DE2635008B2 - Substratträger für Vakuumbeschichtungsanlagen - Google Patents
Substratträger für VakuumbeschichtungsanlagenInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Vakuumbeschichtungsan'agen, welche eine evakuierbare Kammer und einen darin angeordneten drehbaren Substratträger für die zu beschichtenden Gegenstände aufweisen. Es ist bekannt, bei Vakuumbpschichtungsanlagen,
vorzugsweise bei Vakuumaufdampf- oder Kathodenzerstäubungsanlagen, die meist als Drehkorb ausgebildete Haltevorrichtung für die zu beschichtenden
Gegenstände in Rotation zu versetzen, um eine gleichmäßigere Beschichtung zu erzielen. Ferner sind
Haltevorrichtungen mil zentralem Antrieb und mit wendbaren Trägerplatten für die zu beschichtenden
Gegenstände bekannt, welche ohne Unterbrechung des Vakuums gewendet werden können. Dies ist vorteilhaft,
da man auf diese Weise beide Seiten der Trägerplatten mit Gegenständen belegen und so die Anlage
wirtschaftlicher ausnutzen kann, oder die Gegenstände (z. B. Linsen), die in Aussparungen der Trägerplatte
befestigt sind, in einem Arbeitsgang beidseitig beschichten kann.
Halte- und Wendevorrichtungen für Vakuumbeschichtungsanlagen sind schon mehrfach beschrieben
worden; z. B. in DE-PS 9 62 488, DE-PS 9 66 014, US-PS 25 32 971, US-PS 22 60 471, US-PS 33 96 696, US-PS
36 43 625, DE-OS 19 13 318, DE-OS 22 09 857, DE-OS
23 06 173,AT-PSI 99 904.
Die bekannten Einrichtungen weisen, soweit sie sowohl die erwähnte Rotationsbewegung als auch das
Wenden der Trägerplatten für die zu beschichtenden Gegenstände ermöglichen, meistens getrennte Antriebsmechanismen für diese beiden Bewegungen auf
und besitzen meist zwei getrennte vakuumdichte Bewegungsdurchführungen. Manche der bekannten
Einrichtungen sind sehr platzraubend und wegen der Kompliziertheit ihrer Getriebe sehr störanfällig.
Die in der DE-OS 23 06 173 beschriebene Vakuumbeschichtungsanlage vermeidet den genannten Nachteil.
Sie besteht aus einer evakuierbaren Kärntner, einer darin angeordneten drehbaren Hallevorrichtung mit
Halteplatten für die zu beschichtenden Gegenstände, zugehörigen Einrichtungen zur Beschichtung diessr
Gegenstände, vorzugsweise mit einer Verdampfungsoder Kathodenzerstäubungseinrichtung, wobei Antriebsmittel vorgesehen sind, um die Haltevorrichtung
während der Beschichtung in Drehung um eine vertikale Achse versetzen und die Trägerplatten wenden zu
können. Dabei entspricht jeder der beiden Drehrichtungen je eine Richtung des Wendens, und es sind Mittel
vorgesehen, um die Wendebewegung nach Erreichen einer der beiden Beschichtungspositionen zu sperren,
womit die die Halteplatten tragende Haltevorrichtung bei weiterer Drehung mitgenommen wird. Das auf die
Antriebswelle ausgeübte Antriebsmoment kann also nur
is Jann eine Drehbewegung der Substrathalter bewirken,
wenn deren Wendestellung dem Drehrichtungssinn entspricht; andernfalls wird zunächst eine entsprechende Wendebewegung erzwungen. Die Beschiciitungsposition ist dabei allein durch die Drehrichtung festgelegt,
und es ist kein zusätzlicher Bewegungsmechanismus zum Wenden der Substrathalter mehr erforderlich.
Es hat sich aber herausgestellt, daß diese bekannte Einrichtung insofern nicht befriedigte, als das Wenden
der Halteplatten nicht betriebssicher genug erfolgte.
Besonders tritt diese Schwierigkeit in Beschichtungsanlagen auf, in denen zusätzliche Heizeinrichtungen
vorgesehen sind, uns (wie es für manche Beschichtungsverfahren erforderlich ist) die Substrate während der
Beschichtung auf höherer Temperatur zu halten. Solche
JO Heizeinrichtungen sind meist als über der Haltevorrichtung für die Substrate angeordnete Heizstrahler
ausgeführt. Infolge der in den einzelnen Bauteilen der Anlage dann auftretenden Temperaturgradienten und
der damit verbundenen unterschiedlichen thermischen
Ausdehnung dieser Teile kann es dazu kommen, daß
bereits eine Blockierung der Relativbewegung zwischen dem Antriebsring einerseits und den das Wenden der
einzelenen Halteplatten bewirkenden Zahnrädern andererseits eintritt, bevor die Wenc1'.-bewegung beendet
ist, d. h. noch während die Halteplatten sich in einer Zwischenposition zwischen den beiden Beschichtungspositionen befinden. Tritt dieser Fall ein, dann muß der
Aufdampfprozeß unterbrochen und die Vakuumkammer geöffnet werden, was oft ein Verderben des gerade
in der Anlage befindlichen Beschichtungsgutes, mindestens aber Zeitverlust zur Folge hat.
