DE19964233C2 - Piezoelektrische keramische Zusammensetzung - Google Patents

Piezoelektrische keramische Zusammensetzung

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Abstract

Die vorliegende Erfindung gibt eine piezoelektrische keramische Zusammensetzung zur Hand, die vorwiegend eine durch folgende Formel dargestellte Zusammensetzung umfaßt: DOLLAR A (1 - n) (K¶1-x-y¶Na¶x¶Li¶y¶)¶m¶(Nb¶1-z¶Ta¶z¶)O¶3¶ - nM1M2M3O¶3¶, DOLLAR A wobei M1 für ein dreiwertiges Metallelement steht; M2 für ein einwertiges Metallelement steht; M3 für ein vierwertiges Metallelement steht und x, y, z, m und n die folgenden Bedingungen erfüllen: x 0,9; 0,02 y 0,3; 0,75 x + y; 0 z 0,3; 0,98 m 1,0 und 0 < n 0,05.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine piezoelektrische keramische Zusammenset­ zung, insbesondere eine piezoelektrische keramische Zusammensetzung, die als Material für piezoelektrische keramische Elemente, beispielsweise piezoelektrische Keramikfilter und piezoelektrische Keramikoszillatoren, verwendbar ist.
Stand der Technik
Piezoelektrische keramische Zusammensetzungen, die vorwiegend Bleititanatzir­ conat (Pb(TixZr1-x)O3) oder Bleititanat (PbTiO3) enthalten, haben breite Anwendung bei piezoelektrischen keramischen Elementen, wie zum Beispiel piezoelektrischen Keramikfiltern, gefunden. Die JP-A-06211523 offenbart eine derartige piezoelektri­ sche keramische bleititanatzirconathaltige Zusammensetzung. Bei dem Herstel­ lungsschritt für diese Arten von piezoelektrischen keramischen Zusammensetzun­ gen wird im allgemeinen Bleioxid verwendet. Die Verdampfung von Bleioxid bewirkt jedoch eine verschlechterte Homogenität der Eigenschaften der hergestellten Ele­ mente.
Piezoelektrische keramische Zusammensetzungen, die vorwiegend Kaliumnatrium­ lithiumniobat, dargestellt durch eine Formel wie (K1-x-yNaxLiy)NbO3, enthalten, füh­ ren dagegen nicht zu dem oben genannten Problem, da sie kein Bleioxid enthalten. Aus der U.S. 5,637,542 sind bleioxidfreie piezoelektrische keramische Zusammen­ setzungen bekannt, die aus einem Binärsystem mit den Komponenten (Bi1/2Na1/2)TiO3 und NaNbO3 bestehen. Das Bismutnatriumtitanat stellt ein ferro­ elektrisches Material mit einer Curietemperatur von 320°C dar. Es liegt in einer tri­ gonalgen Kristallstruktur vor. Die weitere Komponente Natriumniobat ist ein antifer­ roelektrisches Material mit orthorombischer Perovskitstruktur.
Einige derartige Kaliumnatriumlithiumniobat enthaltende Zusammensetzungen, wie sie beispielsweise aus der JP-A-07232923 bekannt sind, weisen einen hohen elektromechanischen Kopplungsfaktor KP auf und werden als vielversprechende Materialien für die Herstellung piezoelektrischer keramischer Elemente, wie bei­ spielsweise piezoelektrische Keramikfilter und piezoelektrische Keramikoszillatoren, betrachtet.
Die vorwiegend Kaliumnatriumlithiumniobat enthaltenden piezoelektrischen kerami­ schen Zusammensetzungen weisen jedoch eine relative Dielektrizitätskonstante auf, die niedriger als die von Bleititanatzirconat oder Bleititanat ist. Wenn sie als Materialien für piezoelektrische keramische Elemente, wie zum Beispiel piezoelek­ trische Keramikfilter und piezoelektrische Keramikoszillatoren verwendet werden, ist daher die Impedanzanpassung mit einem die keramischen Elemente enthalten­ den Stromkreis mangelhaft und der Stromkreisaufbau wird manchmal schwierig.
