DE2552255A1

DE2552255A1 - Automatische lageorientierung von substratscheiben

Info

Publication number: DE2552255A1
Application number: DE19752552255
Authority: DE
Inventors: Erhard Jaksch
Original assignee: Jenoptik Jena GmbH
Current assignee: Jenoptik AG
Priority date: 1975-03-04
Filing date: 1975-11-21
Publication date: 1976-09-16
Also published as: JPS51110975A; US3997065A; DD121309A1; SU881897A1

Description

JEN0PT2K JENA GmbH «ronrr

28. 1. 1975

Automatische Lageorientierung von Substrat sehe iben

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Lageorientierung von am Umfang mit einer Abflachung versehenen runden Scheiben, vorzugsweise von Substratseheiben für integrierte Schaltkreise, im Bezug auf eine Entnahmeeinrichtung·

Es ist eine Einrichtung zur lageorientierung von "am Umfang abgeflachten Substratseheiben bekannt, die mittels eines Innenkegels, der über die Substratscheibe gestreift wird, zunächst zur Kegelachse zentriert werden. Danach werden die Scheiben gedreht, und mittels vorgesehener lichtelektrischer Elemente wird die Abflachung am Umfang der Scheiben abgetastet und somit automatisch in einer lage im Bezug zu einer vorhandenen Entnahme- und Transporteinrichtung orientiert.

Ee ist jedoch ein flachteil dieser Einrichtung, daß ein hoher technischer Aufwand, vor allem in Form elektrischer Bauelemente, getrieben werden muß, um eine gute Lageorientierung der Substratscheiben zu erreichen. Desweiteren werden durch den Innenkegel die gegen mechanische Belastungen empfindlichen Substratseheiben erheblich beansprucht, so daß Bruchgefahr besteht.

So besteht der Zweck der Erfindung darin, die Nachteile des Standes der Technik zu beseitigen, und den technischen Aufwand und die Kosten einer Einrichtung zur Lageorientierung von Scheiben sowie die Bruchgefahr der Scheiben zu senken.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zur Lageorient ierung von am Umfang mit einer Abflachung rer-

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sehenen runden Scheiben zu schaffen, die durch rein mechanische Mittel und ohne äußere Krafteinwirkung eine genaue und zuverlässige Lagecr j entzerrung der Scheiben auch unterschiedlicher Größe gewährleistet.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe bei einer Einrichtung zur Lageorientierung von mit einer Abflachung versehenen Scheiben dadurch gelöst, daß eine Auflageschiene und eine durch einen Antrieb in Richtung der Auflageschiene längsverschieblich, die zu orientierenden, mit der flachen Seite auf der Auflageschiene aufliegenden Scheiben entlang der Schiene durch Reibwirkung transportierende Unterlage vorgesehen sind, wobei die Auflageschiene zusammen mit der Unterlage um eine in einem Gestell angeordnete, gemeinsame Achse mit Hilfe einer Kippvorrichtung schwenkbar ist, und daß die Auflageschiene mit die Endlage der Scheiben fixierenden Anschlägen versehen ist·

Eine kontinuierliche Bewegung der Unterlage wird dadurch erreicht, daß diese ein über angetriebene Rollen geführtes, endloses Band ist und daß die Ebene der Unterlage und die Ebene der Auflageschiene in jeder Schwenklage vorzugsweise senkrecht aufeinanderstellen·

Es ist vorteilhaft, wenn die Auflageschiene zusammen mit der Unterlage um einen Winkel von etwa 90° beliebig einstellbar und schwenkbar ist·

Es ist ferner vorteilhaft, wenn der Anschlag Mittel zur Sicherung der Lage der orientierten Scheiben besitzt.

So besteht ein wesentlicher Vorteil der erfindungegemäßen Lösung darin, daß damit eine sicher funktionierende, einen ge-

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ringen technischen Aufwand erfordernde Einrichtung zur Lageorientierung von vorzugsweise Substratscheiben geschaffen wird. Eine Beschädigung der empfindlichen Geheiben während des Orientierungsvorgangee ist weitestgehend ausgeschlossen, da diese Scheiben bei der Anlage an der Unterlage und der Auflageschiene lediglich durch ihr Eigengewicht belastet und ohne äußere Krafteinwirkung nur durch die wirkenden Reibungskräfte orientiert werden·

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden· In der zugehörigen Zeichnung zeigen

Pig. 1 eine Vorderansicht der Einrichtung und Pig· 2 eine Seitenansicht der Einrichtung nach Pig. 1.

Die in Pig· 1 dargestellte erfindungsgemäße Einrichtung umfaßt ein Gestell 11 und ein im Gestell 1 um eine Achse drehbar angeordnetes Schwenkglied 3· Am Schwenkglied 3 sind eine Auflageschiene 4 und ein Antrieb 5 sowie Rollen 6 und angeordnet· Wie Pig. 1 zeigt, führen die Rollen 6 und 7 eine als endloses Band ausgebildete Unterlage 8. Die Rolle 6 wird durch den Antrieb 5 über einen Riementrieb 9 in drehung versetzt und somit cie Unterlage B in Ifeilrichtung längsbev/egt.

