DE10123607B4 - Piezoelektrischer keramischer Pulverpressling und piezoelektrisches keramisches Bauelement - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 92
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 50
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 12
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- 101100513612 Microdochium nivale MnCO gene Proteins 0.000 claims description 6
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 2
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 2
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 5
- 239000002075 main ingredient Substances 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 2
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 2
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017493 Nd 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 150000001622 bismuth compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 150000002611 lead compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000009291 secondary effect Effects 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/495—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/453—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zinc, tin, or bismuth oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. zincates, stannates or bismuthates
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/80—Constructional details
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- H10N30/853—Ceramic compositions
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3206—Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
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- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3208—Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3213—Strontium oxides or oxide-forming salts thereof
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3215—Barium oxides or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
- C04B2235/3225—Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
- C04B2235/3227—Lanthanum oxide or oxide-forming salts thereof
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
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- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
- C04B2235/3229—Cerium oxides or oxide-forming salts thereof
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3251—Niobium oxides, niobates, tantalum oxides, tantalates, or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3262—Manganese oxides, manganates, rhenium oxides or oxide-forming salts thereof, e.g. MnO
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3296—Lead oxides, plumbates or oxide forming salts thereof, e.g. silver plumbate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3298—Bismuth oxides, bismuthates or oxide forming salts thereof, e.g. zinc bismuthate
-
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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- C04B2235/95—Products characterised by their size, e.g. microceramics
-
- H—ELECTRICITY
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- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
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Abstract
Piezoelektrischer
keramischer Pulverpressling, welcher vorrangig eine geschichtete
Verbindung auf Wismutbasis, die Sr, Bi, Nb und Sauerstoff enthält, umfasst,
dadurch gekennzeichnet, dass, wenn das Molverhältnis der als Hauptbestandteile
in der geschichteten Verbindung auf Wismutbasis enthaltenen Sr,
Bi und Nb durch a : b : c wiedergegeben wird, die durch 0,275 ≤ a/c < 0,5 und 4 ≤ (2a + 3b)/c ≤ 4,5 wiedergegebenen
Beziehungen gelten.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft piezoelektrische Keramik und piezoelektrische keramische Bauelemente unter Verwendung derselben und insbesondere einen piezoelektrischen keramischen Pulverpressling als brauchbaren Werkstoff zur Bildung von piezoelektrischen keramischen Bauelementen, zum Beispiel eines piezoelektrischen Keramikfilters, eines piezoelektrischen Keramikoszillators und eines piezoelektrischen Keramikvibrators, sowie ein piezoelektrisches keramisches Bauelement unter Verwendung desselben.
- Herkömmlicherweise wird als ein für piezoelektrische keramische Bauelemente, wie zum Beispiel einen piezoelektrischen Keramikfilter, einen piezoelektrischen Keramikoszillator und einen piezoelektrischen Keramikvibrator, verwendeter piezoelektrischer keramischer Pulverpressling verbreitet ein piezoelektrischer keramischer Pulverpressling verwendet, der vorrangig aus Bleititanatzirkonat (Pb(TixZr1–x)O3) oder Bleititanat (PbTiO3) besteht. Da jedoch in dem vorrangig aus Bleititanatzirkonat bzw. Bleititanat bestehenden piezoelektrischen keramischen Pulverpressling eine beträchtliche Menge Blei enthalten ist, besteht das Problem, dass die Gleichmäßigkeit der Erzeugnisse aufgrund der Verdunstung des Bleioxids während des Herstellungsprozesses leidet. Um das vorstehend beschriebene Problem zu umgehen, wird vorzugsweise ein piezoelektrischer keramischer Pulverpressling verwendet, der kein Blei bzw. eine kleine Menge desselben enthält.
- Da ein piezoelektrischer keramischer Pulverpressling, der vorrangig aus einer geschichteten Verbindung auf Wismutbasis, beispielsweise SrBi2Nb2O9, besteht, kein Bleioxid enthält, kommt es nicht zu dem oben beschriebenen Problem.