Wenn eine piezoelektrische keramische Zusammensetzung in einem Hochfre­ quenzbereich verwendet wird, kommt es zu folgenden Problemen. Da beispielswei­ se eine piezoelektrische keramische Zusammensetzung, die vorwiegend Bleitita­ natzirconat enthält, im allgemeinen eine relativ hohe Dielektrizitätskonstante (ca. 1.000-2.000) aufweist, nimmt die Impedanz in einem Hochfrequenzbereich von beispielsweise über 100 MHz ab, was deren Verwendung in einem Hochfrequenz­ bereich schwierig macht.
Vorwiegend Bleititanat (PbTiO3) enthaltende piezoelektrische keramische Zusam­ mensetzungen dagegen weisen im allgemeinen eine relative Dielektrizitätskon­ stante von ca. 200 auf, die niedriger als die der obigen vorwiegend Bleititanatcirco­ nat enthaltenden piezoelektrischen keramischen Zusammensetzungen ist. Daher sind die Bleititanat (PbTiO3) enthaltenden Zusammensetzungen bekanntermaßen in einem Hochfrequenzbereich zweckmäßig. Eine noch niedrigere relative Dielektri­ zitätskonstante ist jedoch in Anbetracht der Verwendung in einem höheren Hoch­ frequenzbereich erwünscht. Die JP-A-05058634 offenbart einen Bleititanat enthal­ tenden Film, der bei geringen Temperaturen ohne Nachbehandlung auf einem Ba­ sismaterial aufgebracht werden kann.
Weiterhin weisen vorwiegend Bleititanatcirconat oder Bleititanat enthaltende piezo­ elektrische keramische Zusammensetzungen eine Resonanzfrequenz der Schwin­ gung in einer Stärkenrichtung von nur ca. 2.000-2.500 Hz.m auf. Wenn daher eine derartige piezoelektrische keramische Zusammensetzung zur Ausbildung eines Schwingungserregers zu einer dünnen Platte verarbeitet wird, muß der Schwin­ gungserreger in einem beschränkten Frequenzband verwendet werden.
Einige der piezoelektrischen keramischen Verbindungen, die vorwiegend Kalium­ natriumlithiumniobat, dargestellt durch eine Formel wie (K1-x-yNaxLiy)NbO3, enthal­ ten, besitzen dagegen eine Resonanzfrequenz der Schwingung in einer Stärken­ richtung von nur ca. 3.000 bis 3.500 Hz.m und eine relative Dielektrizitätskonstante von ca. 100, die niedriger als die von Bleititanat ist. Daher werden einige der Zu­ sammensetzungen bekanntermaßen als Material verwendet, das in Anbetracht sei­ ner Verwendung in einem Hochfrequenzbereich vorteilhaftere Eigenschaften als Bleititanatcirconat oder Bleititanat hat.
Die vorwiegend Kaliumnatriumlithiumniobat enthaltenden piezoelektrischen kerami­ schen Zusammensetzungen weisen jedoch einen hohen temperaturabhängigen Faktor der Resonanzfrequenz der Schwingung in einer Stärkenrichtung von etwa 150-300 ppm auf (dieser Faktor wird als fr-TC bezeichnet und steht für eine wich­ tige Eigenschaft eines Materials für piezoelektrische Keramikfilter und piezoelektri­ sche Keramikoszillatoren). Daher finden die piezoelektrischen keramischen Zu­ sammensetzungen verglichen mit Beititanatcironat, Bleititanat, etc., noch keine breite Anwendung in der Praxis.
Der oben beschriebene temperaturabhängige Faktor der Resonanzfrequenz der Schwingung in einer Stärkenrichtung, dargestellt durch fr-TC, wird anhand folgen­ der Gleichung berechnet:
fr-TC = (frmax - frmin)/(fr20.100)
wobei frmax für eine maximale Resonanzfrequenz der Schwingung in einer Stärken­ richtung innerhalb eines Temperaturbereichs von -20°C bis +80°C, frmin für eine minimale Resonanzfrequenz der Schwingung in einer Stärkenrichtung innerhalb eines Temperaturbereichs von -20°C bis +80°C und fr20 für eine Resonanzfrequenz der Schwingung in einer Stärkenrichtung bei 20°C steht.
