CN110331375B - 一种镀膜室用基板装载装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及薄膜制备技术领域，具体涉及一种镀膜室用基板装载装置，其特征在于：包括公转驱动盘、游星臂、游星盘、行星平板，其中游星盘设置在公转驱动盘的下方且两者之间通过游星臂构成传动连接，行星平板设置在游星盘上且两者之间构成传动连接；公转驱动盘在外接动力的驱动下旋转并通过游星臂带动游星盘绕公转驱动盘的旋转中心公转，并且游星盘在游星臂的带动下同时自转；通过公转驱动盘的顺逆时针旋转方向的切换实现行星平板在游星盘上的翻转。本发明的优点是：能够在真空镀膜室的一次镀膜过程中实现镀膜工件正反面的同时镀膜；采用机械化的限位结构，对镀膜工件的翻转进行精确限位，从而保证镀膜效果；装置结构简单合理，便于自动化控制。

Description

一种镀膜室用基板装载装置
技术领域
本发明涉及薄膜制备技术领域，具体涉及一种镀膜室用基板装载装置。
背景技术
近年，真空镀膜技术在光学仪器设备、智能手机、平板电脑、车载部件等领域的应用日益深入。通过对镀膜工件的表面进行镀膜可使其表面具有一定功能性，例如提供硬度、设计的透光性或防污功能等。然而，对于这些镀膜工件的镀膜往往需要对其主要的两侧表面均进行镀膜，例如手机的正面及反面。可在现有真空镀膜过程中，针对正反两面分别镀膜的情况往往需要将真空镀膜室去真空然后再人工翻转镀膜工件，从而完成正反两面的镀膜。可这种镀膜工艺不止效率极低，而且由于镀膜工件装载精度的问题，导致镀膜工件的镀膜均一性得不到保证。
发明内容
本发明的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种镀膜室用基板装载装置，通过采用游星翻转机构，使镀膜工件正反两面的镀膜在一次镀膜过程中即可实现。
本发明目的实现由以下技术方案完成：
一种镀膜室用基板装载装置，其特征在于：包括公转驱动盘、游星臂、游星盘、行星平板，其中所述游星盘设置在所述公转驱动盘的下方且两者之间通过所述游星臂构成传动连接，所述行星平板设置在所述游星盘上且两者之间构成传动连接；所述公转驱动盘在外接动力的驱动下旋转并通过所述游星臂带动所述游星盘绕所述公转驱动盘的旋转中心公转，并且所述游星盘在所述游星臂的带动下同时自转；通过所述公转驱动盘的顺逆时针旋转方向的切换实现所述行星平板在所述游星盘上的翻转。
所述公转驱动盘通过传动齿轮组与所述游星臂的自转动力轴构成传动连接，以将所述公转驱动盘的旋转动力转化为所述游星盘的自转动力。
所述游星臂包括自转动力轴、翻转基座、磁力联轴器、中心轴以及翻转组件，其中所述自转动力轴与所述自转动力轴通过传动齿轮组构成传动连接，所述自转动力轴和所述中心轴通过所述磁力联轴器同轴连接，所述中心轴通过传动齿轮组与所述翻转组件构成传动连接，所述翻转组件传动连接行星平板并可驱动所述行星平板翻转，所述翻转基座用于安装所述翻转组件。
所述翻转组件包括翻转轴以及限位装置，其中所述翻转轴连接所述行星平板，所述限位装置设置在所述翻转轴的外侧以对所述翻转轴的旋转范围进行限位，从而对所述行星平板的翻转进行限位。
所述限位装置包括具有限位杆的轴套以及限位柱，其中所述轴套套装在所述翻转轴的外围，所述限位柱设置在翻转基座内并位于所述限位杆的两侧；当所述翻转轴在旋转时，通过所述限位杆对所述限位柱的抵触实现限位。
