DE2945513C2 - Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus Siliziumkeramik durch Heißisostatpressen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus Siliziumkeramik durch Heißisostatpressen

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Description

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Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus Siliziumkeramik durch Heißisostatpressen von porösen Vorformlingen aus Siliziumnitrid oder Siliziumkarbid, bei dem der Formkörper beim Pressen mittels einer Trennschicht gasdicht gegen ein Druckübertragungsmedium gekapselt ist und bei dem der Vorformling innerhalb der evakuierten Kapsel in ein Pulver eingebettet ist so
Ein solches Verfahren ist aus der DE-OS 26 01 294 bekannt, wobei dort der Vorformling innerhalb einer evakuierten Glaskapsel in Quarzpulver eingebettet ist. Bei den Prozeßbedingungen des Heißisostatpressens, wie sie in der genannten Druckschrift aufgezeigt sind,« versintert das Quarzpulver im Verlauf des Heißisostatpressens. Die um den Formkörper herum entstehende Hülle ist dadurch nach Beendigung des Heißisostatpressens nur schwer zu entfernen und mit der Gefahr der Beschädigung der Oberfläche des Formkörpers verbunden. Darüber hinaus ist eine zumindest physikalische Reaktion zwischen der Quarzsintermasse und dem Formkörper zu besorgen.
Aus der DE-OS 28 12 019 ist ein Verfahren zur Herstellung von Siliziumnitridformkörpern mittels des pseudoisostatischen Heißpressens bekannt bei dem der Vorformling in einem Pulver eingebettet in einer Stempelpresse verdichtet wird. Bei diesem Verfahren läßt sich trotz der Verwendung des Pulvers als Druckübertragungsmedium eine wirklich isostatische Verdichtung nicht erreichen. Darüber hinaus ist es nicht möglich, den Preßling evakuiert zu verdichten. Schließlich ist die Realisierung sehr hoher Temperaturen bei gleichzeitig hohen Drücken nicht möglich.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein gattungsgemäßes Verfahren anzugeben, bei dem die Kapsel nach dem Heißisostatpressen ohne Schwierigkeit und ohne Beeinträchtigung der Oberfläche des fertig gepreßten Formkörpers entfernbar ist. Außerdem soll jegliche chemische Reaktion zwischen dem Vorformling und dem druckübertragenden Pulver ausgeschlossen sein.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Kapsel aus einem solchen Material besteht, welches während des Heißisostatpressens als gasdichte Wandung erhalten bleibt und das Pulver ein zumindest bei Prozeßtemperatur nicht sinterfähiges Pulver ist.
Durch die Verwendung eines nicht sinterfähigen Pulvers, das sich in einem Behälter befindet, kann sowohl die erforderliche Gasdichtheit der Kapsel erreicht werden als auch eine innige Verbindung zwischen dem Formkörper und dem als druckübertragendes Medium dienenden Pulver sicher vermieden werden. Dadurch kann dieses Pulver nach dem HIP durch einfaches Abklopfen vollständig und ohne Beeinträchtigung der Oberfläche des Keramikformkörpers entfernt werden.
Ein weiterer Vorteil gegenüber dem Stand der Technik ist darin zu sehen, daß durch Erhaltung des Pulvers die Gefahr der Auswirkung unterschiedlicher Wärmedehnung zwischen dem Bettungsmaterial einerseits und dem Material des Formkörpers andererseits ausgeschlossen ist.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens soll das Pulver aus dem gleichen Material wie der Formkörper, jedoch ohne Sinterhilfe bestehen. Dadurch wird mit absoluter Sicherheit jegliche chemische Reaktion zwischen dem Umhüllungsmaterial und dem Keramikformkörper vermieden. Auch die Verwendung von Graphitpulver als druckübertragendem Medium erfüllt die gestellten Aufgaben in vorzüglicher Weise.
Es ist lediglich darauf zu achten, daß das verwendete Pulver ausreichende Rieselfähigkeit aufweist, um den Preßdruck beim HIP optimal zu übertragen, und daß es ausreichende Korngröße aufweist, damit die nicht sinterfähigen Körner nicht unzulässig in die Oberfläche des Vorformlings eindringen können. Vorzugsweise umfaßt das Pulver verschiedene kristallographische Modifikationen mit Körnungen im Bereich von 2 μιτι bis 50 μιη.
Da das Pulver, in dem der Vorformling eingebe) tet ist, in einer Kapsel gefaßt ist, soll der Kapselwerkstoff bei den Prozeßbedingungen mit dem Pulver verträglich sein. Darüber hinaus sind die Kapselmaterialien so zu wählen, daß ein FOgen zum gasdichten Verschließen der Kapsel ohne Schwierigkeiten möglich ist. Schließlich ist
es notwendig, daß die Viskosität des Kapselmaterials bei den Prozeßbedingungen innerhalb vorbestimmter Grenzen liegt. Als besonders vorteilhaft und den vorstehenden Anforderungen genügend haben sich Kapseln erwiesen, wie sie in den Patentansprüchen 8 bis "> 10 beschrieben sind.
Nachfolgend wird eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens beschrieben:
Ein Behälter aus Quarzglas mit einer Wandstärke von etwa 1 mm wird mit reinem SijlsU-Pulver der 0-Phase ι» mit unterschiedlicher Körnung im Bereich von 2 bis 50 μπι gefüllt In diesem Pulver ist ein Vorformling aus reaktionsgesintertem S13N4 und MgO aJs Sinterhilfe eingebettet Der Behälter wird evakuiert und durch Verschmelzen gasdicht verschlossen. Danach wird der Behälter in einer Heißisostatpresse einem Druck von etwa 3000 bar und einer Temperatur von 1400 bis 17000C ausgesetzt wobei die gewünschte Verdichtung des Vorformlings erfolgt Nach Abschluß des Preßvorgangs und Abkühlung wird der Glasbehälter zerschlagen und das Siliziumnitridpulver vom fertig gepreßten Formkörper abgeklopft

