DE2812019A1 - Verfahren zur herstellung von siliziumnitrid-formkoerpern mittels des pseudoisostatischen heisspressens - Google Patents

Verfahren zur herstellung von siliziumnitrid-formkoerpern mittels des pseudoisostatischen heisspressens

Info

Publication number
DE2812019A1
DE2812019A1 DE19782812019 DE2812019A DE2812019A1 DE 2812019 A1 DE2812019 A1 DE 2812019A1 DE 19782812019 DE19782812019 DE 19782812019 DE 2812019 A DE2812019 A DE 2812019A DE 2812019 A1 DE2812019 A1 DE 2812019A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
grinding
green compact
silicon nitride
grinding liquid
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19782812019
Other languages
English (en)
Other versions
DE2812019C2 (de
Inventor
Rudolf Dipl Ing Becker
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Original Assignee
Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH filed Critical Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
Priority to DE2812019A priority Critical patent/DE2812019C2/de
Priority to SE7902215A priority patent/SE7902215L/
Priority to GB7909260A priority patent/GB2019893B/en
Priority to US06/021,975 priority patent/US4264546A/en
Publication of DE2812019A1 publication Critical patent/DE2812019A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2812019C2 publication Critical patent/DE2812019C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/593—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B3/00—Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor
    • B28B3/02—Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor wherein a ram exerts pressure on the material in a moulding space; Ram heads of special form
    • B28B3/025—Hot pressing, e.g. of ceramic materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64—Burning or sintering processes
    • C04B35/645—Pressure sintering
    • C04B35/6455—Hot isostatic pressing

