DE2204652C3

DE2204652C3 - Verfahren und Vorrichtungen zum Aufsprühen eines durchsichtigen, elektrisch leitenden Metalloxidüberzuges auf die Oberfläche eines Trägers

Info

Publication number: DE2204652C3
Application number: DE2204652A
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: TRIPLEX SAFETY GLASS CO Ltd BIRMINGHAM (VER KOENIGREICH)
Current assignee: TRIPLEX SAFETY GLASS CO Ltd BIRMINGHAM (VER KOENIGREICH)
Priority date: 1971-02-05
Filing date: 1972-01-28
Publication date: 1980-04-17
Also published as: ES399507A1; BE778996A; ZA72751B; CA977306A; IE36063B1; NL7201410A; SE384233B; YU23572A; IL38624A0; AU3846472A; JPS5218729B1; IT949407B; IL38624A; DE2204652B2; CH580684A5; LU64721A1; DE2204652A1; SU740157A3; TR17189A; US4006070A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Aufbringen eines durchsichtigen, elektrisch leitenden Metalloxidüberzuges auf die Oberfläche eines Trägers erheblicher Querabmessung, bei dem eine {Cathode in der Nähe des Trägers angeordnet ist, wobei die Kathode eine Querabmessung nicht wesentlich geringer als der Träger hat und ihre dem Träger zugewandte Oberfläche aus dem Metall besteht, dessen Oxid auf den Träger aufgebracht werden soll, bei dem die Kathode und der Träger in eine Vakuumkammer eingeschlossen sind, die eine Atmosphäre aus Sauerstoff und einem oder mehreren anderen Gasen mit einem geregelten Unterdruck enthält, bei dem die Kathode auf einer hohen negativen Spannung liegt, um das Aufbringen des Metalloxidüberzuges durch Aufsprüchen im wesentlichen senkrecht zur Oberfläche des Trägers zu bewirken, und bei dem die Atmosphäre durch mehrere. Abstand voneinander aufweisende Kanäle der Kathode in die Behandlungszone zwischen den einander zugewandten Oberflächen von Kathode und Träger gelangt, um in dieser eine im wesentlichen konstante Konzentration des Sauerstoffs während des Sprühvorgangs aufrechtzuerhalten. Die Erfindung bezieht sich ferner auf Vorrichtungen zur Durchführung dieses Verfahrens.

Solche Verfahren und Vorrichtungen sind bereits bekannt (DE-OS 19 38 131). Dort sind auch bereits die Probleme erkanns, d'e beim Aufsprühen von Überzügen gleichmäßiger Eigenschaften auf Träger großer Oberfläche auftreten. So ist z. B. eine Ursache für ungleichmäßige Ausbildung des Überzuges erkanntermaßen in einer Verringerung der Sauerstoffkonzentration in der im Bereich der Behandlungszone befindlichen Sprühatmosphäre zwischen der Kathode und dem Träger zu suchen, die dadurch bedingt ist, daß der ursprünglich vorhandene Sauerstoff bei der Bildung des Überzuges verbraucht wird und in unzureichendem Maße ergänzt werden kann. Bei dem bekannten Verfahren sind, um eine Einheitlichkeit in der Sauerstoffkonzentration zwischen der Trägerfläche und der

ίο Kathode zu erzielen, öffnungen in der Oberfläche der Kathode zum Durchtritt der Sprühatmosphäre vorgesehen. Da jedoch das Aufsprühen im wesentlichen senkrecht von der Kathode zum Träger erfolgt, ergeben sich im Bereich der Durchbrüche unbehandelte oder unzureichend behandelte Stellen.

Dieser Mangel ist durch eine Relativbewegung zwischen Träger und Kathode allein nicht zu beseitigen, wie dies durch die GB-PS Π 47 318 in anderem ZusammerJiang bekannt ist Dort erfolgt das Aufsprü_T hen mit Radiofrequenz in einer v.r.nen Atmosphäre, also in einer Weise, bei der die Probleme des Aufrechterhaltens einer Sauerstoffkonzentration überhaupt nicht auftreten. Zudem erfolgt ein Aufheizen der Kathode, wodurch sich ebenfalls eine ungleichmäßige Behandlung ergibt

Der Erfindung liegt · die Aufgabe zugrunde, das eingangs erwähnte Verfahren so weiter auszugestalten, daß sich ein hochdurchsichtiger elektrisch leitender Überzug gleichmäßiger Güte auf einem Träger

jo herstellen läßt, der große Querabmessungen aufweist und sich beispielsweise als Fenster oder Windschutzscheibe von Luft- oder anderen Fahrzeugen eignet. Diese Aufgabe ist durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 bezeichneten Verfahrensschritte

J5 gelöst.

Dadurch ist es vorteilhafterweise möglich Träger von erheblichen Querabmessungen mit einem durchsichtigen elektrisch leitenden Überzug auf einer Obe/fläche zu versehen, wobei der Überzug einen spezifischen elektrischen Widerstand zwischen 2xlO-⁴Ohmcm unJ 2Ox 10~⁴ Ohm cm, vorzugsweise zwischen 2 χ 10-⁴ und 4 χ 10-⁴ Ohm cm, aufweist, eine Dicke zwischen 500 und 10 000Ä hat und eine Lichtdurchlässigkeit über 70% aufweist. Bei Dicken des Überzuges unterhalb

5000 A kann die Lichtdurchlässigkeit den Wert von 80% übersteigen. Auf die Flächeneinheit bezogen können gleichmäßige Überzüge mit einem Widerstand zwischen 2 und 40 Ohm und einer Lichtdurchlässigkeit von über 80% erzielt werden. Wie bereits erwähnt, können

so die Querabmessungen des Trägers die Masse von 300 mm überschreiten, ohne daß die Gleichmäßigkeit des Überzuges in Frage gestellt ist.

Verteilhaft ist auch, daß die zur Durchführung des beschriebenen Verfahrens geeignete Vorrichtung nur wenig größer als der zu behandelnde Träger ir.t.

Besondere Anwendungsgebiete des beschriebenen Verfahrens sind die Behandlung von Trägern für Windschutzscheiben und Fenster von Luftfahrzeugen, in denen die leitende Schicht den Heizstrom zur Beseitigung von Eis- oder Wasserniederschlägen leitet. In gleicher Weise sind die Gläser für Scheiben in Schiffen und Eisenbahnfahrzeugen verwendbar. Eine weitere Verwendung finden derartige Gläser in Flüssigkeitskristalloszillatoren.

b5 Im folgenden sind Ausführungsbeispiele der Erfindung wird anhand der Zeichnungen näher erläutert. In der Zeichnung ist

Fig. I eine schematische Darstellung einer Vorrich-

lung zum Aufsprühen eines Überzuges auf einen Träger verhältnismäßig kleiner Oberfläche,

F i g. 2 ein Schaubild, in dem der auf die Flächeneinheit bezogene Widerstand R Li, die Dicke des Überzuges und der spezifische elektrische Widerstand ■-> des Überzuges über die Länge der Kathode in verschiedem Abstand von der an dem einen Ende offenen Behandlungszone bei einer gegebenen Sauerstoffkonzentration am offenen Ende aufgetragen sind,

F i g. 3 ein ähnliches Schaubild für einen Versuch mit anfänglich höherer Sauerstoffkonzentration,

F i g. 4 eine schematische perspektivische Darstellung einer ersten Ausführungsform einer Kathode zur Durchführung des beschriebenen Verfahrens,

F i g. 5 ein senkrechter Schnitt zu F i g. 4, ι ί

Fig. 6 eine perspektivische Darstellung einer Vorrichtung zur Durchführung des beschriebenen Verfahrpni mit pinpr FjpjitrixJp CTpmjiil Hpn pig 4 ÜP.d 5,

Fig. 7 ein axialer Längsschnitt durch eine abgewandelte Ausführungsform zur Behandlung eines Trägers >o mit gekrümmter Oberfläche,

Fig. 7A ein vergrößerer Ausschnitt aus F i g. 6 bzw. F i g. 7.

