DE2621523C3 - Verfahren zur Herstellung keramischer Formkörper - Google Patents
Verfahren zur Herstellung keramischer FormkörperInfo
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Description
50
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung keramischer Formkörper aus gesinterten keramischen
Materialien hoher Dichte, insbesondere ein Verfahren zur Herstellung praktisch nichtporöser keramischer
Formkörper durch Sintern keramischer Materialien bei hoher Temperatur und unter gleichmäßigem Druck
unter Verwendung eines als Druckübertragungsmedium wirkenden Pulvers.
Der Bedarf nach praktisch nichtporösen keramischen Formkörpern der gewünschten Gestalt, beispielsweise
nach solchen einer nahezu theoretischen Dichte, wächst immer mehr. Derartige keramische Formkörper werden
;ils hohen Temperaturen ausgesetzte Bauteile der M
verschiedensten Vorrichtungen zum Einsatz gebracht. Aus der japanischen Patentanmeldung 42 812/72 ist ein
Verfahren zur Herstellung solcher keramischer Formkörper bekannt. Bei diesem Verfahren wird ein Pulver
als Druckübertragungsmedium verwendet.
In der ersten Stufe des bekannten Verfahrens wird aus einem hitzebeständigen pulverförmigen Material
ein Vorformling hergestellt. Dieser Vorformling besitzt Mikroporen und ist größer als der letztlich gewünschte
Formkörper. Er ist diesem jedorh in der Gestalt ähnlich. Der Vorformling wird dann in eine bestimmte Art eines
als Druckübertragungsmedium wirkenden Pulvers eingebettet. Das zu diesem Zweck verwendete Pulver ist
nicht reaktionsfähig und bei einer Temperatur, bei der der Formling nach Einwirkenlassen eines Drucks in der
Größenordnung von 70 bis 281 kg/cm2 nahezu seine theoretische Dichte erhält, nicht schmelzbar. Aus
Vereinfachungsgründen wird diese Temperatur im folgenden als »Verdichtungstemperatur« bezeichnet
Aus Bornitrid läßt sich beispielsweise ein zu diesem Zweck geeignetes Pulver gewinnen.
Auf das druckübertragende Pulver wird in einachsiger Richtung bei einer Temperatur, die beträchtlich
unterhalb der Verdichtungstemperatur liegt, ein Druck ausgeübt. Dann wird die Temperatur nach und nach bis
zur Verdichtungstemperatur erhöht. Zusammen mit der schrittweisen Temperaturerhöhung wird auch der
Druck schrittweise erhöht und isostatisch auf den Vorformling übertragen, wobei dieser gesintert wird.
Auf diese Weise erhält man nichtporöse und hochverdichtete Formkörper selbst komplizierter Gestalt. Aus
der genannten japanischen Patentanmeldung sind beispielsweise Vorformlinge aus Siüziumnitridpulver in
Mischung mit einem Zuschlag, wie pulverförmiges Magnesium- oder Aluminiumoxid, bekannt. Diese
Formlinge besitzen eine Porosität von 30 bis 60%. Aus Metallpulver gefertigte Formlinge besitzen eine Porosität
von 10 bis 25%.
Nachteilig an dem bekannten Verfahren ist jedoch, daß Kantenteile und vorspringende Teile des Vorformlings
bei der Drucksinterung deformiert werden, so daß der fertige gesinterte Formling eine ungenaue Gestalt
oder Form besitzt. Diese Schwierigkeit ist darauf zurückzuführen, daß der über das Pulver auf die Kanten
und vorspringende Teile des Vorformlings übertragene Druck unvermeidlich geringer ist als der auf die
restlichen Teile des Vorformlings ausgeübte Druck.
Der Erfindung lag nun die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung hochverdichteter keramischer
Formkörper zu schaffen, bei dessen Durchführung sich die im Rahmen der mit einem Druckübertragungspulver
arbeitenden bekannten Verfahren unvermeidlichen Kanten- und Vorsprungsdeformationen der
fertigen Formkörper vermeiden lassen.