ZUSAMMENFASSENDE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung wurde in dem Bemühen, die oben erwähnten Probleme mit vorwiegend Kaliumnatriumlithiumniobat enthaltenden piezoelektrischen kerami­ schen Zusammensetzungen zu lösen, verwirklicht.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine piezoelektri­ sche keramische Zusammensetzung zur Hand zu geben, bei der der tempera­ turabhängige Faktor der Resonanzfrequenz, dargestellt durch fr-TC, günstig ist, d. h. bei 100 ppm oder weniger liegt, und die relative Dielektrizitätskonstante bei 180 oder weniger liegt, und wobei die Zusammensetzung in einem Hochfrequenzbe­ reich und unter einer Bedingung, daß der temperaturabhängige Faktor der Reso­ nanzfrequenz der Schwingung in einer Stärkenrichtung bei 3.000 Hz.m oder höher liegt, zweckmäßig verwendet wird.
In einer Erscheinungsform der vorliegenden Erfindung ist eine piezoelektri­ sche keramische Zusammensetzung vorgesehen, die vorwiegend eine durch die folgende Formel dargestellte Zusammensetzung umfaßt:
(1 - n)(K1-x-yNaxLiy)m(Nb1-zTaz)O3 - nM1M2M3O3
wobei M1 für ein dreiwertiges Metallelement steht; M2 für ein einwertiges Metalle­ lement steht; M3 für ein vierwertiges Metallelement steht und x, y, z, m und n die folgenden Bedingungen erfüllen: x ≦ 0,9; 0,02 ≦ y ≦ 0,3; 0,75 ≦ x + y; 0 ≦ z ≦ 0,3; 0,98 ≦ m ≦ 1,0 und 0 ≦ n ≦ 0,05.
M1 ist vorzugsweise Bi, M2 mindestens ein aus der Gruppe bestehend aus K, Na und Li ausgewähltes Element und M3 mindestens ein aus der Gruppe bestehend aus Ti, Zr, Sn und Hf gewähltes Element.
Nach der Erscheinungsform der vorliegenden Erfindung kann eine piezo­ elektrische keramische Zusammensetzung mit ausgezeichneten Eigenschaften, z. B. einem temperaturabhängigen Faktor der Resonanzfrequenz, dargestellt durch fr-TC, von 100 ppm oder weniger und einem Curie-Punkt von über 200°C verwirk­ licht werden, wobei die Zusammensetzung in einem Hochfrequenzbereich und un­ ter den Bedingungen, daß die relative Dielektrizitätskonstante bei 180 oder darunter liegt und der temperaturabhängige Faktor der Resonanzfrequenz der Schwingung in einer Stärkenrichtung bei 3.000 Hz.m oder höher liegt, zweckmäßig verwendet wird.
Durch die Verwendung der piezoelektrischen keramischen Zusammensetzung nach der vorliegenden Erfindung werden pie­ zoelektrische keramische Elemente, wie beispielsweise piezoelektrische Keramik­ filter und piezoelektrische Keramikoszillatoren, vorteilhaft hergestellt.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGEN
Wie oben beschrieben umfaßt die erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Zusammensetzung vorwiegend eine durch die folgende Formel dargestellte Zu­ sammensetzung:
(1 - n)(K1-x-yNaxLiy)m(Nb1-zTaz)O3 - nM1M2M3O3
Unter Bezug auf die erste Erscheinungsform der vorliegenden Erfindung werden nachstehend die Gründe beschrieben, warum die Parameter auf die genannten Bereiche beschränkt sind.
x und y sind derart beschränkt, daß 0,1 ≦ x und y ≦ 0,3 sind. Wenn x und y außer­ halb dieser Bereiche fallen, sind die gesinterten Produkte nicht zufriedenstellend. x + y ist derart beschränkt, daß x + y < 0,75 ist. Wenn x + y gleich 0,75 oder mehr ist, sinkt der durch KP dargestellte elektromechanische Kopplungsfaktor auf unter 25%, was somit zu Schwierigkeiten bei der Anwendung der Zusammensetzung bei einem Material für piezoelektrische Keramikfilter, piezoelektrische Keramikoszillatoren, etc. führt.