Description

Kernforschungszentrura Karlsruhe GmbH
Karlsruhe, den 16.2.1978 PLA 7808 Ga/wk
Verfahren zur Herstellung von Siliziumnitrid-Formkörpern mittels des pseudoisostatischen Heißpressens
— 1 —
9098 3 8/0528
Beschreibung: ·*
Die Erfindung betrifft ein·' Verfahren zur Herstellung von Siliziumnitrid-Formkörpern mittels des pseudoisostatischen Ileißpressens, wobei als Matrize des Heißpreßofens Kohlenstoff verwendet wird, sowie Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens.
Der keramische Werkstoff Si3N4 wird seit 20 Jahren auf seine Verwendbarkeit als Werkstoff für eine Hochtemperaturverbrennungsgasturbine untersucht. Voraussetzungen für die Verwendbarkeit sind gute Festigkeit und Thermoschockbeständigkeit über einen Temperaturbereich von Raumtemperatur bis über 1300 C.
Zur Herstellung von Si^N.-Formteilen werden zwei grundsätzlich verschiedene Verfahren angewendet, wobei das Nitridieren von porösen Si-Grünlingen (Reaction Ronded Silicon Nitride) ein Produkt ergibt, das in jedem Fall ein poröser Körper von geringerer Festigkeit aber relativ guten HT-Eigenschaften ist, und das Drucksintern von Grünlingen aus <* -Si3N4~Pulver (Hot Pressed Silicon Nitride) ein Produkt bildet - bei einer ausreichenden Menge sinterfördernder Zuschlagsstoffe - von theoretischer Dichte und somit guten Festigkeitswerten. Die HT-Eigenschaften werden durch Sinterhilfsmittel, die nicht ins Matrixgitter eingebaut werden, i.b.MgO, z.T. erheblich verschlechtert. So bildet MgO mit dem an der Oberfläche von Si3N4-Partikeln immer vorhandenen Si0? eine unter Sinterbedingungen flüssige Phase (worauf die sinterfördernde Wirkung beruht), die an den Korngrenzen amorph erstarrt. Diese intergranulare silikathaltige Glasphase ist es, die durch Erweichung bei relativ niedrigen Temperaturen zu einer unerwünschten HT-Plastizität führt.
Andere sinterfördernde Mittel, z.B. Al3O3, v/erden zwar mehr oder weniger vollständig ins Si3N4~Gitter eingebaut, der so entstandene Mischkristall weist jedoch ein deutlich schlechteres Temperaturwechselverhalten auf, was seine Verwendbarkeit im angepeilten Einsatzgebiet zumindest erheblich einschränkt.
Daher würde es naheliegen, ein heißgepreßtes si 3 N4 herzustellen, das zumindest weitgehend frei von sinterfördernden Zuschlägen ist.
909838/0528
Dies ist jedoch mit der konventionellen Preßtechnik in Graphitmatrizen bisher noch nicht gelungen (G.R. Terwilliger, F.F. Lange, "Hot-Pressing Behaviour of Si3N4", J.Am.Cer.Soc. 57 (1974), p. 25 - 29) . Eine Pulververschüttung oder ein Grünling werden in einer Graphitmatrize einachsig oder pseudoisostatisch gepreßt.
Dabei v/erden Temperaturen von 1600 - 185O°C und Preßdrücke von
2
10 - 35 MN/m angewendet. Das Ausgangspulver hat üblicherweise eine Korngröße ^- 10 yura und einen Fremd stoff gehalt von ~? 0,8 %.
Ein anderes Verfahren wird in der OS 25 36 676 beschrieben. Hier gelingt es, legierungsfreie und trotzdem hochdichte Si3N4-Formteile herzustellen. Dieses Verfahren ist jedoch in der Anwendung recht kompliziert und hat sich bisher noch nicht aus dem Labormaßstab heraus entwickeln können.
Die Aufgabe, die der Erfindung gestellt wird, besteht nunmehr darin, ein Verfahren und Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens zu bieten, mit welchem,Formkörper aus hochdichtem, legierungsfreiem heißgepreßtem Siliziumnitrid herstellbar sind, die sowohl eine gute Festigkeit eine hohe Thermoschockbeständigkeit als auch eine geringe HT-Plastizität aufweisen.
Die Lösung dieser Aufgabe ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß das Siliziumnitrid Ausgangsmaterial in Gefäßen mit einer Auskleidung und .MaftlKörpern aus aera gleichen Material auf eine
spezifische Oberfläche höher als 15m pro Gramm in einer die Luft oder Luftfeuchtigkeit vom Ausgangsmaterial fernhaltenden Mahlflüssigkeit gemahlen wird, daß aus dem gemahlenen Material mit Mahlflüssigkeit ein Filterkuchen als Grünling des Formkörpers durch Abführen der Mahlflüssigkeit hergestellt wird, und daß der Grünling in die Matrize des Heißpreßofens unter Zwischenlage eines Druckübertragungsmediums aus Bornitrid eingesetzt wird. . '
Hierbei ist es besonders vorteilhaft, daß die Mahlflüssigkeit eine organische Flüssigkeit, wie Aceton oder Cyclohexan, ist, und daß zur Abführung der Mahlflüssigkeit aus den Grünling Unterdruck benutzt wird und zur Verhinderung von Sedimentation eine Durchwirbelung mit Inertgas vorgenommen wird.