Claims (10)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus Siliziumkeramik durch Heißisostatpressen von porösen Vorformlingen aus Siliziumnitrid oder Siliziumkarbid, bei dem der Formkörper beim Pressen mittels einer Trennschicht gasdicht gegen ein Druckübertragungsmedium gekapselt ist und bei dem der Vorformling innerhalb der evakuierten Kapsel in ein Pulver eingebettet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapsel aus einem solchen Material besteht, welches während des Heißisostatpressens als gasdichte Wandung erhalten bleibt und das Pulver ein zumindest bei Prozeßtemperatur nicht sinterfähiges Pulver ist
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Pulver aus dem gleichen Material wie der Vorformling, jedoch ohne Sinterhilfe besteht.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet daß bei einem Vorformling aus Siliziumnitrid Si3N4 und Sinterhilfe wie z. B. MgO reines Pulver aus S13N4, vorzugsweise der /J-Phase verwendet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem Vorformling aus drucklos gesintertem λ- oder ^-Siliziumkarbid (SiC) reines Pulver aus SiC vorzugsweise der α-Phase verwendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Pulver Graphitpulver ist
6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Körnung des Pulvers im Bereich von 2 μπι bis 50 μπι liegt.
7. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Pulver verschiedene kristallographische Modifikationen mit Körnungen im Bereich von 2 μπι bis 50 μίτι umfaßt.
8. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet daß als Kapselmaterial Mo-, Zr-, V-, «o B-, Cr-, Nb-,Ta- oderTi-Blech verwendet wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandstärke der Biechkapsel zwischen 0,1 bis 1 mm liegt.
10. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 7,« dadurch gekennzeichnet, daß als Kapsel eine solche aus Quarzglas mit einer Wandstärke von 0,2 bis 2 mm verwendet wird.
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SE8006738A SE447572B (sv) 1979-11-10 1980-09-26 Forfarande for framstellning av en formkropp av kiselkeramik
GB8032429A GB2062011B (en) 1979-11-10 1980-10-08 Hot isostatic pressing
US06/199,152 US4692288A (en) 1979-11-10 1980-10-21 Method of hot isostatic pressing of a porous silicon ceramic compact
IT25516/80A IT1141086B (it) 1979-11-10 1980-10-23 Procedimento per la pressatura isostatica calda di corpi sagomati porosi in ceramica al silicio
JP55149237A JPS5761511A (en) 1979-11-10 1980-10-23 Method of compressing porous shape of silicon ceramic under static pressure through heating, etc.
DD80225053A DD154200A5 (de) 1979-11-10 1980-11-07 Verfahren zum heissisostatpressen von poroesen formkoerpern aus siliziumkeramik