Gegenstand der Erfindung ist somit ein Verfahren zur Herstellung keramischer Formkörper, deren Dichte
ihrer theoretischen Dichte praktisch gleich ist, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß man aus einem
pulverförmigen keramischen Material einen hochporösen Vorformling bildet, den erhaltenen Vorformling zur
Bildung eines vorgesinterten Formlings einer Porosität unter 30% erhitzt, den vorgesinterten Formling in ein
Druckübertragungspulver einbettet und auf das Druckübertragungspulver bei Sinterungstemperatur zum
gleichmäßigen Komprimieren des vorgesinterten Formlings und zur Entfernung der in dem Formling
enthaltenen Poren einen Druck ausübt.
Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß sich keramischen Formkörpern ungeachtet ihrer jeweiligen
äußeren Gestalt (die auch kompliziert sein kann) eine genaue Form ohne deformierte Kanten und Vorsprünge
verleihen läßt, wenn man einen Vorformling hoher Porosität zur Herstellung eines vorgesinterten Formlings
relativ niedriger Porosität erhitzt und dann den vorgesinterten Formling unter Verwendung eines
Druckübertragungspulvers bei Sinterungstemperatur unter gleichmäßigem Druck sintert.
In der Tat wird auf dem Gebiet der Pulvermetallurgie vor dem Hauptbrennen manchmal vorgebrannt. Das
Vorbrennen dient jedoch hauptsächlich einer Verbesserung der Be- bzw. Verarbeitbarkeit bzw. der Arbeitsbedingungen.
Es bereitet nämlich Schwierigkeiten, einen nicht vorgebrannten Vorformling zu handhaben oder zu
bearbeiten. Anders als beim Vorbrennen wird bei dem erfindungsgemäß durchgeführten Vorsintern ein Vorformling
zur Herstellung eines vorgesinterten Formlings erniedrigter Porosität erhitzt.
Beispiele für erfindungsgemäß verwendbare keramische Materialien sind Carbinde, Oxide und Nitride von
W, Zr, Si, Al, Ti, Ta, Nb, B, V, Hf, Mo und/oder Cr. Die
betreffenden keramischen Materialien können so lange mit Zuschlagstoffen vermischt werden, solange deren
Menge nicht den erfindungsgemäß angestrebten Erfolg beeinträchtigt. So bereitet es beispielsweise keinerlei
Schwierigkeiten, einem aus Siliziumnitrid bestehenden keramischen Material weniger als 30 Gew.-% Yttriumverbindungen
oder Verbindungen der Lanthanidenreihe (U, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yd,
Lu) zuzumischen. Ferner kann das betreffende keramische Material auch mit Spuren Fe, Ca, Mg oder deren
Verbindungen, die im Rohmaterial oder in der umgebenden Atmosphäre enthalten sein können,
gemischt werden.
Erfindungsgemäß wird zunächst aus einem Pulver des betreffenden keramischen Materials ein hochporöser
Vorformling der gewünschten Gestalt geformt. Zu diesem Zweck kann man durch Zugabe von Wasser
oder eines Alkohols zu dem pulverförmigen keramischen Material eine Paste oder Aufschlämmung bilden
und diese dann zu einem Vorformling vergießen. Vorzugsweise werden die Vorformlinge jedoch durch
plastische Formvorgänge, insbesondere durch Spritzen, hergestellt, wobei organische Bindemittel, wie Polyvinylalkohol
oder Polypropylen, mitverwendet werden. Bei plastischen Formvorgängen erhält man Vorformlinge
gleichmäßiger Dichte und gleichmäßiger Mikroporenvertdlung.
Dies führt dazu, daß man beim folgenden Vorsintern eine gleichmäßigere Kontraktion erreicht,
was wiederum die Formgenauigkeit des letztlich erhaltenen porösen keramischen Formkörpers erhöht.
Unter »hochporös« oder »hohe Porosität« ist zu verstehen, daß die Porosität des Vorformlings im
Vergleich zur Porosität des vorgesinterten Formlings hoch ist. In der Regel beträgt die Porosität des in der
geschilderten Weise hergestellten Vorformlings 30 bis 70, zweckmäßigerweise 40 bis 50%.