Eine weitere bekannte Beschichtungsanlage (DE-OS 19 13 318) vermeidet ebenfalls eine gesonderte Bewegungsdurchführung für das Wenden der Halteplatten
durch entsprechende Küpplu'igsglieder zur Betätigung von mehr als einer der im Vakuumraum angeordneten
bewegbaren Einrichtungen. Sie weist einen im Innern einer Vakuumglocke um eine vertikale Achse drehbaren
Trägerteller für die zu beschichtenden Gegenstände auf,
mit einem den Träger um eine etwa senkrecht zu seiner
Drehachse gerichtete Achse um 180" umklappenden Mechanismus, der derart angeordnet und ausgebildet
ist, daß die Ingangsetzung seiner Arbeitsgänge über Bauteile erfolgt, die bereits zum Betätigen anderer
Funktionen der Gesamtanlage von außen in den Evakuierungsraum führen. Insbesondere ist bei dieser
bekannten Anlage vorgesehen, daß der Umklappmechanismus mittels der Betätigungseinrichtung für die
der Verdampfungs- oder Zerstäubungsquelle zugeord
neten Blende bedienbar ist.
Eine solche Kopplung zwischen der Betätigung der Blende und dem Wenden der Halteplatten ist aber
unerwünscht und nur für spezielle Anwendungsfälle
zulässig, for welche der Mechanismus dsnn entsprechend
konstruiert sein muß. Im bekannten Falle wird ein Beispiel erwähnt, bei dem die Wendebewegung mit der
Betätigungseinrichtung für die über einer Verdampfungsquelle befindliche Blende gekoppelt ist, derart, daß
zwecks Einleitung des Bedampfungsvorganges die Blende geöffnet werden kann, ohne daß der Wendemechanismus
in Aktion tritt Wird die Blende aber dann zur Unterbrechung der Bedampfung wieder geschlossen,
dann wird gleichzeitig über einen entsprechenden Schaltnocken das Wenden der Halteplatten um 180°
bewirkt Eine solche Einrichtung erlaubt jedoch nur das einmalige Bedampfen einer Plattenseite. Mehrfachschichten
können damit nicht hergestellt werden. In einer weiteren Ausführungsform der bekannten Einrichtung
ist dann zwar vorgesehen, daß das Umklappen beliebig oft im gleichen Vakuum wiederholt werden
kann, jedoch bleibt auch dann noch die Kopplung zwischen Wenden der Substratträger und Betätigung
der Blende bestehen.
Die vorliegende Erfindung hat sich demgegenüber die Aufgabe gestellt einen Substratträger für vakUumoeschichtungsanlagen
so auszubilden, daß das Wenden der Substrathalteplatten unabhängig von der Betätigung
anderer Bedienungselemente der Anlage betriebsicher erfolgen kann, und ebenfalls keine eigene Bewegungsdurchführung benötigt wird. Hierfür bietet sich — wie
schon im Falle der Anlage gemäß DE-OS 23 06 173 — die Bewegungsdurchführung für das Rotieren der
Haltep'iatten während der Beschichtung an, da dies die
einzige Funktion in einer Beschichtungsanlage darstellt, bei der der Drehsinn keine Bedeutung hat. Man kann
den Drehsinn also für die Festlegung von zwei Beschichtungspositionen, also für das Wenden der
Halteplatten auf die eine oder die andere Seite ausnutzen. Die Erfindung zeigt hierfür also eine neue im
Betrieb sichere Konstruktion; gleichzeitig ist der erfindungsgemäße Substratträger als sogenanntes Planetengetriebe
ausgebildet, d. h. die Halteplatten bewegen sich wf'irend der Beschichtung um eine zentrale
(meist vertikale) Achse und zusätzlich um eine zweite (zu der ersten meist senkrecht stehende) Achse.
Derartige Planetengetriebe sind an sich bekannt und haben sich in der Beschichtungstechnik sehr bewährt.
Der Erfindung liegt also die spezielle Aufgabe zugrunde, einen neu a π igen als Planetengetriebe ausgebildeten
Substrathalter anzugeben, wobei die Beschichtungsposition allein durch die Drehrichtung festgelegt wird und
kein zusätzlicher Bewegungsmechanismus zum Wenden der Platten erforderlich r,t.