z ist derart beschränkt, daß 0 ≦ z ≦ 0,3 ist. Wenn z außerhalb dieses Bereiches fällt, sinkt der Curie-Punkt auf 200°C oder darunter, was ein Problem hinsichtlich der Abweichung der Eigenschaften bei einer Temperaturänderung der Elemente führt, die aus der erfindungsgemäßen piezoelektrischen keramischen Zusammensetzung gebildet werden.
m ist derart beschränkt, daß 0,98 ≦ m ≦ 1,0 ist. Wenn m außerhalb des Bereichs fällt, ist die Polarisationsbehandlung einer gebrannten piezoelektrischen kerami­ schen Zusammensetzung schwierig.
n ist derart beschränkt, daß 0 < n < 0,1 ist. Wenn n gleich 0,1 oder größer ist, sinkt der durch KP dargestellte elektromechanische Kopplungsfaktor auf unter 25%, was somit zu Schwierigkeiten bei der Anwendung der Zusammensetzung auf einem Material für piezoelektrische Keramikfilter, piezoelektrische Keramikoszillatoren, etc. führt.
Unter Bezug auf die zweite Erscheinungsform der vorliegenden Erfindung werden nachstehend die Gründe beschrieben, warum die Parameter auf die genannten Bereiche beschränkt sind.
x und y sind derart beschränkt, daß x ≦ 0,9 und 0,2 ≦ y ≦ 0,3 sind. Wenn x und y außerhalb dieser Bereiche fallen, sind die gesinterten Produkte nicht zufriedenstel­ lend. Der Wert x + y ist derart beschränkt, daß 0,75 ≦ x + y ist. Wenn x + y kleiner als 0,75 ist, liegt die relative Dielektrizitätskonstante bei über 180, so daß der Vor­ teil der Anwendung der Zusammensetzung in einem Hochfrequenzbereich verloren geht.
z ist derart beschränkt, daß 0 ≦ z ≦ 0,3 ist. Wenn z außerhalb dieses Bereiches fällt, sinkt der Curie-Punkt auf 200°C oder darunter, was ein Problem hinsichtlich der Abweichung der Eigenschaften bei einer Temperaturänderung der Elemente führt, die aus der erfindungsgemäßen piezoelektrischen keramischen Zusammensetzung gebildet werden.
m ist derart beschränkt, daß 0,98 ≦ m ≦ 1,0 ist. Wenn m außerhalb des Bereichs fällt, ist die Polarisationsbehandlung einer gebrannten piezoelektrischen kerami­ schen Zusammensetzung schwierig.
n ist derart beschränkt, daß 0 < n ≦ 0,05 ist. Ist n größer als 0,05, sinkt der Curie- Punkt auf 200°C oder darunter, was ein Problem hinsichtlich der Abweichung der Eigenschaften bei einer Temperaturänderung der Elemente führt, die aus der erfin­ dungsgemäßen piezoelektrischen keramischen Zusammensetzung gebildet wer­ den.
BEISPIELE
Die vorliegende Erfindung wird nachstehend eingehend anhand von Beispielen be­ schrieben, die nicht als Einschränkung der Erfindung hierauf ausgelegt werden sollten.
Beispiel 1
K2CO3, Na2CO3, Li2CO3, Nb2O5, Ta2O5, Bi2O3, TiO2 und ZrO2 wurden als Aus­ gangsrohmaterialien vorgesehen und wurden so abgewogen, daß sie Zusammen­ setzungen der in Tabelle 1 gezeigten Formel (1 - n)(K1-x-yNaxLiy)m(Nb1-zTaz)O3-­ nM1M2M3O3 bildeten. Die Ausgangsmaterialien wurden für jede Probe etwa vier Stunden lang in Alkohol unter Verwendung einer Kugelmühle naß aufbereitet und die sich ergebende Mischung wurde getrocknet, dann bei 700-900°C kalziniert. Anschließend wurde die getrocknete Mischung grob zerkleinert, vier Stunden lang unter Verwendung einer Kugelmühle mit einer geeigneten Menge eines organi­ schen Bindemittels naßvermahlen und durch ein Sieb mit Maschenweite 40 pas­ siert, um so die Partikelgröße des gemahlenen Pulvers einzustellen.