Fig.8 ein schematischer Schnitt durch eine weitere Ausführungsform der Kathode, r>

Fig.9 ein senkrechter Schnitt durch eine abgewandelte Ausführungsform der Kathode und

Fig. IO ein Schaubild, in dem der spezifische elektrische Widerstand über der Sauerstoffkonzentration am Einlaßende der Behandlungszone für verschie- jn dene der Kathode zugeleitete Spannungen aufgetragen ist.

Die Vorrichtung gemäß F i g. I enthält eine Vakuumkammer 10. die über eine Leitung U mit einer nicht dargestellten Vakuumpumpe verbunden ist. Eine weite- r> re Leitung 12 ist durch die Wandung der Vakuumkammer hindurchgeführt und über parallel zueinander liegende Gasmengenmesser 13 und 14 mit Quellen für Sauerstoff bzw. Argon verbunden. Die Gasmengenmesser 13 und 14 gewährleisten eine genaue Steuerung des Zustroms, der aus Sauerstoff und Argon bestehenden Atmosphäre, die in die Vakuumkammer 10 eingeleitet wird.

In die Vakuumkammer 10 wird ein Träger 17 eingebracht, der mit einem elektrisch leitenden Überzug 4 > durch Aufsprühen mit einer wassergekühlten Kathode 18 versehen werden soll. Der Träger 17 ruht auf einem erhitzten Block 19, der durch eingebaute elektrische Heizelemente 20 beheizt wird, wozu er über Leiter 21 und 22 mit einer außerhalb der Vakuumkammer 10 liegenden Niederspannungsquelle verbunden ist. Die Kathode 18 ist üb:r einen Leiter 23 mit der negativen Klemme einer außerhalb der Vakuumkammer liegenden Hochspannungsquelle verbunden. Ein an Masse liegender elektrostatischer Schirm 24 umgibt die Kathode 18. Der erhitzte Block 19 und die Vakuumkammer 10 sind ebenfalls an Masse 25 angeschlossen. Anstelle einer Beheizung des Blockes 19 von innen könnte das Heizelement 20 auch auf isolierten Säulen an der Oberfläche des Blocks 19 angeordnet sein, so daß bo der Träger 17 hauptsächlich durch Strahlung erhitzt wird.

Zum Einstellen und Steuern der Temperatur des Trägers 17 auf den erforderlichen Wert ist an der einen Kante des Trägers i7 ein Thermoelement 26 in Wärmeberührung gehallen.

Das Thermoelement 26 fühk die Oberflächentemperatur des Trägers 17 ab. die ihm von dem erhitzten Block 19 erteilt wird. Da der Träger 17 dem durch da elektrische Feld zwischen der Kathode und dem Träge 17 bedingten Plasma ausgesetzt ist, erfolgt hierdurd eine zusätzliche Erhitzung, so daß es notwendig ist, di elektrische Heizung über das Heizelement 20 im Bloc! 19 kontinuierlich zu verringern, damit der Träger au der vorgegebenen gesteuerten Temperatur gehalle bleibt.

Der Träger 17 kann ein gehärtetes Kalk-Soda-Silikat glas sein. Nach dem Auflegen des Trägers 17 wird di Vakuumkammer auf einen Druck von bcispielsweisi 5 χ IO-⁴ mm QS evakuiert, wobei der Druck durch eil Meßgerät 101 erfaßt wird. Eine niedrige Spannung voi beispielsweise 10 Volt wird über die Leiter 21, 22 den Heizelement 20 zugeleitet, wodurch die Oberfläche de Trägers 17 auf eine gesteuerte Temperatur zwischei 240⁰C und 400⁰C erhitzt wird. Sodann wird Sauerstof i'iKf>r H<*n nocmpnopnniptcpr Π iinH A rann üKpr Hpi

Gasmengenmesser 14 in bestimmtem Verhältnis zuein ander der Vakuumkammer 10 zugeleitet. Die Zuspei sung dieser Gase erfolgt so, daß der Sauerstoffgehal innerhalb der Vakuumkammer 10 zwischen I un< 10 Vol.-% beträgt Durch die Zuspeisung der Gase win ein vorgegebener Druck von beispielsweisi 5 χ 10~² mm QS in der Vakuumkammer eingestellt, de durch ein Meßgerät 102 angezeigt wird.

Die kathode 18 ist in einem bestimmten Abstand voi beispielsweise 30 bis 40 mm von der zu behandelndei Oberfläche des Trägers 17 angeordnet und an eini negative Spannung zwischen —1,0 bis — 5,0 K\ angeschlossen. Wie erwähnt, wird die Stromzufuhr zun Heizelement 20 allmählich abgesenkt, um die Tempera tür des Trägers während des Sprühvoganges konstan zu halten.

Die ionisierten Argonionen bombardieren die Ober fläche der Kathode 18 und machen Metallionen frei, dii auf der Oberfläche des Trägers unter Bildung des Oxid; aufgesprüht werden. Nach Beenden des Aufsprühvor ganges werden die Kathode 18 und das Heizelement 2( abgeschaltet und der Gasdurchstrom durch die Vaku umkammer unterbrochen. Der Träger 17 kühlt sich dam ab.

Der mit dem Überzug versehene Träger wird dam aus der Vakuumkammer 10 entfernt, worauf sein« physikalischen Eigenschaften durch Messung unc Rechnung ermittelt werden können.

