JPH0721879B2 - 光ディスク用レプリカ基盤，スタンパまたは原盤 - Google Patents
光ディスク用レプリカ基盤，スタンパまたは原盤Info
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- JPH0721879B2 JPH0721879B2 JP62280300A JP28030087A JPH0721879B2 JP H0721879 B2 JPH0721879 B2 JP H0721879B2 JP 62280300 A JP62280300 A JP 62280300A JP 28030087 A JP28030087 A JP 28030087A JP H0721879 B2 JPH0721879 B2 JP H0721879B2
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/2407—Tracks or pits; Shape, structure or physical properties thereof
- G11B7/24085—Pits
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/004—Recording, reproducing or erasing methods; Read, write or erase circuits therefor
- G11B7/0045—Recording
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、光学的に情報を記録，再生することが可能な
サンプルサーボ方式の光ディスクに係り、特に、該光デ
ィスクを構成するレプリカ基盤、またはレプリカ基盤を
作成するためのスタンパもしくは原盤に関するものであ
る。
サンプルサーボ方式の光ディスクに係り、特に、該光デ
ィスクを構成するレプリカ基盤、またはレプリカ基盤を
作成するためのスタンパもしくは原盤に関するものであ
る。
情報を記録，再生することが可能な光ディスクにおける
トラッキングサーボ方式には、連続溝サーボ方式とサン
プルサーボ方式の２方式がある。これらの方式について
は、例えば、日経エレクトロニクス 1986年12月15日号
第163頁から第170頁までの「連続溝方式とサンプルサー
ボ方式の２本立てに」に述べられている。
トラッキングサーボ方式には、連続溝サーボ方式とサン
プルサーボ方式の２方式がある。これらの方式について
は、例えば、日経エレクトロニクス 1986年12月15日号
第163頁から第170頁までの「連続溝方式とサンプルサー
ボ方式の２本立てに」に述べられている。
連続溝サーボ方式は従来から開発されてきた方式である
が、サンプルサーボ方式はトラッキング安定性が良いこ
とから、最近、開発が活発化してきている。
が、サンプルサーボ方式はトラッキング安定性が良いこ
とから、最近、開発が活発化してきている。
第５図はサンプルサーボ方式における光ディスクを構成
する従来のレプリカ基盤を示す平面図である。
する従来のレプリカ基盤を示す平面図である。
第５図において、（ａ）はレプリカ基盤の全体を模式的
に示しており、（ｂ）はレプリカ基盤の主要部を拡大し
て示している。
に示しており、（ｂ）はレプリカ基盤の主要部を拡大し
て示している。
第５図（ａ）に示すように、サンプルサーボ方式におけ
る光ディスクのレプリカ基盤11上には、予め、仮想トラ
ックに沿って所々にセクタアドレス部16やサンプルマー
ク領域17が設けられている。セクタアドレス部16は仮想
トラック一周上に約30箇所程度存在し、一方のサンプル
マーク領域17は仮想トラック一周上に1000〜3000箇所程
度必要であり、通常1376箇所となっている。
る光ディスクのレプリカ基盤11上には、予め、仮想トラ
ックに沿って所々にセクタアドレス部16やサンプルマー
ク領域17が設けられている。セクタアドレス部16は仮想