Anschließend wurde das Pulver mit eingestellter Partikelgröße bei 1.000 kg/cm2 zu einer Scheibe mit einem Durchmesser von 12 mm und mit einer Stärke von 1,2 mm geformt, und die Scheibe wurde bei 1.050°C-1.300°C mittels eines üblichen Brennverfahrens gebrannt, um so eine Keramikscheibe zu bilden. Anschließend wurden auf beiden Seiten der keramischen Scheibe Silberelektroden durch Auftra­ gen und Brennen der Silberpaste mittels üblicher Verfahren gebildet. Die Scheibe wurde durch Anlegen einer Gleichstromspannung von 2-10 kV/mm über 10-30 Minuten in einem 50°C-150°C heißen Isolieröl einer Polarisationsbehandlung un­ terzogen, um so eine als Probe dienende piezoelektrische Keramikscheibe zu er­ halten.
Die relative Dielektrizitätskonstante, der durch KP dargestellte elektromechanische Kopplungsfaktor und der Curie-Punkt wurden für die erhaltenen Proben gemessen. Die Ergebnisse werden in Tabelle 1 gezeigt.
Tabelle 1
In Tabelle 1 fallen die mit * gekennzeichneten Proben außerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung.
In Tabelle 1 weisen die Proben, die alle folgenden Bedingungen: 0,1 ≦ x; y ≦ 0,3; x + y < 0,75; 0 ≦ z ≦ 0,3; 0,98 ≦ m ≦ 1,0 und 0 < n < 0,1 erfüllen, ausgezeichnete Ei­ genschaften auf. Kurz gesagt besitzen alle erfindungsgemäßen Proben (die nicht mit * gekennzeichnet sind) eine relative Dielektrizitätskonstante von 1.000 oder hö­ her, einen durch KP dargestellten elektromechanischen Kopplungsfaktor von 25% oder mehr und einen Curie-Punkt von über 200°C.
Die Proben Nr. 14 und 15, die weder die Bedingung 0,1 × noch die Bedingung y ≦ 0,3 erfüllen, weisen dagegen eine mangelhafte Sinterfähigkeit auf.
Probe Nr. 1, die die Bedingung 0,1 ≦ x oder y ≦ 0,3 erfüllt und die Bedingung x + y < 0,75 nicht erfüllt, besitzt einen durch KP dargestellten elektromechanischen Kopplungsfaktor von 21%. Probe Nr. 1 besitzt auch eine relative Dielektrizitätskon­ stante von 930. Wie durch die Daten gezeigt wird, erreicht Probe Nr. 1 nicht die relative Dielektrizitätskonstante von 1.000 oder höher und auch nicht den durch KP dargestellten elektromechanischen Kopplungsfaktor von 25% oder mehr.
Probe Nr. 32, die nicht die Bedingung 0,1 ≦ z ≦ 0,3 erfüllt, besitzt einen Curie-Punkt von 180°C und erreicht somit nicht einen Curie-Punkt von über 200°C.
Probe Nr. 37, die nicht die Bedingung 0,98 ≦ m ≦ 1,0 erfüllt, erreicht nicht die wün­ schenswerte Polarisation.
Von den Proben, die nicht die Bedingung 0 < n < 0,1 erfüllen, weisen Proben Nr. 5, 9, 13, 19, 23, 27, 31, 36, 40 und 43 mit n gleich 0,1 oder größer einen durch KP dargestellten elektromechanischen Kopplungsfaktor von unter 25% auf und Proben Nr. 2, 6, 10, 16, 20, 24, 28 und 33 mit n gleich 0 erreichen keine relative Dielektri­ zitätskonstante von 1.000 oder mehr.
In Beispiel 1 wurde Bi als M1 verwendet; Na oder Li wurde als M2 verwendet und Ti oder Zr wurde als M3 verwendet. Die Erfinder bestätigten jedoch, daß gleichwertige Wirkungen erzielt werden können, wenn K als M2 und Sn und/oder Hf als M3 ver­ wendet werden. Es können auch andere dreiwertige Metalle, einwertige Metalle und vierwertige Metalle jeweils als M1, M2 bzw. M3 verwendet werden.
