DE19900653A1 - Apparat und Verfahren zum Belichten einer optischen Mutterplatte - Google Patents

Apparat und Verfahren zum Belichten einer optischen Mutterplatte

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Apparat zum Belichten einer optischen Disk- Masterplatte ("optical disc master plate", im folgenden kurz: "optische Mutterplatte"), insbesondere einen Belichtungsapparat zum Belichten einer optischen Mutterplatte (optischer Rohling), und der insbesondere ein DVD-R(Digital Video Disc Recordable)-Format in dieses einschreibt, und ein Verfahren zum Belichten der optischen Mutterplatte.
Gemäß einem Dokument, das den Titel trägt "DVD Specifications for Recordable Disc/part 1. Physical Specification Version 0.9 April 1997", bildet das DVD-R-Plattenformat (Format des beschreibbaren DVD-Rohrlings) eine Wobbel-Spur mit dem sinusförmigen Wellensignal mit einer konstanten Frequenz zur Verwendung bei der Plattenrotations-Synchronisation und ein Land-Prä-Pit ("land pre-pit") zum Speichern der Adresseninformation usw., und zwar über die gesamte Informationsfläche. Das Land-Prä-Pit ist das Pit, das auf dem Land zwischen den Wobbel-Spuren angeordnet ist, und das Land-Prä-Pit wird im konstanten Verhältnis zu der Wobbel-Phase der Spur ausgebildet. Fig. 13 ist ein Graph, der das Verhältnis der Phase zwischen dem Wobbel-Signal und dem Prä-Pit-Signal zeigt.
Wie in Fig. 14 gezeigt ist, verwendet das Land-Prä-Pit eine Länge von 2-Synchronisations- Rahmen als eine Einheit und legt eine geradzahlige Position und eine ungeradzahlige Position am Kopfabschnitt eines 1-Synchronisations-Rahmens fest. Die Länge des 1-Syn­ chronisations-Rahmens gleicht der Länge einer 8-Wobbel-Periode. Unter Vermeidung eines Überlapps zwischen den Spuren, auf denen die Land-Prä-Pits selbst benachbart zueinander ausgebildet werden, indem deren Position geändert wird, wird das Land-Prä-Pit bzw. werden die Land-Prä-Pits sukzessive auf einer spiralförmigen Spur ausgebildet. Falls sich die Land-Prä-Pits einander überlappen, kann das Land-Prä-Pit-Signal zur Zeit der Re­ produktion der DVD-R nicht korrekt reproduziert werden. Jedoch ist es hinsichtlich des Belichtungsapparats der optischen Mutterplatte zum Belichten der fotoempfindlichen Mutter­ platte bzw. der Fotolack-Mutterplatte und hinsichtlich des Schreibens des DVD-R-Formats technisch unbekannt, daß das Wobbel-Signal zum Wobbeln der Spur, das von dem Belich­ tungssignal-Erzeugungsapparat (Formatierer) ausgegeben wird, der das Belichtungssignal zum Belichten der fotoempfindlichen Mutterplatte erzeugt, zuvor mit dem Land-Prä-Pit- Signal präzise synchronisiert wird.
Man kann sich vorstellen, daß hinsichtlich des Formatierers das Wobbel-Signal durch den Wobbel-Signal-Erzeugungsapparat erzeugt wird, das Land-Prä-Pit-Signal durch den Land- Prä-Pit-Signal-Erzeugungsapparat erzeugt wird, ein gewisser Phasenpunkt während der Wobbel-Periode des Wobbel-Signales extrahiert wird, ein Triggersignal erzeugt wird, um das Land-Prä-Pit-Signal mit einer gewissen Phasenbeziehung zu dem Wobbel-Signal auf der Grundlage des extrahierten Phasensignals auszugeben, und daß das somit erzeugte Trigger­ signal zu dem Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsapparat ausgegeben wird.
Jedoch tritt bei einem derartigen Mittel (Formatierer), wie er oben dargestellt wurde, eine Variationsbreite bei dem extrahierten Phasenpunkt auf und die Variationsbreite wird ebenso einem Triggersignal überlagert. Infolgedessen kann das präzise Land-Prä-Pit-Signal nicht ausgegeben werden.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine gute bzw. präzise Synchronisation zwischen dem Wobbel-Signal und dem Land-Prä-Pit-Signal ("Land Pre-Pit"-Signal) zu erzielen.
Vorstehende Aufgabe wird durch die unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiter­ bildungen gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Vorteilhaft wird erfindungsgemäß ein Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte bzw. des optischen Rohlings bereitgestellt, der dazu in der Lage ist, das Wobbel-Signal mit dem Land-Prä-Pit-Signal in dem Belichtungssignal-Erzeugungsapparat präzise zu synchronisieren und die somit synchronisierten Signale auszugeben.
Es ist ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß ein Belichtungsapparat bereit­ gestellt wird, der der Belichtung der optischen Mutterplatte dient und der den Belichtungs­ signal-Erzeugungsapparat in die Lage versetzt, die Gestaltung des Separationselements zum elektrischen Separieren der Analogschaltung und der Digitalschaltung und deren Peripherie­ schaltung zu erleichtern.
Es ist ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß ein Belichtungsapparat bereit­ gestellt wird, um die optische Mutterplatte zu belichten, der die Einstellung der Spur- Wobbel-Phase und der Land-Prä-Pit-Ausbildungsphase vereinfacht.
Es ist ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß ein Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte bereitgestellt wird, der dazu in der Lage ist, den Überlapp zwischen den Land-Prä-Pits aufeinander zu vermeiden, ohne daß eine spezielle Schaltung usw. dem Belichtungsapparat hinzugefügt werden muß.
Es ist ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß ein Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte bereitgestellt wird, der dazu in der Lage ist, im voraus das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits pro einer Umdrehung der foto­ empfindlichen Mutterplatte zu beurteilen bzw. zu erkennen und das Auftreten des Überlapps zu vermeiden.
Es ist noch ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß ein Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte bereitgestellt wird, der dazu in der Lage ist, weiter präzise das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits in diesem Fall zu vermei­ den.
Es ist noch ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß ein Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte bereitgestellt wird, der dazu in der Lage ist, das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits mit hoher Auflösung und hoher Genauigkeit zu vermeiden.
Es ist noch ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß ein Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte bereitgestellt wird, der dazu in der Lage ist, die Last der betriebsmäßigen Berechnungsverarbeitungen zur Vermeidung des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits zu verringern.
Es ist noch ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß ein Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte bereitgestellt wird, der dazu in der Lage ist, die Variation der Rotationsgeschwindigkeit der fotoempfindlichen Mutterplatte zu kompensieren, die aufgrund der Umweltveränderung usw. auftritt, und daß präzise der Überlapp zwischen den Land-Prä-Pits vermieden wird.
Es ist noch ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, daß ein Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte bereitgestellt wird, der dazu in der Lage ist, einen Alarm hinsichtlich eines Zustands bei der Vermeidung des Überlapps zwischen den Land- Prä-Pits und hinsichtlich des abnormalen Zustands bei der Liniengeschwindigkeit bzw. geradlinigen Geschwindigkeit der Belichtung auszugeben. Bei der Liniengeschwindigkeit handelt es sich um die Relativgeschwindigkeit des Laserstrahls zur Spur während des Schreibvorganges, also um die Schreibgeschwindigkeit entlang der Spur.
Bei der folgenden Beschreibung der Ausführungsformen werden weitere erfindungsgemäße Merkmale offenbart. Merkmale unterschiedlicher Ausführungsformen können miteinander kombiniert werden.
Fig. 1 ist ein Blockdiagramm, das eine Gesamtübersicht über den Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte bzw. Masterplatte (Rohling) gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 2 ist ein Schaltungsblockdiagramm, das eine Schaltungskonstruktion des Belich­ tungssignal-Erzeugungsapparats (Formatierer) bei dem obigen Belichtungs­ apparat zum Belichten der optischen Mutterplatte zeigt.
Fig. 3A und 3B sind Graphen, die das Verhältnis zwischen der Wellenlänge und der Amplitude des Wobbel-Signals zeigen;
Fig. 4 ist eine Draufsicht (Anordnung), die die Land-Prä-Pits zeigt, die durch den Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte ausgebildet werden.
Fig. 5 ist ein Blockdiagramm der Phasen-Ausleseschaltung des Belichtungsapparats zum Belichten der optischen Mutterplatte gemäß der zweiten Ausführungs­ form der vorliegenden Erfindung.
Fig. 6 ist ein Flußdiagramm zum Erläutern des Prozesses zum Vermeiden des Überlapps zwischen den Prä-Pits, indem der Belichtungsapparat zum Belich­ ten der optischen Mutterplatte verwendet wird.
Fig. 7 ist ein Graph zum Erläutern des Verhältnisses zwischen der CD-R-Spur­ nummer und der Phasendifferenz zwischen den benachbarten Spuren.
Fig. 8 ist ein anderer Graph zum Erläutern des Verhältnisses zwischen der CD-R-Spurnummer und der Phasendifferenz zwischen den benachbarten Spuren.
Fig. 9 ist ein Blockdiagramm der Phasen-Ausleseschaltung des Belichtungsapparats zum Belichten der optischen Mutterplatte bei der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Fig. 10 ist ein Blockdiagramm der Ausleseschaltung für die Land-Prä-Pit-Stellendaten des Belichtungsapparat für die optische Mutterplatte gemäß der vierten Aus­ führungsform der vorliegenden Erfindung.
Fig. 11 ist ein Blockdiagramm des Spurzählers und seiner Peripherieschaltung des Belichtungsapparats zum Belichten der optischen Mutterplatte gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Fig. 12 ist ein Blockdiagramm, das eine Gesamtübersicht über den Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte gemäß der sechsten Ausführungs­ form der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 13 ist ein Graph (Zeitablaufdiagramm), der das Verhältnis der Phase zwischen dem Land-Prä-Pit-Signal und dem Wobbel-Signal zeigt.
Fig. 14 ist eine Draufsicht (Anordnung), die die Anordnung der Land-Prä-Pits zeigt, die durch den Belichtungsapparat zum Belichten der optischen Mutterplatte pro 2-Synchronisations-Rahmen einer CD-R.
Gemäß einem ersten Aspekt betrifft die Erfindung vorteilhaft folgendes: einen Belichtungs­ apparat für eine optische Mutterplatte zum Belichten einer lichtempfindlichen Mutterplatte und zum Einschreiben insbesondere eines DVD-R Formats, der folgendes umfaßt: eine Lichtquelle, die Laserlicht zur Verwendung beim Belichten der lichtempfindlichen Mutter­ platte emittiert; ein Belichtungssignal-Erzeugungsapparat, der ein Belichtungssignal zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte erzeugt; einen optischen Modulator, der das Laserlicht in ein optisches Signal mit einer eingestellten bzw. justierten Pulsbreite kon­ vertiert, indem die Lichtquelle auf der Grundlage der Pulsbreite ein- und ausgeschaltet wird; einen Plattenrotationsapparat, der die lichtempfindliche Mutterplatte dreht und die licht­ empfindliche Mutterplatte in der Umfangsrichtung bei der Position der Strahlung des Laserlichts positioniert; und einen Platten-Lateralbewegungsapparat, der die lichtempfindli­ che Mutterplatte in der Radialrichtung bewegt und der die lichtempfindliche Mutterplatte bei der Position der Laserlichtstrahlung in Radialrichtung positioniert, wobei der Belichtungs­ signal-Erzeugungsapparat folgendes umfaßt: eine Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung, die in Übereinstimmung mit dem vorbestimmten Basistaktsignal arbeitet und die ein Wobbel- Signal erzeugt; und eine Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung, die in Übereinstimmung mit einem Basis-Taktsignal arbeitet, das dasselbe ist, wie das genannte Basis-Taktsignal, und die ein Land-Prä-Pit-Signal erzeugt.
Folglich können bei einem derartigen Aufbau das Wobbel-Signal und das Land-Prä-Pit- Signal unter Wirkung desselben Basis-Taktsignals präzise synchronisiert und ausgegeben werden.
Gemäß einem zweiten Aspekt, der sich auf den ersten Aspekt bezieht, betrifft die Erfindung folgendes: einen Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, bei welchem die Wobbel- Signal-Erzeugungsschaltung eine Frequenzteilerschaltung umfaßt, die die Frequenz des Basis-Taktsignals teilt; und bei welchem die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung in Über­ einstimmung mit dem Teilungssignal arbeitet, das durch Teilen des Basis-Taktsignals erhalten wird.
Folglich kann, obwohl die Betriebsfrequenz der Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung auf einen tiefen Wert gedrückt wird, die Betriebsfrequenz des gesamten Belichtungssignal- Erzeugungsapparats auf einem hohen Wert aufrechterhalten werden. Deshalb kann hinsicht­ lich des Separationselements, wie z. B. eines Optokopplers zum elektrischen Separieren der Analogschaltung und der Digitalschaltung voneinander, die Betriebsfrequenz abgesenkt werden (niedrige Geschwindigkeit) und dadurch können einfachere und kostengünstigere Teile für das Separationselement bzw. Trennelement verwendet werden. Zusätzlich kann die Gestaltung der Peripherieschaltung vereinfacht werden.