トラック一周上に約30箇所程度存在し、一方のサンプル
マーク領域17は仮想トラック一周上に1000〜3000箇所程
度必要であり、通常1376箇所となっている。
そして、各サンプルマーク領域17には、第５図（ｂ）に
示すように、仮想トラック中心線18に沿ってサンプルマ
ーク12,13とクロックピット15とが対になって存在す
る。
示すように、仮想トラック中心線18に沿ってサンプルマ
ーク12,13とクロックピット15とが対になって存在す
る。
ここで、サンプルマーク12,13は仮想トラック中心線18
から左右に対称に振られたウォブルピットとして形成さ
れており、また、クロックピット15はその中心が仮想ト
ラック中心線18上に位置するように形成されている。
尚、以下、サンプルマーク12,13をウォブルピットと呼
ぶことにする。
から左右に対称に振られたウォブルピットとして形成さ
れており、また、クロックピット15はその中心が仮想ト
ラック中心線18上に位置するように形成されている。
尚、以下、サンプルマーク12,13をウォブルピットと呼
ぶことにする。
これらウォブルピット12,13とクロックピット15の各ピ
ット長ｔは時間軸で90nsecであり、例えば、ディスク半
径30mm,ディスク回転数1800rpmにおいては0.5μｍとな
る。また、各ピットの光学的深さはλ/4（λは情報記録
再生時に用いられるレーザー光の波長であり、通常830n
mである。）である。
ット長ｔは時間軸で90nsecであり、例えば、ディスク半
径30mm,ディスク回転数1800rpmにおいては0.5μｍとな
る。また、各ピットの光学的深さはλ/4（λは情報記録
再生時に用いられるレーザー光の波長であり、通常830n
mである。）である。
以上のような、サンプルサーボ方式の光ディスクを用い
て記録，再生を行う際には、記録再生ヘッド（図示せ
ず）からレプリカ基盤11上にレーザー光を照射して、そ
の反射光を検出し、前記ウォブルピット12,13からの反
射光量が同一となる位置に前記記録再生ヘッドが来るよ
うに該記録再生ヘッドのトラッキング制御を行う。こう
することによって、該記録再生ヘッドは、前記クロック
ピット15の中心を通る仮想トラック中心線18上を走査す
ることができる。そして、前記クロックピット15からの
反射光量を検出することによってクロックデータの検出
を行う。
て記録，再生を行う際には、記録再生ヘッド（図示せ
ず）からレプリカ基盤11上にレーザー光を照射して、そ
の反射光を検出し、前記ウォブルピット12,13からの反
射光量が同一となる位置に前記記録再生ヘッドが来るよ
うに該記録再生ヘッドのトラッキング制御を行う。こう
することによって、該記録再生ヘッドは、前記クロック
ピット15の中心を通る仮想トラック中心線18上を走査す
ることができる。そして、前記クロックピット15からの
反射光量を検出することによってクロックデータの検出
を行う。
ところで、サンプルサーボ方式における光ディスクにお
いて、最も重要となるのは、ウォブルピット12,13の形
成位置である。即ち、ウォブルピット12,13の形成位置
がクロックピット15の中心を通る仮想トラック中心線18
に対して左右に対称な位置にないと、ウォブルピット1
2,13の形成方法から言ってウォブルピット12,13の大き
さ（形状）が互いに異なってしまうことになる。
いて、最も重要となるのは、ウォブルピット12,13の形
成位置である。即ち、ウォブルピット12,13の形成位置
がクロックピット15の中心を通る仮想トラック中心線18
に対して左右に対称な位置にないと、ウォブルピット1
2,13の形成方法から言ってウォブルピット12,13の大き
さ（形状）が互いに異なってしまうことになる。
この様に、ウォブルピット12,13の形成位置が仮想トラ
ック中心線18に対して左右に対称な位置になく、しか
も、ウォブルピット12,13の大きさ（形状）が互いに異
なると言うことは、言うまでもなく、正確なトラッキン