Wie durch dieses Beispiel vorgeführt, gibt die erste Erscheinungsform der vorlie­ genden Erfindung eine piezoelektrische keramische Zusammensetzung zur Hand, die ausgezeichnete Eigenschaften aufweist; d. h. eine verbesserte relative Dielektri­ zitätskonstante von 1.000 oder mehr, einen durch KP dargestellten elektromechani­ schen Kopplungsfaktor von 25% oder mehr und einen Curie-Punkt von über 200°C. Daher werden durch die Verwendung der piezoelektrischen keramischen Zusam­ mensetzung nach der ersten Erscheinungsform der vorliegenden Erfindung piezo­ elektrische keramische Elemente, wie beispielsweise piezoelektrische Keramikfilter und piezoelektrische Keramikoszillatoren, vorteilhaft hergestellt.
Beispiel 2
K2CO3, Na2CO3, Li2CO3, Nb2O5, Ta2O5, Bi2O3, TiO2 und ZrO2 wurden als Aus­ gangsrohmaterialien vorgesehen und wurden so abgewogen, daß sie Zusammen­ setzungen der in Tabellen 2 und 3 gezeigten Formel (1 - n)(K1-x-yNaxLiy)m(Nb1-zTaz)O3 - nM1M2M3O3 bildeten. Die Ausgangsmaterialien wurden für jede Probe etwa vier Stunden lang in Alkohol unter Verwendung einer Kugelmühle naß aufbe­ reitet und die sich ergebende Mischung wurde getrocknet, dann bei 700-900°C kalziniert. Anschließend wurde die getrocknete Mischung grob zerkleinert, vier Stunden lang unter Verwendung einer Kugelmühle mit einer geeigneten Menge eines organischen Bindemittels naßvermahlen und durch ein Sieb mit Maschen­ weite 40 passiert, um so die Partikelgröße des gemahlenen Pulvers einzustellen.
Anschließend wurde das Pulver mit eingestellter Partikelgröße bei 1.000 kg/cm2 zu einer Scheibe mit einem Durchmesser von 12 mm und mit einer Stärke von 1,2 mm geformt, und die Scheibe wurde bei 1.050°C-1.300°C mittels eines üblichen Brennverfahrens gebrannt, um so eine Keramikscheibe zu bilden. Anschließend wurden auf beiden Seiten der Keramikscheibe Silberelektroden durch Auftragen und Brennen der Silberpaste mittels üblicher Verfahren gebildet. Die Scheibe wurde durch Anlegen einer Gleichstromspannung von 2-10 kV/mm über 10-30 Minuten in einem 50°C-150°C heißen Isolieröl einer Polarisationsbehandlung unterzogen, um so eine als Probe dienende piezoelektrische Keramikscheibe zu erhalten.
Tabelle 2
Tabelle 3
Die relative Dielektrizitätskonstante, der durch Kt dargestellten elektromechanische Kopplungsfaktor bei Schwingung in einer Stärkenrichtung, die durch N dargestellte Resonanzfrequenzkonstante der Schwingung in einer Stärkenrichtung, der durch fr- TC dargestellte temperaturabhängige Faktor der Resonanzfrequenz der Schwin­ gung in einer Stärkenrichtung und der Curie-Punkt wurden für die in Tabelle 2 und 3 gezeigten erhaltenen Proben gemessen. Die Ergebnisse werden in Tabelle 4 und 5 gezeigt.
Tabelle 4
Tabelle 5
In den Tabellen 2 bis 5 fallen die mit * gekennzeichneten Proben außerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung.
In den Tabellen 2 und 3 weisen die Proben, die alle folgenden Bedingungen: x ≦ 0,9; 0,02 ≦ y ≦ 0,3; 0,75 ≦ x + y; 0 ≦ z ≦ 0,3; 0,98 ≦ m ≦ 1,0 und 0 ≦ n 0,05 erfül­ len, ausgezeichnete Eigenschaften auf. Kurz gesagt besitzen alle in den Tabellen 4 und 5 gezeigten erfindungsgemäßen Proben (die nicht mit * gekennzeichnet sind) eine relative Dielektrizitätskonstante von 180 oder weniger, eine Resonanzfre­ quenzkonstante der Schwingung in einer Stärkenrichtung von 3.000 Hz.m oder mehr, einen temperaturabhängigen Faktor der Resonanzfrequenz von 100 ppm oder weniger und einen Curie-Punkt von über 200°C.