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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3040771A1 (de) * 1980-10-29 1982-05-27 Elektroschmelzwerk Kempten GmbH, 8000 München Verfahren zur herstellung von praktisch porenfreien, polykristallinen formkoerpern duch isostatisches heisspressen in glashuellen
DE3129633A1 (de) * 1981-07-28 1983-02-17 Elektroschmelzwerk Kempten GmbH, 8000 München "praktisch porenfreie formkoerper aus polykristallinem siliciumcarbid, die durch isostatisches heisspressen hergestellt worden sind"
SE460461B (sv) * 1983-02-23 1989-10-16 Metal Alloys Inc Foerfarande foer varm isostatisk pressning av en metallisk eller keramisk kropp i en baedd av tryckoeverfoerande partiklar
DE3323509C2 (de) * 1983-06-30 1985-05-02 MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München Verfahren zur Herstellung von Keramikformteilen
US4539175A (en) * 1983-09-26 1985-09-03 Metal Alloys Inc. Method of object consolidation employing graphite particulate
US4552710A (en) * 1984-01-03 1985-11-12 International Business Machines Corporation Process of hot isostatic pressing of ferrite material
DE3403917C1 (de) * 1984-02-04 1985-11-28 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Verfahren zum Verdichten poroeser keramischer Bauteile fuer das heissisostatische Pressen
US4961767A (en) * 1987-05-20 1990-10-09 Corning Incorporated Method for producing ultra-high purity, optical quality, glass articles
JPH07108815B2 (ja) * 1988-02-22 1995-11-22 日本特殊陶業株式会社 窒化珪素質焼結体の製造方法
US4987105A (en) * 1988-11-21 1991-01-22 Ford Aerospace Corporation Carbon/boron nitride release coating
GB8926455D0 (en) * 1989-11-23 1990-05-30 T & N Technology Ltd Manufacture of shaped articles from sinterable powder
US5336520A (en) * 1990-06-18 1994-08-09 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy High density-high purity graphite prepared by hot isostatic pressing in refractory metal containers
US6771019B1 (en) * 1999-05-14 2004-08-03 Ifire Technology, Inc. Electroluminescent laminate with patterned phosphor structure and thick film dielectric with improved dielectric properties
US20020162599A1 (en) * 1999-11-30 2002-11-07 Aubourg Patrick F. Flexible duct insulation having improved flame resistance
US6527014B1 (en) 1999-11-30 2003-03-04 Owens Corning Fiberglas Technology, Inc. Flexible duct insulation having improved flame resistance
JP2003212666A (ja) * 2002-01-28 2003-07-30 Sanyo Electric Co Ltd セラミック積層体の製造装置および製造方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US28301A (en) * 1860-05-15 Im provem ent in seed-planters
US3469976A (en) * 1967-07-31 1969-09-30 Du Pont Isostatic hot pressing of metal-bonded metal carbide bodies
US3562371A (en) * 1968-10-16 1971-02-09 Corning Glass Works High temperature gas isostatic pressing of crystalline bodies having impermeable surfaces
GB1387415A (en) * 1971-07-28 1975-03-19 Lucas Industries Ltd Method of and apparatus for producing a hot pressed component
GB1415522A (en) * 1972-04-06 1975-11-26 Lucas Industries Ltd Method of manufacturing hot pressed cermaic material based on silicon nitride
SE363748B (de) * 1972-06-13 1974-02-04 Asea Ab
FR2216046B1 (de) * 1973-02-02 1977-08-19 Masnou Jacques
DE2349277A1 (de) * 1973-10-01 1975-04-24 Feldmuehle Anlagen Prod Verfahren zur herstellung dichter formkoerper aus siliziumnitrid
US4164527A (en) * 1974-11-01 1979-08-14 Bakul Valentin N Method of making superhard articles
SE394178B (sv) * 1975-02-03 1977-06-13 Asea Ab Forfarande for varmpressning av pulverkroppar
JPS51132207A (en) * 1975-05-14 1976-11-17 Tokyo Shibaura Electric Co Manufacture of high density and high strength sintering articles
US4023966A (en) * 1975-11-06 1977-05-17 United Technologies Corporation Method of hot isostatic compaction
US4112143A (en) * 1977-01-18 1978-09-05 Asea Aktiebolag Method of manufacturing an object of silicon nitride
GB2010913B (en) * 1977-12-23 1982-06-23 Fiat Spa Process for sintering silicon nitride compacts
DE2812019C2 (de) * 1978-03-18 1982-06-03 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe Vorrichtung zum Herstellen eines Vorformlings aus Siliziumnitrid
SE413400B (sv) * 1978-08-29 1980-05-27 Asea Ab Sett att framstella ett foremal av kiselnitrid genom isostatisk pressning av en av kiselnitridpulver forformad kropp med ett gasformigt tryckmedium i ett tryckkerl vid en for sintring av kiselnitriden erforderlig ...

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Publication number Publication date
DD154200A5 (de) 1982-03-03
US4692288A (en) 1987-09-08
GB2062011B (en) 1984-09-12
GB2062011A (en) 1981-05-20
DE2945513A1 (de) 1981-06-04
IT1141086B (it) 1986-10-01
SE8006738L (sv) 1981-05-11
JPS5761511A (en) 1982-04-14
SE447572B (sv) 1986-11-24
JPS641283B2 (de) 1989-01-11
IT8025516A0 (it) 1980-10-23

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