- Im Allgemeinen weist ein für piezoelektrische keramische Bauelemente, insbesondere für einen piezoelektrischen Keramikoszillator oder ähnliches, verwendeter Werkstoff vorzugsweise einen großen Höchstwert Qmax eines elektrischen Qualitätsfaktors Q(1/tan δ) in der Bandbreite, d.h. in dem Bereich von der Resonanzfrequenz zu der Antiresonanzfrequenz, auf. Ein vorrangig aus einer geschichteten Verbindung auf Wismutbasis, beispielsweise SrBi2Nb2O9, bestehender piezoelektrischer keramischer Pulverpressling ist jedoch mit dem Problem behaftet, dass ein Höchstwert Qmax, der für den praktischen Gebrauch hinreichend groß ist, nicht erreicht werden kann.
- Aus der
DE 695 12 186 T2 ist eine ferroelektrische Wismutverbindung der Zusammensetzung Bi2Am–1BmO3m+3 bekannt, wobei A unter anderem für Sr2+ stehen kann, B für Nb5+ und wobei m eine ganze Zahl zwischen 1 und 8 ist. - Aus der JP-10-338599 A ist ein ferroelektrisches Material der Zusammensetzung Bi2SrNb2O9 offenbart, wobei Wismut teilweise durch Strontium ersetzt werden kann.
- Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Pulverpressling zur Verfügung zu stellen, der vorrangig eine geschichtete Verbindung auf Wismutbasis umfasst, die Sr, Bi, Nb und Sauerstoff enthält.
- Erfindungsgemäß gelten bei einem piezoelektrischen keramischen Pulverpressling, der vorrangig eine Sr, Bi, Nb und Sauerstoff enthaltende geschichtete Verbindung auf Wismutbasis umfasst, wobei das Molverhältnis des als Hauptbestandteile in der geschichteten Verbindung auf Wismutbasis enthaltenen Sr, Bi und Nb durch a : b : c wiedergegeben wird, die durch 0,275 ≤ a/c < 0,5 und 4 ≤ (2a + 3b)/c ≤ 4,5 wiedergegebenen Beziehungen.
- Der erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Pulverpressling kann weiterhin ein anderes zweiwertiges Metallelement als Sr oder ein anderes dreiwertiges Metallelement als Bi in dem Bereich von über Null bis 0,1 Mol bezüglich 1 Mol Nb enthalten, welches einer der Hauptbestandteile ist. In dem oben beschriebenen Fall ist das andere zweiwertige Metallelement als Sr, das in dem piezoelektrischen keramischen Pulverpressling enthalten ist, vorzugsweise mindestens ein aus der Gruppe bestehend aus Mg, Ca, Ba und Pb gewähltes Element. Zudem ist das andere dreiwertige Metallelement als Bi, das in dem piezoelektrischen keramischen Pulverpressling enthalten ist, vorzugsweise mindestens ein aus der Gruppe bestehend aus Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Dy, Er und Yb gewähltes Element.
- Der erfindungsgemäße keramische Pulverpressling kann weiterhin Ta in dem Bereich von über Null bis weniger als 0,25 Mol bezüglich 1 Mol Nb enthalten, welches einer der Hauptbestandteile ist.
- Ferner kann der erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Pulverpressling Mn in dem Bereich von über Null bis 1,5 Masseprozent als MnCO3 enthalten.
- Ein erfindungsgemäßes piezoelektrisches keramisches Bauelement umfasst den erfindungsgemäßen piezoelektrischen keramischen Pulverpressling und die für den piezoelektrischen keramischen Pulverpressling vorgesehenen Elektroden.
- In diesem Zusammenhang ist der erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Pulverpressling ein durch Brennen einer Ausgangszusammensetzung für den piezoelektrischen keramischen Pulverpressling gebildeter gesinterter Werkstoff; es wird jedoch vor und nach dem Brennen kaum eine Veränderung des oben beschriebenen Zusammensetzungsverhältnisses beobachtet.