グ制御を行うことができないと言うことである。
ック中心線18に対して左右に対称な位置になく、しか
も、ウォブルピット12,13の大きさ（形状）が互いに異
なると言うことは、言うまでもなく、正確なトラッキン
グ制御を行うことができないと言うことである。
従って、光ディスクの作成工程中において、ウォブルピ
ット12,13の振り幅（ウォブル量）、即ち、仮想トラッ
ク中心線18からウォブルピット12,13の各々の中心まで
の距離を測定して、ウォブルピット12,13の作成状況を
評価することは大変重要な事である。
ット12,13の振り幅（ウォブル量）、即ち、仮想トラッ
ク中心線18からウォブルピット12,13の各々の中心まで
の距離を測定して、ウォブルピット12,13の作成状況を
評価することは大変重要な事である。
しかしながら、従来においては、サンプルサーボ方式に
おける光ディスク上にはピットのみしか存在しないた
め、上記した様なウォブルピット12,13の振り幅を測定
するには、仮想トラック中心線18がその中心を通るクロ
ックピット15を基準にして測定するしか方法がない。し
かし、クロックピット15とウォブルピット12,13との間
には相当な距離があるため、どのクロックピットとどの
ウォブルピットとが対になっているのかさえも判断する
のが困難であり、従って、ウォブルピット12,13の振り
幅を実際に測定するのは非常に困難であった。
おける光ディスク上にはピットのみしか存在しないた
め、上記した様なウォブルピット12,13の振り幅を測定
するには、仮想トラック中心線18がその中心を通るクロ
ックピット15を基準にして測定するしか方法がない。し
かし、クロックピット15とウォブルピット12,13との間
には相当な距離があるため、どのクロックピットとどの
ウォブルピットとが対になっているのかさえも判断する
のが困難であり、従って、ウォブルピット12,13の振り
幅を実際に測定するのは非常に困難であった。
そこで、本発明の目的は、上記した従来技術の問題点を
解決し、サンプルサーボ方式における光ディスクの作成
工程中において、ウォブルピットの振り幅（ウォブル
量）が測定でき、ウォブルピットの作成状況を評価する
ことのできるレプリカ基盤，スタンパまたは原盤を提供
することにある。
解決し、サンプルサーボ方式における光ディスクの作成
工程中において、ウォブルピットの振り幅（ウォブル
量）が測定でき、ウォブルピットの作成状況を評価する
ことのできるレプリカ基盤，スタンパまたは原盤を提供
することにある。
上記した目的を達成するために、本発明では、サンプル
サーボ方式における光ディスクを構成するレプリカ基盤
の一部の領域、または該レプリカ基盤を作成するための
スタンパもしくは原盤の一部の領域に、仮想トラック中
心線に沿って該仮想トラック中心線上にウォブルピット
のウォブル量を測定，評価するための基準線となるグル
ープまたはピットを形成するようにしたものである。
サーボ方式における光ディスクを構成するレプリカ基盤
の一部の領域、または該レプリカ基盤を作成するための
スタンパもしくは原盤の一部の領域に、仮想トラック中
心線に沿って該仮想トラック中心線上にウォブルピット
のウォブル量を測定，評価するための基準線となるグル
ープまたはピットを形成するようにしたものである。
前述した如く、従来においては、サンプルサーボ方式に
おける光ディスク上にはピットのみしか存在しないた
め、ウォブルピットの振り幅（ウォブル量）を測定する
には、仮想トラック中心線がその中心を通るクロックピ
ットを基準にして測定するしか方法がなかった。
おける光ディスク上にはピットのみしか存在しないた
め、ウォブルピットの振り幅（ウォブル量）を測定する
には、仮想トラック中心線がその中心を通るクロックピ
ットを基準にして測定するしか方法がなかった。
そこで、本発明では、レプリカ基盤の一部の領域、また
はスタンパもしくは原盤の一部の領域に、仮想トラック
中心線に沿って該仮想トラック中心線上にグルーブまた