Die Proben Nr. 101, 119 und 132 dagegen, die weder die Bedingung x ≦ 0,9 noch die Bedingung 0,02 ≦ y ≦ 0,3 erfüllen, weisen dagegen eine mangelhafte Sinterfä­ higkeit auf.
Probe Nr. 145, die nicht die Bedingung 0,75 ≦ x + y erfüllt, besitzt eine relative Die­ lektrizitätskonstante von 210 und erreicht somit nicht eine relative Dielektrizitäts­ konstante von 180 oder weniger.
Probe Nr. 154, die nicht die Bedingung 0 ≦ z ≦ 0,3 erfüllt, besitzt einen Curie-Punkt von 165°C und erreicht somit nicht einen Curie-Punkt von über 200°C.
Probe Nr. 163, die nicht die Bedingung 0,98 ≦ m ≦ 1,0 erfüllt, erreicht nicht die wün­ schenswerte Polarisation.
Von den Proben, die nicht die Bedingung 0 < n ≦ 0,05 erfüllen, weisen Proben Nr. 105, 110, 114, 118, 123, 127, 131, 136, 140, 144, 149, 153, 158, 162, 166 und 169 mit n größer 0,05 einen Curie-Punkt von 200°C oder weniger und Proben Nr. 102, 106, 111, 115, 120, 124, 128, 133, 137, 141, 146, 150, 155 und 159 mit n gleich 0 einen temperaturabhängigen Faktor der Resonanzfrequenz von weit über 100 ppm auf.
In Beispiel 2 wurde Bi als M1 verwendet; Na oder Li wurde als M2 verwendet und Ti oder Zr wurde als M3 verwendet. Die Erfinder bestätigten jedoch, daß gleichwertige Wirkungen erzielt werden können, wenn K als M2 und Sn und/oder Hf als M3 ver­ wendet werden. Es können auch andere dreiwertige Metalle, einwertige Metalle und vierwertige Metalle jeweils als M1, M2 bzw. M3 verwendet werden.
Wie durch dieses Beispiel vorgeführt, gibt die zweite Erscheinungsform der vorlie­ genden Erfindung eine piezoelektrische keramische Zusammensetzung zur Hand, die ausgezeichnete Eigenschaften aufweist; d. h. eine relative Dielektrizitätskon­ stante von 180 oder weniger und einen temperaturabhängigen Faktor der Reso­ nanzfrequenz der Schwingung in einer Stärkenrichtung von 3.000 Hz.m oder mehr, was beweist, daß die Zusammensetzung vorteilhaft in einem Hochfrequenzbereich verwendet werden kann. Darüberhinaus besitzt die Zusammensetzung einen durch fr-TC dargestellten temperaturabhängigen Faktor der Resonanzfrequenz von 100 ppm oder weniger und einen Curie-Punkt von über 200°C. Daher werden durch die Verwendung der piezoelektrischen keramischen Zusammensetzung nach der zweiten Erscheinungsform der vorliegenden Erfindung piezoelektrische keramische Elemente, wie beispielsweise piezoelektrische Keramikfilter und piezoelektrische Keramikoszillatoren, vorteilhaft hergestellt.

Claims (2)

1. Piezoelektrische keramische Zusammensetzung, die vorwiegend eine durch folgende Formel dargestellte Zusammensetzung umfaßt:
(1 - n)(K1-x-yNaxLiy)m(Nb1-zTaz)O3 - nM1M2M3O3
dadurch gekennzeichnet, daß M1 für ein dreiwertiges Metallelement steht; M2 für ein einwertiges Metallelement steht; M3 für ein vierwertiges Metalle­ lement steht und x, y, z, m und n die folgenden Bedingungen erfüllen: x ≦ 0,9; 0,02 ≦ y ≦ 0,3; 0,75 ≦ x + y; 0 ≦ z ≦ 0,3; 0,98 ≦ m ≦ 1,0 und 0 < n ≦ 0,05.
2. Piezoelektrische keramische Zusammensetzung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß M1 Bi ist, M2 mindestens ein aus der Gruppe beste­ hend aus K, Na und Li gewähltes Element ist und M3 mindestens ein aus der Gruppe bestehend aus Ti, Zr, Sn und Hf gewähltes Element ist.