- Erfindungsgemäß werden bei dem piezoelektrischen keramischen Pulverpressling, welcher vorrangig eine Sr, Bi, Nb und Sauerstoff enthaltende geschichtete Verbindung auf Wismutbasis umfasst, wenn das Molverhältnis der als Hauptbestandteile in der geschichteten Verbindung auf Wismutbasis enthaltenen Sr, Bi und Nb durch a : b : c wiedergegeben wird, die Beziehungen des Molverhältnisses so festgelegt, dass 0,275 ≤ a/c < 0,5 und 4 ≤ (2a + 3b)/c ≤ 4,5. Der Grund hierfür ist, dass Qmax bei einem für den praktischen Gebrauch geeigneten Wert nicht erhalten werden kann, wenn die Zusammensetzung außerhalb der oben beschriebenen Beziehungen liegt.
- Wenn der erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Pulverpressling weiterhin ein anderes zweiwertiges Metallelement als Sr oder ein anderes dreiwertiges Metallelement als Bi in dem Bereich von über Null bis 0,1 Mol bezüglich 1 Mol Nb enthält, welches einer der Hauptbestandteile ist, wird zudem der Vorteil der vorliegenden Erfindung signifikanter. Der Grund, warum der piezoelektrische keramische Pulverpressling ein anderes zweiwertiges Metallelement als Sr oder ein anderes dreiwertiges Metallelement als Bi in dem Bereich von über Null bis 0,1 Mol bezüglich 1 Mol Nb enthält, liegt darin, dass, sobald der Gehalt desselben den oben beschriebenen Bereich übersteigt, Qmax im Gegensatz zu dem Fall, da das oben beschriebene Metallelement nicht enthalten ist, dazu neigt zu sinken.
- Wenn der erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Pulverpressling weiterhin Ta in dem Bereich von über Null bis zu weniger als 0,25 Mol bezüglich 1 Mol Nb enthält, welches einer der Hauptbestandteile ist, wird zudem der Vorteil der vorliegenden Erfindung signifikanter. Der Grund, warum der piezoelektrische keramische Pulverpressling Ta in dem Bereich von über Null bis weniger als 0,25 Mol bezüglich 1 Mol Nb enthält, liegt darin, dass, sobald der Gehalt desselben den oben beschriebenen Bereich übersteigt, Qmax im Gegensatz zu dem Fall, da Ta nicht enthalten ist, dazu neigt zu sinken.
- Wenn der erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Pulverpressling weiterhin Mn in dem Bereich von über Null bis zu 1,5 Masseprozent als MnCO3 enthält, wird zudem der Vorteil der vorliegenden Erfindung signifikanter. Der Grund, warum der piezoelektrische keramische Pulverpressling Mn in dem Bereich von über Null bis zu 1,5 Masseprozent als MnCO3 enthält, liegt darin, dass, sobald der Gehalt desselben den oben beschriebenen Bereich übersteigt, Qmax im Gegensatz zu dem Fall, da Mn nicht enthalten ist, dazu neigt zu sinken.
- Die oben beschriebenen Aufgaben, weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung gehen aus der folgenden eingehenden Beschreibung der Ausführungen deutlicher hervor.
- KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist eine perspektivische Ansicht eines Beispiels eines erfindungsgemäßen piezoelektrischen Keramikvibrators und -
2 ist eine Querschnittansicht des in1 gezeigten piezoelektrischen Keramikvibrators. - BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGEN
- Als Ausgangsmaterial wurden SrCO3, Bi2O3, Nb2O5, CaCO3, BaCO3, La2O3, Nd2O3, Ta2O5 und MnCO3 zubereitet und so bemessen, dass sie durch (SraBibNbcO9 + x mol Me + y mol Ta + z Masseprozent MnCO3) wiedergegebene Zusammensetzungen aufwiesen, wobei Ca, Ba, Nd oder La durch Me angezeigt wurde und a, b, c, x, y und z in den Tabellen 1 und 2 gezeigt wurden. Die so erzeugten Zusammensetzungen wurden ungefähr 4 Stunden mit Hilfe einer Kugelmühle nassaufbereitet, wodurch sich Gemische ergaben. Die Gemische wurden nach Durchführen der Trocknung bei 700 bis 900°C kalziniert und als Ergebnis wurden kalzinierte Erzeugnisse erhalten.
