 7 Beispiel 8 Beispiel 9 Beispiel 10	16,3 14,3 11,3 11,3	83,7 85,7 88,7 88,7	5,0*) 2,0 0,5

1,0

141,0
132,0

199,8
205,2

550,4
525,3

KQ
KQ

KQ
Kfl

- 60 - 13,0

- 130 - 5,4

- 85

- 140

- 90

- 165

1,124	MQ	- 70
1,203	MQ	- 95
1,401	MQ	- 75
1,276	MQ	- 170
2,803	MQ	- 100
2,296	MQ	- 75
2,522	MQ	- 91
2,441	MQ	- 58

- 13,0

- 4,4

- 8,0

- 3,0

8,0 6,0 6,0

5,0 5,0 0.9 0,8

+ 0,2 + 0,7

+ 0,1 + 0,4

-0,1 -0,5

-0,2 -0,4 -6,0 -0,8

-0,8 -0,8 -0,8

Fortsetzung

Rutheniumoxid Glas

Lanthanoxid Neodymoxid

(Teile)

(Teile) (Teile)

(Teile)

Praseodymoxid (Teile)

Sarnarium-

oxid

(Teile)

Organischer spezifischer TCR Rauschen VCR

Träger Widerstand

(Teile) (Ohm/Quadrat) (pprn/°C) (dB) (%/V)

Beispiel 11	15,0	85,0	-
Beispiel 12	17,0	83,0	-
Vergleichs-	10,0	90,0	-
Widerstand 5
Beispiel 13	15,0	85,0	_
Beispiel 14	17,0	83,0	-
Vergleichs-	15,0	85,0	-
Widerstand 6
Vergleichs-	17,0	83,0	-
Widerstand 7
Beispiel 15	10,0	90,0	-
Beispiel 16	10,0	90,0	1,0
Beispiel 17	10,0	90,0	-
Beispiel 18	10,0	90,0	1,0*)
Beispiel 19	10,0	90,0	2,0*)
Beispiel 20	10,0	90,0	-

1,0*

2,0*)

2,0
5,0

45,0 45,0

45,0

45,0 45,0

1,65	ΜΩ	- 70	- 5	-0,6
2,15	MQ	- 65	- 4	- i,o
2,73	MQ	- 186	+ 10	-5,9
635	KQ	- 102	- 5	-0,5
410	KQ	- 110	- 8	+ 0,5
450	ΚΏ	- 150	- 3	-0.5

380 Kfl

-

-0,8

2,0	1,0	45,0	5,22	MQ	- 79	- 4	-0,8
1,0		45,0	5,52	MQ	- 82	- 4	- 1,4
1,0	-	45,0	5,48	MQ	- 81	_ τ	- 1,3
	1,0*)	45,0	3,35	MQ	- 86	- 6	-0,8
1,0*)	-	45,0	5,03	MQ	- 88	- 3	- 1,5
1,0*)	-	45,0	5,58	MQ	- 81	- 3	-1,5

Aus den Ergebnissen Ist Im Vergleich der entsprechenden Gegenüberstellungen von Beispiel 1 und Verglelchswlderstand 1, Beispiel 2 und Verglelchswldersiand 2, Beispiel 3 und Verglelchswlderstand 3, Beispiele 4 bis 6 und Verglelchswlderstand 4, Beispiele 7 bis 12 und Verglelchswlderstand 5, und Beispiele 13 und 14 und Verglelchswlderstände 6 und 7 ersichtlich, daß die erfindungsgemäßen Widerstände hinsichtlich des TCR Im Vergleich mit den Vergleichs-Widerständen auf den gleichen Widerstandsniveaus wesentlich verbessert sind. Außerdem zeigen die erfindungsgemäßen Widerstände bemerkenswerte Verbesserungen hinsichtlich des Rauschpegels und des VCR-Wertes Im Verhältnis zu den Vergleichswiderständen.

Zum weiteren Vergleich wurden zwei weitere Verglelchswlderstände (Vergleichswiderstände 8 und 9) hergestellt, die Zusammensetzungen aufwiesen, die In Tabelle 2 angegeben sind, worin die Verhältnisse von Ruthenlumoxid zu Glas die gleichen wie In den Beispielen 1 und 3 waren. Die obigen Messungen wurden an den Vergleichswiderständen gemäß der oben beschriebenen Meßmethode durchgeführt. Die Ergebnisse sind In Tabelle 2 zusammen mit denen der Beispiele 1 und 3 angegeben.

Tabelle 2	Ruthenium- oxid (Teile)	Glas (Teile)	Lunihan- oxid (Teile)	Organischer Träger (Teile)	SpCZi liSCi iCr Widerstand (Ohm/Quadrat)
	24,5	75,5	3.0	45,0	141,0 kQ
Beispiel 1	24,5	75,5		45,0	38,1 kQ
Vergleichs- Widerstand 8	16,3	83,7	1,0	45,0	550.4 kQ
Beispiel 3	16,3	83,7	-	45,0	282,3 kQ
Vergleichs- Widerstand 9

Der voranstehenden Tabelle 2 Ist zu entnehmen, daß Lanthanoxid In wirksamer Welse der Steigerung des Widerstandes dient.

Ferner Ist aus ähnlichen Vergleichen der Beispiele 9 und 10 mit Verglelchswlderstand 4, Beispielen 11 und 13 mit Verglelchswlderstand 6, Beispielen 12 und 14 mit Verglelchswlderstand 7 und Beispielen 15 bis 20 mit Verglelchswlderstand 5 ersichtlich, daß andere seltene Erdmetalloxide den Wlderstandswert ohne Verschlechterung d,es Rauschens und des VCR erhöhen, wie auch Lanthanoxid.

Claims

Patentansprüche:

1. Widerstandspaste, die Rutheniumoxid, Glas, ein Oxid eines seltenen Erdmetalls sowie einen organischen Träger enthalt, dadurch gekennzeichnet, daß sie als Oxid der seltenen Erdmetalle mindestens ein Oxid aus der G.uppe Lanthanoxid, Neodymoxid, Praseodymoxid und Samariumoxid enthält, daß das Gewichtsverhältnis von Rutheniumoxid zu Glas im Bereich von 30 : 70 bis 5 :95 Hegt und daß die Gesamtmenge der Metalloxide Im Bereich von 0,05 bis 7 Gew.-Tellen auf 100 Gew.-Telle des Gesamtgewichts von Rutheniumoxid und Glas Hegt.

2. Widerstandspaste nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Rutheniumoxid, das Glas und die seltenen Erdmetalloxide in felnteillger Form mit einer Teilchengröße von nicht mehr als 10 μίτι vorliegen.

3. Widerstandspaste nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Rutheniumoxid und/oder die seltenen Erdmetalloxide In den Glasteilchen In homogener Verteilung vorliegen.

4. Elektrischer Widerstand mit einem elektrisch Isolierenden Substrat und einem auf das Substrat aufgebrannten Widerstandsfilm, der unter Verwendung einer Widerstandspaste nach einem der Ansprüche 1 bis 3 hergestellt worden 1st.