Gemäß einem dritten Aspekt, der in Beziehung zu dem ersten und/oder zweiten Aspekt steht, betrifft die vorliegende Erfindung vorteilhaft folgendes: einen Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, bei welchem die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung folgendes umfaßt: ein Wellenformdaten-Merkmittel, das Wellenformdaten eines Belichtungssignals für mehrere Wellenformen speichert und das hinsichtlich wenigstens eines der Vielzahl von Wellenformdaten mehrere Belichtungssignale mit unterschiedlichen Phasen speichert; eine D/A-Konverterschaltung, die die Wellenformdaten, die von dem Wellenformdaten-Merk­ mittel ausgegeben werden, von einem Digitalsignal in ein Analogsignal umwandelt und das Wobbel-Signal erzeugt; und ein Auswahlmittel, das die Wellenformdaten auswählt, die von dem Wellenformdaten-Merkmittel ausgegeben werden.
Folglich können, selbst in dem Fall, in dem eine Verschiebung einer optischen Achse bei dem Belichtungslichtstrahl, der jeweilig auf dem Wobbel-Signal und auf dem Land-Prä-Pit- Signal basiert, auftritt, mehrere Wellenformdaten mit unterschiedlichen Phasen gespeichert werden und die notwendigen, zu verwendenden Daten können unter den ausgewählten mehreren Wellenformdaten ausgewählt werden. Deshalb können die schwierigen Arbeiten zum Einstellen der optischen Achse nicht erforderlich sein und somit kann die Einstellung der Spur-Wobbel-Phase und der Land-Prä-Pit-Ausbildungsposition erleichtert werden.
Gemäß einem vierten Aspekt, der mit dem ersten, zweiten und/oder dritten Aspekt in Beziehung steht, betrifft die vorliegende Erfindung vorteilhaft folgendes: einen Belichtungs­ apparat für eine optische Mutterplatte, bei welchem der Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte folgendes umfaßt: ein Land-Prä-Pit-Positions-Beurteilungsmittel, das eine geplante Position der Anordnung eines Land-Prä-Pits auf der radialen Position bzw. in Radialrichtung erhält; ein Überlapp-Positions-Beurteilungsmittel, das von der somit erhalte­ nen Position bzw. Überlapp-Position des Land-Prä-Pits eine Position erhält, wo das Land- Prä-Pit in der Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte überlappt; und ein Über­ lapp-Vermeidungsmittel, das von der somit erhaltenen Position die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits derartig bezeichnet, daß das gegenseitige Überlappen der Land-Prä-Pits zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Mutterplatte, die in Radialrichtung benachbart sind, vermieden werden kann.
Folglich kann, falls die Positionsinformation, die die Belichtungsposition der fotoempfindli­ chen Mutterplatte betrifft, von dem Apparat zum lateralen bzw. seitlichen Bewegen der Platte beschafft wird, in dem Fall der Durchführung der Belichtung auf der spiralförmigen Spur mit dem CLV-Verfahren die geplante Position der Anordnung des Land-Prä-Pits bekannt sein. Deshalb ist es möglich, den Überlapp zwischen den Land-Prä-Pits zu vermei­ den, ohne die spezielle Schaltung usw. hinzuzufügen.
Gemäß einem fünften Aspekt, der sich auf den ersten, zweiten und dritten Aspekt bezieht, betrifft die vorliegende Erfindung vorteilhaft folgendes: einen Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, bei welchem der Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte folgendes umfaßt: einen 2-Synchronisations-Rahmenzähler, der die Lange eines 2-Syn­ chronisations-Rahmens zählt, der auf der lichtempfindlichen Mutterplatte ausgebildet ist, und zwar mit einem Takt, der als ein Basis-Taktsignal verwendet wird; ein Phasendifferenz- Beurteilungsmittel, das den Zählwert hereinnimmt, der durch den 2-Synchronisations- Rahmenzähler gezählt wurde, und zwar pro einer Umdrehung der lichtempfindlichen Mutterplatte, und das die Phasendifferenz zwischen den in Radialrichtung der lichtempfindli­ chen Mutterplatte benachbarten Spuren von dem somit erhaltenen Zählwert erhält; und ein Überlapp-Vermeidungsmittel, das von der somit erhaltenen Phasendifferenz die Belichtungs­ position des Land-Prä-Pits derartig bezeichnet, daß das Überlappen der Land-Prä-Pits untereinander zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Mutterplatte, die in Radial­ richtung benachbart sind, vermieden werden kann.
Folglich kann das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits vorab beurteilt werden, indem die Phasendifferenz zwischen den Spuren, die einander in radialer Richtung der lichtempfindlichen Mutterplatte benachbart sind, von dem Zählwert der 2-Synchronisa­ tions-Rahmenlänge pro einer Umdrehung der lichtempfindlichen Mutterplatte während der Ausführung der Belichtung bekannt ist, und dadurch kann ein Auftreten eines Überlapps vermieden werden.
Gemäß einem sechsten Aspekt, der sich auf den fünften Aspekt bezieht, betrifft die vorlie­ gende Erfindung vorteilhaft folgendes: einen Belichtungsapparat für eine optische Mutter­ platte, bei welchem das Phasendifferenz-Beurteilungsmittel den Zählwert des 2-Synchronisa­ tions-Rahmenzählers auf mehreren Positionen der lichtempfindlichen Mutterplatte in der Umfangsrichtung hereinnimmt und die Phasendifferenz zwischen den einander benachbarten Spuren in der Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte auf den jeweiligen mehre­ ren Positionen erhält.
Folglich kann der Überlapp weiter präzise vermieden werden, da das Auftreten eines Überlapps zwischen dem Land-Prä-Pit bei der Vielzahl von Positionen in der Umfangs­ richtung der lichtempfindlichen Mutterplatte im voraus beurteilt werden kann.
Gemäß einem siebten Aspekt, der sich auf den ersten, zweiten oder dritten Aspekt bezieht, betrifft die vorliegende Erfindung vorteilhaft folgendes: einen Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, bei welchem der Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte weiter folgendes umfaßt: einen Taktzähler, der eine Zähloperation pro einer Umdrehung der lichtempfindlichen Mutterplatte mit dem gewünschten Taktsignal durchführt; ein Land-Prä- Pit-Positions-Beurteilungsmittel, das den obigen Zählwert pro einem Auftritt des Land-Prä- Pits hereinnimmt, und eine Positionsinformation der lichtempfindlichen Mutterplatte erfaßt; und ein Überlapp-Vermeidungsmittel, das von der somit erfaßten Positionsinformation die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits derartig bezeichnet, daß das Überlappen der Land- Prä-Pits untereinander zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Platte, die in der Radial­ richtung benachbart sind, vermieden werden kann.
Folglich kann das Auftreten eines Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits mit hoher Auflö­ sung und hoher Genauigkeit vermieden werden, da das Taktsignal, das sich von dem Basis- Taktsignal unterscheidet, verwendet werden kann.
Gemäß einem achten Aspekt, der sich auf den fünften und/oder sechsten Aspekt bezieht, betrifft die vorliegende Erfindung vorteilhaft folgendes: einen Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, bei welchem ein Belichtungspositions-Bezeichnungsmittel in dem Überlapp-Vermeidungsmittel folgendes umfaßt: ein Berechnungsmittel, das die Variation der Phasendifferenz bezüglich einer tolerierbaren Variationsbreite der Phasendifferenz zwischen den benachbarten Spuren berechnet, wobei das Vermeiden des gegenseitigen Überlappens zwischen den Land-Prä-Pits untereinander vermieden wird; und ein Alarmsignal-Ausgabe­ mittel, das ein Belichtungsalarmsignal ausgibt, das alarmierend auf den unnormalen Zustand der Belichtung in Übereinstimmung mit der durch das Berechnungsmittel durchgeführten Berechnung hinweist, wenn die Variation der Phasendifferenz die tolerierbare Variations­ breite der Phasendifferenz überschreitet.
Folglich kann ein Warnsignal über einen abnormalen Zustand hinsichtlich der Vermeidung eines Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits und eines abnormalen Zustandes der Linien­ geschwindigkeit der Belichtung ausgegeben werden.
Gemäß einem neunten Aspekt, der zu dem fünften, sechsten, siebten und achten Aspekt in Beziehung steht, betrifft die vorliegende Erfindung vorteilhaft folgendes: einen Belichtungs­ apparat für eine optische Mutterplatte, bei welchem das Überlapp-Vermeidungsmittel folgendes umfaßt: einen Spurenzähler, der die Anzahl der Spuren auf der lichtempfindlichen Mutterplatte zählt; ein Annäherungs-Beurteilungsmittel, das von dem Zählwert des Spuren­ zähler und der Phasendifferenz, die von dem Phasendifferenz-Beurteilungsmittel erhalten wurde, beurteilt, daß die Belichtungsposition sich in dem vorbestimmten Ausmaß der Position nähert, wo die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen; ein Nummerndaten- Merkmittel, das vorab die Daten der Nummer der Spuren speichert, auf denen die Land- Prä-Pits selbst benachbart zueinander angeordnet sind; ein Überlapp-Beurteilungsmittel, das basierend auf den Nummerndaten bzw. Anzahldaten, die in dem Nummerdaten-Merkmittel gespeichert sind, und auf dem Zählwert, der durch den Spurenzähler gezählt wird, beurteilt, daß die Land-Prä-Pits selbst sich auf der Position befinden, auf der die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen, wenn das Annäherungs-Beurteilungsmittel beurteilt, daß die Belich­ tungsposition sich der Position nähert, wo sich die Land-Prä-Pits gegenseitig überlappen; und ein Belichtungspositions-Bezeichnungsmittel, das die Belichtungsposition der Land-Prä- Pits derartig bezeichnet, daß der Überlapp der Land-Prä-Pits untereinander auf der Grundla­ ge der obigen Beurteilung vermieden wird.
Folglich kann die betriebsmäßige Berechnungsverarbeitung zur Vermeidung eines Überlapps reduziert werden, da es möglich ist, das Auftreten eines Überlapps zwischen den Land-Prä- Pits auf der Grundlage der Daten über die Spurenanzahl und der Zählung des Spurenzählers zu vermeiden.
Gemäß einem zehnten Aspekt, der zu dem fünften, sechsten, siebten und/oder achten Aspekt in Beziehung steht, betrifft die vorliegende Erfindung vorteilhaft folgendes: einen Belich­ tungsapparat für eine optische Mutterplatte, bei welchem das Überlapp-Vermeidungsmittel weiter folgendes umfaßt: ein Vergleichsmedium, das eine Phasendifferenz, die durch das Phasendifferenz-Beurteilungsmittel erhalten wurde, mit einem vorbestimmten Schwellenwert vergleicht; ein Überlapp-Beurteilungsmittel, das beurteilt, daß die Land-Prä-Pits auf der Position angeordnet sind, wo die Land-Prä-Pits sich selbst gegenseitig überlappen, wenn die Phasendifferenz kleiner als der Schwellenwert wird; ein Belichtungspositions-Bezeichnungs­ mittel, das die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits so bezeichnet, daß der Überlapp auf der Grundlage der obigen Beurteilung vermieden wird; und eine Einstellmittel, das den Betrag des Schwellenwerts einstellt.
Folglich variiert in dem Fall, in dem der Überlapp zwischen den Land-Prä-Pits von der Tatsache beurteilt wird, daß die Phasendifferenz, die durch das Phasendifferenz-Beur­ teilungsmittel erhalten wird, kleiner als der Schwellenwert wird, die Rotationsgeschwindig­ keit der lichtempfindlichen Mutterplatte zu der Zeit der tatsächlichen Ausführung der Belichtung innerhalb einer gewissen Breite, die durch die Umdrehungsanzahl, Umgebung, Last, Alterung bzw. Zeitablaufsvariation usw. bestimmt wird, und sie variiert in Überein­ stimmung mit einer idealen Geschwindigkeitskurve. Indem der Schwellenwert entsprechend der oben erwähnten Variation geändert wird, kann der Überlapp zwischen den Land-Prä-Pits präzise vermieden werden.
ERSTE AUSFÜHRUNGSFORM
Fig. 1 ist ein Blockdiagramm, das als Übersicht den Aufbau des Belichtungsapparats 1 zum Belichten der optischen Mutterplatte gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie in Fig. 1 gezeigt ist, wird die lichtempfindliche Mutterplatte 3, die zu belichten ist, auf einen Drehteller bzw. Plattentisch 2 gelegt. Der Drehtisch 2 wird durch einen Spindelmotor 5 gedreht (wobei ein Platten-Rotationsapparat gemäß der vorliegenden Erfindung realisiert wird), der durch einen Spindelmotor-Treiber 4 angetrieben wird. Weiter wird der Drehtisch 2 in der Horizontalrichtung (Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte 3) durch einen Motor 7 zur lateralen Förderung bzw. Bewegung bewegt (wobei ein Apparat zur lateralen bzw. seitlichen Plattenbewegung gemäß der vorliegenden Erfin­ dung realisiert wird), der durch einen lateralen Fördermotor-Treiber 6 angetrieben wird. Die Belichtungsposition auf der lichtempfindlichen Mutterplatte 3 wird beständig bewegt, und zwar aufgrund der Rotation des Drehtisches 2 und der horizontalen Bewegung des Drehti­ sches 2.