Dann wird der erhaltene Vorformling unter Erhitzen einer Vorsinterung unterworfen, um seine Porosität auf
unter 30% zu erniedrigen. Wenn die Porosität noch über 30% liegt, läßt sich die Deformation des Endprodukts
nicht ausreichend vermeiden. )e nach dem verwendeten keramischen Material können die Vorsinterungsbedingungen,
z. B. die Temperatur, Atmosphäre, Erhitzungsdauer und dergleichen, variiert werden. Es dürfte dem
Fachmann unter Beachtung einer Porositätserniedrigung des vorgesinterten Formlings auf unter 30% keine
Schwierigkeilen bereiten, die jeweils geeignetsten Bedingungen zu bestimmen. In der Regel reicht ein
Erhitzen auf eine Temperatur von 1600° bis 1900°C für eine gewisse Zeit lang aus. Beispielsweise wird ein
Vorformling aus Siliziumnitrid in nichtoxidierender Atmosphäre 10 bis 300 min lang auf eine Temperatur
von 1600° bis 18500C erhitzt Wenn der Vorformling aus
Siliziumcarbid besteht, sollte 10 bis 300 min unter nichtoxidierender Atmosphäre auf eine Temperatur von
1700° bi« 19000C erhitzt werden. Es dürfte keiner
detaillierten Erwähnung bedürfen, daß die optimale Erhitzungsdauer von der Größe des Vorformlings
abhängt. Der in dieser Stufe erhaltene vorgesinterte Formling besitzt in der Regel eine Pososität von 20 bis
29%.
Schließlich wird der erhaltene vorgesinterte Formling
in ein Druckübertragungspulver eingebettet, worauf auf das Pulver unter Sintertemperatur ein gegebener Druck
einwirken gelassen wird. Unter »Sintertemperatur« ist diejenige Temperatur zu verstehen, bei der der
vorgesinterte Formling so weit gesintert wird, daß er bei Einwirkung eines gegebenen Drucks eine seiner
theoretischen Dichte oraktisch äquivalente Dichte erhält. Der auf das Pulver ausgeübte Druck gelangt
gleichmäßig zu dem vorgesinterten Formling und komprimiert diesen, wobei die darin enthaltenen Poren
unter endgültiger Sinterung des Formlings entfernt werden. Hierbei erhält man einen keramischen Formkörper
genauer Gestalt oder Form einer praktisch theoretischen Dichte und hoher mechanischer Festigkeit.
Insbesondere besitzt der erhaltene keramische Formkörper eine Dichte entsprechend 95 bis 100% der
theoretischen Dichte, in der Regel über 99% der theoretischen Dichte.
Die Bedingungen für die abschließende Sinterung hängen ebenfalls von den jeweiligen keramischen
Materialien ab. Auch hier dürfte es dem Fachmann keine Schwierigkeiten bereiten, die jeweils optimalen
Bedingungen zu ermitteln. So wird beispielsweise ein vorgesinterter Formling aus Siliziumnitrid unter nichtoxidierender
Atmosphäre bei einer Temperatur von 1700° bis 18500C einem Druck von 250 bis 750 kg/cm2
ausgesetzt. Bei einem vorgesinterten Formling aus Siliziumcarbid erfolgt die endgültige Sinterung unter
nichtoxidierender Atmosphäre bei einem Druck von 250 bis 700 kg/cm2 und bei einer Temperatur von 1800° bis
2000° C.
Das druckübertragende Pulver sollte unter den bei der endgültigen Sinterung herrschenden Bedingungen
nicht reaktionsfähig und nicht schmelzbar sein. Zu diesem Zweck geeignete Substanzen sind beispielsweise
Bornitrid (BN), Siliziumcarbid (SiC), Kohlenstoff (C),
so Aluminiumnitrid (AlN) und dergleichen. Der Fachmann vermag ohne weiteres die für einen speziellen Fill
optimale Substanz auszuwählen.
Wie bereits ausgeführt, wird im Rahmen des Verfahrens gemäß der Erfindung eine Vorsinterung
durchgeführt, die es ermöglicht, daß der letztlich als Endprodukt erhaltene keramische Formkörper eine
nahezu theoretische Dichte aufweist und nicht deformiert ist. Das Verfahren gemäß der Erfindung eignet
sich besonders gut zur Herstellung keramischer
bo Formkörper komplizierter Gestalt. Es sei darauf hingewiesen, daß die nach dem Verfahren gemäß der
Erfindung hergestellten keramischen Formkörper glatte Oberflächen aufweisen. Somit lassen sich also nach
dem Verfahren gemäß der Erfindung insbesondere Formkörper komplizierter Gestalt, z. B. Turbinenflügel,
herstellen.