Die beschriebene Vorrichtung und die Verfahrensfüh rung ist geeignet, um einen durchsichtigen unc schleierfreien Überzug auf einem Träger aus Glas zi erzielen, wobei eine in der Vakuumkamr.j*.r K stationäre Kathode 18 eine Quermessung in der Längt oder Breite von 100 mm oder weniger aufweist Wit bereits erwähnt, ist eine gleichmäßige Ausbildung de; Überzuges jedoch in dieser Weise nicht zu erreichen wenn die Abmessungen des Trägers und damit auch dei Kathode größer werden, da dann weder der gewünschte auf die Flächeneinheit bezogene Widerstand erreich wird, noch ein schleierfreier Oberzug entsteht Um die eingangs erwähnten ungünstigen Einflüsse zu ermittelr und zu messen, wurde ein Versuch durchgeführt, be dem eine Kathode mit einer Länge von 450 mm unc einer Breite von 150 mm verwendet wurde und zui Behandlung eine Kalk-Soda-Silikatglasscheibe der Abmessungen 600 mm χ 300 mm χ 4 mm benutzt wurde Die zu behandelnde Oberfläche wurde mit einen-Abstand von 38 mm von der Kathodenoberfläch« abgestützt Die Spalte zwischen den Rändern dei Kathode und der benachbarten Oberfläche des Träger;

wurden an den beiden l.angseilen und der einen Kurzseite durch drei Glasstücke verschlossen, so dall die Atmosphäre in die Behandlungszone nur an der einen Schmalseite eintreten konnte.

Die Vakuumkammer wurde auf einen Druck von 5 χ ΙΟ-⁴— mm QS evakuiert und der Heizeinrichtung 20 eine spannung von 10 Volt zugeleitet, um die Temperatur des trägers auf 300°C zu erhöhen. Der Vakuumkammer wurde dann eine Gasmischling aus 96 Gew.-P/o Argon und 4 Gew.-% Sauerstoff zugeleitet, wodurch eine Erhöhung des Druckes in der Vakuumkammer auf 6,5 χ IO~² mm QS eintrat. An die Kathode wurde eine Spannung von -3,0 KV gelegt und das Aufsprühen für 10 Minuten durchgeführt.

Nach der Entnahme der behandelten Glasscheibe war es sofort augenscheinlich, daß der Überzug vom einen Ende zum anderen Ende erhebliche Unterschiede

Atmosphäre zur Behandlungszone so vorgenommen wird,daß in der Behandlungszone eine im wesentlichen gleichmäßige Sauerstoffkonzentration aufrechterhalten wird. Dies kann im einzelnen durch die besondere konstruktive Ausgestaltung der Kathode und/oder eine Relativbewegung zwischen der Kathode und der /u behandelnden Oberfläche des Trägers erzielt werden. Nachstehend werden einige Ausführungsbeispiele beschrieben.

In den Cig.4 und 5 ist eine erste Ausführungsform einer Kathode 27 nach der Erfindung dargestellt. Die Kathode 27 ist in vier zueinander parallele Streifen 271 unterteilt, lederstreifen 271 hat eine Länge von 600 mm und eine Breite von 80 mm und ist von einem zugeordneten an Masse liegenden elektrostatischen Schirm 28 umgeben. Die Streifen 271 sind durch Spalte 29 gleicher Breite voneinander getrennt. Die Spalte

W Ul UL 11..ItC

Eintrittsende der Atmosphäre in die Behandlungszone der Überzug im wesentlichen durchsichtig, wenn auch 2u etwas verschleiert war. An dem anderen Ende, an dem die Zuleitung der Atmosphäre in der Behandlungszont begrenzt war, war der Überzug völlig opak und hatte ein metallisches Aussehen. Der Überzug zeigte also über die Länge von 450 mm Eigenschaften, wie sie bei r> einem beträchtlichen Abfall der Sauerstoffkonzentation eintreten.

Der gleiche Versuch wurde mit einer zugeleiteten Atmosphäre von 94 Vol.-% Argon und 6 Vol.-% Sau«/stoff wiederholt, wobei an die Kathode eine in Spannung von -2,75 kV angelegt wurde. Wie erwartet, bewirkte die Verringerung der Kathodenspannung und die Erhöhung der Sauerstoffkonzentration eine Verringerung der Schleierbildung und verlagerte die Kurve des spezifischen elektrischen Widerstandes nach rechts. r> An dem Ende, an dem die Atmosphäre Zugang zur Behandlungszone hatte, ergab sich eine hohe Durchsichtigkeit, der Überzug war dort schleierfrei und hatte einen spezifischen elektrischen Widerstand von weniger als 1Ox I0-⁴ Ohm cm. Am anderen Ende wies der Überzug kräftige Schleier auf und hatte einen wesentlich höheren Widerstand. Die Ergebnisse dieses Versuches sind in F i g. 2 dargestellt, in der der Widerstand auf die Flächeneinheit bezogen die Dicke des Überzugs in Ä und der spezifische elektrische Widerstand ρ in Ohm cm über dem Abstand links der Kathode aufgetragen sind. Dieses Schaubild läßt klar erkennen, daß eine bestimmte Sauerstoffkonzentration einen Mindestwert des spezifischen elektrischen Widerstandes bedingt.

Der Versuch wurde nochmals wiederholt, wobei der Kathode wiederum eine Spannung von -2,75 kV aufgedrückt wurde, jedoch eine erhöhte Sauerstoffkonzentration von 7% in der Behandlungszone eingestellt wurde. Die Erebnisse dieses Versuchs sind in Fig.3 dargestellt, in der die Abhängigkeit der gleichen Parameter ersichtlich ist. Auch hier ist zu erkennen, daß eine bestimmte Sauerstoffkonzentration einen Mindestwert des spezifischen elektrischen Widerstandes bedingt Die Ergebnisse dieser Versuche führten zu der to Erkenntnis, daß eine gleichmäßige Ausbildung des Überzuges bezüglich Durchsichtigkeit, spezifischem elektrischen Widerstand und Dicke des Überzuges gesteuert werden kann, sofern die Sauerstoffkonzentration in der Behandlungszone zwischen der Kathode und der zu behandelnden Oberfläche des Trägers beherrschbar ISL

Dies wird hier ermöglicht, indem der Zutritt der riOfificfi iwiäciicii ivn'iin üi'iu [uv ΓΓιί'Γι gcwdilii wci'ucn und gestatten den Zutritt der Atmosphäre von der Unterseite der Kathode 27 zur Behandlungszone neben der benachbarten Oberfläche des Trägers 31, wie dies durch die Pfeile 30 in F i g. 5 dargestellt ist.

Durch nicht dargestellte Antriebsmittel ist eine Relativbewegung zwischen der Kathode 27 und dem Träger 31 parallel zu ihren einander zugewandten Flächen vorgesehen. Die bevorzugte Richtung dieser Relativbewegung liegt senkrecht zur Länge der Streifen 271. Zweckmäßig ist diese Relativbewegung eine hin- und hergehende der Kathode 27, die mit konstanter Geschwindigkeit entsprechend dem Pfeil 32a in Fig. 4 verläuft, wobei die Amplitude dieser schwingenden Bewegung dem Abstand zwischen den Mittellinien zweier benachbarter Streifen 271 entspricht. Auf diese Weise wird der Gradient der Sauerstoffkonzentration in der Atmosphäre in der Behandlungszone 32 zwischen der Kathode und dem Träger gegenüber der Verwendung einer einteiligen Kathode auf annehmbare Kleinstwerte verringert. Infolge der wesentlichen Verringerung des Gradienten der Sauerstoffkonzentration in der Behandlungszone ergibt sich ein wesentlich gleichförmiger Überzug geringen spezifischen elektrischen Widerstandes. Der Abstand zwischen den einzelnen Streifen 271 wird so gewählt, daß eine ausreichende Zuteilung der Atmosphäre zur Behandlungszone 32 gewährleistet ist und eine ausreichende Aufsprühgeschwindigkeit erzielbar ist.