Ein Argon-Laserstrahl-Erzeugungsapparat 8 stellt die Lichtquelle dar, die für die Belichtung verwendet wird. Der Argon-Laserstrahl 9, der von dem Argon-Laser 8 abgestrahlt wird, wird bei einem Spiegel 11 reflektiert. Der Lichtmodulator wird ein- und ausgeschaltet, indem ein Lichtmodulator-Treiber 12 getrieben wird und dadurch wird der reflektierte Argon-Laserstrahl in ein Informationslichtsignal konvertiert, das in die lichtempfindliche Mutterplatte 3 zu schreiben ist. Die Gegenstandslinse 14 fokussiert das Licht derartig, daß ein sehr kleiner Lichtfleck auf der lichtempfindlichen Mutterplatte 3 als ein Belichtungsstrahl erzeugt wird.
Ein Formatierer 16 (der einen Belichtungssignal-Erzeugungsapparat gemäß der vorliegenden Erfindung realisiert) ist eine programmierbare Erzeugungseinrichtung zum Erzeugen der Prä-Formatdaten. (Die Details werden im folgenden beschrieben.) Ein Host-Computer 15 steuert den Spindelmotor-Treiber 4, den Motortreiber 6 für die laterale Bewegung, den Argon-Laser 9, den Formatierer 16 und den Lichtmodulator-Treiber usw. Der Host-Compu­ ter 15 steuert den gesamten Abschnitt des Belichtungsapparates 1, um die optische Mutter­ platte zu belichten. Ein Laserskala 17 detektiert eine Belichtungsstelle der fotoempfindlichen Mutterplatte 3 in der radialen Richtung. Obwohl der Belichtungsapparat 1 zum Belichten der optischen Mutterplatte das Vorformatieren der DVD-R durchführt, wird das Belichtungslicht der optischen Achse, das auf dem Wobbel-Signal basiert, und das Belichtungslicht der optischen Achse, das auf dem Land-Prä-Pit-Signal basiert, auf die lichtempfindliche Mutter­ platte 3 simultan und parallel gestrahlt.
Auf diese Art und Weise werden die Wobbel-Spur und der Land-Prä-Pit gleichzeitig er­ zeugt.
Fig. 2 ist ein Schaltungsblockdiagramm, das den umschriebenen Aufbau des Formatierers 16 zeigt. Wie in Fig. 2 gezeigt ist, beinhaltet der Formatierer im Groben eine Wobbel-Signal- Erzeugungsschaltung 21 und eine Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung 22. Der Forma­ tierer beinhaltet weiter eine Formatier-Steuereinrichtung (nicht gezeigt), die durch den Mikrocomputer realisiert ist, um den gesamten Abschnitt des Apparats zu steuern.
Sowohl die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung 21 als auch die Land-Prä-Pit-Signal-Erzeu­ gungsschaltung 22 arbeiten mit demselben Grundtaktsignal Fclk, das durch denselben Oszillator usw. erzeugt wird. Das Grundtaktsignal Fclk weist eine Frequenz auf, die der minimalen Einheit eines Bitaufbaus entspricht, das heißt einem Kanalbit.
Die Schaltung 21 stellt die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung dar, die folgendes umfaßt:
zwei Wellenform-Auswahldaten-RAMS 23 und 24 zum Speichern der Auswahldaten der Ausgangswellenformdaten, die als das Wobbel-Signal auszugeben sind; einen Adressenbus 25 zum Verbinden der Wellenform-Auswahldaten-RAMs 23 und 24 mit der Formatiersteuer­ schaltung (nicht gezeigt), und zwar hinsichtlich des Signals, das in die Wellenform-Aus­ wahldaten-RAMs 23 und 24 einzugeben ist; eine Adressenleitungs-Umwechselschaltung 31 und 32 zum Umwechseln der Adressenleitung zwischen den Ausgangsleitungen 27 des Adressenzählers 26, der mit dem Zykluszählpuls inkrementiert wird, der der Ausgangs­ wellenform des Wobbel-Signals pro einer Periode entspricht; eine Datenleitungs-Umwechsel­ schaltung zum Umwechseln der Ausgangsleitungen 33 und 34 der Wellenform- Auswahldaten-RAMS 23 und 24 mit dem Datenleitungs-Umwechselsignal; ein Wellenform­ daten-RAM 38 zum Empfangen mehrerer Wellenformdaten pro einer Periode, die von den Wellenform-Auswahldaten-RAMS 23 und 24 ausgegeben werden und der Zähler-Steuerdaten zum Zurücksetzen des Zykluszählers 36 von der Adressenleitung 37 und zum Speichern der Vielzahl von Wellenformdaten darin, die somit empfangen werden; eine Latch-Schaltung 39 zum Latchen bzw. Einrasten der Daten, die von dem Wellenformdaten-RAM 38 ausgegeben werden; und eine D/A-Konverterschaltung 41 zum Konvertieren der Wellenformdaten, die durch die Latch-Schaltung 39 eingerastet wurden, in das kontinuierliche bzw. fortlaufende sinusförmige Wobbel-Signal. Die D/A-Konversionsschaltung 41 ist mit einem Optokoppler aufgebaut, um die Digitalsignalschaltung und die Analogsignalschaltung zu isolieren, und weist ein D/A-Konverterelement und einen Tiefpaßfilter auf.
Die Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung 22 umfaßt Land-Prä-Pit-Daten-RAMS 51 und 52 zum Speichern der Land-Prä-Pit-Belichtungs-Musterdaten; einen Adressenbus 53 zum Verbinden der Land-Prä-Pit-Daten-RAMS 51 und 52 mit der Formatiersteuereinrichtung (nicht gezeigt), und zwar hinsichtlich des Eingangssignals zu den Land-Prä-Pit-Daten-RAMs 51 und 52; Adressenleitungs-Umwechselschaltungen 55 und 56 zwischen den Ausgangs­ leitungen 9 des Adressenzählers 54, die mit dem Wortpuls inkrementiert werden, der einer Wortperiode entspricht; Parallel-/Seriell-Konversionsschaltungen 57 und 58 zum Kon­ vertieren der Ausgangsparalleldaten (Wortlängenbit) der Land-Prä-Pit-Daten-RAMS 51 und 52; und einer Datenleitungs-Umwechselschaltung zum Umwechseln der seriellen Signale, die von den Parallel-/Seriell-Konversionsschaltungen 57 und 58 mit dem Datenleitungs- Umwechselsignal ausgegeben werden, und zum Ausgeben des Land-Prä-Pit-Signals ausge­ stattet.
Wie zuvor erwähnt wurde, arbeiten die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung 21 und die Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung 22 mit demselben Basis-Taktsignal Fclk. Das Basis-Taktsignal Fclk wird in dem Zykluszähler 36 und der Rasterschaltung 39 der Wobbel- Signal-Erzeugungsschaltung 21 und der Parallel-/Seriell-Konversionsschaltungen 57 und 58 in der Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung eingegeben. Das andere Taktsignal, das durch die Frequenz-Aufteilschaltung 62 frequenzgeteilt wird, wird in den Zykluszähler 36 der Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung 21 und die Latch-Schaltung 39 eingegeben.
Bei dem obigen Schaltungsaufbau werden die Wellenform-Erzeugungsdaten pro einer Periode einer Vielzahl von Arten in dem Wellenformdaten-RAM 38 der Wobbel-Signal- Erzeugungsschaltung 21 gespeichert.
Die Adresse des Wellenformdaten-RAM's 38 ist mit den Ausgangszeilendaten bzw. -linien­ daten des Zykluszählers 36 und den Ausgangsdaten der Wellenform-Auswahldaten-RAMS 23 oder 24 aufgebaut. Zum Beispiel sind die Ausgangszeilendaten bzw. -liniendaten des Zykluszählers dem Bit niedrigeren Rangs des Adressenbits zugeordnet und die Ausgangs­ daten des Wellenform-Auswahldaten-RAM's 23 oder 24 sind dem Bit höheren Rangs des Adressenbits zugeordnet. Die Daten zum Rücksetzen des Zykluszählers 36 werden ebenso in dem Wellenformdaten-RAM 38 gespeichert. Das Zykluszähler-Rücksetzsignal wird zu dem Zykluszähler 36 ausgegeben. Der Zykluszähler 36 gibt aufeinanderfolgend die Wellen­ formdaten pro einer Periode aus. Der Zykluszählpuls wird zu dem Adressenzähler 26 in Synchronisation mit dem Ende des Ausgebens der Wellenformdaten ausgegeben. Zu dieser Zeit wird der Adressenzähler 26 hochgezählt. Dadurch ändern sich die Ausgangsdaten des Wellenform-Auswahldaten-RAM's 23 oder 24, die z. B. in die Adressenleitung höheren Rangs des Wellenformdaten-RAM's 38 einzugeben sind, und dann wird die gewünschte fortlaufende bzw. kontinuierliche Wellenform durch die in gewünschter Weise programmier­ te Ausgabe des Wellenformdaten-RAM's 38 erzeugt.
Weiter verbinden die Ausgangsdaten der Wellenform-Auswahldaten-RAMs 23 und 24 die Adressenleitung der Wellenform-Auswahldaten-RAMs 23 oder 24, das nicht mit dem Wellenformdaten-RAM 38 verbunden ist, mit dem Adressenbus 25, und zwar indem die Adressenleitungs-Umwechselschaltungen 31 und 32 und die Datenleitungs-Umwechsel­ schaltung 35 verwendet werden. Auf diese Art und Weise können die Wellenform-Auswahl­ daten immer erneuert werden. Mehrere Wellenformdaten unterschiedlicher Periode oder mehrere Wellenformdaten unterschiedlicher Phase werden in dem Wellenformdaten-RAM 38 gespeichert und die Wellenform-Auswahldaten werden in den Wellenform-Auswahldaten- RAMs 23 und 24 programmiert, das frequenzmodulierte Wobbel-Signal oder das phasenmo­ dulierte Wobbel-Signal kann erzeugt werden. In dem DVD-R wird die Periode des Wobbel- Signals konstant. Deshalb ist es nicht notwendig, die Wellenform-Auswahldaten zu erneu­ ern.
In der Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung 22 werden die Land-Prä-Pit-Belichtungs­ daten in den Land-Prä-Pit-Daten-RAMs 51 und 52 in Übereinstimmung mit dem Sektorfor­ mat gespeichert. Die Ausgangsdaten der Land-Prä-Pit-Daten-RAMs 51 und 52 verbinden die Adressenleitungen der Land-Prä-Pit-Daten-RAMs 51 und 52, die das Land-Prä-Pit-Signal nicht zu dem Adressenbus ausgeben, und zwar indem die Datenleitungs-Umwechselschaltung zum Umwechseln der zwei seriellen Datenleitungen verwendet wird, die durch die Adres­ senleitungs-Umwechselschaltungen 55 und 56 und die Parallel-/Seriell-Konversionsschaltun­ gen 57 und 58 erhalten wird. Auf eine solche Art und Weise werden die Sektordaten, die die Land-Prä-Pit-Belichtungs-Musterdaten enthalten, immer korrekt bzw. gemäß einer Reihenfolge erneuert.
Der Lichtmodulator-Treiber 12 treibt den Lichtmodulator 13 durch die Wirkung des Wobbel-Signals, das von der Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung 21 ausgegeben wird, und des Land-Prä-Pit-Signals, das von der Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung 22 ausge­ geben wird. Dadurch werden zwei Linien der optischen Achse des Argon-Laserstrahls 9 jeweilig individuell ein- und ausgeschaltet. Auf diese Art und Weise werden die Wobbel- Spur und das Land-Prä-Pit auf der lichtempfindlichen Mutterplatte 3 gleichzeitig und parallel ausgebildet.
Da sowohl die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung 21 als auch die Land-Prä-Pit-Signal- Erzeugungsschaltung 22 komplett synchron miteinander durch dasselbe Basis-Taktsignal Fclk arbeiten, tritt keine Phasendifferenz zwischen dem Wobbel-Signal und dem Land-Prä- Pit-Signal auf.
Bei dieser Gelegenheit kann, da das Frequenzteiler-Taktsignal, das dadurch erzeugt wird, daß das Basis-Taktsignal Fclk mit der Frequenzteilerschaltung 62 erzeugt wird, in die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung 21 eingegeben wird, die Betriebsfrequenz der Wobbel- Signal-Erzeugungsschaltung 21 abgesenkt werden. Dadurch kann die Betriebsfrequenz des Fotokopplers und des D/A-Konversionselements, die die D/A-Konversionsschaltung 41 bildet, abgesenkt werden. Deshalb können einfache und kostengünstige Teile für jene Elemente verwendet werden und die periphere Schaltung davon kann ebenso mit einfachen Teilen aufgebaut werden.
Weiter ist es bei der oben erwähnten Schaltungskonstruktion möglich, die programmierbare Wobbel-Wellenform mit demselben Schaltungsaufbau zu erzeugen, und zwar ungeachtet des Wobbelsignals der FM-modulierten Sinuswelle, die den Inhalt des Wobbel-Signals der konstantperiodischen Sinuswelle in der DVD-R- oder der ATIP-Information in der CD-R aufweist (Adresseninformation, Diskinformation bzw. Platteninformation usw. werden in die frequenzmodulierte Wobbelspur eingeschrieben).