909838/0521
Eine besonders vorteilhafte Vorrichtung zur Durchführung des Mahlvorgangs ist dadurch gekennzeichnet, daß das ilahlgefäß aus einer Metallmatrize besteht, in der die Auskleidung aus Si3N4 eingesetzt ist, und daß die Mahlkörper selbst ebenfalls aus Si-N. bestehen.
Eine besonders günstige Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrensschrittes der Abführung der Mahlflüssigkeit sieht vor, daß der Grünling in einem Druckbehälter über einen Siebboden "mittels Unterdruck entfeuchtet wird, und daß Stickstoff oder ein anderes Inertgas in den Druckbehälter über eine Zuführung in diese Suspension aus Ausgangsmaterial und 21ahlf lüssigkeit gegeben wird und durch Druckaufbau über der Probensuspension der Filtervorgang beschleunigt wird.
Ein besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß mit ihm die technologisch einfach zu handhabende Preßtechnik mit Graphitmatrizen anwendbar ist.
Die Erfindung wird in folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels mittels der Figuren 1 bis 3 näher erläutert, wobei die Figur \ einen Schnitt durch ein Mahlgefäß, die Figur 2 einen Schnitt durch ein Druckgefäß und die Figur 3 einen schematischen überblick über einen Heißpreßofen darstellt.
Da das zur Erzielung guter Preßdichten erforderliche, außerordentlich feinkörnige <nL -Si3N4-PuIvCr nur unter trockenem Stickstoff längere Zeit lagerbar ist (großer Aufwand, da sonst rasche Hydrolysierung bzw. Oxidation durch Luftfeuchtigkeit und Luftsauerstoff eintritt) wird erfindungsgemäß ein relativ grobkörnigeres (leichter lagerbares) Pulver vor dera Verpressen aufgemahlt.
Übliche Mahlgefäße (Kugelmühlen) aus Fe, WC-Co, Al3O3 oder auch Achat (SiO2) verunreinigen das Ausgangspulver z.T. erheblich und verhindern so die Herstellung bester HPSN-Qualitäten oder müssen (Fe r WC-Co) mit erheblichem Aufwand ausgewaschen werden. Durch
IÖS838/052Q
die Anwendung der dazu notwendigen Säuren (HF, HCL, H0SO4) kann jedoch nicht ausgeschlossen werden, daß die Pulveraktivität, die aus der Gitterdeformation (Leerstellenkonzentration) der oberen Atomlagen von Eruchflachen resultiert, weitgehend abgebaut wird. Außerdem müssen die Säuren mit Wasser ausgewaschen werden. Dadurch ist jedoch eine Oxidation (Hydrolyse) der Partikeloberfläche zu SiO2 nicht zu verhindern. Dies ist deswegen nachteilig, v/eil eine Verminderung der Pulveraktivität die Sinterfreudigkeit des Pulvers herabsetzt bzw. das entstandene SiO2 an der Partikeloberfläche ein Bestandteil der die HT-Eigenschaften verschlechternden intergranularen Glasphase im fertigen Produkt ist.
Aus diesem Grunde wird in besonders vorteilhafter Weise erfindungsgemäß das zu verwendende sioN/ in Gefäßen 1 (Fig. 1) aus Aluminium mit Auskleidung 2,4 aus HPSW und mit ebensolchen Mahlkörpern 7 aufgemahlen. Die so durch den Abrieb verursachte Kontamination mit sinterfördernden Zuschlagsstoffen (als Legierungsbestandteil der riahlgefäße 1) kann dann fast beliebig gering gehalten und darüber hinaus äußerst feinfühlig von 0 bis 1 % gesteuert werden (Wahl der Gefäßzusammensetzung). Die Einbringung der sinterfördernden Zuschlagsstoffe selbst erfolgt in sonst kaum zu erreichender Feinheit und Homogenität, v/as sich als äußerst positiv für die Qualität des mit solchermaßen zerkleinerten Pulvern erzeugte HPSN erwiesen hat.
Um eine Oxidation der frischen Bruchflächen während des mehrstündigen MahlVorgangs zu verhindern, wird die Mahlung in einer organischen Flüssigkeit durchgeführt, die frei von Sauerstoff ist bzw. Sauerstoff nur in gebundener Form (Doppelbindung) enthält. Neben anderen Flüssigkeiten hat sich Aceton besonders bewährt, da es auch für den weiteren Prozeß eine Reihe von Vorteilen bietet.
Bei einer Mahldauer von > 20 h v/erden mit den gegebenen Gefäßen 1, 2,4 eine Erhöhung der spezifischen Oberfläche (Bd) von ca 7 m /g auf 15 m /g, was einer mittleren Korngröße von deutlich <1 ^i entspricht, erreicht.
- 6 909838/052·
Da es im Handel keine Mahlgefäße 1 aus HPSN gibt, wird eine Metallmatrize 1 verwendet, die durch den Einbau von relativ einfachen Forinteilen (Rohr 2 und 2 zylindrische Platten 4 aus z.B. Si3N.), zu einem vollwertigen llahlgefäß 1 ausgebildet. Die Auskleidungsteile 2,4 selbst können ohne weiteres in der gewünschten Zusammensetzung hergestellt werden.