F i g. 6 zeigt eine Vorrichtung mit einer Kathode gemäß den Fig.4 und 5. Die Vorrichtung weist eine zylindrische Vakuumkammer 40 auf, die mit vakuumdichten nicht dargestellten Stirndeckeln verschlossen ist. Die Kathode 27 besteht aus mehreren zueinander parallelen Streifen 271, deren obere Fläche aus einer Indium-Zinn-Legierung bestehen. Jedem Streifen 271 ist ein an Masse liegender elektrostatischer Schirm 28 zugeordnet. Der Einfachheithalber sind in F i g. 6 nur drei derartige Streifen 271 dargestellt. In der Praxis wird die Zahl der Streifen von der Länge des zu behandelnden Trägers abhängig sein, wobei die hin- und hergehende Bewegung der Elektrode so eingestellt ist. daß alle Teile der Oberfläche des Trägers besprüht werden. Die Streifen 271 sind über Rollenpaare 41 an ihren Enden auf horizontal liegenden Führungsschienen 42 abgestützt die an der Vakuumkammer 40 festgelegt sind. Die Streifen 271 sind miteinander durch einstellbare Lenker 43 verbunden, die sie parallel zueinander in Abstand voneinander halten, so daß alle Streifen gemeinsam längs der Führungsschienen senkrecht zu ihrer Länge bewegbar sind. Ein biegsamer Hochspan-

nungsleiter 44 verbindet die Streifen 271 mil der negativen Klemme einer Hochspannungsquelle 45.

Ein Paar von Seilscheiben 46 ist an einer querliegenden Welle 47 an jedem Ende der Vakuumkammer 40 gelagert und zwei Zugseile 48 laufen über diese > Seilscheiben. Dit Zugseile 48 sind mit den elektrostatischen Schirmen 28 der Streifen 271 verbunden. Die eine querliegende Welle 47 ist durch die Wand der Vakuumkammer 40 abgedichtet herausgeführt und über einen Antrieb 49 mit veränderlichem Hub von einem i< > elektrischen Motor 50 angetrieben, um die hin- und hergehende Bewegung der Streifen zu bewirken.

leder der Streifen ist, wie F i g. 7A zeigt, hohl und mit Kühlwasser gefüllt, das über ein biegsames Rohr 52 am einen Ende zugeleitet und über ein biegsames Rohr 51 ι am anderen Ende abgeleitet wird. Kühlseitig sind die Streifen 271 über die Rohre 51 und 52 hintereinander geschaltet, jedoch ist dies in den Fig.6 und 7 nicht dargesteiit, um die Deuiiichkeii der Zeichnung zu bewahren. Der Hochspannungsleiter 44 von der :<i Hochspannungsquelle 45 ist als Koaxial-Leiter ausgebildet, dessen äußerer Leiter an Masse liegt. Ähnliche Leiter 44 verbinden die Streifen 271 miteinander.

Oberhalb der horizontalen Führungsschienen 42 sind zwei horizontale Stützschienen 53 angeordnet, die >"> ebenfalls in der Vakuumkammer 40 befestigt sind und die den Träger 31 abstützen, auf den der durchsichtige elektrisch leitende Überzug aufgebracht werden soll.

Oberhalb des Trägers 31 ist ein Strahlungsheizer 54 in der Vakuumkammer 40 befestigt, der über Niederspan- in nungsleiter 55 und Stromschienen 56 mit einer Niederspannungsquelle 57 verbunden ist. Der Strahlungsheizer 54 erstreckt sich über die gesamte Fläche des Trägers 31.

An der oberen Fläche des Trägers 31 ist ein )·-> Thermoelement 58 angeordnet, das über Leiter 59 mit einem geeichten Zeigerinstrument 60 verbunden ist, das die Temperatur des Trägers anzeigt.

Eine nicht dargestellte Vakuumpumpe ist mit der Vakuumpumpe 40 über ein Absaugrohr 61 verbunden, während eine Gaszufuhr 62 für die eingestellte

Nadelventil 64 zu einer Einlaßöffnung 65 der Vakuumkammer 40 erfolgt. Die Einlaßöffnung 65 liegt an dem Ende der Vakuumkammer 40, das dem Absaugrohr 61 abgewandt ist, so daß die zugeleitete Atmosphäre durch die Behandlungszone zwischen der Kathode und dem Träger hindurchströmt und hierdurch die Gleichmäßigkeit der Sauerstoffkonzentration in der Behandlungszone unterstützt.

Nach dem Einbringen des Trägers 31 auf die Abstützschienen 53 und vakuumdichten Verschluß der Deckel der Vakuumkammer wird die Vakuumkammer 40 über die Absaugleitung 61 evakuiert und die Atmosphäre durch die Einlaßöffnung 65 zugeleitet, während der Träger 31 auf die gewünschte Temperatur durch den Strahlungsheizer 54 erwärmt wird. Die aus den Streifen 271 gebildete Kathode 27 wird längs der Führungsschienen 42 durch den Motor 50 hin- und herbewegt und den Streifen 271 von der Hochspannungsquelle 45 eine negative Spannung zugeleitet. Die Vakuumkammer 40, die Führungsschienen 42, die Abstützschienen 53 wie auch die elektrostatischen Schirme 28 sind an Masse gelegt Durch das Aufsprühen wird ein Überzug aus Indium-Zinn-Oxid auf die untere 6: Fläche des Trägers 31 aufgebracht Die Heizwirkung des aufgesprühten Plasma in der Behandlungszone bewirkt eine zusätzliche Erwärmung des Trägers, so daß die Niederspannungszufiihr /.um Strahlungsheizer entsprechend zu verringern ist. um die Temperatur des Trägers innerhalb von Grenzen von ±!0°C auf dem vorgegebenen Wert zu halten. Für diesen Zweck kann eine automatische Steuerung bekannter Art. die nicht dargestellt ist, verwendet werden.

Die Amplitude der hin- und hergehenden Bewegung der Streifen 271 ist auf den Abstand zwischen den Mittellinien benachbarter Streifen 271 eingestellt. Dieser Abstand kann durch die Lenker 43 wahlweise eingestellt werden. Auf diese Weise werden alle Teile der Oberfläche des Trägers 31 für gleiche Zeitabläufe während eines Schwingiingszyklus der Kathode besprüht.

Die Spalte zwischen den Streifen 271 gestatten einen freien Umlauf der Atmosphäre im Bereich d%;,' Behandlungszone, so daß sich kein wesentlicher Gradient in der Sauerstoffkonzentration einstellen

der zugeleiteten Atmosphäre ergibt sich ein Abfall der Sauerstoffkonzentation in der Behandlungszone 32 von nicht mehr als 0,2%, d. h. ein Abfall auf höchstens 2,8%. Es ergibt sich unter diesen Betriebsbedingungen ein sehr durchsichtiger Überzug geringen spezifischen elektrischen Widerstandes, wobei die Änderungen des letzteren leicht innerhalb einer Grenze von ± 10% eines Mittelwertes gehalten werden können.

