DE2027105A1 - Halbleiterbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Halbleiterbauelement und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
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Description
R. 9866
1.6.1970 Fb/Sz
1.6.1970 Fb/Sz
Anlage zur
Patent- w&ä »,™,λί a„„„
Anme 1 dung
ROBERO? BOSCH GMBH, 7 Stuttgart 1, Breitscheidstraße 4-
Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauelement mit einer aus einem Abdecklack bestehenden Oberflächenschutzschicht auf dem
Halbleiterkörper und auf den an den Halbleiterkörper, angren- "
zenden Oberflächenbereichen der Anschlußleiter. Die Erfindung
betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen
Halbleiterbauelements.
Bei bekannten Halbleiterbauelementen dieser Art werden als Abdecklacke Silikonharze und -lacke sowie Alizarinlack verwendet.
Diese Abdecklacke haben aber den Nachteil, daß ihre Temperaturbeständigkeit sowie ihre Haftung auf den Anschlußleitern
in vielen Fällen nicht ausreichend ist.
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Robert Bosch GmbH ■ R. 9866 Fb/Sz
Stuttgart
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Halbleiterbauelement
der eingangs genannten Art zu entwickeln, bei dem diese Nachteile vermieden sind.
Eine besonders einfache und wirkungsvolle Lösung dieser Aufgabe ergibt sich, wenn gemäß der Erfindung als Abdecklack
Ester-Imid-Lack verwendet ist.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung zweier in der Zeichnung
dargestellter Ausführungsbeispiele.
Es zeigen:
Fig. 1 ein Halbleiterbauelement nach der Erfindung mit zwei als Kopfdraht ausgebildeten Anschlußleitern
im Axialschnitt;
Fig. · 2 ein Halbleiterbauelement nach der Erfindung mit zwei Anschlußleitern, von denen der eine als Sockel,
der andere als Kopfdraht ausgebildet ist, ebenfalls im Axialschnitt; .
Fig. 3 eine Anordnung zum Aufbringen des Abdecklackes auf das Halbleiterbauelement nach Fig. 1, schematisch;
, ; -;
Fig. 4 eine Anordnung zum Aufbringen des Abdecklackes
auf das Halbleiterbauelement nach Fig. 2, schematisch.
Das in Fig. 1 dargestellte Halbleiterbauelement besitzt zwei aus Kupfer bestehende Anschlußleiter 1, 2, die als Kopfdraht
ausgebildet sind. Zwischen den Kopfteilen la, 2a dieser beiden
Anschlußleiter ist ein. Halbleiterkörper 3 festgelötet. Die
- 3 -■ 109851/146 2
_ 3 —
Robert Bosch GmbH · R- 9866 Fb/Sz
Stuttgart ..
Lötfugen zwischen dem Halbleiterkörper 3 und den Anschlußleitern
1, 2 sind mit 4· und 5 bezeichnet. Auf das verlötete Gebilde
1, 2, 3, 4, 5 ist eine Oberflächenschutzschicht 6 aufgebracht.
Diese Oberflächenschutzschicht bedeckt die nach dem Verlöten noch freiliegende Umfangsfläche des Halbleiterkörpers
3> die freiliegenden Umfangsflächen der Lötfugen 4,5
sowie die Mantelflächen Ib, 2b und die ringförmigen Deckflächen
Ic, 2c der Kopfteile la, 2a. Das verlötete und lakkierte
Gebilde 1, 2, 3> 4, 5» 6 ist mit einer Kunstharzmasse
umspritzt.
Erfindungsgemäß besteht die Oberflächenschutzschicht 6 aus
Ester-Imid-Lack. Die Verwendung dieses Lackes hat eine besonders
gute Haftung der Oberflächenschutzschicht 6 auf dem verlöteten Gebilde 1, 2, 3» 4, 5 und eine besonders gute Haftung
der Kunstharzmasse 7 auf der Oberflächenschutzschicht
zur Folge. Dadurch wird der mechanische Zusammenhalt und die Abdichtung des Bauelements wesentlich verbessert.