Der srfindungsgemäßc rotierende Substratträger für
Vakuumbcschichtungsanlagen, mit zentralem Antrieb mittels einer durch die Vakuumkammer hindurchgeführten
Welle, wobei mit der zentralen Welle mehrere Haltearme für je einen Trägerkopf gekoppelt sind, und
jeder Trägerkopf mehrere an ihm drehbar gelagerte und über ein Zahnradgetriebe miteinander gekoppelte
Substrathalteplatten trägt, die eine Wendebewegung um ihre Drehachse ausführen können, wobei das auf die
Antriebswelle ausgeübte Antriebsmoment nur dann eine Drehbewegung des Trägerkopfes bewirken kann,
wenn die Wendestellung der Substrathalteplatten dem Drehrichtungssinn entspricht, andernfalls zuerst eine
Wendebewegung erzwungen wird, so daß jede der beiden Drchrichtiingen einer bestimmten Wendestellung
zugeordnet ist, ist gekennzeichnet durch zwei am Trägerkopf gelagerte urd gegenläufig wirksame Sperrklinken
im Zusammenwirken mit einer ortsfesten Nockenscheibe einerseits und einer an dem über die
Welle und Kegelräder angetriebenen Zahnrad befestigten
Kurvenscheibe andererseits,
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel einer solchen Einrichtung an Hand der anliegenden Zeichnungen näher beschrieben.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel einer solchen Einrichtung an Hand der anliegenden Zeichnungen näher beschrieben.
Die F i g. 1 zeigt einen Vertikalschnitt durch eine Vakuumbedampfungsanlage mit einem erfindungsgemäßen
Wendeplanetengetriebe.
ίο Die Fi g. 2a und 2b, die einen Schnitt nach der Linie
11-11 der F i g. 1 darstellen, zeigen den bei dieser Anlage
vorgesehenen Sperrklinkenmechanismus in den beiden Arbeitsstellungen.
Im Ausführungsbeispiel ist die Beschichtungskammer
is 21 nur schematisch dargestellt; sie weist oben einen
Flansch 22 für einen Deckel 23 auf, der das gesamte Planetenwendegetriebe trägt Die Beschichtung der von
diesem getragenen Substrate erfolgt beispielsweise durch Vakuumaufdampfen, wozu die schematisch
angedeutete Dampfquelle 24 dient. Es kann jede Art von Dampfquelle vorgesehen werden, a.-io insbesondere die
üblich elektrisch beheizten Verdampfb,tgstiegel sowie Elektronenstrahlverdampfungseinrichtungen. Die
Dampfquelle 24 kann aber auch eine Einrichtung zur Kathodenzerstäubung sein. Im Rahmen der vorliegenden
Eiiindung bedeutet 24 einfach jedwede Art einer Vorrichtung, von der beim Betrieb unter einem
gewissen Raumwinkel Atome oder Moleküle ausgesandt v/erden, die sich auf den zu beschichtenden
jo Substraten niederschlagen können. Bei den üblichen
Beschichtungsverfahren muß dabei stets Unterdruck angewendet werden, die Kammer 21 also evakuierbar
sein, um den Unterdruck herstellen zu können. Dazu dient der Evakuierungsstutzen 25, an den entsprechende
J5 Pumpen anzuschließen sind. Durch den Deckel 23 ist die
vertikale zentrale Antriebsachse 16 vakuumdicht hindurchgeführt.
Die einzelnen Substratträgerplatten 1 sind mittels Lager 17 am Trägerkopf 2 drehbar gelagert uiid über
Zahnräder 3 und 4 miteinander gekoppelt. Das Zahnrad 4 IFt mit seiner Achse drehbar im Antriebsgehäuse 5 und
im Trägerkopf 2 gelagert. Der Antrieb des Zahnrades 4 erfolgt über die Welle 6 und Kegelräder 7 und 8. Die
Wellen 6 ihrerseits weisen an ihrem and.-ren Ende ebenfalls Zahnräder 18 auf, die bei einer Drehbewegung
der zentralen Antriebswelle 16 und damit der Haltearme 20 an dem Zahnkranz 26 an der Außenseite
des Zylinders 27 abrollen.
Das Antriebsmoment der Welle 6 wird also zunächst
W auf das Zahnrad 4 übertragen. Dieses Antriebsmoment
kann nun benützt werden entweder zum Wenden der Substrathalteplatten oder zum gleichzeitigen Drehen
aller von dem Trägerkopf 2 getragenen Halteplatten, die zusammen eine drehbare Kalotte bilden, um die
Welle 6'. Je nach dem, ob der Trägerkopf 2 gegenüber dem Antriebsgehäuse 5 oder gegenüber dein Zahnrad 4
festgehalten wird, tritt eine Wendebewegung oder eine Drehbewegung ein.