Das Schwenkglied 3 mit den daran fngeordneten Teilen ist um die Achse 2 mit Hilfe einer Kippvorrichtung 10 ua einen Winkel zwischen O⁰ und 90° schwenkbar, wobei defr Schwenkwinkel 0° ungefähr die horizontale Lage der am Schwenkglied starr angeordneten Auflageschiene 4 kennzeichnen soll, welche

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in Fig, 2 mit b bezeichnet ist. Tn jeder Winkellage des Dcr.^enkgliedes 3 stehen die Ebene der Auflageschiene 4 ijr.d cie Ebene der Unterlage 8 vorzugsweise senkrecht aufeinander. An den die Auflageschiene in Längsrichtung begrenzenden Enden ist j erze ils ein Durchbruch 11 und 12 vorgesehen.

nachstehend wird der Vorgang der Lageorientierung der Scheiben 13 beschii&fean. E-ie zu orientierenden, am Rand mit .einer Abflachung 14 versehenen Scheiben 13 werden an dem linken Ende der Auflageschiene 4 in beliebiger Lage auf die Unterlage 8 derart aufgebracht (in Pig, 1 nicht dargestellt), daß sie auf dieser mit 4em Rand und auf der Auflageschiene mit der flachen Seite aufliegen. Die Unterlage 8 wird durch. den Antrieb 4 über den Riementrieb 9 und die Rolle 6 kontinuierlich im durch den Pfeil angegebenen Sinne relativ zur Auflageschiene 4 bewegt. Durch Reibungskräfte an dem Berührungspunkt zwischen Unterlage 8 und dem Rand der Scheiben 13 werden diese in Laufrichtung der Unterlage 8 mitgenommen. An der Auflagefläche der Scheiben 13 an der Auflageschiene entstehen bei der Bewegung der Scheiben 13 relativ zur Auflageschiene 4 Reibungsmomente, die den Reibungskräften zwischen Unterlage 8 und Scheibenrad entgegengesetzt sind und die Scheiben 13 abbremsen. Es entsteht also zusätzlich, zur Fortbewegung der Scheiben 13 in der Ablaufrichtung der Unterlage S eine relative Drehung der Scheiben 13 im Sinne des Pfeils und zwar so lange, bis die Abflachung 14 der Scheibe 13 auf der Unterlage 8 angekommen ist. Ton diesem Moment an reicht das Reibmoment zwischen Scheibe 13 und Auflageschiene 4 nicht

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mehr aus, um die Scheiben 13 weiter zu drehen. lie Seheiben 13 werden ohne zusätzliche Drehung durch die Unterlage 8 zum rechten Lnde der Auflageschiene 4 (Flg. Ό mitgenommen, bis sie an Anschlägen 16 anliegen (Stellung ¹δ der "cheibe 13)· In diesem Moment sind die Scheiben 13 lasreor: erigiert und können, nach einer Schwenkung i_ea Schwenkgliedee 3 von der Lage a in lie Lage b, von eirer Ivntnahmeeinrichtung (Pig· 2),

eren Greifer 17 durch den Turchbruch 12 kindurchgeführt wird, entnommen werden» Der Schwenkwinkel des Schwenkgliedes 3, bei welchem die oben beschriebenen Reibungsverhältnisse in dem angegebenen Sinne wirken, ist abhängig vor allem von den Reibverhältnissen zwischen Scheibe 13 und Auflageschiene 4 einerseits und Scheibe 13 und Unterlage 8 andererseits und muß entsprechend mit Hilfe der Kippvorrichtung 10 eingestellt werden·

Der in Pig, 1 am rechten Ende der Auflageschiene 4 angeordnete Anschlag 16 besitzt Mittel 19, die die Scheiben 13 in äet orientierten Lage sichern. In der Fig. besitzt der Anschlag; 16 beispielsweise eine I-ohrung, die mit einer nicht dargestellten Saugeinrichtung verbunden ist, so daß die Scheiben 13 an den Anschlag 16 angesaugt werden· Auf diese V/eise wird zuverlässig verhindert, daß die Scheiben 13 beim Schwenken der Auflageschiene 4 von der Stellung a und die Entnahmestellung b ihre Lage im Bezug auf die Auflageschiene 4 verändern.

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Claims

Patentansprüche

. !Einrichtung zur Lageorientierung von am Umfang mit einer -Abflachung versehenen, runden Scheiben im Bezug auf eine Entnahmevorrichtung, dadurch gekennzeichnet, deß eine Auflageschiene (4) und eine durch einen Antrieb (5) in Richtung der Auflageschiene (4) längsverschiebliche, die zu orientierenden, mit der flachen Seite auf der Auflageschiene (4) aufliegenden Scheiben (13) entlang der Schiene (4) durch Reibwirkung transportierende Unterlage (8) vorgesehen sind, wobei die Auflageschiene (4) zusammen mit der Unterlage (8) um eine in einem Gestell (1) angeordnete," gemeinsame Achse (2) mit Hilfe einer Kippvorrichtung (10) schwenkbar ist, und daß die Auflageschiene (4) mit die Endlage der Scheiben (13) 'fixierenden Anschlägen (1β) versehen ist,
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die längsversohiebliche Unterlage (8) ein über angetriebene Rollen (6; 7) geführtes, endloses Band ist und daß die Ebene der Unterlage (8) und die Ebene d^gr Auflageschiene (4) in jeder Schwenklage vorzugsweise senkrecht aufeinanderstehen,
3. Einrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Auflageschiene (4) zusammen mit der Unterlage (8) um einen Winkel von etwa 90° beliebig einstellbar und schwenkbar ist.
4. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschlag (16) Kittel (19) zur Sicherung der Lage der orientierten Scheibe (13) -besitzt.

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