- Nach dem groben Pulverisieren der kalzinierten Erzeugnisse wurde jedem Erzeugnis eine angemessene Menge an organischem Bindemittel zugegeben, sodann wurde 4 Stunden mit Hilfe einer Kugelmühle Nasspulverisieren durchgeführt und die Partikelverteilung wurde anschließend durch Passieren der nasspulverisierten Erzeugnisse durch ein Sieb mit Siebnummer 40 kontrolliert. Als nächstes wurden die Erzeugnisse bei 1.000 kg/cm2 formgepresst, um 2 mm dicke Scheiben mit 12,5 mm Durchmesser zu bilden, und wurden dann bei 1.000 bis 1.300°C an Luft gebrannt, wodurch Keramiken in Form von Scheiben gebildet wurden. Die Flächen (zwei Hauptflächen) der Keramik wurden mittels eines allgemeinen Verfahrens mit einer Silberpaste beschichtet und wurden dann wärmebehandelt, wodurch Silberelektroden gebildet wurden. Als nächstes wurde durch Anlegen einer Gleichstromspannung von 5 bis 10 kV/mm an der Keramik über einen Zeitraum von 10 bis 30 Minuten in einem isolierenden Öl bei einer Temperatur von 150 bis 200°C eine Polarisationsbehandlung durchgeführt, wodurch sich ein piezoelektrischer keramischer Pulverpressling (Probe) ergab.
- Bei allen so erhaltenen Proben wurde die Grundwelle des Dickenlängsschwingungsmodus, das heißt Qmax der Grundwelle des Dickenlängsschwingungsmodus des scheibenförmigen Vibrators gemessen. Die Ergebnisse werden in den Tabellen 1 und 2 gezeigt.
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- Hinweis: * in der Spalte Probe Nr. bedeutet, dass die Probe außerhalb des Bereichs der vorliegenden Erfindung liegt.
- In den Tabellen 1 und 2 ist Qmax der größte Wert, der von Proben mit der gleichen Zusammensetzung unter verschiedenen Bedingungen (einer Kalziniertemperatur, einer Brenntemperatur und einer Temperatur eines isolierenden Öls und einer Gleichstromspannung während der Polarisation) erhalten wird. Zwar schwankt ferner Qmax entsprechend der Form der Probe, des Schwingungsmodus, der Art der Elektrode usw., doch wenn der unter den Bedingungen dieser Ausführung erhaltene Wert Qmax 10 oder mehr beträgt, kann der Wert der Probe als für den praktischen Gebrauch geeignet eingestuft werden.
- Wie in den Tabellen 1 und 2 gezeigt, beträgt Qmax aller Proben nach diesem Beispiel der vorliegenden Erfindung 10 oder mehr und somit ist klar erkenntlich, dass die Proben brauchbare Werkstoffe zur Bildung piezoelektrischer keramischer Bauelemente und insbesondere eines piezoelektrischen Keramikoszillators und ähnliches sind.
- Bezüglich der Proben dieses erfindungsgemäßen Beispiels wurde ferner eine sekundäre Wirkung einer verringerten Brenntemperatur bestätigt, da der größte Wert Qmax für jede Probe bei einer Temperatur unter der für SrBi2Nb2O9 erhalten wurde. Durch Senken der Brenntemperatur kann Energie, wie zum Beispiel der für das Brennen erforderliche elektrische Stromverbrauch, gesenkt und die Lebensdauer des Tiegels oder ähnlichen, der die piezoelektrische Keramik während des Brennens aufnimmt, verlängert werden, wodurch eine Senkung der Herstellungskosten erreicht werden kann.