Ein weiterer Vorteil des Verfahrens gemäß der Erfindung besteht darin, daß man durch geeignete Wahl
des keramischen Materials dein fertigen keramischen Formkörper verbesserte physikalische oder chemische
Eigenschaften, z. B. mechanische Festigkeit und Antioxidationseigenschaften.
verleihen kann. Nach einem bekannten Verfahren wird ein beispeilsweise Yttriumoxid
enthaltender gesinterter Formling aus Siliziumnitrid durch einfaches Heißpressen hergestellt. Das
Heißpressen eignet sich sicherlich zur Herstellung hochverdichteter gesinterter Formlinge, der erhaltene
gesinterte Formling enthält jedoch einen großen Anteil an nichtkristalliner Base; was zu verschlechterten
mechanischen Festigkeitseigenschaften unter hohen Temperaturen führt. Die erfindungsgemäß herstellbaren
keramischen Formkörper verlieren jedoch bei hohen Temperaturen ihre mechanische Festigkeit nicht.
Darüber hinaus besitzt ein erfindungsgemäß hergestellter keramischer Formkörper eine verbesserte Oxidationsstabilität.
Diese Vorteile erreicht man in der Regel, wenn das erfindungsgemäß verwendete Ausgangsmaterial
0,05 bis 30, vorzugsweise 0,1 bis 10 Gew.-°/o mindestens einer Verbindung, bestehend aus den
Oxiden von Yttrium oder Elementen der Lanthanreihe oder aus Verbindungen, die beim Erhitzen in solche
Oxide übergehen, und zum Rest Siliziumnitrit enthält. Dem Roh- oder Ausgangsmaterial kann (können) auch
noch 20 Gew.-% oder weniger, vorzugsweise 0,5 bis 10 Gew.-%, Aluminiumoxid zugesetzt werden.
Die geschilderten Vorteile sind offensichtlich darauf zurückzuführen, daß beim Erhitzen und Zusammenziehen
des Vorformlings im Formling auch eine Kristallisation der nichtkristallinen Phase stattfindet, was zu einer
Eigenschaftsverbesserung des Formlings führt. Die in dem Formling gewachsenen Kristalle stammen von
Verbindungen in Form von .«Siliziumnitrid-Oxiden von
Yttrium und/oder Elementen der Lanthanreihe«. Die Kristallisation der nichtkristallinen Phase wird durch die
Anwesenheit von Aluminiumnitrid begünstigt. Zu ίο diesem Zweck kann man Aluminiumnitrid mit dem
Vorformling in Berührung gelangen lassen oder nahe dem Vorformling, jedoch entfernt davon bereitstellen.
Die folgenden Beispiele sollen das Verfahren gemäß der Erfindung näher veranschaulichen.
Pulverförmige keramische Materialien der in der folgenden Tabelle I angegebenen Art wurden jeweils zu
50 χ 50 χ 20 mm großen rechteckigen Parallelepipeden ausgeformt. Diese wurden dann erhitzt, wobei 9
vorgesinterte Formlinge bzw. vorgesinterte Vergleichsformlinge erhalten wurden. Die erhaltenen Formlinge
und Vergleichsformlinge wurden in als Druckübertragungsmedium
dienendes Bornitridpulver eingebettet und unter Hitze- und Druckeinwirkung zu gesinterten
keramischen Formkörpern gesintert. Die folgende Tabelle I enthält Angaben über die in den verschiedensten
Verfahrensstufen eingehaltenen Bedingungen.