Da diese Matrize 1,2,4 auch mit anderen Auskleidungen 2,4 versehen v/erden kann, die dann auch im Verschleißfalle leicht ausgewechselt v/erden können, bietet sie eine Verbesserung gegenüber der derzeitigen Mahlgefäßgeneration aus Vollmaterial. Die Abdichtungen erfolgen über Dichtringe 15,16. Tragteil bzw. Boden bildet ein Deckel 5 aus Aluminium.
Im Verlauf der Grünlingsherstellung 8 für den Formkörper aus dem so gewonnenen verunreinigungsarmen heißpreßfähigen ^-Si^N^-Pulver muß im Sinne der optimalen Verpreßbarkeit eine Reaktion mit Luft oder Luftfeuchtigkeit verhindert werden. Es wird daher wiederum erfindungsgemäß das Pulver (bzw. der Grünling 8) solange wie möglich durch die Mahlflüssigkeit abgeschirmt gehalten.
Der Grünling 8 wird direkt aus der Suspension als Filterkuchen (Fig. 2) in einem kombinierten über/Unterdruckfilter abgeschieden. Die Suspension 8 (später Grünling) mit der gewünschten Menge Si^jN^-Pulver wird in den Druckbehälter 12 gegeben, welcher im unteren Teil eine seitlich mit Dichtungen 22 versehene Matrize 17 aus gehärtetem Stahl und einen mit Filterpapier bedeckten Siebboden 13 aufweist. Dann wird über einen Flüssigkeitsabscheider (Kühlfalle an Flansch 18; nicht näher dargestellt) Unterdruck an den Filterboden 13 gelegt (Unterdruckfilter). Der Behälter 12 wird dann mit einem Ventildeckel 19 verschlossen,durch den über eine Zuführung 14 Stickstoff mit etwa 2 bis 4 at eingeleitet wird. Dieser Stickstoff wird so in die Suspension 8 eingeleitet, daß diese ständig verwirbelt und so Sedimentationseffekte (daraus resultieren Inhomogenität im Grünling) verhindert werden (Überdruckfiltration) . Nach beendeter. Filtration wird der Filterkuchen mit einem speziellen Stempel 20 mit O-Ring 21 (seitlich vom Ge-
909838/0528
faß 12 eingezeichnet) in der Matrize 17 weiter entfeuchtet und kompaktiert. Hierzu wurde der Deckel 19 mit der Zuführung 14 entfernt.
Der auf diese Weise entstandene Grünling 8 ist gut handhabbar und kann sogar, wenn er vorher mit einer entsprechenden Menge organischen Binder versetzt worden ist (Spritzgießen), spangebend zu Formteilen verarbeitet werden. Die Gründichte beträgt 1,5 1,7 g/cm etwa 50 - 60 % der theoretischen Dichte von Si3N4.
Durch die Anwendung einer Spritzgußtechnik können (ebenfalls nach Zusatz von gängigen Bindern) auch kompliziertere Formkörper von noch höherer Gründichte (bis etwa 2,5 g/cm entsprechend ca. 75 % der theoretischen Dichte) hergestellt werden.
Durch die Anwendung des pseudoisostatischen Heißpressens mit dem schematisch dargestellten HeißpreßOfen 11 nach Fig. 3 können auch von' der Zylinderform abweichende Formteile 8 hergestellt werden. Als Druckübertragungsmedium 10 kann Bornitrid (BN) verwendet werden, welches bei hohen Temperaturen auch noch eine Reaktion des SioN^-Preßlings mit dem Matrxzenkohlenstoff der Matrize 9 verhindert. Diese Reaktion ist unerwünscht, da Si-N. mit dem Kohlenstoff unter Gewichtsverlust zu SiC umgesetzt wird.
Der Grünling 8 wird in einer mit Graphitfolie (nicht dargestellt) ausgekleideten Graphitmatrize 9 ringsum in einer Packung aus BN-Pulver 10 eingebettet. Druckstempel 23 aus Graphit (nicht näher dargestellt) werden eingesetzt und die Matrize 9, 10 wird in den Hochheißpreßofen 11 eingebaut.
Anschließend wird die Restfeuchte bzw. der Binder im Vakuum ausgeheizt (T < 50O°C).
Das Heißpreßverfahren selbst unterscheidet sich erfindungsgemäß von bekannten beschriebenen Techniken. So liegt der Preßdruck mit
2
bis zu 120 MN/m deutlich höher und der Preßzyklus erfolgt nicht
90 9 8 3 8/052« __mM_ ^SP*^0
stufenförmig, sondern rampenartig bis zum Erreichen des Maxiraaldrucks und nach Erreichen von ca. 95 % der Gesamtschv/indung sägezahnförmig (Frequenz ca. o,5 HZ, Amplitude ca. 30 % des
Maximalwertes). Durch diese Verfahrensweise wird den Besonderheiten des pseudoisostatischen Heißpressens 'Rechnung getragen. Es wird verhindert, daß sich die BN-Ümhüllung 9 durch Brückenbildung verfestigt und so die Druckübertragung auf den Preßling 3 unmöglich macht.
Eventuell gebildete Brücken v/erden dann durch das "Kneten" zum Einsturz gebracht und die vollständige Verdichtung kann erreicht werden.
Die Preßtemperatur liegt vorzugsweise zwischen 1750 - 1850 c.
Die Atmosphäre besteht aus Inertgas (vorzugsweise aus N2). Gewichtsverluste sind nicht meßbar.
Durch Anwendung der beschriebenen Preßtechnologie und Aufbereitungsart ist es möglich, heißgepreßtes Siliziumnitrid von theoretischer Dichte herzustellen, dessen Legierungsgehalt z.B. an MgO < 0,1 ist.
909838/0528
Leerseite