Weiter können der Zykluszähler 36 und die parallelen/seriellen Konversionsschaltungen 57 und 58 ihren Betrieb in Synchronisation mit dem Signalausgabe-Startsignal beginnen. Folglich können, falls die Wellenformdaten, die in dem Wellenformdaten-RAM 38 zu speichern sind, mit unterschiedlichen Phasen der sinusförmigen Welle derselben Periode gespeichert werden, wie durch die Wellenform in Fig. 3A und 3B gezeigt ist (θ im Beispiel der Fig. 3), das Land-Prä-Pit-Signal und das Wobbel-Signal mit den jeweiligen Phasen, die sich voneinander unterscheiden, ausgegeben werden, indem eines der beiden Signale ausgewählt wird. Das Auswahlmittel der vorliegenden Erfindung kann in einer solchen Art und Weise realisiert werden. Folglich ist es möglich, die präzise Phaseneinstellung des Wobbel-Signals und des Land-Prä-Pit-Signals durchzuführen. Bei dieser Gelegenheit wird ein Beispiel des Wellenformdaten-Merkapparats gemäß der vorliegenden Erfindung durch ein Wellenformdaten-RAM 38 realisiert, während ein Beispiel der Auswahlschaltung der Erfindung durch eine Datenlinien-Umwechselschaltung 35 realisiert wird, usw.
Im folgenden kann die Länge Ln auf der Spiralspur mit gleichförmiger Unterteilung bzw. gleichem Abstand unter der Annahme, daß die Länge des Linienpfades der n-ten Spur (n = 1, 2, 3, . . .) Ln ist, durch die folgende Gleichung (1) erhalten werden:
Ln = 2×π×RO + (2×(n-1))×π×P (1).
Hier bedeutet RO den Startradius der Spiralspur, n die Anzahl der Spuren und P die spiral­ förmige Unterteilung bzw. den Spiralabstand.
Die Länge des Linienpfades der jeweiligen Spuren erhöht sich um 2 × π × P spurweise, und zwar in dem Fall, in dem die Spirale von dem inneren Umfang zu dem äußeren Umfang der lichtempfindlichen Mutterplatte 3 gezogen wird. Weiter, wenn die CLV-Verfahren-Belich­ tung durchgeführt ist, wird die Geschwindigkeit hinsichtlich einer geraden Linie immer konstant gehalten. Da das Land-Prä-Pit-Signal ebenso mit einer konstanten Periode auftritt, kann, falls die Radiusposition bzw. radiale Position, wo mit der Ausgabe des Land-Prä-Pit- Signals begonnen wird, das heißt die Position der lichtempfindlichen Mutterplatte 3 in der radialen Richtung bekannt ist, darüber hinaus die Position, die geplant ist, um das Land-Prä- Pit a (siehe Fig. 4) auf der Spirallinie auszubilden, präzise berechnet werden.
Hier wird die Anordnung der Land-Prä-Pits a zwischen den benachbarten Spuren der Reihenfolge nach bzw. geordnet berechnet, und zwar ausgehend von den Daten über die Radiusposition des Belichtungsstrahls zur Zeit des Beginns der Ausgabe des Land-Prä-Pit- Signals, der Belichtungsunterteilung bzw. dem Belichtungsabstand ("pitch") und der Peri­ odenlänge des Land-Prä-Pits a. Dadurch kann der Überlapp des Land-Prä-Pits a vermieden werden. Der Belichtungsapparat 1 für die optische Mutterplatte steuert die Belichtungs­ positionsinformation mit dem Host-Computer 15. Hier beschafft sich die Fomatiersteuer­ schaltung (nicht gezeigt) die Radius-Positionsinformation zum Zeitpunkt des Startens der Ausgabe des Land-Prä-Pit-Signals von dem Host-Computer 15, und die Position, die geplant ist, um das Land-Prä-Pit a auszubilden, wird während der Belichtungsarbeiten erhalten. Dadurch wird das Beurteilungsmittel zum Beurteilen der Land-Prä-Pit-Position der vorlie­ genden Erfindung realisiert. Danach wird die betriebsmäßige Berechnung zum Suchen der Position des Land-Prä-Pits a hinsichtlich des Überlapps durchgeführt und dadurch wird das andere Beurteilungsmittel zum Beurteilen der Überlapp-Position der vorliegenden Erfindung ebenfalls realisiert. Die Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung 22 wird gesteuert und der Überlapp des Land-Prä-Pits a wird vermieden. Dadurch wird ein Beispiel des Überlapp- Vermeidungsmittels der vorliegenden Erfindung realisiert. Wie zuvor erwähnt wurde, wird die derartige Vermeidungsoperation durchgeführt, indem die Position zwischen der gerad­ zähligen Position und der ungeradzahligen Position geändert wird, die beide bei dem Kopfabschnitt des 1-Synchronisations-Rahmens realisiert sind (siehe Fig. 4).
Darüber hinaus wird die Berechnung zum Suchen der Position für das Land-Prä-Pit a hinsichtlich des Überlapps durchgeführt und die Daten der Position zur Ausbildung des Land-Prä-Pits a werden zuvor ausgebildet. Auf der Basis derartiger Daten kann der Über­ lapp des Land-Prä-Pits vermieden werden.
In einer solchen Art und Weise kann in dem Fall, in dem die Spiralspur durch das CLV-Verfahren belichtet werden, falls die Radiuspositionsinformation der lichtempfindlichen Mutterplatte 3 von dem Host-Computer 15 erfaßt wird, da die Position, die geplant ist, um das Land-Prä-Pit a anzuordnen, bekannt ist, der gegenseitige Überlapp zwischen den Land- Prä-Pits selbst vermieden werden, ohne eine spezielle Schaltung usw. hinzuzufügen.
ZWEITE AUSFÜHRUNGSFORM
Der Mutterplatten-Belichtungsapparat 1 der optischen Platte, die die zweite Ausführungs­ form der vorliegenden Erfindung betrifft, ist derselbe wie jener bei der ersten Ausführungs­ form, mit der Ausnahme, daß eine Phasen-Ausleseschaltung 71, wie sie in Fig. 5 gezeigt ist, zu dem Formatierer 16 hinzugefügt wird. Dieselben Bezugszeichen oder Symbole werden jeweilig den bekannten Teilen zugeordnet und eine detaillierte Beschreibung wird weggelassen.
Wie in Fig. 5 gezeigt ist, stellt ein 2-Synchronisations-Rahmenlängenzähler 72 den Zähler zum wiederholten Zählen der Lange des 2-Synchronisations-Rahmens mit dem Basistakt Fclk dar. Eine Latch-Schaltung 73 rastet den Zählwert ein, der durch den 2-Synchronisa­ tions-Rahmenlängenzähler 72 gezählt wird, und zwar pro Eingabe des Spindelursprung­ spulses mit dem Taktsignal, das der Spindeloriginalpuls ist, der pro einer Umdrehung des Spindelmotors 5 ausgegeben wird. Die Latch-Schaltung 73 gibt weiter die eingerasteten Zähldaten zu einer Steuereinrichtung, die in Fig. 5 nicht gezeigt ist, als Phasendaten aus, und detektiert weiter deren Überlapp von der Phasendifferenz zwischen den benachbarten Spuren, und zwar genommen auf der Position der Spindel-Originalpuls-Ausgabe des Zähl­ wertes, der durch den 2-Synchronisations-Rahmenlängenzähler 72 gezählt wurde. Der Überlapp tritt auf, wenn die Phasendifferenz weniger als zweimal der Land-Prä-Pit-Lange wird. In der Praxis ist es vorzuziehen, den Beurteilungswert mit einem Spielraum (aus­ reichenden Wert) festzusetzen, um eine Fehlbeurteilung zu vermeiden, die aufgrund der Tatsache auftritt, daß das Hereinnehmen der Umdrehungsvariation der Spindel und deren Phasendifferenz einmal pro Umdrehung der Spindel durchgeführt wird, nämlich der Fall, bei dem der Überlapp gemäß dem Zeitablauf auftritt, wenn die Steuereinrichtung (nicht gezeigt) die Phasendaten von der Latch-Schaltung 73 nimmt.
Weiter ist es bei der zweiten Ausführungsform nicht immer notwendig, daß die Phase der 2-Synchronisations-Rahmenlängenzähleinrichtung 72 mit jener des Land-Prä-Pit-Signals, das tatsächlich bei dem Zeitpunkt des Spindelursprungspulses ausgegeben wird, in Harmonie ist. Darüber hinaus ist der Zeitablauf des Hereinnehmens der Phasendaten in die Steuerein­ richtung (nicht gezeigt) nicht immer notwendigerweise der Zeitpunkt der Ausgabe des Spindelursprungspulses. Es kann zulässig sein, daß der Hereinnahme-Zeitablauf bei einer optionalen gleichen Position auf dem kreisförmigen Umfang der lichtempfindlichen Mutter­ platte 3 ist. Die Fig. 6 ist ein Flußdiagramm, das den Prozeß der Vermeidung des Über­ lapps des Land-Prä-Pits a durch die Wirkung der nicht gezeigten Steuereinrichtung erläutert. Wenn die Steuereinrichtung (nicht gezeigt) die Phasendaten von der Phasen-Ausleseschal­ tung 71 empfängt (Schritt S1 in Fig. 6), berechnet die Steuereinrichtung den Unterschied zwischen der Phase, die zu dieser Zeit empfangen wurde, und der Phase, die das letztemal empfangen wurde (Schritt S2). In Übereinstimmung mit der somit berechneten Phasendiffe­ renz wird beurteilt, ob die gegenwärtige Spur sich in einem Bereich befindet, wo ein Überlapp auftritt (Schritt S3). Dadurch wird das Phasendifferenz-Beurteilungsmittel der vorliegenden Erfindung realisiert.
Fig. 7 ist ein Graph, der das Verhältnis der Phasendifferenz zwischen den Spuren der benachbarten Spurennummern zeigt. In Fig. 7 tritt der Überlapp zwischen den Land-Prä-Pits a auf der Spur der Spurnummer auf, bei der die Phasendifferenz zwischen den benachbarten Spuren kleiner wird als der Schwellenwert α. Die Beurteilung im Schritt S3 kann daraufhin durchgeführt werden, ob die Phasendifferenz, die im Schritt S2 berechnet wurde, kleiner wird als der Schwellenwert α. Dadurch wird das Vergleichsmittel und das Überlapp-Beur­ teilungsmittel der vorliegenden Erfindung realisiert.
Weiter wird, wenn die aktuelle bzw. gegenwärtige Spur im Schritt S3 nicht in einem Bereich liegt, bei dem ein Überlapp auftritt (NEIN im Schritt S3), das Land-Prä-Pit a auf der geradzahligen Position ausgebildet (siehe Fig. 4). Im Gegensatz hierzu (Schritt SS), wenn die aktuelle Spur im Schritt S3 auf einem Bereich liegt, wo ein Überlapp auftritt (JA im Schritt S3), in dem Fall, daß die gerade vorhergehende Spur die geradzahlige Position als den Land-Prä-Pit-Bereich einnimmt (JA im Schritt S4), wird das Land-Prä-Pit a auf der ungeradzahligen Position ausgebildet und dadurch wird der Überlapp vermieden. Nimmt man Bezug auf Fig. 4 (Schritt S6), so wird, in dem Fall, daß die gerade vorhergehende Spur die ungeradzahlige Position als den Land-Prä-Pit-Bereich einnimmt (bei NEIN im Schritt S4), das Land-Prä-Pit a auf der geradzahligen Position ausgebildet und dadurch wird der Überlapp vermieden. Nimmt man Bezug auf Fig. 4 (Schritt S5), so wird dadurch das Belichtungsposition-Bezeichnungsmittel der vorliegenden Erfindung realisiert.
Auf eine derartige Art und Weise ist bei der zweiten Ausführungsform die Phasendifferenz zwischen den Spuren, die in Radiusrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte 3 einander benachbart sind, von dem Zählwert der 2-Synchronisations-Rahmenlänge ("2-sync.-frame"-Länge) pro einer Umdrehung der lichtempfindlichen Mutterplatte 3 während der Belich­ tungsvorgänge bekannt, und das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits a wird im voraus beurteilt. Durch eine solche Art und Weise kann das Auftreten des Überlapps vermieden werden. Dadurch wird das Überlapp-Vermeidungsmittel der vorliegenden Erfindung realisiert.
Weiter, wie zuvor erwähnt wurde, kann die Beurteilung des Schrittes S3 mittels der Tatsa­ che durchgeführt werden, ob die Phasendifferenz, die im Schritt S2 berechnet wird, kleiner als der Schwellenwert α wird. Bei der praktischen Belichtungsoperation variiert die Um­ drehungsgeschwindigkeit des Spindelmotors 5 in einer gewissen Breite und die Umdrehungs­ geschwindigkeit davon ändert sich in Übereinstimmung mit einer idealen Geschwindigkeits­ kurve. Die Variationsbreite ändert sich gemäß der Umdrehungszahl, der Umgebung bzw. Atmosphäre, der Last und einer Variation mit dem Zeitablauf bzw. infolge von Alterungs­ prozessen usw. des Spindelmotors 5.