Tabelle I | Keramisches | /0) | Porosität | Bedingungen bei | Dauer | Porosität | Bedingungen bei der | Sinterung | Dauer | Porosität | 1 | Kanten |
Prüfling | Material | 93 | des Vor | der Vorsinterung | des vor | endgültigen | des erhal | 1 | oder | |||
Nr. | 5 | formlings | (min) | gesinter | Druck | (min) | tenen | Eckende | ||||
2 | Tempe | 150 | ten Form | Tempe | 180 | Formlings | 1 | formation | ||||
ratur | lings | ratur | (kg/cm*) | des | ||||||||
(Gew.-», | (o/o) | Γ C) | (%) | CQ | 500 | (%) | 0,5 | ProduKts | ||||
S13N4 | 40 | 1780 | 120 | 10 | 1800 | 180 | 0,4 | vernach | ||||
1 | Y2O3 | 1 | lässigbar | |||||||||
AI2O3 | 120 | 500 | 180 | 1 | ||||||||
desgl. | 40 | 1750 | 120 | 15 | 1800 | 180 | 0,5 | vernach | ||||
2 | 500 | 0,5 | lässigbar | |||||||||
desgl. | 95 | 40 | 1650 | 120 | 25 | 1800 | 600 | 180 | gering | |||
3 | desgl. | 5 | 40 | 1600 | 30 | 1800 | etwas | |||||
4 (Kon | 150 | 700 | 150 | größer | ||||||||
trolle) | desgl. | 40 | 1550 | 35 | 1800 | groß | ||||||
5 (Kon | 150 | 500 | 120 | |||||||||
trolle) | SiC | 95 | 50 | 1850 | 180 | 18 | 1850 | 150 | vernach | |||
6 | AI2O3 | 5 | 600 | lässigbar | ||||||||
desgl. | 50 | 1750 | 90 | 28 | 1900 | 700 | 90 | gering | ||||
7 | desgl. | 50 | 1650 | 38 | 1900 | groß | ||||||
8 (Kon | 500 | |||||||||||
trolle) | S13N4 | 50 | 1600 | 16 | 1850 | gering | ||||||
9 | MgO | |||||||||||
Pulverförmige Mischungen aus Siliziumnitrid und Yttriumoxid oder Oxiden von Elementen der Lanthanreihe wurden mit, bezogen auf das Gewicht der
PuIVermischung, 26% Polypropylenplastifizierungsmittel
verknetet. Die jeweilige Knetmasse wurde durch Spritzguß zu einem Turbinenflügel ausgeformt. Der
jeweilige Vorformling wurde in eine mil Aluminiumnitridpulver gefüllte Kohlenstofform eingebettet und
unter Stickstoffatmosphäre 30 bis 150 min lang auf eine
Temperatur von 1650° bis 1800°C erhitzt. Der jeweils erhaltene vorgesinterte Formling wurde in als Druckübertragungsmedium
dienendes Bornitrid eingebettet und 150 min lang unter einem gleichmäßigen Druck von
600 kg/cm2 bei einer Temperatur von 1700rC gesintert.
Auf diese Weise wurden 9 Turbinenflügel bzw. Vergleichsturbinenflügel erhalten. Die folgende Tabelle
11 enthält Angaben über die bei den einzelnen Verfahrensstufen eingehaltenen Bedingungen.
Tabelle I | I | Ausgangs- | .-% | Porosität | Porosität | Deformation an | Oberfläehen· |
Prüfling | matcrial | des voi-ge- | dos gebil | vorstehenden Teilen | rauheit des | ||
Nr. | in Ciew | simenen | deten Tur- | des erhaltenen | erhaltenen | ||
93 | l'onnlings | binenlliigels | Tiirbinenflügels | Ί iiibinenflügols | |||
5 | in % | 111 "/„ | (K,,,,,) | ||||
SilN4 | 2 | 10 | 0,5 | vernachlässigbar | }-5μ | ||
10 | Y2O1 | ||||||
AI:Oj | |||||||
desgl. | 93 | 20 | 0,5 | vernachlässigbar | 4-6μ | ||
11 | desgl. | 5 | 25 | 1 | gering | 5-7μ | |
12 | S13N4 | 2 | 30 | 1 | etwas größer | 9-12μ | |
13 | Y2O3 | ||||||
Vergl. | AI2O3 | ||||||
Prüfl. | desgi. | 35 | I | groß | 15-20 μ | ||
14 | 95 | ||||||
Vergl. | J 90 |
||||||
Prüfl. | S13N4 | 10 | 25 | I | gering | 7-Ι0μ | |
15 | Si3N4 | 95 | 25 | I | gering | 7-Ι0μ | |
16 | La2U3 | 5 | |||||
S13N4 | 93 2 |
25 | 1 | gering | 8-10μ | ||
17 | ΡΓ2Ο3 | 5 95 |
|||||
Ce2NO3 | 5 | 25 | 1 | gering | 7-Ι0μ | ||
18 | SisNi | 25 | I | gering | 5-7 μ | ||
19 | Y2O3 | ||||||
Die Biegefestigkeit der Prüflinge 10 bis 12 und 15 bis
19 bei einer Temperatur von 1200C betrug 90 kg/mm-' oder mehr. Diese Prüflinge wurden auch Antioxidationstests
unterworfen, indem sie 500 h lang in einer Atmosphäre einer Temperatur von 900"C b/w. JOOh
lang in einer Atmosphäre einer Temperatur von 1200 C liegengelassen wurden. Die Oxidationserhöhung betrug
im erster<.n Falle 0,08 bis 0,09 mg/cm-', in letzterem Falle
0,6 bis 0.7 mg/cm-', was die gute Oxidationsbeständigkeit
der erfindungsgcmiiß hergestellten keramischen Formkörper
belegt.