Claims (5)

  1. Kernforschungszentrum Karlsruhe, den 16.2.1978
    Karlsruhe GmbH ·: PLA 7808 Ga/wk
    Patentansprüche:
    Verfahren zur Herstellung von Siliziumnitrid-Formkörpern mittels des pseudoisostatischen Heißpressens, wobei als Matrize des Heißpreßofens Kohlenstoff verwendet wird, dadurch gekennzeichnet, daß das Siliziumnitrid-Ausgangsmaterial in Gefäßen (1) mit einer Auskleidung (24) und Mahlkörpern (7) aus dem gleichen Ma-
    2 terial auf eine spezifische Oberfläche höher als 15m pro Gramm in einer die Luft oder die Luftfeuchtigkeit vom Ausgangsmaterial fernhaltenden Mahlflüssigkeit gemahlen wird, daß aus dem gemahlenen Material mit Mahlflüssigkeit ein Filterkuchen als Grünlingf 8] des Formkörpers durch Abführen der Mahlflüssigkeit hergestellt wird, und daß der Grünling (ß)in die Matrize (9) des Heißpreßofens (11)unter Zwischenlage eines Druckübertragung smediums (10) aus Bornitrid eingesetzt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mahlflüssigkeit eine organische Flüssigkeit,wie Aceton, Cyclohexan u.a. ist,
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abführung der Mahlflüssigkeit aus den Grünling(8)Unterdruck benutzt wird,und daß zur Verhinderung von Sedimentationen eine Durchwirbelung mit Inertgas vorgenommen wird.
  4. 4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Mahlgefäß (1) aus einer Metallmatrize besteht, in der die Auskleidung(24) aus Si3N4 ein-— gesetzt ist, und daß die Mahlkörper(l) ebenfalls aus Si3N4 bestehen.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 1,2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Grünling (8) in einem Druckbehälter( 1 2) über einen Siebboden (Ί3) mittels Unterdruck entfeuchtbar ist, und daß Stickstoff oder ein anderes Inertgas in den Druckbehälter(12) über eine Zuführung 14 in die Suspension(8)aus Ausgangsmaterial und Mahlflüssigkeit gegeben wird.
    909838/0528
    ORIGINAL INSPECTS7»
DE2812019A 1978-03-18 1978-03-18 Vorrichtung zum Herstellen eines Vorformlings aus Siliziumnitrid Expired DE2812019C2 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2812019A DE2812019C2 (de) 1978-03-18 1978-03-18 Vorrichtung zum Herstellen eines Vorformlings aus Siliziumnitrid
SE7902215A SE7902215L (sv) 1978-03-18 1979-03-12 Sett att framstella formkroppar av kiselnitrid medelst pseudoisostatisk varmpressning
GB7909260A GB2019893B (en) 1978-03-18 1979-03-15 Moulding silicon nitride
US06/021,975 US4264546A (en) 1978-03-18 1979-03-19 Method for producing silicon nitride molded bodies by means of pseudoisostatic hot pressing