F i g. 7 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform der Vorrichtung gemäß Fig. 6 und dient der Behandlung eines Trägers 311, der eine größere Länge als der Träger 31 gemäß Fig.6 aufweist und ferner an seinen Enden gekrümmt ist. Ein derartiger Träger kann beispielsweise eine Windschutzscheibe eines Kraftfahrzeugs sein.

Die Abstützschienen 531 und die Führungsschienen 431 sind entsprechend der Krümmung des Trägers gekrümmt und sind durch besondere, nicht dargestellte Stützen mit der Vakuumkammer 40 verbunden. Die Krümmung der Führungsschienen 431 ist so gewählt, daß die Streifen 271 der Kathode, von denen im Beispiel fünf dargestellt sind, stets parallel zur Tngente des h^norhhartpn Teil« i\pr Ohprflärhf Ap<l Träcpr«: Ιίρσρη und von dieser im wesentlichen einen konstanten Abstand aufweisen, während sie ihre Hin- und Herbewegung ausführen. Der Strahlungsheizer 54 besteht aus einzelnen Teilen, die auf Tangenten eines Bogens liegen, der etwa der Krümmung des Tangenten eines Bogens liegen, der etwa der Krümmung des Trägers 311 entspricht. Die übrigen Teile der Vorrichtung nach F i g. 7 entsprechen denen der F i g. 6 und sind daher mit gleichen Bezugszeichen versehen.

Fig.8 zeigt eine weitere Ausführungsform einer in der beschriebenen Weise ausgebildeten Kathode.

Die Kathode 27 besteht aus parallel zueinander liegenden Streifen 271, denen je ein elektrostatischer Schirm 28 zugeordnet ist. Ein Gaszuleitungsrohr 33 großen Durchmessers ist über Zweigleitungen 331 mit dem Inneren der elektrostatischen Schirme 28 verbunden. Das Gaszuleitungsrohr 33 ist abgedichtet von der Quelle für die zuzuleitende Atmosphäre durch die Wandung der Vakuumkammer hindurchgeführt Durch die Spalte zwischen dem elektrostatischen Schirm 28 und den zugeordneten Streifen 271 tritt das zugeleitete Gas in die Behandlungszone 32 über. Zwischen dem Träger 31 und der Kathode 27 erfolgt eine Relativbewegung entsprechend dem eingezeichneten Pfeil 32c

Bei der in F i g. 9 dargestellten Ausführungsform ist für die aus einzelnen Streifen 271 bestehende Kathode

ein gemeinsamer elektrostatischer Schirm 28 vorgesehen, der die Streifen 271 mit Abstand umgibt. Die Verringerung der Bauteile, zwischen denen hohe Spannungsgefälle vorliegen, wird diese Bauweise gegen elektrische Kurzschlüsse unanfälliger machen. Die Streifen haben einen Abstand voneinander, der geringer ist als die Dunkelzone, die sich bei der Bildung eines Plasma beim Anlegen einer hohen negativen Spannung an die Kathode ergibt, so daß ein seitliches Sprühen zwischen benachbarten Streifen der Kathode unterbunden ist. Das Gaszulcitungsrohr 33 ist im Bereich der Spalte zwischen den Streifen 271 über Zweigrohre 331 mit dem elektrostatischen Schirm 28 verbunden, so daß die Zufuhr der Atmosphäre zur Behandlungszone 32 durch die Spalte zwischen den Streifen 271 der Kathode erfolgt

Eine hin- und hergehende Relativbewegung zwischen der Kathode und dem Träger 31 im Sinne des cingc/ciCiinccri r ic'ncS j2l^: iSi vüigeäcneii.

In allen diesen Fällen ist eine gleichmäßige Gaszuteilung durch uie Zweigleitungen 331 durch Verwendung gleicher Längen von Zweigleitungen 331 kleinen Durchmessers erzielt. Es könnte dies aber auch durch in die Zweigleitungen eingebaute einstellbare Drosselorgane erreicht werden.

Auch mit den abgewandelten Ausführungsformen der Kathoden kann ein durchsichtiger, elektrisch leitender Überzug mit einem gleichmäßigen spezifischen elektrischen Widerstand zwischen 2XlO-⁴OhITiCm und 2Ox 10-⁴ Ohm cm in einer einstellbaren Stärke zwischen 500 und 10 000 Ä erzielt werden.

Nachstehend werden einige Beispiele unter Verwendung der Vorrichtungen nach den Fig.6 oder 7 im Zusammenhang mit dem Schaubild nach Fig. 10 beschrieben. In dem Schaubild nach Fig. 10 ist der spezifische elektrische Widerstand in Ohm cm des niedergeschlagenen Überzuges über dem Sauerstoffgehalt in der Atmosphäre in der Behandlungszone bei verschiedenen Spannungen an der Kathode aufgetragen. Die Kurven nach Fig. 10 sind für das Überziehen von Trägerflächen einer Größe geeignet, die beispielsu/picp für FahrypiicrwinrisrhiitTvhpihpn prfnrHprlirh iyt

In jedem Beispiel ist eine Kathode auf 80 Gew.-% Indium und 20 Gew.-% Zinn verwendet, die mit einem Abstand von 38 mm von der zu behandelnden Oberfläche des Trägers entfernt angeordnet ist. Die Temperatur der Oberfläche des Trägers ist auf 300⁰C eingeregelt. Der Arbeitsdruck in der Vakuumkammer ist in allen Fällen 6,5 χ 10~² mm QS. Die Kurvenschar entspricht von links nach rechts im Kurvenbild den aufgedrückten Spannungen an der Kathode von — 0,2 kV bis —3,25 kV und die Kurven zeigen eindeutige Minima des spezifischen elektrischen Widerstandes bei unterschiedlicher Konzentration des Sauerstoffs. Bei einer Kathodenspannung von -2,OkV ergibt sich beispielsweise ein Kleinstwert des spezifischen elektrischen Widerstandes von 4,5xlO-⁴ Ohm cm bei einer gleichmäßig aufrechterhaltenen Sauerstoffkonzentration von etwa 1,5%.

Die Kurve für —2,25 kV Spannung an der Kathode weist einen Kleinstwert des spezifischen elektrischen Widerstandes von 3,8 χ 10~⁴ Ohm cm auf, der bei einer Sauerstoffkonzentration von 13% erreicht wird.

Bei einer Verwendung von —2,5 kV Spannung an der Kathode ergibt sich ein noch geringerer spezifischer elektrischer Widerstand von 3,7XlO-⁴OlImCm bei einer Erhöhung der Sauerstoffkonzentration auf 2,2%. Ein minimaler spezifischer elektrischer Widerstand von

3.5 χ 10"⁴ Ohm cm wird bei einer Sauerstoffkonzentration von 2.9% erreicht, wenn die Spannung an der Kathode auf —2,75 kV erhöht wird. Bei einer Kathodenspannung von -3,OkV ergibt sich der noch niedrigere Kleinstwert für den spezifischer elektrischen Widerstand von 3,2 χ 10-⁴ Ohm cm bei einer Sauerstoffkonzentration von 3,4%.