Damit nach jed^m Drehrichtvingswechsel zwangsläufig
zuerst Wenden und dann erst eine Drehbewegung erfolgt, ist die folgende Einrichtung vorgesehen: Der
Trägerkopf 2 ist mit zwei gegenläufig wirkenden Sperrklinken 9' und 9" ausgestattet, die durch Anschlag
an einer am Antriebsgehäuse 5 befestigten Nockenscheibe 10, deren Fc rm aus der F i g. 2 ersichtlich ist, die
Drehbewegung des Trägerkopfes in der einen oder in der anderen Richtung sperren können. Eine am Zahnrad
4 befestigte Kurvenscheibe 11 sorgt dafür, daß immer
nur eine Klinke in Sperrstellung eingerückt ist, während die andere abgehoben, d. h. unwirksam ist. In der
Fig.2a ist die Klinke 9' durch Anschlag an der Nockenscheibe 10 in Sperrstellung, während die Klinke
9" durch die Kurvenscheibe 11 abgehoben ist, sodaß sich die Substrathalteplatten nur in der eingezeichneten
Richtung bewegen können.
Wird nun die Drehrichtung umgekehrt, so ist zunächst wegen der Klinke 9' der Trägerkopf 2 arretiert. Das
Antriebsmoment wirki jedoch auf das Zahnrad 4 und auf die mit ihm verbundene Kurvenscheibe II. die sich
somit relativ zum Trägerkopf entgegen der Pfeilrichtung bewegt. Diese Bewegung bewirkt, wie aus der
Form der Kurvenscheibe ersichtlich, daß zunächst die Klinke 9" in Eingriff kommt und schließlich die Klinke 9' is
abgehoben wird. Dieser Fall ist in F i g. 2b dargestellt. Mit dem Abheben der Klinke 9' ist die Relativbewegung
12 — beendet und die Drehbewegung in der umgekehrten Richtung freigegeben.
Die Relativbewegung zwischen Kurvenscheibe 11
und Zahnrad 4 bewirkt also, wie ersichtlich, ein
gleichzeitiges Wenden aller vom Trägerkopf 2 getragenen Substrathalteplatten. Der Anschlagbolzen 12 und
die an der Achse jeder Substrathalteplatte angebrachte Kippfeder 13 sorgen für eine genaue 180°-Drehung.
An der zentralen Antriebswelle 16 können mehrere Arme 6 mit je einem Antriebsgehäuse 5, Trägerkopf 2
und mehreren zugeordneten Substrathalteplatten 1 vorgesehen werden. Auf der rechten Seite der F i g. 1 ist
eine zweite derartige Einrichtung in Ansicht dargestellt, wobei drei Substrathaltcplatten 1 sichtbar sind. Im
allgemeinen wird man, um die Kapazität der Anlage möglichst groß zu machen, mehr Arme 6 vorsehen. |e
nach der Größe der Vakuumkammer, der Lange der Arme und der Größe der Halteplatten bzw. der damit
gebildeten Kalotten (Planeten) können im allgemeinen mindestens 3 bis 6 Planeten untergebracht werden.
Die Fig. 3 zeigt in vergrößerter Darstellung und in
Δ nejeht von oben ein? ein?c!p? von pinpm Träperknnf 2
getragene Kalotte, die durch fünf Substrathalteplatten gebildet wird. Die Numerierung der Teile entspricht
derjenigen der Fig. 1.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
- Patentanspruch;Rotierender Substratträger für Vakuumbeschichtungsanlagen, mit zentralem Antrieb mittels einer durch die Vakuumkammer hindurchgeführten Welle, wobei mit der zentralen Welle mehrere Haltearme für je einen Trägerkopf gekoppelt sind, und jeder Trägerkopf mehrere an ihm drehbar gelagerte und über ein Zahnradgetriebe miteinander gekoppelte Substrathalteplatten trägt, die eine Wendebewegung um ihre Drehachse ausführen können, wobei das auf die Antriebswelle ausgeübte Antriebsmoment nur dann eine Drehbewegung des Trägerkopfes bewirken kann, wenn die Wendestellung der Substrathalteplatten dem Drehrichtungssinn entspricht, andernfalls zuerst eine Wendebewegung erzwungen wird, so daß jede der beiden Drehrichtungen einer bestimmten Wendestellung zugeordnet ist, gekennzeichnet durch zwei am Trägerkopf (2) gelagerte und gegenläufig wirksame Sperrkiinken (9', 9") im Zusammenwirken mil einer ortsfesten Nockenscheibe (10) einerseits und einer an dem über die Welle (6) und Kegelräder (7, 8) angetriebenen Zahnrad (4) befestigten Kurvenscheibe (11) andererseits.
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