- Ferner ist der piezoelektrische keramische Pulverpressling der vorliegenden Erfindung nicht auf die Zusammensetzungen des oben beschriebenen Beispiels beschränkt, und es kann jede Art von piezoelektrischem keramischen Pulverpressling innerhalb des Schutzumfangs der vorliegenden Erfindung verwendet werden.
- Ferner wird in dem oben beschriebenen Beispiel Qmax des scheibenförmigen Vibrators im Dickenlängsschwingungsmodus beispielhaft beschrieben; der Vorteil der vorliegenden Erfindung ist jedoch nicht hierauf beschränkt und die vorliegende Erfindung kann zusätzlich zu dem Fall der Dickenlängsschwingung effektiv auf andere Schwingungsmoden angewendet werden, zum Beispiel die Scherschwingung oder die Oberwelle der Dickenlängsschwingung, die für piezoelektrische keramische Bauelemente, insbesondere für einen piezoelektrischen Keramikoszillator, verwendet werden.
- Ferner wird zum Beispiel in einem Papier von T. Atsuki et al. über eine geschichtete Verbindung SrBi2Ta2O9 auf Wismutbasis, die als Dünnschichtmaterial für ferroelektrische Speicher verwendet wird, in Jpn. J. Appl. Pys., Band 34, Teil 1, 9B, Seiten 5096 – 5099, berichtet, dass bei Abänderung der geschichteten Verbindung auf Wismutbasis hin zu Sr0.7Bi2.4Ta2O9 oder ähnliches die Restpolarision verbessert wird. Die Zusammensetzung der vorliegenden Erfindung unterscheidet sich jedoch von der in dem oben beschriebenen Papier offenbarten Zusammensetzung. Ferner besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, einen brauchbaren piezoelektrischen keramischen Pulverpressling als Werkstoff zur Bildung piezoelektrischer keramischer Bauelemente zur Hand zu geben, und somit unterscheidet sich das Anwendungsgebiet der vorliegenden Erfindung von dem der oben beschriebenen Zusammensetzung. Da die erforderlichen Eigenschaften eines zur Bildung von ferroelektrischen Speichern verwendeten Werkstoffs sich von denjenigen eines Werkstoffs unterscheiden, der für die Bildung piezoelektrischer keramischer Bauelemente verwendet wird, lässt sich die vorliegende Erfindung ferner nicht ohne weiteres von der durch T. Atsuki et al. durchgeführten Forschung ableiten.
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1 ist eine perspektivische Ansicht eines Beispiels eines piezoelektrischen Keramikvibrators der vorliegenden Erfindung und2 ist eine Querschnittansicht desselben. Ein in1 und2 gezeigter piezoelektrischer Keramikvibrator10 umfasst einen piezoelektrischen keramischen Pulverpressling12 zum Beispiel in Form eines rechteckigen Parallelepipeds. Der piezoelektrische keramische Pulverpressling12 umfasst zwei piezoelektrische keramische Schichten12a und12b . Die piezoelektrischen keramischen Schichten12a und12b sind aus dem oben beschriebenen erfindungsgemäßen piezoelektrischen keramischen Pulverpressling gebildet und sind so ausgebildet, dass sie durch Laminieren miteinander eine Einheit bilden. Ferner sind die piezoelektrischen keramischen Schichten12a und12b in der gleichen Dickenrichtung polarisiert, wie durch den Pfeil in2 gezeigt. - Zwischen den piezoelektrischen keramischen Schichten