本发明的优点是：能够在真空镀膜室的一次镀膜过程中实现镀膜工件正反面的同时镀膜；采用机械化的限位结构，对镀膜工件的翻转进行精确限位，从而保证镀膜效果；装置结构简单合理，便于自动化控制。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的俯视图；
图3为本发明中游星臂的结构示意图；
图4为本发明中限位装置处于一限位位置的结构示意图；
图5为本发明中限位装置处于另一限位位置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本发明特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
如图1-4所示，图中标记1-17分别表示为：公转驱动盘1、游星臂2、游星盘3、中心固定大齿轮4、传动齿轮组5、固定轴6、自转动力轴7、翻转基座8、磁力联轴器9、大圆锥齿轮10、中心轴11、翻转组件12、翻转轴13、轴套14、限位杆15、限位柱16、行星平板17。
实施例：如图1所示本实施例中的镀膜室用基板装载装置主体包括设置在真空镀膜室中的公转驱动盘1、游星臂2、游星盘3以及行星平板17，其中游星盘3设置在公转驱动盘1的下方且两者之间通过游星臂2构成传动连接；在公转驱动盘1的驱动下，游星臂2带动游星盘3在真空镀膜室内公转，与此同时，游星盘3在游星臂2的带动同时自转。行星平板17设置在游星盘3上且两者之间构成传动连接，通过公转驱动盘1的顺逆时针旋转方向的切换使行星平板17可在游星盘3上翻转，从而使行星平板17上所承载的镀膜工件的两侧表面可分别朝向设置在下方的镀膜源，进而完成镀膜工件两侧表面的镀膜。
如图2所示，公转驱动盘1的上方设置有中心固定大齿轮4和传动齿轮组5，其中中心固定大齿轮4的中心位置处可设置中心旋转轴以驱动公转驱动盘1转动，此时中心固定大齿轮4随着中心旋转轴的旋转而转动；传动齿轮组5与中心固定大齿轮4相啮合，以将旋转驱动传递至设置在公转驱动盘1下方的游星臂2上。
如图3所示，游星臂2包括固定轴6、自转动力轴7、翻转基座8、磁力联轴器9、大圆锥齿轮10、中心轴11、翻转组件12。其中，自转动力轴7包括两段，两段自转动力轴之间构成传动连接，其中前一段用于与游星臂2上方的传动齿轮组5相连接，而后一段用于与游星盘3相连接，在后一段自转动力轴7上设置有固定轴6，该固定轴6用于锁定自转动力轴7的倾斜位置，即拆除该固定轴6可调整行星盘3倾斜位置，在完成行星盘3的位置调整后可通过固定轴6固定。后一段自转动力轴7的下方设置有翻转基座8，翻转基座8用于与游星盘3连接。在翻转基座8内设置有磁力联轴器9、大圆锥齿轮10、中心轴11、翻转组件12，其中，磁力联轴器8将自转动力轴7的后一段和中心轴11相连并构成传动连接，大圆锥齿轮10套接在中心轴11的轴体外围构成传动连接，大圆锥齿轮10与翻转组件12中构成传动配合。翻转组件12用于行星平板17上的翻转。
如图4和图5所示，在翻转组件12包括翻转轴13，翻转轴13与行星平板17的主体相连接，通过翻转轴13的转动，行星平板17可在游星盘3上转动从而实现翻转。在翻转轴13的外围套装有轴套14，轴套14上设置有限位杆15，在翻转基座8内设置有两根限位柱16，两根限位柱16分别位于限位杆15的两侧以与其构成限位装置，该限位装置用于对翻转轴13的旋转范围进行限位，进而对行星平板17的翻转进行限位，确保承载在行星平板17上的镀膜工件的翻转精度，提高镀膜均一性。