Wegen ihrer rauhen Oberflächen besaßen die Prüflinge 13 und 14 eine geringe Biegefestigkeit und
schlechtere Antioxidationseigenschaften. Insbesondere
beirugen die Biegefestigkeitswerte der Prüflinge 1J und
14 bei einer Temperatur von 1200"C nur 70 kg/mm-'
bzw. 50 kg/mm-'. Nach 300stündigem Liegenlassen bei einer Temperatur von 1200' C waren die Prüflinge I i
und 14 in einer Menge von 0.8 mg/cm' oder mehr
r> oxidiert.
Die Prüflinge 10 bis 19 wurden durch Rönlgenslrahlenbeugungsanal\se
auf ihren Krislallisationsgrad hin untersucht. Hierbei zeigte es sich, daß das im
RöntgcnMrahlenbeugungsbild in Form einer kristallinen
Phase nachgewiesene Verhältnis Y oder FJcmenl der l.iinthanreihe /ur Gesamtmenge an diesen in das
keramische Material eingebetteten !{lementen in jedem I alle über W)1Vo lag. Dieser Versuch zeigt, daß ein
erfindungsgemäß hergestellter gesinterter Formling
4) einem nicht erlindiingsgeinäß hergestellten gesinterten
F'ormling in der mechanischen Festigkeit und Oxidationsbeständigkeit
trot/ der in beiden I'ällen auftreten den Kristallisation überlegen ist.
Claims (7)
1. Verfahren zur Herstellung keramischer Formkörper mit praktisch theoretischer Dichte durch
Verarbeiten eines pulverförmiger! keramischen Materials zu einem Formling, Einbetten dieses
Formlings in ein Druckübertragungspulver und Komprimieren dieses eingebetteten Formlings bei
erhöhter Temperatur, wobei das Druckübertragungspulver unter den Verfahrensbedingungen nicht
reaktionsfähig und nicht schmelzbar ist, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Vorformling einer Porosität von 30 bis 70% und gleichmäßiger
Porenverteilung durch Spritzgießen hergestellt und dieser Vorformling erhitzt wird, um einen vorgesinterten
Formling einer Porosität unter 30% zu erhalten, der in einem Druckübertragungspulver bei
Sintertemperatur unter Druck gesetzt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als keramisches Material im wesentlichen
Siliciumnitrid und als Druckübertragungspulver Bornitrid verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß man von einem Vorformling einer
Porosität von 40 bis 50% ausgeht.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß man den Vorformling durch einen
plastischen Formvorgang herstellt.
5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß man den Vorformling zur Herstellung
des vorgesinterten Formlings auf eine Temperatur von 1600° bis 1900° C erhitzt.
6. Verfahren nach Anspruch t, dadurch gekennzeichnet, daß man von einem keramischen Material J5
ausgeht, welches 0,05 bis 30 Gew.-% mindestens einer Verbindung, bestehend aus Yttriumoxid oder
einem Oxid eines Elements der Lanthanreihe oder einer durch Erhitzen in solche Oxide überführbaren
Verbindung, enthält und zum Rest aus Siliziumnitrid ίο besteht, und den erhaltenen Vorformling in Gegenwart
von Aluminiumnitrid zur Bildung von Kristallen von Siliziumnitrid-Yttriumoxid und/oder Oxid
eines Elements der Lanthanreihe erhitzt.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man von einem keramischen Material
ausgeht, das zusätzlich bis zu 20 Gew.-% Aluminiumoxid enthält.
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GB (1) | GB1500108A (de) |
Families Citing this family (44)
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