Die letzte Kurve zeigt, daß der Kleinstwert für den spezifischen elektrischen Widerstand höher liegt,

ίο nämlich 3,7 χ 10~⁴ Ohm cm beträgt, obwohl eine Erhöhung der Sauerstoffkonzentration auf 4,8% vorliegt und die Kathodenspannung auf — 3,25 kV erhöht ist.

Um einen brauchbaren Überzug möglichst großer Stabilität zu erhalten, sollte der spezifische elektrische

i> Widerstand kleinstmöglich sein. Aus dem Schaubild der Fig. IO ergibt sich, daß dies durch Erhöhen der Spannung an der Kathode unter Erhöhung der Sauerstoffkonzentration erreichbar ist. In der Praxis zeigt es sich ais wünschenswert, eine hohe Aufsprühgeschwindigkeit zu erhalten, wozu eine möglichst hohe Betriebsspannung anzustreben ist, die ihre Grenze in der Praxis durch Bogenüberschlag findet, so daß es zweckmäßig ist, nach Festlegen der einzelnen Paramster als letzten die Sauerstoffkonzentration festzustellen, um einen möglichst geringen spezifischen elektrischen Widerstand zu erhalten. Es ist anzunehmen, daß Überzüge, die entsprechend den Minimawerten der Kurve nach Fig. 10 gebildet sind, die größte Stabilität aufweisen.

Durch eine geeignete Auswahl der Parameter der Kathodenspannung und der Sauerstoffkonzentration der der Vakuumkammer zugeleiteten Atmosphäre kann in der Nähe der Minimawerte der Kurven gemäß Fig. 10 gearbeitet werden, wobei dann der spezifische

J5 elektrische Widerstand unterhalb von 4 χ 10~⁴ Ohm cm gehalten werden kann.

Weitere Einzelheiten der vier Beispiele, die unter Verwendung der Vorrichtung nach Fig. 6 erhalten wurden, sind nachstehend .'.ufgeführt.

. ,

Beispiel 1
(Luftfahrzeugscheibe)

Ein Glas der Abmessungen 750 χ 600 x3mr wurde in eine Vakuumkammer 40 einer Länge von 3300 mm und einem Durchmesser von 1200 mm eingebracht. Neben der Glasscheibe wurde eine Kathode 27 aus vier parallel zueinander angeordneten Streifen 271 einer Länge von 1000 mm und einer Breite von 76 mm angordnet. Die obere Oberfläche der Kathode bestand aus einer Legierung aus 87,5Gew.-% Indium und 12,5Gew.-% Zinn. Der Abstand zwischen den Streifen 271 der Kathode und der Glasscheibe war auf 38 mm eingestellt Die Streifen 271 der Kathode hatten einen Abstand zwischen ihren Mittelachsen von 780 mm und sie wurden mit konstanter Geschwindigkeit zwischen Umkehrpunkten mit einer Amplitude von 180 mm hin- und herbewegt.

Die Vakuumkammer wurde auf einen Druck von 8xlO~⁵mmQS evakuiert und das Glas auf eine Temperatur von 330⁰C erwärmt. Eine Gasmischung aus 2,9 Vol.-% Sauerstoff, dem Rest Argon (abgesehen von Spuren anderer Gase), wurde mit einem Druck von

5.6 χ 10-² mm QS zugeleitet. Die Kathode wurde dann in hin- und hergehende Bewegung versetzt, wobei ein Umlauf in 20 Sekunden erfolgte und an die Kathode eine negative Spannung von 2,2 kV angelegt. Die Spannung zur Heizeinrichtung für das Glas wurde kontinuierlich geregelt, um dessen Temperatur konstant

mit einer Genauigkeit von

±10° C einzuhalten. Das

worauf die Heiz- und die

und das behandelte Glas

und 2550 Ä und einen

beschichteten Glases, das

350 χ 600 χ 4 mm

1050 χ 550 mm

550 χ 500 mm

5

Anfänglicher Unterdruck:

2 χ 10-⁴mmQS

600 χ 1050 mm
5 Streifen 76 χ 1000 mir

350 χ 600 χ 4 mm

350x600x4 mm

Aufsprühen unter diesen Betriebsbedingungen erfolgte

Kathodenspannung abgeschaltet wurden. Die Vakuum

entnommen. Das Glas hatte einen Überzug gleichmäßi

Widerstand auf die Flächeneinheit bezogen von

im wesentlichen farblos war, wurde mit 85% festgestellt

5 Streifen 76 χ 600 mm.

5 Streifen 76 χ 1000 mm.

5 Streifen 76 χ 1000 mm,

Temperatur des Glases:

350° C

Abstand zwischen de

5 Streifen 76 χ 600 miT

5 Streifen 76 χ 600 mit

Für die Zeit von 22 Minuten,

kammer wurde dann geöffne

ger Dicke zwischen 2450

10 Ohm. Der errechnete spezifische elektrische Wider

Abstand zwischen den

Sauerstoffkonzentration:

3,4%

Mittellinien 230 mm

Abstand zwischen de

stand des Oberzuges ergab sich zu2jx 10—' Ohm cm.

Mittellinien 180 mm

Mittellinien 230 mm

Arbeitsdruck:

5,6 xlO-² mm QS

Mittellinien 180 mm

Die Lichtdurchlässigkeit des

Beispiel 2
(Luftfahrzeugfenster)

Kathodenspannung:

-2,65 kV

230 mm

Die allgemeine Durchführung erfolgte wie beim
Beispiel 1. jedoch in folgenden Werten:

180 mm

230 mm

10

Sprühzeit:

20 Minuten

2,5 xlO-⁴ mm QS

180 mm

Abmessungen des Glases:

10-⁴mmQS

2 χ 10-⁴mmQS

Widerstand des beschich

350⁰C

10~⁴mmQS

10 ⁴ mm QS

Kathode:

330° C

350° C

teten Glases auf Flächen

3,4%

330" C

2,7%

3,4%

einheit bezogen:

10 Ohm

5,2 xlO-² mm QS

2,7%

63 xlO-² mm QS

5,6 χ ΙΟ-² mm QS

15

Dicke des Überzuges:

2550 bis 2650 Ä

-2,7 kV

5,2 xlO-² mm QS

Amplitude der Hin- und

-2,4 kV

-2,7 kV

Spezifischer elektrischer

20 Minuten

-2,4 kV

Herbewegung:

20 Minuten

6³/4 Minuten

Widerstand:

2,6 xlO-⁴ Ohm cm

24 Minuten

Anfänglicher Unterdruck:

20

Lichtdurchlässigkeit:

84%.