はピットを形成して、該グルーブまたはピットを、ウォ
ブルピットのウォブル量を測定，評価するための基準線
とした。
はスタンパもしくは原盤の一部の領域に、仮想トラック
中心線に沿って該仮想トラック中心線上にグルーブまた
はピットを形成して、該グルーブまたはピットを、ウォ
ブルピットのウォブル量を測定，評価するための基準線
とした。
従って、サンプルサーボ方式における光ディスクの作成
工程中において、前記グルーブまたはピットを基準線と
することにより、ウォブルピットの振り幅（ウォブル
量）を容易に測定できるので、ウォブルピットの作成状
況を評価することが可能となる。
工程中において、前記グルーブまたはピットを基準線と
することにより、ウォブルピットの振り幅（ウォブル
量）を容易に測定できるので、ウォブルピットの作成状
況を評価することが可能となる。
以下、本発明の一実施例として、光ディスクのレプリカ
基盤を作成するためのガラス原盤に本発明を適用した例
について説明する。
基盤を作成するためのガラス原盤に本発明を適用した例
について説明する。
第１図は本発明の一実施例としてのガラス原盤の一部の
領域を拡大して示した部分拡大図である。
領域を拡大して示した部分拡大図である。
第１図において、５はクロックピット、6,7はウォブル
ピット、８は連続グルーブ、９は仮想トラック中心線、
である。尚、（ａ）と（ｂ）の違いについては後述す
る。
ピット、８は連続グルーブ、９は仮想トラック中心線、
である。尚、（ａ）と（ｂ）の違いについては後述す
る。
本実施例では、レプリカ基盤を作成するためのガラス原
盤において、光ディスクのユーザエリアとなるべき領域
の外の領域に、第１図に示すように、ウォブルピット6,
7やクロックピット５の他に、ウォブルピット6,7の振り
幅（ウォブル量）を測定，評価するための基準線となる
連続グルーブ８を形成するようにした。
盤において、光ディスクのユーザエリアとなるべき領域
の外の領域に、第１図に示すように、ウォブルピット6,
7やクロックピット５の他に、ウォブルピット6,7の振り
幅（ウォブル量）を測定，評価するための基準線となる
連続グルーブ８を形成するようにした。
第２図は上記の如き連続グルーブやウォブルピット，ク
ロックピットをガラス原盤上に形成するためのレーザー
露光装置を概略的に示した構成図である。
ロックピットをガラス原盤上に形成するためのレーザー
露光装置を概略的に示した構成図である。
第２図において、20はレーザー光源、21,33はそれぞれ
ハーフミラー、22,29,30,32,34はそれぞれミラー、23,2
4,27,28,35はそれぞれレンズ、25,26はそれぞれ信号変
調器（以下、AOMと呼ぶ。）、31はビーム偏向器（以
下、AODと呼ぶ。）、36はガラス原盤、である。尚、AOM
25,26とAOD31とは共に音響光学素子から成る。
ハーフミラー、22,29,30,32,34はそれぞれミラー、23,2
4,27,28,35はそれぞれレンズ、25,26はそれぞれ信号変
調器（以下、AOMと呼ぶ。）、31はビーム偏向器（以
下、AODと呼ぶ。）、36はガラス原盤、である。尚、AOM
25,26とAOD31とは共に音響光学素子から成る。
第２図に示すように、レーザー光源20から照射されたレ
ーザービームはハーフミラー21によって２つに分離さ
れ、一方は光路ｍを通り、他方は光路ｎを通る。
ーザービームはハーフミラー21によって２つに分離さ
れ、一方は光路ｍを通り、他方は光路ｎを通る。
光路ｍを通るレーザービームは先ずレンズ23を介してAO
M25に入射し、形成すべきピット（即ち、ウォブルピッ
ト，クロックピット）に応じて変調される。即ち、AOM2
5は、ピットを形成すべき箇所に来た時には入射された
レーザービームを通過させ、ピットを形成しない箇所に
来た時には入射されたレーザービームを遮断するのであ
る。次に、AOM25を出射したレーザービームは、レンズ2
7,ミラー29を介してAOD31に入射し、形成すべきピット