DE19964233A 1998-02-18 1999-02-18 Piezoelektrische keramische Zusammensetzung Expired - Lifetime DE19964233C2 (de)

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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6514427B2 (en) 1999-10-18 2003-02-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Piezoelectric ceramic composition and piezoelectric element containing the same
CN1197823C (zh) * 2000-11-21 2005-04-20 Tdk株式会社 压电陶瓷
TWI228728B (en) * 2001-05-29 2005-03-01 Murata Manufacturing Co Piezoelectric ceramic composition, piezoelectric ceramic element and method for producing piezoelectric ceramic composition
TW560094B (en) * 2001-06-15 2003-11-01 Tdk Corp Piezoelectric ceramic and method of manufacturing
JP4114859B2 (ja) * 2002-01-09 2008-07-09 松下電器産業株式会社 動きベクトル符号化方法および動きベクトル復号化方法
JP4631246B2 (ja) * 2002-03-20 2011-02-16 株式会社豊田中央研究所 圧電磁器組成物及びその製造方法並びに圧電素子及び誘電素子
JP4432969B2 (ja) * 2004-08-18 2010-03-17 株式会社村田製作所 圧電磁器組成物、及び圧電素子
CN100594198C (zh) * 2005-04-28 2010-03-17 株式会社村田制作所 压电陶瓷组合物及该压电陶瓷组合物的制造方法以及压电陶瓷电子部件
KR20070088274A (ko) * 2005-04-28 2007-08-29 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 압전체 자기 조성물, 및 압전 세라믹 전자부품
JPWO2007094115A1 (ja) * 2006-02-17 2009-07-02 株式会社村田製作所 圧電磁器組成物
JP5407330B2 (ja) * 2006-02-28 2014-02-05 コニカミノルタ株式会社 圧電磁器組成物
JP5294441B2 (ja) * 2006-03-30 2013-09-18 双信電機株式会社 電子部品
JP5365986B2 (ja) 2006-04-13 2013-12-11 株式会社村田製作所 セラミック粉末、及びセラミック粉末の製造方法
CN101512787B (zh) * 2006-09-08 2010-11-10 柯尼卡美能达控股株式会社 剪切模式型压电传动装置及液滴吐出头
JPWO2008152851A1 (ja) * 2007-06-15 2010-08-26 株式会社村田製作所 圧電磁器組成物、及び圧電セラミック電子部品
US8022604B2 (en) * 2007-10-19 2011-09-20 Ngk Insulators, Ltd. (Li, Na, K)(Nb, Ta)O3 type piezoelectric/electrostrictive ceramic composition containing 30-50 mol% Ta and piezoelectric/electrorestrictive device containing the same
JP5876974B2 (ja) * 2008-03-21 2016-03-02 日本碍子株式会社 圧電/電歪磁器組成物の製造方法
JP5275698B2 (ja) * 2008-06-17 2013-08-28 富士フイルム株式会社 圧電体膜の分極方法および圧電素子構造体の製造方法
CN102197006B (zh) * 2008-10-28 2014-10-08 株式会社村田制作所 压电陶瓷组合物及压电陶瓷电子部件
CN103288451B (zh) * 2013-05-24 2014-10-01 四川大学 铌酸钾钠-锆钛酸铋钠系无铅压电陶瓷
CN103288450B (zh) * 2013-05-24 2014-10-01 四川大学 铌酸钾钠-锆钛酸铋钾/锂系无铅压电陶瓷
CN110204335B (zh) * 2019-07-01 2021-10-29 西安外事学院 一种同时具有高储能密度和效率的陶瓷材料及其制备方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5637542A (en) * 1995-10-04 1997-06-10 Nikon Corporation Dielectric ceramic composition

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85100507B (zh) * 1985-04-01 1987-11-11 中国科学院上海硅酸盐研究所 改性铌酸铅钡钠压电陶瓷材料
US5476720A (en) * 1992-12-18 1995-12-19 Guenter; Peter Films of KTN and KTAO3
CN1031537C (zh) * 1993-03-16 1996-04-10 中国科学院上海硅酸盐研究所 改性偏铌酸铅高温压电陶瓷材料及制备方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5637542A (en) * 1995-10-04 1997-06-10 Nikon Corporation Dielectric ceramic composition

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