Temperatur des Glases:

Beispiel 5
(Schiffsfenster)

12 Ohm

Sauerstoffkonzentration:

10 Ohm

55 0hm

Abmessungen des Glases:
Kathode:

2150 bis 2250 Ä

14,2 Ohm

Arbeitsdruck:

1950 bis 2050 Ä

800 bis 900 Ä

1800 bis 2000 A

Kathodenspannung:

2,6 xlO-⁴ Ohm cm

Sprühzeit:

29 xlO-⁴ Ohm cm

4,7 χ IO-⁴Ohmcm

25

Amplitude der Hin- und

82%.

2,8 χ 10-⁴Ohmcm

Widerstand des beschichteten

82%.

Herbewegung:

82%.

Glases auf Flächen

Beispiel 3

Beispiel 4

Anfänglicher Unterdruck:

Beispiel ο
(Flugzeugfenster)

einheit bezogen:

(Lokomotivfenster)

(Schiffsfenster)

Temperatur des Glases:

Abmessungen des Glases:

Beispiel /
(Flugzeugfenster)

Dicke des Überzuges:

Abmessungen des Glases:

Sauerstoffkonzentration:

Kathode:

Abmessungen des Glases:

Spezifischer elektrischer

Kathode:

30

Arbeitsdruck:

Kathode:

Widerstand:

Kathodenspannung:

Lichtdurchlässigkeit:

Sprühzeit:

Amplitude der Hin- und

Widerstand des beschich

Herbewegung:

Amplitude der Hin- und

Herbewegung:

teten Glases auf Flächen

Anfänglicher Unterdruck:

Herbewegung:

Anfänglicher Unterdruck:

35

einheit bezogen:

Temperatur des Glases:

Anfänglicher Unterdruck:

Temperatur des Glases:

Dicke des Überzuges:

Sauerstoffkonzentration:

Temperatur des Glases:

Sauerstoffkonzentration:

Spezifischer elektrischer

Arbeitsdruck:

Widerstand:

Kathodenspannung:

40

Lichtdurchlässigkeit:

Sprühzeit:

Widerstand des beschich

teten Glases auf Flächen

einheit bezogen:

Dicke des Überzuges:

45

Spezifischer elektrischer

Widerstand:

Lichtdurchlässigkeit:

50

55

65

Sauerstoffkonzentration:
Arbeitsdruck:
Kathodenspannung·
Sprühzeit:

Widerstand des beschichteten Glases auf Flächeneinheit bezogen:
Dicke des Oberzuges:
Spezifischer elektrischer
Widerstand:
Lichidurchlässigkeit:

2,7%

6,0 xlO-'mm QS

-2,4 kV

22 Minuten

18,5 Ohm

1600 bis 1800 Ä

3,Ox 10-⁴ Ohm cm 82%.

Die Gleichmäßigkeit des Widerstandes des beschichteten Glases nach den Beispielen 6 und 7 wurde dadurch gemessen, daß ein Gitter aus sechs Kolonnen von elf Flächen einer Größe eines Quadratzolls gebildet wurde und der Widerstand jedes Gitterfeldes gemessen wurde. Die Ergebnisse zeigen die nachfolgenden Tafeln:

Beispiel 6

20 20 19 20 19 19 18 18 18 20 23 14
15
18

19
19
18
20
18
18
17
18
19
19
21

13 13

15 16

17 18

Beispiel 7

18
18
18
20
18
17
17
17
18
18
20

18
18
17
20
18
17
17
17
17
!9
20

14 15 16

18 18 17 20 18 17 17 17 16 18 20

14 15 19

18 18 19 20 19 18 18 17 18 18 20

16
16
16
15
14
14
14
16

14
15
16
15
14
13
13
15

15
15
15
15
14
14
13
14

14
14
13
15
14
14
13
15

14 13 14 15 14 13 13 14

15 14 15 16 14 14 13 14 Es ergibt sich aus den Tafeln, dali mit Ausnahme der Randcinflüssc, die üblicherweise bei Überzügen festgestellt werden, der Widerstand im wesentl-chcn innerhalb von ± 10% vom Mittelwert konstant liegen.

Ferner werden Werte von fünf weiteren Beispielen mit Gläsern von 300 mm Größe im Quadrat angegeben, die mit der Vorrichtung gemäß Fig.6 mil einem Überzug versehen worden sind. Sämtliche Überzüge haben eine große Lichtdurehläs.sigkeit zwischen 80 bis 8J%.

Zusammen	Kathode	Abstand	Arbeits	Tempera	Zugeleitete	Dicke des	Aui	Spezi
setzung der		zwischen	druck in	tur der	Atmosphäre	Uncr/ugs/	Flächen	fischer
Kathode	Spannung Strom	Kathode	der Va	Trägers			einheil	elek
		u. Träger	kuum				bezogener	trischer
			kammer				Wider	Wider
							stand des	stand
							Überzugs	/I
'/.In %Sn	-KV mA	mm	10 ²	⁰C	7.Ar "/.O₂	Λ	Ohm	()hm cm
			mm QS

20
20
20
20
12

2,5

2.5

3.0

3,75

4,0

105

100

30 30 30 30 38

7,5 7,5 6,0 5,0 6,5

97
96
95
94
.97

3
4
5
6
3

2700
-MOO
2000
1800
3600

12 18 18 14,7 7,2

3.2-10 ⁴

4,3 10 ⁴ 3,5-10 ⁴ 2,65· 10 ⁴ 2.6· ¹O ^A

Es können auch andere Indium-Zinn-I.egierungcn aufgesprüht werden, wie auch die Verwendung von Legierungen aus Cadmium·Indium. Zinn-Antimon und Anlimon-Tcllurium. d.h. von Metallen mil einer Atomzilfcr zwischen 48 und 5), möglich ist. die mit einem Metall höherer Wenigkeit, vorzugsweise ein oder zwei Wenigkeiten höher, und gleicher Atomgröße legieri sind. Legierungen aus Indium-Germanium. Indium-Phosphor oder Indium-Tellurium sind ebenfalls verwendbar. Ebenso können auch die anderen Parameter des Aufsprühvorganges abgewandelt werden, wobei folgende Bereiche als Beispiel angegeben werden: Absland zwischen der
Kalhodciinddcr/u
behandelnden Oberfläche
des Tragers:

20 bis 100 mm

Tcmperalur der Oberfläche

des Trägers:

der Kathode zugeführtc

Spannung:

Arbeitsdruck in der

Vakuumkammer:

240 bis 400 C

- 1.0 kV bis -5.OkV

IxIO' mm QS bis 10 χ 10 'mm QS Fs können auch andere .sauerstoffhallige zugeleitete Atmosphären verwende! werten. Beispielsweise knnn anstelle von Argon ein anderes das verwendet werden, das gegen die anderen Gase und die Werksioffe in der Vakuumkammer inert ist. In abgewandelter Weise kann diese Atmosphäre aus einer Mischung üiis SiiuerMüff. Argon und Wasserstoff oder Sauerstoff. Argon und Kohlenmonoxid oder Kohlendioxid bestehen, wobei Kohlenmonoxid und Kohlendioxid ein Teil des Saiiersloffanleils einbringen.