に応じて偏向される。即ち、AOD31は、ウォブルピット
を形成すべき箇所に来た時のみ入射されたレーザービー
ムを所定の方向に偏向し、クロックピットを形成する箇
所では、レーザービームの偏向は行わないのである。そ
の後、AOD31を出射したレーザービームは、ミラー32,ハ
ーフミラー33,ミラー34、レンズ35を介してガラス原盤3
6上に照射され、ウォブルピットとクロックピットを形
成する。
M25に入射し、形成すべきピット（即ち、ウォブルピッ
ト，クロックピット）に応じて変調される。即ち、AOM2
5は、ピットを形成すべき箇所に来た時には入射された
レーザービームを通過させ、ピットを形成しない箇所に
来た時には入射されたレーザービームを遮断するのであ
る。次に、AOM25を出射したレーザービームは、レンズ2
7,ミラー29を介してAOD31に入射し、形成すべきピット
に応じて偏向される。即ち、AOD31は、ウォブルピット
を形成すべき箇所に来た時のみ入射されたレーザービー
ムを所定の方向に偏向し、クロックピットを形成する箇
所では、レーザービームの偏向は行わないのである。そ
の後、AOD31を出射したレーザービームは、ミラー32,ハ
ーフミラー33,ミラー34、レンズ35を介してガラス原盤3
6上に照射され、ウォブルピットとクロックピットを形
成する。
一方、光路ｎを通るレーザービームは先ずミラー22,レ
ンズ24を介してAOM26に入射する。AOM26は、ユーザエリ
アとなるべき領域の外の領域に来た時に、入射されたレ
ーザービームを連続して通過させる。そして、AOM26を
出射したレーザービームは、レンズ28,ミラー30,ハーフ
ミラー33,ミラー34,レンズ35を介してガラス原盤36上に
照射され、連続グルーブを形成する。この時、AOM26を
出射したレーザービームの照射位置は、AOD31がビーム
偏向を行わない時に、該AOD31から出射されるレーザー
ビームの照射位置と一致するように予め調整しておく。
こうすることによって、連続グルーブはクロックピット
の中心を通る仮想トラック中心線上に必ず形成される事
になる。
ンズ24を介してAOM26に入射する。AOM26は、ユーザエリ
アとなるべき領域の外の領域に来た時に、入射されたレ
ーザービームを連続して通過させる。そして、AOM26を
出射したレーザービームは、レンズ28,ミラー30,ハーフ
ミラー33,ミラー34,レンズ35を介してガラス原盤36上に
照射され、連続グルーブを形成する。この時、AOM26を
出射したレーザービームの照射位置は、AOD31がビーム
偏向を行わない時に、該AOD31から出射されるレーザー
ビームの照射位置と一致するように予め調整しておく。
こうすることによって、連続グルーブはクロックピット
の中心を通る仮想トラック中心線上に必ず形成される事
になる。
以上のようにして、第２図に示すレーザー露光装置を用
いることによって、ガラス原盤36上のユーザエリアとな
るべき領域の中には、ウォブルピット6,7やクロックピ
ット５が形成され、ユーザエリアとなるべき領域の外に
は、ウォブルピット6,7やクロックピット５の他に、第
１図に示すような仮想トラック中心線９に沿った連続グ
ルーブ８が形成される。
いることによって、ガラス原盤36上のユーザエリアとな
るべき領域の中には、ウォブルピット6,7やクロックピ
ット５が形成され、ユーザエリアとなるべき領域の外に
は、ウォブルピット6,7やクロックピット５の他に、第
１図に示すような仮想トラック中心線９に沿った連続グ
ルーブ８が形成される。
さて、本実施例において、連続グルーブ８は前述の如く
仮想トラック中心線９上に必ず形成されている。従っ
て、該連続グルーブ８を基準線にすることによって、ウ
ォブルピット6,7の振り幅（ウォブル量）を容易に測定
することができる。
仮想トラック中心線９上に必ず形成されている。従っ
て、該連続グルーブ８を基準線にすることによって、ウ
ォブルピット6,7の振り幅（ウォブル量）を容易に測定