12a und12b ist eine Schwingungselektrode14a zum Beispiel in Form einer Scheibe an der mittleren Position des piezoelektrischen keramischen Pulverpresslings12 vorgesehen, und eine Leitelektrode16a zum Beispiel in Form eines "T" ist von der Schwingungselektrode14a zu einer Randfläche des piezoelektrischen keramischen Pulverpresslings12 ausgebildet. Desweiteren ist im mittleren Bereich der Fläche der piezoelektrischen keramischen Schicht12a eine Schwingungselektrode14b zum Beispiel in Form einer Scheibe ausgebildet, und eine Leitelektrode16b zum Beispiel in Form eines "T" ist von der Schwingungselektrode14b zu der anderen Randfläche des piezoelektrischen keramischen Pulverpresslings12 ausgebildet. Desweiteren ist im mittleren Bereich der Fläche der piezoelektrischen keramischen Schicht12b eine Schwingungselektrode14c zum Beispiel in Form einer Scheibe ausgebildet, und eine Leitelektrode16c zum Beispiel in Form eines "T" ist von der Schwingungselektrode14c zu der anderen Randfläche des piezoelektrischen keramischen Pulverpresslings12 ausgebildet. - Anschließend wird die Leitelektrode
16a mit einer Außenanschlussklemme20a über einen Leitungsdraht18a verbunden und die Leitelektroden16b und16c werden mit der anderen Außenanschlussklemme20b über einen anderen Leitungsdraht18b verbunden. - In diesem Zusammenhang kann die vorliegende Erfindung nicht nur auf einen Elementaufbau, wie er durch den oben beschriebenen piezoelektrischen Keramikvibrator
10 gezeigt wird, und auf den dadurch angeregten Schwingungsmodus angewendet werden, sondern auch auf andere piezoelektrische keramische Bauelemente, wie zum Beispiel einen piezoelektrischen Keramikvibrator, einen piezoelektrischen Keramikfilter und einen piezoelektrischen Keramikoszillator, die einen anderen Elementaufbau und andere Schwingungsmoden verwenden (zum Beispiel Scherschwingung und eine 3. Oberwelle einer Dickenlängsschwingung). - Erfindungsgemäß kann ein piezoelektrischer keramischer Pulverpressling als brauchbarer Werkstoff zur Bildung eines piezoelektrischen keramischen Bauelements und ähnlichem verwendet werden, der vorrangig aus SrBi2Nb2O9 besteht, das kein Blei und auch keine Bleiverbindungen enthält bzw. nur eine kleine Menge hiervon enthält, und einen Höchstwert Qmax aufweist, der auf einen für den praktischen Gebrauch geeigneten Wert verbessert wurde.
Claims (7)
- Piezoelektrischer keramischer Pulverpressling, welcher vorrangig eine geschichtete Verbindung auf Wismutbasis, die Sr, Bi, Nb und Sauerstoff enthält, umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass, wenn das Molverhältnis der als Hauptbestandteile in der geschichteten Verbindung auf Wismutbasis enthaltenen Sr, Bi und Nb durch a : b : c wiedergegeben wird, die durch 0,275 ≤ a/c < 0,5 und 4 ≤ (2a + 3b)/c ≤ 4,5 wiedergegebenen Beziehungen gelten.
- Piezoelektrischer keramischer Pulverpressling nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische keramische Pulverpressling weiterhin ein anderes zweiwertiges Metallelement als Sr und ein anderes dreiwertiges Metallelement als Bi in dem Bereich von über Null bis 0,1 Mol bezüglich 1 Mol Nb umfasst.
- Piezoelektrischer keramischer Pulverpressling nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das andere zweiwertige Metallelement als Sr mindestens ein aus der Gruppe bestehend aus Mg, Ca, Ba und Pb gewähltes Element ist.
- Piezoelektrischer keramischer Pulverpressling nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das andere dreiwertige Metallelement als Bi mindestens ein aus der Gruppe bestehend aus Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Dy, Er und Yb gewähltes Element ist.