Das in Fig. 2 dargestellte Halbleiterbauelement besitzt zwei aus Kupfer bestehende Anschlußleiter 1, 2. Der Anschlußleiter
ist dabei als Sockel ausgebildet, welcher im wesentlichen die Gestalt eines in der Mitte erhöhten Metalltellers hat. Die
mittlere Erhöhung ist dabei mit la bezeichnet. Der Anschluß- f leiter 2 ist wie beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 als
Kopfdraht ausgebildet. Zwischen der mittleren Erhöhung la des Anschlußleiters 1 und dem Kopfteil"2a des Anschlußleiters
2 ist der Halbleiterkörper 3 festgelötet, wobei die Lötfugen wieder mit 4 und 5 bezeichnet sind. Auf das verlötete
Gebilde 1, 2, 3» 4, 5 ist wie beim Ausführungsbeispiel nach
Fig. 1 eine Oberflächenschutzschicht 6 aufgebracht, welche aus Ester-Imid-Lack besteht. Diese Oberflächenschutzschicht
bedeckt die nach dem Verlöten noch freiliegende Umfangsflache
- 4. 109851 /U62
Robert Bosch GmbH . H. 9866 Fb/Sz
Stuttgart
des Halbleiterkörpers 3> die freiliegenden Umfangsflachen der
Lötfugen 4, 5, die Mantelfläche Ib der mittleren Erhöhung la
sowie die Mantelflächen 2b und die ringförmige Deckfläche 2c des Kopfteils 2a. Das verlötete und lackierte Gebilde 1, 2, 3»
4, 5> 6 ist wie beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 mit einer
Kunstharzmasse 7 umspritzt. Anstelle der Kunstharzmasse 7 kann
auch ein Glas-Metall-Verschluß verwendet sein.
Fig. 3 zeigt schematisch eine Vorrichtung zürn Aufbringen der
Oberflächenschutzschicht 6 auf das in Fig. 1 dargestellte Gebilde 1, 2, 3, 4, 5 zusammen mit diesem Gebilde, welches bei
8 ebenfalls nur schematisch gezeichnet ist. Die Vorrichtung zum Aufbringen der Oberflächenschutzschicht 6 umfaßt einen
mit Ester-Imid-Lack 9 gefüllten Behälter 10. Mit einer
Pumpe 11 wird der Lack in ein Steigrohr 12 gepumpt, aus dessen oberem Ende er in Form eines Schwalles 13 austritt.
An dem Lackschwall 13 wird das mit der Oberflächenschutzschicht 6 zu überziehende Gebilde 8 bzw. 1, 2, 3, 4-, 5 in
Pfeilrichtung A rotierend vorbeigeführt und so mit der Oberflächenschutzschicht
6 überzogen. Die rotierende Bewegung ist in Fig. 3 bei 14 schematisch angedeutet. Nach dem Vorüberstreichen
an dem Gebilde 1, 2, 3, 4, 5 fällt der Lackschwall über einen Trichter 15, welcher das Steigrohr 12 koaxial umgibt,
in den Behälter 10 zurück.
Fig. 4 zeigt die Vorrichtung nach Fig. 3 zusammen mit dem in
Fig. 2 dargestellten Gebilde 1, 2, 3, 4, 5i welches hier mit
81 bezeichnet ist. Zum Aufbringen des Lackes wird das Gebilde
8' an einem Unterdruckrohr 16 festgehalten und wie beim
Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 rotierend an dem Lackschwall vorbeigeführt. Die rotierende Bewegung ist dabei bei 14' angedeutet.
109851/1462
Claims (3)
- Robert Bosch GmbH 1.StuttgartAnsprücheill Halbleiterbauelement mit einer aus einem Abdecklack bestehenden Oberflächenschutzschicht auf dem Halbleiterkörper und auf den an den Halbleiterkörper angrenzenden Oberflächenbereichen der Anschlußleiter,'dadurch gekennzeichnet, daß als Abdecklack Ester-Imid-Lack verwendet ist. ^
- 2. Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der Oberflächenschutzschicht (6) der Ester-Imid-Lack im Schwallverfahren auf das verlötete Gebilde (1,2, 3, 4, 5) aufgebracht wird. - 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daßdas verlötete Gebilde (1, 2, 3» 4-, 5) beim Aufbringen ■des Ester-Imid-Lackes um seine.Achse gedreht wird. "2. 6.109851/1462
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