することができる。
例えば、いま、形成されたウォブルピット6,7やクロッ
クピット５、そして連続グルーブ８が、第１図（ａ）の
様な状態であったとする。その際、連続グルーブ８を基
準線としてウォブルピット6,7の振り幅l1,l2を測定する
と、l1＝l2であることがわかり、作成条件が適正である
（即ち、ウォブルピット6,7の形成位置が仮想トラック
中心線９に対して左右に対称であり、かつ、ピットの大
きさ及び形状も同一である）と評価することができる。
クピット５、そして連続グルーブ８が、第１図（ａ）の
様な状態であったとする。その際、連続グルーブ８を基
準線としてウォブルピット6,7の振り幅l1,l2を測定する
と、l1＝l2であることがわかり、作成条件が適正である
（即ち、ウォブルピット6,7の形成位置が仮想トラック
中心線９に対して左右に対称であり、かつ、ピットの大
きさ及び形状も同一である）と評価することができる。
また、形成されたウォブルピット6,7やクロックピット
５、そして連続グルーブ８が、第１図（ｂ）の様な状態
であったとする。その際、同様にしてウォブルピット6,
7の振り幅l1,l2を測定すると、l1＞l2であることがわか
り、作成条件が適正でない（即ち、ウォブルピット6,7
の形成位置が仮想トラック中心線９に対して非対称であ
り、かつ、ピットの大きさ及び形状も一致しない。）と
評価することができる。この様な作成条件が適正でない
場合としては、例えば、第２図に示すAOD31の調整が不
十分である事などが考えられる。
５、そして連続グルーブ８が、第１図（ｂ）の様な状態
であったとする。その際、同様にしてウォブルピット6,
7の振り幅l1,l2を測定すると、l1＞l2であることがわか
り、作成条件が適正でない（即ち、ウォブルピット6,7
の形成位置が仮想トラック中心線９に対して非対称であ
り、かつ、ピットの大きさ及び形状も一致しない。）と
評価することができる。この様な作成条件が適正でない
場合としては、例えば、第２図に示すAOD31の調整が不
十分である事などが考えられる。
従って、その様な時には、上記の如く測定したウォブル
ピット6,7の振り幅l1,l2を基にして、AOD31を正しく調
整して、その振り幅l1,l2がl1＝l2となるようにすれば
良い。
ピット6,7の振り幅l1,l2を基にして、AOD31を正しく調
整して、その振り幅l1,l2がl1＝l2となるようにすれば
良い。
以上述べたように、仮想トラック中心線９に沿って連続
グルーブ８を形成し、該連続グルーブ８を基準線とする
ことによって、ウォブルピット6,7の振り幅を容易に測
定することができ、ウォブルピットの作成状況を評価す
ることができる。また、どのウォブルピットとどのクロ
ックピットが対になるのが明確になる。
グルーブ８を形成し、該連続グルーブ８を基準線とする
ことによって、ウォブルピット6,7の振り幅を容易に測
定することができ、ウォブルピットの作成状況を評価す
ることができる。また、どのウォブルピットとどのクロ
ックピットが対になるのが明確になる。
ところで、第２図において、前述したように、AOM26を
出射したレーザービームのガラス原盤36上での照射位置
は、AOD31がビーム偏向を行わない時に、該AOD31から出
射されるレーザービームの照射位置と一致するように予
め調整しておくが、しかし、何らかの理由により、正し
く調整されなかったとすると、連続グルーブ８は仮想ト
ラック中心線９上から左右どちらかに多少ずれて形成さ
れる事になる。しかしながら、そのように連続グルーブ
８が形成されたとしても、仮想トラック中心線９に沿っ
て平行に形成されている限りは、仮想トラック中心線９
がその中心を通るクロックピット５と形成された連続グ
ルーブ８とのずれ幅を測定し、それを考慮して連続グル
ーブ８を基準線とすることによって、ウォブルピット6,
7の振り幅を前述したと同様に測定することが可能とな
る。
出射したレーザービームのガラス原盤36上での照射位置