Hier bei der zweiten Ausführungsform ändert die Steuereinrichtung (nicht gezeigt) den Schwellenwert α in dem Bereich des Schwellenwerts α 1-α 2, wie in Fig. 8 gezeigt ist, und zwar in Übereinstimmung mit der Umdrehungsgeschwindigkeit des Spindelmotors 5. Dadurch wird das Schwellenwert-Einstellmittel der vorliegenden Erfindung realisiert. Die Steuereinrichtung ändert weiter dadurch die Spanne bzw. den Bereich der Überlappfläche und ermöglicht es in geeigneter Weise, die Gegenmaßnahmen hinsichtlich der Variation der Umdrehungsgeschwindigkeit des Spindelmotors 5 zu ergreifen. Die Werte des Schwellen­ werts α 1 und α 2 können ebenfalls in Übereinstimmung mit der Umdrehungszahl, der Umgebung, der Last und der Alterungsvariation usw. des Spindelmotors 5 geändert werden.
DRITTE AUSFÜHRUNGSFORM
Der Mutterplatten-Belichtungsapparat 1 der optischen Platte, der die dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung betrifft, legt die Phasendaten-Hereinnahmepunkte auf der Anzahl von Umfangsoberflächenpunkten der lichtempfindlichen Mutterplatte fest, detektiert die Phasendifferenz dazwischen bei den phasendaten-Hereinnahmepunkten und führt die Über­ lapp-Vermeidungsverarbeitung und andere Prozesse durch. Der Betrieb ist mit Ausnahme des Überlapp-Vermeidungsprozesses derselbe wie jener bei der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Auch hinsichtlich des allgemeinen Betriebs werden gleiche Bezugszeichen gleichen Teilen zugewiesen und eine detaillierte Beschreibung wird weggelas­ sen.
Wie es z. B. in Fig. 9 gezeigt ist, ist es möglich, eine Frequenzteilerschaltung 74 bei der Phasen-Ausleseschaltung 71 bereitzustellen. Die Frequenzteilerschaltung 74 teilt die Fre­ quenz des Spindel-Kodierpulses, der den Drehwinkel des Spindelmotors 5 zeigt, und das Signal der somit geteilten Frequenz wird in die Latch-Schaltung 73 anstelle des Spindelorigi­ nalpulses eingegeben.
In einer solchen Art und Weise kann bei der dritten Ausführungsform, da das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits a im voraus auf der Vielzahl von Positionen auf dem Umfang der lichtempfindlichen Mutterplatte 3 beurteilt werden kann, der Überlapp weiter präzise vermieden werden.
VIERTE AUSFÜHRUNGSFORM
Nimmt man das strukturelle Merkmal aus, daß die Ausleseschaltung 75 für die Position eines Land-Prä-Pits, die in Fig. 10 gezeigt ist, zu dem Formatierer 16 anstelle der Phasen- Ausleseschaltung 71, die in Fig. 5 gezeigt ist, hinzugefügt wird, so ist der Mutterplatten- Belichtungsapparat 1 für die optische Platte hinsichtlich der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bzw. die vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dieselbe wie die zweite Ausführungsform. So werden für gleiche Merkmale gleiche Bezugs­ zeichen und Symbole für gleiche Teile vorgesehen und eine detaillierte Beschreibung wird weggelassen.
Wie in Fig. 10 gezeigt ist, beinhaltet die Land-Prä-Pit-Positionsdaten-Ausleseschaltung 75 einen Land-Prä-Pit-Positionszähler 76, der den Spindeloriginalpuls als Rücksetzsignal empfängt und das Taktsignal Fclk' zählt, das eine kürzere Periode aufweist als das Basis- Taktsignal Fclk, und beinhaltet eine Latch-Schaltung 77 zum Einrasten des gezählten Wertes mit dem Zeitablauf bzw. der Zeitsteuerung für die Eingabe des Land-Prä-Pit-Erzeugungs­ signals. Durch den Land-Prä-Pit-Positionszähler 76 wird ein Beispiel für einen Taktzähler der vorliegenden Erfindung realisiert.
Es wird nämlich bei der vierten Ausführungsform der Zählwert des Land-Prä-Pit-Positions­ zählers 76 als Koordinatenwert auf dem kreisförmigen Umfang der lichtempfindlichen Mutterplatte 3 verwendet, um den Überlapp zwischen den Land-Prä-Pits a zu beurteilen.
Betrachtet man das Hereinnehmen des Koordinatenwertes, so ist es möglich, daß die gesamte Kopf-(Top-)Positionsinformation des 2-Synchronisations-Rahmens pro 2-Synchroni­ sations-Rahmen hereingenommen wird und die gesamte so hereingenommene Information zwischen den benachbarten Spuren verglichen wird. Da jedoch der Prozeß für die Beur­ teilung anwächst, wird es möglich, nur die hereingenommenen Daten in einem gewissen spezifizierten Koordinatenbereich zu beurteilen und zu verarbeiten. Weiter ist es möglich, die Daten mit der Positioninformation der Kopfposition des physikalischen Sektors zu beurteilen. Das Land-Prä-Pit-Erzeugungssignal, bei dem es sich um ein Triggersignal zum Hereinnehmen der Kopf-Positionsinformation des physikalischen Sektors handelt, kann leicht von der Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung 22 erhalten werden.
Bei der vierten Ausführungsform ist es möglich, das Basis-Taktsignal Fclk zu verwenden. Jedoch kann das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits mit einer weiteren hohen Auflösung und weiteren hohen Genauigkeit vermieden werden, indem das Taktsignal Fclk' verwendet wird, das eine Zeitdauer aufweist, die kürzer ist als der Basistakt Fclk. Dadurch realisiert die Land-Prä-Pit-Positionsdaten-Ausleseschaltung 75 ein Beispiel für das Phasendifferenz-Beurteilungsmittel. Das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä- Pits a kann mit einer hohen Auflösung und hohen Genauigkeit vermieden werden.
FÜNFTE AUSFÜHRUNGSFORM
Wie in Fig. 11 gezeigt ist, ist mit der Ausnahme des strukturellen Merkmals, daß ein Spurzähler 78 zu dem Formatierer 16 hinzufügt wurde, der Mutterplatten-Belichtungsapparat 1 der optischen Platte, der sich auf die fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht, derselbe wie jener der zweiten, dritten und vierten Ausführungsform. Hinsichtlich der allgemeinen strukturellen Merkmale bezeichnen gleiche Bezugszeichen und Symbole gleiche Teile und eine detaillierte Beschreibung wird weggelassen.
Wie in Fig. 11 gezeigt ist, zählt der Spurenzähler 78 die Anzahl der Spuren und gibt den gezählten Wert als Spurenzahldaten zu einer nicht gezeigten Steuereinrichtung aus. Obwohl ein Beispiel der Phasen-Ausleseschaltung 71 der zweiten Ausführungsform, die in Fig. 5 gezeigt ist, in Fig. 11 gezeigt ist, ist es möglich, die Phasen-Ausleseschaltung 71 der dritten Ausführungsform zu verwenden, wie in Fig. 9 gezeigt ist, oder die Land-Prä-Pit-Positions­ daten-Ausleseschaltung 75 der vierten Ausführungsform, wie in Fig. 10 gezeigt ist, zu verwenden.
Bei der fünften Ausführungsform erfaßt die Steuereinrichtung (nicht gezeigt) die Phasen­ daten und die Land-Prä-Pit-Positionsdaten von der Phasen-Ausleseschaltung 71 und der Land-Prä-Pit-Positionsdaten-Ausleseschaltung 75 und dann beurteilt die Steuereinrichtung, ob sich beide Land-Prä-Pits a dem Überlappbereich in einem vorbestimmten Umfang nähern. Dadurch wird das Annäherungs-Beurteilungsmittel der vorliegenden Erfindung realisiert. Wenn z. B. in Fig. 6 die Phasendifferenz zwischen benachbarten Spuren kleiner als ein Wert β wird, wird es möglich, zu beurteilen, daß sich die Land-Prä-Pits a in einem vorbestimmten Umfang nähern.
Danach wird die Beurteilung der Tatsache, daß sich die Prä-Pits a in dem Überlappbereich befinden, wie in der zweiten bis vierten Ausführungsform gezeigt ist, überhaupt nicht durchgeführt. Stattdessen wird die Breite des Überlappbereichs (Anzahl der Spuren) zuvor von der Belichtungs-Rillen-Unterteilung bzw. dem Belichtungs-Rillen-Abstand ("pitch") und der 2-Synchronisations-Rahmenlänge berechnet und der berechnete Wert wird in dem ROM der nicht gezeigten Steuereinrichtung gemerkt bzw. gespeichert. Dadurch wird ein Beispiel des Anzahldaten-Merkmittels der vorliegenden Erfindung realisiert.
Die Beurteilung der Tatsache, daß die Land-Prä-Pits a sich in dem Überlappbereich befin­ den, wird ausgehend von der Breite des Überlappbereichs und dem Zählwert des Spurenzäh­ lers 78 durchgeführt. Dadurch wird das Überlapp-Beurteilungsmittel der vorliegenden Erfindung realisiert.
Weiter wird durch Verwendung desselben Mittels wie bei der zweiten bis vierten Aus­ führungsform der Überlapp zwischen den Land-Prä-Pits a vermieden. Dadurch wird das Belichtungspositions-Bezeichnungsmittel der vorliegenden Erfindung realisiert.
Da das Vermeiden des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits a auf der Grundlage der beiden zuvor vorbereiteten Spurenanzahldaten und der gezählten Anzahl des Spurenzählers bewirkt werden kann, kann der Betriebsberechnungsprozeß zum Vermeiden des Überlapps während der Belichtungsarbeiten reduziert werden.
SECHSTE AUSFÜHRUNGSFORM
Wie in Fig. 12 gezeigt ist, ist mit Ausnahme des strukturellen Merkmals, daß ein Alarmie­ rungsapparat 79 hinzugefügt wurde, der Mutterplatten-Belichtungsapparat 1 der optischen Platte bezüglich der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung derselbe wie jener der zweiten und dritten Ausführungsform. Hinsichtlich der gemeinsamen Merkmale gilt, daß gleiche Bezugszeichen oder Symbole dieselben Teile bezeichnen und eine detaillier­ te Beschreibung davon weggelassen wird.
Bei der sechsten Ausführungsform wird eine tolerierbare Variationsbreite für die Phasendif­ ferenz zwischen benachbarten Spuren festgelegt, die dazu in der Lage ist, einen Überlapp zwischen Land-Prä-Pits a zu vermeiden, oder eine andere tolerierbare Variationsbreite wird für die Zeilengeschwindigkeit der Belichtung festgelegt. Eine Steuereinrichtung (nicht gezeigt) berechnet die Variation der Phasendifferenz, die von der Phasen-Ausleseschaltung 71 für jene tolerierbare Variationsbreiten ausgegeben wird, wie oben festgelegt wurde. Dadurch wird das Berechnungsmittel der vorliegenden Erfindung realisiert. Indem die obige Berechnung durchgeführt wird, wenn die Variation der Phasendifferenz die tolerierbare Variationsbreite der Phasendifferenz oder der anderen tolerierbaren Variationsbreite der Zeilengeschwindigkeit überschreitet, gibt die Steuereinrichtung weiter ein Belichtungs- Unnormalsignal aus, um den unnormalen Zustand der Belichtung zu melden. Dadurch wird das Unnormalsignal-Ausgabemittel der vorliegenden Erfindung realisiert. Und dann sendet der Host-Computer 15 ein Steuersignal zu dem Alarmierungsapparat 79 zur Zeit des Emp­ fangs des Belichtungs-Unnormalsignals und meldet den Unnormalzustand der Vermeidung des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits a und dem Unnormalzustand der Belichtungs- Liniengeschwindigkeit bzw. Belichtungs-Zeilengeschwindigkeit dem Alarmierungsapparat 79. Um es klar auszudrücken, kann eine Lampe oder ein Summer als Alarmierungsapparat 79 verwendet werden.
Wie von der vorhergehenden Beschreibung der Ausführungsformen klar wird, kann gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung das Wobbel-Signal und das Land-Prä-Pit- Signal durch denselben Basistakt präzise synchronisiert und ausgegeben werden.
Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann, obwohl die Betriebsfrequenz der Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung bezüglich des ersten Aspekts auf einen tiefen Wert gedrückt wird, die Betriebsfrequenz des Gesamtbelichtungs-Signalerzeugungsapparats auf einem hohen Wert aufrechterhalten werden. Deshalb können einfache und kostengünstige Teile für das Separationselement bzw. Trennelement, wie z. B. einen Optokoppler verwendet werden, um die Analogschaltung und die Digitalschaltung voneinander zu trennen, und zwar aufgrund der Fähigkeit, die Betriebsfrequenz abzusenken. Infolgedessen kann die Gestaltung der Peripherieschaltung ebenfalls vereinfacht werden.
Gemäß dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung können, obwohl eine optische Achsenverschiebung des Belichtungsstrahles basierend jeweils auf dem Wobbel-Signal und dem Land-Prä-Pit-Signal auftritt, die Wellenformdaten mehrfach mit unterschiedlichen Phasen gespeichert werden und eine gewünschte (verwendete) kann unter jener Vielzahl von Wellenformdaten bezüglich des ersten oder zweiten Aspekts ausgewählt werden. Folglich ist es nicht notwendig, die schwierige Tätigkeit der Justierung der optischen Achse durch­ zuführen und dadurch kann die Einstellung der Spur-Wobbel-Phase und der Land-Prä-Pit- Ausbildungsposition erleichtert werden.