- Piezoelektrischer keramischer Pulverpressling nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische keramische Pulverpressling weiterhin Ta in dem Bereich von über Null bis zu weniger als 0,25 Mol bezüglich 1 Mol Nb enthält.
- Piezoelektrischer keramischer Pulverpressling nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische keramische Pulverpressling weiterhin Mn in dem Bereich von über Null bis 1,5 Masseprozent als MnCO3 enthält.
- Piezoelektrisches keramisches Bauelement, welches einen piezoelektrischen keramischen Pulverpressling nach einem der Ansprüche 1 bis 6 und eine für den piezoelektrischen keramischen Pulverpressling vorgesehene Elektrode umfasst.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000146654A JP3617411B2 (ja) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | 圧電セラミック振動子 |
JP2000-146654 | 2000-05-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10123607A1 DE10123607A1 (de) | 2001-11-29 |
DE10123607B4 true DE10123607B4 (de) | 2006-05-04 |
Family
ID=18652975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10123607A Expired - Fee Related DE10123607B4 (de) | 2000-05-18 | 2001-05-15 | Piezoelektrischer keramischer Pulverpressling und piezoelektrisches keramisches Bauelement |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6488864B2 (de) |
JP (1) | JP3617411B2 (de) |
KR (1) | KR100414333B1 (de) |
CN (1) | CN1149181C (de) |
DE (1) | DE10123607B4 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6764609B2 (en) | 2001-10-11 | 2004-07-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric ceramic composition and piezoelectric element using the same |
JP3912098B2 (ja) | 2001-12-14 | 2007-05-09 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物およびそれを用いた圧電セラミック素子 |
JP4396136B2 (ja) * | 2003-05-21 | 2010-01-13 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物およびそれを用いた圧電セラミック素子 |
CN100522873C (zh) * | 2005-12-30 | 2009-08-05 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种铋层状结构弛豫铁电陶瓷材料及其制备方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10338599A (ja) * | 1996-10-06 | 1998-12-22 | Sony Corp | 層状結晶構造酸化物およびその製造方法 |
DE69512186T2 (de) * | 1994-12-06 | 2000-02-03 | Sharp Kk | Ferroelektrische Dünnschicht, Substrat bedeckt mit einer ferroelektrischen Dünnschicht und Verfahren zur Herstellung einer ferroelektrischen Dünnschicht |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6143679A (en) * | 1996-10-06 | 2000-11-07 | Sony Corporation | Layered crystal structure oxide |
JPH10313097A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-11-24 | Sharp Corp | 強誘電体薄膜、製造方法及び強誘電体薄膜を含んでなる素子 |
JP3646619B2 (ja) * | 1999-08-26 | 2005-05-11 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物およびそれを用いた圧電セラミック素子 |
-
2000
- 2000-05-18 JP JP2000146654A patent/JP3617411B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-04-29 CN CNB011172703A patent/CN1149181C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-15 DE DE10123607A patent/DE10123607B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-18 KR KR10-2001-0027235A patent/KR100414333B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-05-18 US US09/860,424 patent/US6488864B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69512186T2 (de) * | 1994-12-06 | 2000-02-03 | Sharp Kk | Ferroelektrische Dünnschicht, Substrat bedeckt mit einer ferroelektrischen Dünnschicht und Verfahren zur Herstellung einer ferroelektrischen Dünnschicht |
JPH10338599A (ja) * | 1996-10-06 | 1998-12-22 | Sony Corp | 層状結晶構造酸化物およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3617411B2 (ja) | 2005-02-02 |
US20020011585A1 (en) | 2002-01-31 |
JP2001328866A (ja) | 2001-11-27 |
KR100414333B1 (ko) | 2004-01-07 |
DE10123607A1 (de) | 2001-11-29 |
US6488864B2 (en) | 2002-12-03 |
CN1149181C (zh) | 2004-05-12 |
KR20010105276A (ko) | 2001-11-28 |
CN1336347A (zh) | 2002-02-20 |
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
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