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2812019A DE2812019C2 (de) 1978-03-18 1978-03-18 Vorrichtung zum Herstellen eines Vorformlings aus Siliziumnitrid

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2812019A1 true DE2812019A1 (de) 1979-09-20
DE2812019C2 DE2812019C2 (de) 1982-06-03

Family

ID=6034904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2812019A Expired DE2812019C2 (de) 1978-03-18 1978-03-18 Vorrichtung zum Herstellen eines Vorformlings aus Siliziumnitrid

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4264546A (de)
DE (1) DE2812019C2 (de)
GB (1) GB2019893B (de)
SE (1) SE7902215L (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2468564A1 (fr) * 1979-11-02 1981-05-08 Ppg Industries Inc Procede de fabrication de produits faconnes en diborure de titane
DE2945513A1 (de) * 1979-11-10 1981-06-04 MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München Verfahren zum heissisostatpressen von poroesen formkoerpern aus siliziumkeramik

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5445776A (en) * 1980-10-20 1995-08-29 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Method for producing high density sintered silicon nitride (Si3 N.sub.4
DE3141590C2 (de) * 1980-10-20 1985-01-03 Kobe Steel, Ltd., Kobe, Hyogo Verfahren zur Herstellung von hochdichtem gesintertem Siliziumnitrid
US4377542A (en) * 1981-12-21 1983-03-22 Ford Motor Company Method of forming a densified silicon nitride article
JPS59501864A (ja) * 1982-10-12 1984-11-08 フオ−ド　モ−タ−　カンパニ− 低密度反応結合素地の使用によるホツトプレスした窒化ケイ素の製造法
WO1985000593A1 (en) * 1983-07-19 1985-02-14 Ford Motor Company Method of making a densified silicon nitride/oxynitride composite
US4552710A (en) * 1984-01-03 1985-11-12 International Business Machines Corporation Process of hot isostatic pressing of ferrite material
DE3403917C1 (de) * 1984-02-04 1985-11-28 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Verfahren zum Verdichten poroeser keramischer Bauteile fuer das heissisostatische Pressen
US4987105A (en) * 1988-11-21 1991-01-22 Ford Aerospace Corporation Carbon/boron nitride release coating
US5082710A (en) * 1988-11-21 1992-01-21 Loral Aerospace Corp. Coated article for hot isostatic pressing
JP2003212666A (ja) * 2002-01-28 2003-07-30 Sanyo Electric Co Ltd セラミック積層体の製造装置および製造方法
DE102005039118A1 (de) 2005-08-18 2007-02-22 Wacker Chemie Ag Verfahren und Vorrichtung zum Zerkleinern von Silicium

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2156592A1 (de) * 1970-11-17 1972-05-25 Lucas Ltd Joseph Verfahren zur Herstellung von Erzeugnissen aus Siliziumnitrid
DE2217339B2 (de) * 1972-04-11 1976-01-15 Oeckel, Hans, 8672 Selb Futter fuer kugelmuehlen sowie verfahren und vorrichtung zum herstellen des futters
DE2536676A1 (de) * 1975-08-18 1977-02-24 Annawerk Gmbh Verfahren zur herstellung von siliziumnitrid-formkoerpern mit einem dichtegradienten innerhalb des formkoerpers

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4126653A (en) * 1970-11-17 1978-11-21 Smith Dexter W Method of manufacturing silicon nitride products
US4127630A (en) * 1973-06-18 1978-11-28 Norton Company Reaction bonded silicon nitride
US4036653A (en) * 1975-05-28 1977-07-19 E. I. Du Pont De Nemours And Company Amorphous silicon nitride composition containing carbon, and vapor phase process
US4119690A (en) * 1977-01-03 1978-10-10 General Electric Company Sintering of silicon nitride using Mg and Be additives
US4112143A (en) * 1977-01-18 1978-09-05 Asea Aktiebolag Method of manufacturing an object of silicon nitride