Ferner können als Träger aulVr (Ulis auch feuerfeste oder siliziumhallige Träger verwendet werden, wie beispielsweise Porzellan. Silika oiler Mika.

030 216/119

llier/u 0> Hliill /cichiuinucn

Claims

Patentansprüche:

I. Verfahren zum Aufbringen eines durchsichtigen, elektrisch leitenden Metalloxidüberzuges auf die Oberfläche eines Trägers erheblicher Querabmessung, bei dem eine Kathode in der Nähe des Trägers angeordnet ist, wobei die Kathode eine Querabmessung nicht wesentlich geringer als der Träger hat und ihre dem Träger zugewandte Oberfläche aus dem Metall besteht, dessen Oxid auf den Träger aufgebracht werden soll, bei dem die Kathode und der Träger in eine Vakuumkammer eingeschlossen sind, die eine Atmosphäre aus Sauerstoff und einem oder mehreren anderen Gasen mit einem geregelten Unterdruck enthält, bei dem die Kathode auf einer hohen negativen Spannung liegt, um das Aufbringen des Metalloxidüberzuges durch Aufsprühen im wesentlichen senkrecht zur Oberfläche des Trägers zu bewirken, und bei dem die Atmosphäre durch mehrere. Abstand voneinander aufweisende Kanäle der Kathode in die Behandlungszone zwischen den einander zugewandten Oberflächen von Kathode und Träger gelangt, um in dieser eine im wesentlichen konstante Konzentration des Sauerstoffs während des Sprühvorgangs aufrechtzuerhalten, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (27) aus mehreren nebeneinander liegenden Streifen (271) besteht, die durch über die ganze Breite der Kathode reichende Kanäle (29) voneinander getrennt sind, daß zwischen der Kathode (27) und dem Träger(M, 311) eine quer zur Längsrichtung der Streifen (271) gerichtete Relativbewegung mit einer Amplitude ^tfolgt, die wesentlich kleiner als die Länge der Kathode, aber π ausreichend ist, um alle Teile der Trägeroberfläche durch mindestens einen der Streifen (271) besprühen zu lassen, und daß die Oberfläche des Trägers während des Aufsprühens eine vorgegebene erhöhte Temperatur aufweist
2. Verfahren nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Relativbewegung zwischen der Kathode (27) und dem Träger (31,311) als eine hin- und hergehende Bewegung erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch I oder 2, dadurch 4-, gekennzeichnet, daß die Amplitude der Relativbewegung zwischen der Kathode (27) und dem Träger (31, 311) im wesentlichen dem Abstand der Längsmittellinien benachbarter Streifen (271) entspricht.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Streifen (271) längs Führungsschiene (42,421) relativ zum Träger bewegen lassen.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche I bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühatmosphäre unmittelbar den Spalten (29) zwischen den Streifen (271) zugeführt wird, um von dort zur Behandlungszone (32) zu strömen.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche I bis 5, mi dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühatmosphäre aus Sauerstoff und einem Gas besteht, das im wesentlichen inert gegen die anderen Bestandteile der Sprühatmosphäre und die Werkstoffe des Vakuumhammer (40) ist. f>-,
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, da« als inertes Gas Argon verwendet wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7,

dadurch gekennzeichnet, daß die Sauerstoffkonzentration in der Behandlungszone (32) und die der Kathode (27) zugeleitet negative Spannung so eingestellt sind, daß sich ein spezifischer elektrischer Widerstand der aufgesprühten Metalloxidschicht im Bereich eines Kleinstwertes einer Kurve ergibt, in der der spezifische elektrische Widerstand über der Sauerstoffkonzentration bei Konstanthalten aller anderen Variablen aufgetragen ist (F i g. 10).
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Sauerstoffkonzentation in der Behandlungszone (32) einen Wert zwischen I und 10 Vol.-% aufweist
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet daß die negative Spannung an der Kathode (27) auf einen Wert zwischen 1,0 und 5,0 KV eingestellt ist
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet daß die gesteuerte Temperatur an der Oberfläche des Trägers (31) 240 bis 400°C beträgt.
12 Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (27) aus einem Metall mit einer Atomziffer zwischen 48 und 51 mit einem Metall einer höheren Wertigkeit und ähnlicher Atomgröße legiert ist
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (27) aus einer Indium-Zinn-Legierung besteht.·
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die für die Kathode (27) verwendete Indium-Zinn-Legierung 75 bis 95 Gew.-% Indium und 25 bis 5 Gew.-% Zinn aufweist
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet daß die Indium-Zinn-Legierung der Kathode (27) aus 80 Gew.-% Indium und 20 Gew.-% Zinn besteht.
16. Verfahren nach Arapmch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Irdium-ünn-Legierung der Kathode (27) aus 88 Gew.-% Indium und 12 Gew.-% Zinn besteht
17. Verfahren nach einem der Ansprüche I bis t6, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (31, 311) eine Glasscheibe ist.
18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Glasscheibe vor dem Besprühen gehärtet worden ist.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche I bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck in der Vakuumkammer (40) auf einen Wert zwischen I χ 10-²und 1Ox 10~²mm QS eingestellt ist.
20. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Streifen (271) eine Breite zwischen 5 und 200 mm, vorzugsweise zwischen 30 und 100 mm, aufweisen.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Streifen (271) auf den zum Träger (31, 311) parallelen Führungsschienen (42, 421) abgestützt sind und mit einem Antrieb (46-50) für die Relativbewegung über Zugseile (48) verbunden sind, die über an den Enden der Führungsschienen angeordnete Seilscheiben (46) laufen.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (311) in seiner Längsrichtung gekrümmt ist, die Führungsschienen (421) eine entsprechende Krümmung aufweisen und die Streifen (271) der Kathode während ihrer Hin-

und Herbewegung im wesentlichen einen konstanten Abstand von der Oberfläche des Trägers halten.
23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß eine an eine Vakuumpumpe angeschlossene Absaugleitung (61) und eine Einlaßöffnung (65, 33) für die der Vakuumkammer (40) zugeleitete Sprühatmosphäre so an die Wandung der Vakuumkammer (40) angeschlossen sind, daß ein direkter Gasstrom zwischen beiden öffnungen durch die Behandlungszone (32) zwischen der Kathode (27) und der zu behandelnden Oberfläche des Trägers (31, 311) strömt
?4. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Einlaßöffnung (33) mit den in der Kathode (27) vorgesehenen Spalten (29, 34) verbunden isL
25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Streifen (271) der Kathode mit Abstand von einem eigenen elektrostatischen Schirm (28) umgeben ist, und die Einlaßöffnung mit den Spalten (29,34) zwischen dc-ti Streifen und ihren Schirmen verbunden ist (F i g. 8).
26. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Streifen (271) der Kathode (27) mit Abstand von einem gemeinsamen elektrostatischen Schirm (28) umgeben sind und die Einlaßöffnung (33) durch die Spalte (29) zwischen den Streifen mit der Behandlungszone (32) verbunden ist
27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daß ein Strahlungsheizer (54) für den Träger (31, 311) auf dessen der Kathode (27) angewandten Seite angeordnet ist