Gemäß dem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung, der zu dem ersten, zweiten und dritten Aspekt in Beziehung steht, kann, falls der lichtempfindliche Mutterplatten-Belich­ tungsapparat die Positionsinformation der Belichtungsposition der lichtempfindlichen Mutter­ platte in der Radialrichtung von dem Apparat zum lateralen Bewegen der Platte erfaßt usw., in dem Fall der Durchführung der Belichtung auf der Spiralspur mit dem CLV-Verfahren, die geplante Position der Anordnung der Land-Prä-Pits gefunden werden. Deshalb ist es möglich, den Überlapp zwischen den Land-Prä-Pits zu vermeiden, ohne eine Spezial­ schaltung hinzuzufügen.
Gemäß dem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung, der zu dem ersten, zweiten oder dritten Aspekt in Beziehung steht, ist die Phasendifferenz der Spuren, die einander benach­ bart sind, in der Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte von dem Zählwert der 2-Synchronisations-Rahmenlänge pro einer Umdrehung der lichtempfindlichen Mutterplatte während der Belichtungsarbeiten bekannt. Dadurch kann das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits im voraus beurteilt werden und das Auftreten des Überlapps kann vermieden werden.
Gemäß dem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung in Beziehung zu dem fünften Aspekt kann das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits im voraus auf der Grundlage der Vielzahl von Positionen in der Umfangsrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte beurteilt werden. Dadurch kann der Überlapp präzise vermieden werden.
Gemäß dem siebten Aspekt der vorliegenden Erfindung, der zu entweder dem ersten, zweiten oder dritten Aspekt in Beziehung steht, kann das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits mit hoher Auflösung und Präzision vermieden werden, da das Taktsignal sich von dem Basis-Taktsignal unterscheidet.
Gemäß dem achten Aspekt der vorliegenden Erfindung, der mit dem fünften oder sechsten Aspekt in Beziehung steht, kann der unnormale Zustand hinsichtlich des Vermeidens des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits und der unnormalen Liniengeschwindigkeit bzw. Zeilengeschwindigkeit der Belichtung gemeldet werden oder es kann ein Alarm gegeben werden.
Gemäß dem neunten Aspekt der vorliegenden Erfindung, der in Beziehung zu entweder dem fünften, sechsten, siebten oder achten Aspekt steht, kann, da das Auftreten des Überlapps zwischen den Land-Prä-Pits auf der Grundlage der Spurenanzahldaten und des Zählwerts des Spurenzählers vermieden werden kann, die beide zuvor vorbereitet wurden, der Prozeß der betriebsmäßigen Berechnung zur Vermeidung des Überlapps während der Belichtungs­ arbeiten reduziert werden.
Gemäß dem zehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung, der zu dem fünften, sechsten, siebten oder achten Aspekt in Beziehung steht, wird in dem Fall, in dem der Überlapp zwischen den Land-Prä-Pits durch die Tatsache beurteilt wird, daß die Phasendifferenz, die durch die Phasendifferenz erzielt wurde, kleiner als der Schwellenwert wird, die Rotations­ geschwindigkeit zur Zeit der tatsächlichen Belichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte durch die Umdrehungszahl, Umgebung, Last und Zeitablaufvariationen bzw. Alterungs­ prozesse usw. bestimmt. Der Schwellenwert wird geändert, wenn sich die Rotationsge­ schwindigkeit in Übereinstimmung mit einer idealen Geschwindigkeitskurve innerhalb einer gewissen Breite der Variation ändert. Auf eine solche Art und Weise kann der Überlapp zwischen den Land-Prä-Pits präzise vermieden werden.
Die vorliegende Anmeldung basiert auf der japanischen Patentanmeldung Nr. JPAP10- 002,888/1998 und der anderen japanischen Patentanmeldung Nr. JPAP10-073,732/1998, die jeweils am 9. Januar 1998 und am 23. März 1998 eingereicht wurden und deren gesamter Inhalt hiermit durch Bezugnahme aufgenommen wird.
Die Erfindung läßt sich insbesondere wie folgt zusammenfassen:
Die vorliegende Erfindung stellt einen Belichtungsapparat einer optischen Disk-Masterplatte (z. B. DVD-R) zum Belichten einer lichtempfindlichen Masterplatte und zum Einschreiben eines DVD-R Formats bereit, und sie stellt ein Verfahren zum Belichten der optischen Disk- Masterplatte bereit. Der Belichtungsapparat der optischen Disk-Masterplatte kann sowohl das Wobbel-Signal als auch das Land-Prä-Pit-Signal dazu bringen, präzise in Synchronisa­ tion miteinander zu sein und die synchronisierten Signale unter Verwendung des Formatie­ rers auszugeben. Der Formatierer kann die Gestaltung des Separationselements zum elek­ trischen Trennen der Analogschaltung und der Digitalschaltung voneinander, um deren Peripherieschaltung zu erleichtern. Der Formatierer des optischen Disk-Belichtungs 02597 00070 552 001000280000000200012000285910248600040 0002019900653 00004 02478apparats arbeitet auf der Grundlage des vorbestimmten Basis-Taktsignals Fclk. Der Formatierer ist mit einer Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung versehen, die ein Wobbel-Signal erzeugt, und mit einer Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung versehen, die auf der Grundlage dessel­ ben Basis-Taktsignals Fclk arbeitet und die ein Land-Prä-Pit-Signal erzeugt. Die Wobbel- Signal-Erzeugungsschaltung ist mit einer Frequenzteilerschaltung zum Teilen der Frequenz des Basis-Taktsignals Fclk versehen und arbeitet auf der Grundlage des frequenzgeteilten Taktsignals.
Bezugszeichenliste Fig. 1
8
Argon-Laser
12
optischer Modulator-Treiber
13
optischer Modulator
16
Formatierer
15
Host-Computer
4
Spindelmotor-Treiber
6
transversaler Fördermotor-Treiber
Fig. 2
31
Adressenleitungs-Umänderungsschaltung
35
Datenleitungs-Umänderungsschaltung
39
Latch-Schaltung
41
D/A-Konverterschaltung
36
Zykluszähler
62
Frequenzteilerschaltung
54
Adressenzähler
51
Adressenleitungs-Umänderungsschaltung
56
Adressenleitungs-Umänderungsschaltung
61
Datenleitungs-Umänderungsschaltung
Fig. 6
S1 Erfassung von Phasendaten
S2 Berechnung von Phasendaten
S3 Überlappungsbereich?
S4 vorhergehende Spur geradzahlige Position?
SS Land-Prä-Pit-Anordnung bei geradzahliger Position
S6 Land-Prä-Pit-Anordnung bei ungeradzahliger Position
Fig. 9
74
Frequenzteilerschaltung
72
2-Synchronisations-Rahmenlängenzähler
73
Latch-Schaltung
Fig. 10
76
Land-Prä-Pit-Positionszähler
77
Latch-Schaltung
Fig. 11
78
Spurzähler
72
2-Synchronisations-Rahmenlängenzähler
73
Latch-Schaltung
Fig. 12
8
Argon-Laser
16
Formatierer
12
optischer Modulator-Treiber
13
optischer Modulator
15
Host-Computer
4
Spindelmotor-Treiber
6
transversaler Fördermotor-Treiber
79
Alarmvorrichtung

Claims (33)

1. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte zum Belichten einer lichtempfindli­ chen Mutterplatte und zum Einschreiben eines Formats, insbesondere eines DVD-R Formats, der folgendes umfaßt:
eine Lichtquelle, die Laserlicht zur Verwendung beim Belichten der lichtempfindli­ chen Mutterplatte emittiert;
ein Belichtungssignal-Erzeugungsapparat, der ein Belichtungssignal zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte erzeugt;
einen optischen Modulator, der das Laserlicht in ein optisches Signal mit einer eingestellten bzw. justierten Pulsbreite konvertiert, indem die Lichtquelle auf der Grundlage der Pulsbreite ein- und ausgeschaltet wird;
einen Plattenrotationsapparat, der die lichtempfindliche Mutterplatte dreht und die lichtempfindliche Mutterplatte in der Umfangsrichtung hinsichtlich der Position der Strahlung des Laserlichts positioniert; und
einen Platten-Lateralbewegungsapparat, der die lichtempfindliche Mutterplatte in der Radialrichtung bewegt und der die lichtempfindliche Mutterplatte hinsichtlich der Position der Laserlichtstrahlung in Radialrichtung positioniert,
wobei der Belichtungssignal-Erzeugungsapparat folgendes umfaßt:
eine Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung, die in Übereinstimmung mit dem vor­ bestimmten Basistaktsignal arbeitet und die ein Wobbel-Signal erzeugt; und
eine Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung, die in Übereinstimmung mit einem Basis-Taktsignal arbeitet, das dasselbe ist, wie das genannte Basis-Taktsignal, und die ein Land-Prä-Pit-Signal erzeugt.
2. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie im Anspruch 1 beansprucht,
bei welchem die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung eine Frequenzteilerschaltung umfaßt, die die Frequenz des Basis-Taktsignals teilt; und
bei welchem die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung in Übereinstimmung mit dem Unterteilungssignal arbeitet, das durch Teilen des Basis-Taktsignals erhalten wird.
3. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie im Anspruch 1 oder 2 festge­ legt, bei welchem die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung folgendes umfaßt:
ein Wellenformdaten-Merkmittel, das Wellenformdaten eines Mehrfach-Wellenform- Belichtungssignals speichert und das hinsichtlich wenigstens eines der Vielzahl von Wellen­ formdaten Mehrfach-Belichtungssignale mit unterschiedlichen Phasen speichert;
eine D/A-Konverterschaltung, die die Wellenformdaten, die von dem Wellenform­ daten-Merkmittel ausgegeben werden, von einem Digitalsignal in ein Analogsignal umwan­ delt und das Wobbel-Signal erzeugt; und
ein Auswahlmittel, das die Wellenformdaten auswählt, die von dem Wellenformdaten-Merkmittel ausgegeben werden.
4. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in den Ansprüchen 1, 2 oder 3 festgelegt ist,
bei welchem der Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte folgendes umfaßt:
ein Land-Prä-Pit-Positions-Beurteilungsmittel, das eine geplante Position der An­ ordnung eines Land-Prä-Pits auf der radialen Position bzw. in Radialrichtung erhält;
ein Überlapp-Positions-Beurteilungsmittel, das von der somit erhaltenen Anordnungs­ position des Land-Prä-Pits eine Position erhält, wo das Land-Prä-Pit in der Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte überlappt; und
ein Überlapp-Vermeidungsmittel, das von der somit erhaltenen Überlapp-Position die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits derartig bezeichnet, daß das gegenseitige Überlappen der Land-Prä-Pits zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Mutterplatte, die in Radial­ richtung benachbart sind, vermieden werden kann.
5. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in einem der Ansprüche 1, 2 oder 3 festgelegt ist,
bei welchem der Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte folgendes umfaßt:
einen 2-Synchronisations-Rahmenzähler, der die Lange eines 2-Synchronisations- Rahmens, der auf der lichtempfindlichen Mutterplatte ausgebildet ist, mit einem Takt, der als ein Basis-Taktsignal verwendet wird, zählt;
ein Phasendifferenz-Beurteilungsmittel, das den Zählwert, der durch den 2-Syn­ chronisations-Rahmenzähler gezählt wurde, pro einer Umdrehung der lichtempfindlichen hereinnimmt, und das die Phasendifferenz zwischen den in Radialrichtung der lichtempfindli­ chen Mutterplatte benachbarten Spuren von dem somit erhaltenen Zählwert erhält; und
ein Überlapp-Vermeidungsmittel, das von der somit erhaltenen Phasendifferenz die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits derartig bezeichnet, daß das gegenseitige Überlappen der Land-Prä-Pits zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Mutterplatte, die in Radial­ richtung benachbart sind, vermieden werden kann.
6. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie im Anspruch 5 beansprucht, bei welchem das Phasendifferenz-Beurteilungsmittel den Zählwert des 2-Synchronisa­ tions-Rahmenzählers auf den mehreren Positionen der lichtempfindlichen Mutterplatte in der Umfangsrichtung hereinnimmt und die Phasendifferenz zwischen den einander benachbarten Spuren in der Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte auf den jeweiligen mehre­ ren Positionen erhält.
7. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in einem der Ansprüche 1, 2 oder 3 festgelegt,
bei welchem der Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte weiter folgendes umfaßt:
einen Taktzähler, der eine Zähloperation pro einer Umdrehung der lichtempfindlichen Mutterplatte mit dem gewünschten Taktsignal durchführt;
ein Land-Prä-Pit-Positions-Beurteilungsmittel, das den obigen Zählwert pro einem Auftritt des Land-Prä-Pits hereinnimmt, und eine Positionsinformation der lichtempfindlichen Mutterplatte erfaßt; und
ein Überlapp-Vermeidungsmittel, das von der somit erfaßten Positionsinformation die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits derartig bezeichnet, daß das gegenseitige Überlappen der Land-Prä-Pits zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Platte, die in der Radial­ richtung benachbart sind, vermieden werden kann.
8. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in den Ansprüche 5 oder 6 festgelegt,
bei welchem ein Belichtungspositions-Bezeichnungsmittel in dem Überlapp-Vermei­ dungsmittel folgendes umfaßt:
ein Berechnungsmittel, das die Variation der Phasendifferenz bezüglich einer tolerier­ baren Variationsbreite der Phasendifferenz zwischen den benachbarten Spuren berechnet, wobei das Vermeiden des gegenseitigen Überlappens zwischen den Land-Prä-Pits unterein­ ander vermieden wird; und
ein Alarmsignal-Ausgabemittel, das ein Belichtungsalarmsignal ausgibt, das alarmie­ rend auf den unnormalen Zustand der Belichtung in Übereinstimmung mit der durch das Berechnungsmittel durchgeführten Berechnung hinweist, wenn die Variation der Phasendiffe­ renz die tolerierbare Variationsbreite der Phasendifferenz überschreitet.
9. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in einem der Ansprüche 5, 6, 7 oder 8 festgelegt ist,
bei welchem das Überlapp-Vermeidungsmittel folgendes umfaßt:
einen Spurenzähler, der die Anzahl der Spuren auf der lichtempfindlichen Mutter­ platte zählt;
ein Annäherungs-Beurteilungsmittel, das von dem Zählwert des Spurenzähler und der Phasendifferenz, die von dem Phasendifferenz-Beurteilungsmittel erhalten wurde, beurteilt, daß die Belichtungsposition sich in dem vorbestimmten Ausmaß der Position nähert, wo die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen;
ein Nummerndaten-Merkmittel, das vorab die Daten der Nummer der Spuren speichert, auf denen die Land-Prä-Pits selbst benachbart zueinander angeordnet sind;
ein Überlapp-Beurteilungsmittel, das basierend auf den Nummerndaten bzw. Anzahl­ daten, die in dem Nummerdaten-Merkmittel gespeichert sind, und auf dem Zählwert, der durch den Spurenzähler gezählt wird, beurteilt, daß die Land-Prä-Pits selbst sich auf der Position befinden, auf der die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen, wenn das Annä­ herungs-Beurteilungsmittel beurteilt, daß die Belichtungsposition sich der Position nähert, wo sich die Land-Prä-Pits gegenseitig überlappen; und
ein Belichtungspositions-Bezeichnungsmittel, das die Belichtungsposition der Land- Prä-Pits derartig bezeichnet, daß der Überlapp der Land-Prä-Pits untereinander auf der Grundlage der obigen Beurteilung vermieden wird.
10. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in einem der Ansprüche 5, 6, 7 und 8 festgelegt,
bei welchem das Überlapp-Vermeidungsmittel weiter folgendes umfaßt:
ein Vergleichsmedium, das eine Phasendifferenz, die durch das Phasendifferenz- Beurteilungsmittel erhalten wurde, mit einem vorbestimmten Schwellenwert vergleicht;
ein Überlapp-Beurteilungsmittel, das beurteilt, daß die Land-Prä-Pits auf der Position angeordnet sind, wo die Land-Prä-Pits sich selbst gegenseitig überlappen, wenn die Phasen­ differenz kleiner als der Schwellenwert wird;
ein Belichtungspositions-Bezeichnungsmittel, das die Belichtungsposition des Land- Prä-Pits so bezeichnet, daß der Überlapp auf der Grundlage der obigen Beurteilung vermie­ den wird; und
eine Einstellmittel, das den Betrag des Schwellenwerts einstellt.
11. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie im Anspruch 9 festgelegt,
bei welchem das Überlapp-Vermeidungsmittel weiter folgendes umfaßt:
ein Vergleichsmittel, das eine Phasendifferenz, die durch das Phasendifferenz- Beurteilungsmittel erhalten wurde, mit einem vorbestimmten Schwellenwert vergleicht;
ein Überlapp-Beurteilungsmittel, das beurteilt, daß die Land-Prä-Pits auf der Position angeordnet sind, wo die Land-Prä-Pits sich gegenseitig selbst überlappen, wenn die Phasen­ differenz kleiner als der Schwellenwert wird;
ein Belichtungspositions-Bezeichnungsmittel, das die Belichtungsposition des Land- Prä-Pits so bezeichnet, daß der Überlapp auf der Grundlage der obigen Beurteilung vermie­ den wird; und
ein Einstellmittel, das den Betrag des Schwellenwerts einstellt bzw. justiert.
12. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte zum Belichten einer lichtempfindli­ chen Mutterplatte und insbesondere zum Einschreiben eines DVD-R-Formats, der folgendes umfaßt:
eine Lichtquelleneinrichtung, die Laserlicht zur Verwendung beim Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte emittiert;
ein Belichtungssignal-Erzeugungsmittel, um ein Belichtungssignal zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte zu erzeugen;
eine optische Modulatoreinrichtung, um das Laserlicht in ein optisches Signal mit eingestellter bzw. justierter Pulsbreite umzuwandeln, indem die Lichtquelleneinrichtung auf der Grundlage der Pulsbreite eingeschaltet und ausgeschaltet wird;
eine Plattenrotationseinrichtung, die die lichtempfindliche Mutterplatte dreht und die lichtempfindliche Mutterplatte in der Umfangsrichtung im Hinblick auf die Position der durch die Laserlichteinrichtung emittierten Strahlung positioniert; und
eine Platten-Lateralbewegungseinrichtung zum Bewegen der lichtempfindlichen Mutterplatte in der Radialrichtung und zum Positionieren der lichtempfindlichen Mutterplatte in der Radialrichtung hinsichtlich der Position der Strahlung des Laserlichts,
bei welchem die Belichtungssignal-Erzeugungseinrichtung folgendes umfaßt:
eine Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltungseinrichtung, die in Übereinstimmung mit einem vorbestimmten Basis-Taktsignal arbeitet und die ein Wobbel-Signal erzeugt; und
eine Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltungseinrichtung, die in Übereinstimmung mit einem Basis-Taktsignal arbeitet, das dem Basis-Taktsignal gleicht und die ein Land-Prä- Pit-Signal erzeugt.
13. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie im Anspruch 12 festgelegt,
bei welchem die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltungseinrichtung eine Frequenzteiler­ schaltungseinrichtung zum Teilen der Frequenz des Basis-Taktsignals umfaßt; und
bei welchem die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltungseinrichtung in Übereinstim­ mung mit dem Teilungssignal arbeitet, das durch Teilen des Basis-Taktsignals erhalten wird.
14. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in den Ansprüchen 12 oder 13 festgelegt ist,
bei welchem die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltungseinrichtung folgendes umfaßt:
ein Wellenform-Merkmittel zum Speichern von Wellenformdaten eines Belichtungs­ signals mehrerer Wellenformen und um hinsichtlich wenigstens eines der Vielzahl von Wellenformdaten eine Vielzahl von Belichtungssignalen mit unterschiedlichen Phasen zu speichern;
eine D/A-Konverterschaltungseinrichtung zum Umwandeln der Wellenformdaten, die von der Wellenformdaten-Merkeinrichtung ausgegeben werden, und zwar von einem Digitalsignal in ein Analogsignal, und zum Erzeugen des Wobbel-Signals; und
eine Auswahleinrichtung zum Auswählen der Wellenformdaten, die von der Wellen­ formdaten-Merkeinrichtung ausgegeben werden.
15. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in einem der Ansprüche 12, 13 und 14 festgelegt ist,
bei welchem der Belichtungsapparat für die optische Mutterplatte weiter folgendes umfaßt:
ein Land-Prä-Pit-Positions-Beurteilungsmittel zum Erhalten einer geplanten An­ ordnungsposition eines Land-Prä-Pits auf der radialen Position bzw. in Radialrichtung;
eine Überlapp-Positions-Beurteilungseinrichtung zum Erhalten einer Position, wo das Land-Prä-Pit in Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte überlappt, und zwar von der Anordnungsposition des Land-Prä-Pits, das somit erhalten wurde; und
eine Überlapp-Vermeidungseinrichtung, um von der somit erhaltenen Überlapp- Position die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits derartig zu bezeichnen, daß das Überlap­ pen der Land-Prä-Pits untereinander zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Mutter­ platte, die in der Radialrichtung benachbart sind, vermieden werden kann.
16. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in einem der Ansprüche 12, 13 oder 14 festgelegt,
bei welchem der Belichtungsapparat einer optischen Mutterplatte weiter folgendes umfaßt:
eine 2-Synchronisations-Rahmenzählereinrichtung zum Zählen der Lange eines 2-Synchronisations-Rahmens, der auf der lichtempfindlichen Mutterplatte ausgebildet ist, und zwar mit einem Takt, der als Basis-Taktsignal verwendet wird;
eine Phasendifferenz-Beurteilungseinrichtung zum Hereinnehmen des Zählwerts, der durch die 2-Synchronisations-Rahmenzähleinrichtung gezählt wird, und zwar pro einer Umdrehung der lichtempfindlichen Mutterplatte, und zum Erhalten einer Phasendifferenz zwischen den Spuren, die einander in der Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte benachbart sind, und zwar von dem somit erhaltenen Zählwert; und
eine Überlapp-Vermeidungseinrichtung, um von der somit erhaltenen Phasendifferenz die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits derartig zu bezeichnen, daß das Überlappen der Land-Prä-Pit untereinander zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Mutterplatte, die in der Radialrichtung benachbart ist, vermieden werden kann.
17. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie im Anspruch 16 beansprucht ist, bei welchem die Phasendifferenz-Beurteilungseinrichtung den Zählwert der 2-Syn­ chronisations-Rahmenzähleinrichtung auf der Vielzahl von Positionen der lichtempfindlichen Mutterplatte in der Umfangsrichtung hereinnimmt und die Phasendifferenz zwischen den Spuren, die einander in Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte benachbart sind, auf den jeweiligen mehreren Positionen erhält.
18. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in einem der Ansprüche 12, 13 und 14 festgelegt ist,
bei welchem der Belichtungsapparat für die optische Mutterplatte weiter folgendes umfaßt:
eine Taktzähleinrichtung zum Durchführen einer Zähloperation zu einer Umdrehung der lichtempfindlichen Mutterplatte mit dem gewünschten Taktsignal;
eine Land-Prä-Pit-Positions-Beurteilungseinrichtung, um den obigen Zählwert pro einem Auftreten des Land-Prä-Pits hereinzunehmen und um eine Positionsinformation über die lichtempfindliche Mutterplatte zu erfassen; und
eine Überlapp-Vermeidungseinrichtung, um die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits von der somit erfaßten Positionsinformationen derartig zu bezeichnen, daß das Überlappen der Land-Prä-Pits untereinander zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Mutterplatte, die in Radialrichtung benachbart sind, vermieden werden kann.
19. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in den Ansprüchen 16 und 17 festgelegt ist, bei welchem die Belichtungspositions-Bezeichnungseinrichtung in der Überlapp-Vermeidungseinrichtung folgendes umfaßt:
eine Berechnungseinrichtung, um die Variation der Phasendifferenz bezüglich der tolerierbaren Variationsbreite der Phasendifferenz zwischen den benachbarten Spuren zu berechnen, wobei es ermöglicht wird, das gegenseitige Überlappen zwischen den Land-Prä- Pits untereinander zu vermeiden; und
eine Alarmsignal-Ausgabeeinrichtung, um ein Alarmsignal herauszugeben, das alarmierend auf einen unnormalen Zustand der Belichtung in Übereinstimmung mit der durch die Berechnungseinrichtung durchgeführten Berechnung hinweist, wenn die Variation der Phasendifferenz die tolerierbare Variationsbreite der Phasendifferenz überschreitet.
20. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in einem der Ansprüche 16, 17, 18 und 19 beansprucht ist,
bei welchem das Überlapp-Vermeidungsmittel folgendes umfaßt:
eine Spurenzählereinrichtung, um die Anzahl der Spuren auf der lichtempfindlichen Mutterplatte zu zählen;
eine Annäherungs-Beurteilungseinrichtung, um zu beurteilen, daß die Belichtungs­ position sich in dem vorbestimmten Umfang der Position nähert, wo die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen, und zwar von dem Zählwert der Spurenzähleinrichtung und der Phasendifferenz, die von dem Phasendifferenz-Beurteilungsmittel erhalten wurde;
eine Anzahldaten- bzw. Nummerndaten-Merkeinrichtungen, um zuvor die Daten der Nummer bzw. der Anzahl der Spuren zu speichern, auf denen die Land-Prä-Pits selbst benachbart zueinander angeordnet sind;
eine Beurteilungseinrichtung, um zu beurteilen, daß die Land-Prä-Pits selbst sich auf der Position befinden, auf der die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen, und zwar auf der Grundlage der Nummerndaten, die in der Nummerndaten-Merkeinrichtung gespeichert sind, und des Zählwertes, der durch die Spurenzähleinrichtung gezählt wird, wenn die Annäherungs-Beurteilungseinrichtung beurteilt, daß die Belichtungsposition sich der Position nähert, wo die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen; und
eine Belichtungspositions-Bezeichnungseinrichtung, um die Belichtungsposition der Land-Prä-Pits so zu bezeichnen, um den Überlapp der Land-Prä-Pits untereinander auf der Grundlage der obigen Beurteilung zu vermeiden.
21. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie in irgendeinem der Ansprüche 16, 17, 18 und 19 beansprucht ist,
bei welchem die Überlapp-Vermeidungseinrichtung weiter folgendes umfaßt:
eine Vergleichseinrichtung, um eine Phasendifferenz zu vergleichen, die durch die Phasendifferenz-Beurteilungseinrichtung erhalten wurde, und zwar mit einem vorbestimmten Schwellenwert;
eine Überlapp-Beurteilungseinrichtung, um zu beurteilen, daß die Land-Prä-Pits auf der Position angeordnet sind, wo die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen, und zwar wenn die Phasendifferenz kleiner als der Schwellenwert wird;
eine Belichtungspositions-Bezeichnungseinrichtung, um die Belichtungsposition der Land-Prä-Pits zu bezeichnen, um so den Überlapp auf der Grundlage der obigen Beurteilung zu vermeiden; und
eine Einstelleinrichtung, um die Stärke bzw. den Betrag des Schwellenwertes ein­ zustellen.
22. Belichtungsapparat für eine optische Mutterplatte, wie im Anspruch 20 festgelegt ist,
bei welchem die Überlapp-Vermeidungseinrichtung weiter folgendes umfaßt:
eine Vergleichseinrichtung, um eine Phasendifferenz, die durch die Phasendifferenz- Beurteilungseinrichtung erhalten wurde, mit einem vorbestimmten Schwellenwert zu ver­ gleichen;
eine Überlapp-Beurteilungseinrichtung, um zu beurteilen, daß die Land-Prä-Pits auf der Position angeordnet sind, wo die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen, und zwar wenn die Phasendifferenz kleiner als der Schwellenwert wird;
eine Belichtungspositions-Bezeichnungseinrichtung, um auf der Grundlage der obigen Beurteilung die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits so zu bezeichnen, um den Überlapp zu vermeiden; und
eine Einstelleinrichtung, um den Betrag des Schwellenwertes einzustellen.
23. Verfahren zum Belichten einer lichtempfindlichen Platte, das die folgenden Schritte umfaßt:
Laserlicht wird zur Verwendung beim Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte von einer Lichtquelle emittiert;
ein Belichtungssignal zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte wird von einem Belichtungssignal-Erzeugungsapparat erzeugt;
das Laserlicht wird in ein optisches Signal konvertiert, das eine eingestellte bzw. justierte Pulsbreite aufweist, indem die Lichtquelle auf der Grundlage der Pulsbreite ein- und ausgeschaltet wird, indem ein optischer Modulator verwendet wird;
in der Umfangsrichtung auf bzw. hinsichtlich der Strahlungsposition des Laserlichtes wird unter Verwendung eines Plattenrotationsapparats die lichtempfindliche Mutterplatte gedreht und die lichtempfindliche Mutterplatte positioniert; und
unter Verwendung des Platten-Lateralbewegungsapparats wird die lichtempfindliche Mutterplatte in der Radialrichtung bewegt und die lichtempfindliche Mutterplatte wird auf bzw. hinsichtlich der Position der Strahlung des Laserlichts in Radialrichtung positioniert;
eine Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung wird veranlaßt, in Übereinstimmung mit einem vorbestimmten Basis-Taktsignal zu arbeiten und ein Wobbel-Signal zu erzeugen; und
eine Land-Prä-Pit-Signal-Erzeugungsschaltung wird veranlaßt, um in Überein­ stimmung mit einem Basis-Taktsignal zu arbeiten, das dasselbe Basis-Taktsignal ist, und ein Land-Prä-Pit-Signal zu erzeugen.
24. Verfahren zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte, wie im Anspruch 23 festgelegt ist, bei welchem das Verfahren weiter die folgenden Schritte umfaßt:
die Frequenz des Basis-Taktsignals wird unterteilt, indem eine Frequenzteiler­ schaltung in der Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung verwendet wird; und
die Wobbel-Signal-Erzeugungsschaltung wird veranlaßt, in Übereinstimmung mit dem Teilungssignal zu arbeiten, das durch Teilen des Basis-Taktsignals erhalten wurde.
25. Verfahren zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte, wie in den Ansprüchen 23 oder 24 festgelegt ist,
bei welchem das Verfahren weiter die folgenden Schritte umfaßt:
Wellenformdaten eines Mehrfach-Wellenform-Belichtungssignals werden gespeichert und wenigstens hinsichtlich eines der mehreren Wellenformdaten werden mehrere Belich­ tungssignale mit unterschiedlichen Phasen gespeichert, indem ein Wellenformdaten-Merk­ mittel verwendet wird;
die Wellenformdaten, die von dem Wellenformdaten-Merkmittel ausgegeben werden, werden von einem Digitalsignal zu einem Analogsignal konvertiert und das Wobbel-Signal wird unter Verwendung einer D/A-Konverterschaltung erzeugt; und
die Wellenformdaten, die von dem Wellenformdaten-Merkmittel ausgewählt werden, werden unter Verwendung eines Auswahlmittels ausgewählt.
26. Verfahren zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte, wie in einem der Ansprüche 23, 24 oder 25 festgelegt ist,
bei welchem das Verfahren weiter die folgenden Schritte umfaßt:
eine geplante Position der Anordnung eines Land-Prä-Pits auf der Radiusposition wird erhalten, indem ein Land-Prä-Pit-Positions-Beurteilungsmittel verwendet wird;
eine Position, wo das Land-Prä-Pit in der Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte überlappt, wird von der somit erhaltenen Anordnungsposition des Land-Prä-Pits unter Verwendung eines Überlapp-Positions-Beurteilungsmittels erhalten; und
die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits wird von der somit erhaltenen Überlapp- Position unter Verwendung eines Überlapp-Vermeidungsmittels derartig bezeichnet, daß das Überlappen der Land-Prä-Pits untereinander zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Mutterplatte, die in Radialrichtung benachbart sind, vermieden werden kann.
27. Verfahren zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte, wie in irgendeinem der Ansprüche 23, 24 und 25 festgelegt ist,
bei welchem das Verfahren weiter die folgenden Schritte umfaßt:
die Länge des 2-Synchronisations-Rahmens, der auf der lichtempfindlichen Mutter­ platte ausgebildet wird, wird mit einem Takt gezählt, der als das Basis-Taktsignal eingesetzt wird, und zwar unter Verwendung eines 2-Synchronisations-Rahmenzählers;
der Zählwert, der durch den 2-Synchronisations-Rahmenzähler gezählt wird, wird pro einer Umdrehung der lichtempfindlichen Mutterplatte hereingenommen und die Phasendiffe­ renz zwischen den Spuren, die zueinander in der Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte benachbart sind, wird von dem somit erhaltenen Zählwert durch Verwendung eines Phasendifferenz-Beurteilungsmittels erhalten; und
die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits wird derartig bezeichnet, daß das Überlap­ pen der Land-Prä-Pits untereinander zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Mutter­ platte, die in der Radialrichtung benachbart sind, vermieden werden kann, und zwar ausge­ hend von der somit erhaltenen Phasendifferenz, indem ein Überlapp-Vermeidungsmittel verwendet wird.
28. Verfahren zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte, wie im Anspruch 27 festgelegt, bei welchem das Phasendifferenz-Beurteilungsmittel den Zählwert des 2-Syn­ chronisations-Rahmenzählers bei mehreren Positionen der lichtempfindlichen Mutterplatte in der Umfangsrichtung hereinnimmt und die Phasendifferenz zwischen den Spuren, die einander in Radialrichtung der lichtempfindlichen Mutterplatte benachbart sind, auf den jeweiligen mehreren Positionen erhält.
29. Verfahren zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte, wie in irgendeinem der Ansprüche 23, 24 und 25 festgelegt ist,
bei welchem das Verfahren weiter die folgenden Schritte umfaßt:
eine Zähloperation pro einer Umdrehung der lichtempfindlichen Mutterplatte mit dem gewünschten Taktsignal wird unter Verwendung eines Taktzählers durchgeführt;
der obige Zählwert wird pro einem Auftreten des Land-Prä-Pits hereingenommen und die Positionsinformation der lichtempfindlichen Mutterplatte wird erfaßt, und zwar indem ein Land-Prä-Pit-Positions-Beurteilungsmittel verwendet wird; und
die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits wird von der somit erfaßten Positions­ information unter Verwendung eines Überlapp-Vermeidungsmittels derartig bezeichnet, daß das gegenseitige Überlappen der Land-Prä-Pits zwischen den Spuren der lichtempfindlichen Mutterplatte in Radialrichtung vermieden werden kann.
30. Verfahren zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte, wie im Anspruch 27 oder 28 festgelegt ist,
bei welchem das Verfahren weiter die folgenden Schritte umfaßt:
die Variation der Phasendifferenz bezüglich der tolerierbaren Variationsbreite der Phasendifferenz zwischen benachbarten Spuren wird berechnet, wobei ermöglicht wird, das gegenseitige Überlappen zwischen den Land-Prä-Pits untereinander unter Verwendung eines Berechnungsmittels zu vermeiden;
ein Belichtungsalarmsignal wird ausgegeben, das alarmierend auf den unnormalen Zustand der Belichtung in Übereinstimmung mit der Berechnung, die durch das Berech­ nungsmittel durchgeführt wurde, hinweist, und zwar wenn die Variation der Phasendifferenz die tolerierbare Variationsbreite der Phasendifferenz überschreitet, und zwar unter Verwen­ dung eines Alarmsignal-Ausgabemittels.
31. Verfahren zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte, wie in einem der Ansprüche 27, 28, 29 und 30 festgelegt ist,
bei welchem das Verfahren weiter die folgenden Schritte umfaßt:
die Anzahl der Spuren der lichtempfindlichen Mutterplatte wird unter Verwendung eines Spurenzählers gezählt;
es wird beurteilt, daß die Belichtungsposition sich in einem vorbestimmten Umfang der Position nähert, wo die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen, und zwar ausgehend von dem Zählwert des Spurenzählers und der Phasendifferenz, die durch das Phasendifferenz-Beurteilungsmittel unter Verwendung eines Annäherungs-Beurteilungsmittels erhalten wurde;
die Daten der Anzahl der Spuren, auf denen die Land-Prä-Pits selbst benachbart zueinander angeordnet sind, werden unter Verwendung eines Nummerndaten-Merkmittels vorab gespeichert;
auf der Grundlage der Nummerndaten, die in dem Nummerndaten-Merkmittel gespeichert sind, und des Zählwertes, der durch den Spurenzähler gezählt wird, wird beurteilt, daß die Land-Prä-Pits sich auf der Position befinden, auf der die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen, und zwar wenn das Annäherungs-Beurteilungsmittel beurteilt, daß die Belichtungsposition sich der Position nähert, wo die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen, und zwar unter Verwendung eines Überlapp-Beurteilungsmittels; und
die Belichtungsposition auf den Land-Prä-Pits wird bezeichnet, um so den Überlapp der Land-Prä-Pits untereinander auf der Grundlage der obigen Beurteilung zu bezeichnen, und zwar unter Verwendung eines Belichtungspositions-Bezeichnungsmittels.
32. Verfahren zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte, wie in irgendeinem der Ansprüche 27, 28, 29 und 30 festgelegt ist,
bei welchem das Verfahren weiter die folgenden Schritte umfaßt:
eine Phasendifferenz, die durch das Phasendifferenz-Beurteilungsmittel erhalten wurde, wird mit einem vorbestimmten Schwellenwert unter Verwendung eines Vergleichs­ mittels verglichen;
es wird beurteilt, daß die Land-Prä-Pits auf der Position angeordnet sind, wo die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen, und zwar wenn die Phasendifferenz kleiner als der Schwellenwert wird, und zwar unter Verwendung eines Überlapp-Beurteilungsmittels;
die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits wird so bezeichnet, daß der Überlapp auf der Grundlage der obigen Beurteilung vermieden wird, und zwar unter Verwendung eines Belichtungspositions-Bezeichnungsmittels; und
der Betrag des Schwellenwerts wird eingestellt, und zwar unter Verwendung eines Einstellmittels.
33. Verfahren zum Belichten der lichtempfindlichen Mutterplatte, wie im Anspruch 31 festgelegt ist,
bei welchem das Verfahren weiter die folgenden Schritte umfaßt:
eine Phasendifferenz, die durch das Phasendifferenz-Beurteilungsmittel erhalten wurde, wird mit einem vorbestimmten Schwellenwert unter Verwendung eines Vergleichs­ mittels verglichen;
es wird beurteilt, daß die Land-Prä-Pits auf der Position angeordnet sind, wo die Land-Prä-Pits sich gegenseitig überlappen, wenn die Phasendifferenz kleiner als der Schwel­ lenwert wird, und zwar unter Verwendung eines Überlapp-Beurteilungsmittels;
die Belichtungsposition des Land-Prä-Pits wird so bezeichnet, um den Überlapp auf der Grundlage der obigen Beurteilung zu vermeiden, und zwar unter Verwendung eines Belichtungspositions-Bezeichnungsmittels; und
der Betrag des Schwellenwerts wird unter Verwendung eines Einstellmittels einge­ stellt.
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