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2156592A1 (de) * 1970-11-17 1972-05-25 Lucas Ltd Joseph Verfahren zur Herstellung von Erzeugnissen aus Siliziumnitrid
DE2217339B2 (de) * 1972-04-11 1976-01-15 Oeckel, Hans, 8672 Selb Futter fuer kugelmuehlen sowie verfahren und vorrichtung zum herstellen des futters
DE2536676A1 (de) * 1975-08-18 1977-02-24 Annawerk Gmbh Verfahren zur herstellung von siliziumnitrid-formkoerpern mit einem dichtegradienten innerhalb des formkoerpers

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Terwilliger, G.R. and Lange, F.F. Hot-Pressing Behavior of Si¶3¶N¶4¶ Journal of The American Ceramic Society, 57, 1974 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2468564A1 (fr) * 1979-11-02 1981-05-08 Ppg Industries Inc Procede de fabrication de produits faconnes en diborure de titane
DE2945513A1 (de) * 1979-11-10 1981-06-04 MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München Verfahren zum heissisostatpressen von poroesen formkoerpern aus siliziumkeramik
US4692288A (en) * 1979-11-10 1987-09-08 Mtu Motoren-Und Turbinen-Union Munchen Gmbh Method of hot isostatic pressing of a porous silicon ceramic compact

Also Published As

Publication number Publication date
GB2019893B (en) 1982-10-27
SE7902215L (sv) 1979-09-19
GB2019893A (en) 1979-11-07
DE2812019C2 (de) 1982-06-03
US4264546A (en) 1981-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0034328B1 (de) Verfahren zur Herstellung von Formkörpern auf der Basis von Siliziumkarbid
EP0094591B1 (de) Polykristalline, praktisch porenfreie Sinterkörper aus Alpha-Siliciumcarbid, Borcarbid und freiem Kohlenstoff und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE3205877C2 (de)
DE19736560C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines porösen Körpers, Körper aus SiC, sowie Verwendung des porösen Körpers
DE2812019A1 (de) Verfahren zur herstellung von siliziumnitrid-formkoerpern mittels des pseudoisostatischen heisspressens
DE3010545C2 (de) Gesinterte Keramik, insbesondere für Zerspanungswerkzeuge, und Verfahren zur Herstellung derselben
DE3002971C2 (de)
EP0034329A1 (de) Panzerung
DE112009000724T5 (de) Ziegelsteinplatte und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE3305529C2 (de)
DE1918834A1 (de) Isotropes Graphit grosser Dichte
DE2625213A1 (de) Verfahren zur herstellung von gesinterten formkoerpern
DE60120586T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Siliziumnitridfilters
DE2258485A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von guss- und pressformen
DE3630369C2 (de)
EP0293600B1 (de) Verfahren zur Herstellung eines feuerfesten Oxid -Kohlenstoff-Steins
DE1254520B (de) Verfahren zur Herstellung homoeoporoeser Kohlenstoffkoerper
EP0181317B1 (de) Verfahren zum Herstellen von porösen Filterkörpern aus Metallpulver
DE3116786A1 (de) Homogener siliciumcarbid-formkoerper und verfahren zu seiner herstellung
DE2916817A1 (de) Sinterkeramischer koerper aus hochdichtem siliciumcarbid und verfahren zu seiner herstellung
DE2818418A1 (de) Verfahren zur herstellung von gegenstaenden aus feuerfesten pulverfoermigen diboriden
EP0409015B1 (de) Verfahren für die Herstellung von Rohstoff-Formlingen und danach hergestellte Rohstoff-Formlinge
DE4418598C2 (de) Verfahren zur Herstellung einer hochdispersen Pulvermischung insbesondere zur Herstellung von Bauteilen aus schwer sinterbaren Werkstoffen mit intermetallischen Phasen
DE3149796C2 (de)
DE2916223A1 (de) Verfahren zur herstellung eines gegenstandes aus siliziumnitrid

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
D2 Grant after examination
8339 Ceased/non-payment of the annual fee