具体而言，翻转基座8在自转动力轴7的动力驱动下逆时针旋转，翻转组件虽然有顺时针旋转的趋势，但由于有180°翻转限位装置的存在，使其保持静止状态，即限位杆15抵触在一侧的限位柱16上，使翻转轴13向顺时针旋转的趋势因限位柱16的抵挡所无效，此时大圆锥齿轮10与翻转组件12以及翻转基座8相对与自转动力轴7保持静止。由于翻转装置的限位过载，磁力联轴器9内轴与外壳不再同步，但是它们之间的相互作用力还存在，使其大圆锥齿轮10具有逆时针旋转的趋势。翻转组件12与大圆锥齿轮10运动趋势相反，故非翻转工作状态中， 行星平板17不会发生逆时针运动。
同时，在顺时针动作停止后，中心回转马达反转带动自转动力轴7逆时针旋转， 此时翻转组件便有逆时针旋转的趋势，由于此时没有180°限位装置的限制，此趋势就会变成旋转运动，直到限位杆15抵触到另一侧的限位柱16时停止。反转的过程中，由于限位过载的消失，磁力联轴器9便能正常工作，使大圆锥齿轮10与固定轴6相对静止，成为一个参考系，翻转组件12就可以把大圆锥齿轮10当做运动轨道，完成180°旋转动作，从而完成镀膜工件的翻转，实现其两侧表面的镀膜。
本实施例在具体实施时：游星盘3可沿公转驱动盘1的旋转中心方向均匀布置在其下方，即实现游星盘3的多分割；每个游星盘3均通过独立的一个游星臂2与公转驱动盘1相连接。每个游星盘3上又安装有以游星盘3对中心均匀分布的行星平板17，即实现行星平板17的多分割；每个行星平板17均通过独立的一组翻转组件12与翻转基座8相连接。在实际镀膜工艺中，游星盘3的分割数以及行星平板17的分割数可根据镀膜工件的实际尺寸进行选择。
为了保证行星平板17翻转动作的顺利进行，结构中部件安全扭矩大于磁力联轴器9的额定扭矩且大于翻转组件12的翻转扭矩。
虽然以上实施例已经参照附图对本发明目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本发明作出各种改进和变换故在此不一一赘述。

Claims (2)

1.一种镀膜室用基板装载装置，其特征在于：包括公转驱动盘、游星臂、游星盘、行星平板，其中所述游星盘设置在所述公转驱动盘的下方且两者之间通过所述游星臂构成传动连接，所述行星平板设置在所述游星盘上且两者之间构成传动连接；所述公转驱动盘在外接动力的驱动下旋转并通过所述游星臂带动所述游星盘绕所述公转驱动盘的旋转中心公转，并且所述游星盘在所述游星臂的带动下同时自转；通过所述公转驱动盘的顺逆时针旋转方向的切换实现所述行星平板在所述游星盘上的翻转；
所述公转驱动盘通过传动齿轮组与所述游星臂的自转动力轴构成传动连接，以将所述公转驱动盘的旋转动力转化为所述游星盘的自转动力；
所述游星臂包括自转动力轴、翻转基座、磁力联轴器、中心轴以及翻转组件，其中所述自转动力轴与所述自转动力轴通过传动齿轮组构成传动连接，所述自转动力轴和所述中心轴通过所述磁力联轴器同轴连接，所述中心轴通过传动齿轮组与所述翻转组件构成传动连接，所述翻转组件传动连接行星平板并可驱动所述行星平板翻转，所述翻转基座用于安装所述翻转组件；
所述翻转组件包括翻转轴以及限位装置，其中所述翻转轴连接所述行星平板，所述限位装置设置在所述翻转轴的外侧以对所述翻转轴的旋转范围进行限位，从而对所述行星平板的翻转进行限位。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜室用基板装载装置，其特征在于：所述限位装置包括具有限位杆的轴套以及限位柱，其中所述轴套套装在所述翻转轴的外围，所述限位柱设置在翻转基座内并位于所述限位杆的两侧；当所述翻转轴在旋转时，通过所述限位杆对所述限位柱的抵触实现限位。
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