は、AOD31がビーム偏向を行わない時に、該AOD31から出
射されるレーザービームの照射位置と一致するように予
め調整しておくが、しかし、何らかの理由により、正し
く調整されなかったとすると、連続グルーブ８は仮想ト
ラック中心線９上から左右どちらかに多少ずれて形成さ
れる事になる。しかしながら、そのように連続グルーブ
８が形成されたとしても、仮想トラック中心線９に沿っ
て平行に形成されている限りは、仮想トラック中心線９
がその中心を通るクロックピット５と形成された連続グ
ルーブ８とのずれ幅を測定し、それを考慮して連続グル
ーブ８を基準線とすることによって、ウォブルピット6,
7の振り幅を前述したと同様に測定することが可能とな
る。
次に、本発明の他の実施例として、φ5.25インチ追記型
光ディスクを構成するレプリカ基盤に本発明を適応した
例について説明する。
光ディスクを構成するレプリカ基盤に本発明を適応した
例について説明する。
第３図は本発明の他の実施例としてのレプリカ基盤を示
す平面図である。
す平面図である。
第３図において、（ａ）はレプリカ基盤の全体を模式的
に示しており、（ｂ）はレプリカ基盤の主要部を拡大し
て示している。
に示しており、（ｂ）はレプリカ基盤の主要部を拡大し
て示している。
第３図（ａ）に示すレプリカ基盤１は、先ず、前述した
実施例の如く作成されたガラス原盤を基にしてスタンパ
を作成し、次に、その作成したスタンパを用いて、ポリ
カーボネートを射出成形することによって作成される。
尚、レプリカ基盤１の内径は15mm,外径は130mm,基盤厚
さは1.2mmである。
実施例の如く作成されたガラス原盤を基にしてスタンパ
を作成し、次に、その作成したスタンパを用いて、ポリ
カーボネートを射出成形することによって作成される。
尚、レプリカ基盤１の内径は15mm,外径は130mm,基盤厚
さは1.2mmである。
また、レプリカ基盤１上には、仮想トラックに沿って所
々にセクタアドレス部２やサンプルマーク領域３が形成
されており、ディスク半径の29mmの位置から61mmの位置
までがユーザエリア４となっている。
々にセクタアドレス部２やサンプルマーク領域３が形成
されており、ディスク半径の29mmの位置から61mmの位置
までがユーザエリア４となっている。
各サンプルマーク領域３のユーザエリア４内には、第３
図（ｂ）に示す様に、仮想トラック中心線９に沿ってサ
ンプルマーク6,7とクロックピット５とが対になって形
成されている。また、各サンプルマーク領域３のユーザ
エリア４外において、該ユーザエリア４の内周部及び外
周部の仮想トラック約10トラック分については、サンプ
ルマーク6,7とクロックピット５の他に、仮想トラック
中心線９上に、基準線となる連続グルーブ８が形成され
ている。
図（ｂ）に示す様に、仮想トラック中心線９に沿ってサ
ンプルマーク6,7とクロックピット５とが対になって形
成されている。また、各サンプルマーク領域３のユーザ
エリア４外において、該ユーザエリア４の内周部及び外
周部の仮想トラック約10トラック分については、サンプ
ルマーク6,7とクロックピット５の他に、仮想トラック
中心線９上に、基準線となる連続グルーブ８が形成され
ている。
これらウォブルピット6,7とクロックピット５の光学的
深さは、約λ/4（λは情報記録再生時に用いられるレー
ザー光の波長であり、通常830nmである。）であり、ま
たトラックピッチＰは1.5μｍである。一方、基準線と
なる連続グルーブ８は、他のピッチとの干渉を少なくす
るため、その溝幅は約0.4μｍとなっており、その溝深
さは約300Å程度となっている。
深さは、約λ/4（λは情報記録再生時に用いられるレー
ザー光の波長であり、通常830nmである。）であり、ま
たトラックピッチＰは1.5μｍである。一方、基準線と
なる連続グルーブ８は、他のピッチとの干渉を少なくす
るため、その溝幅は約0.4μｍとなっており、その溝深
さは約300Å程度となっている。
本実施例のように、レプリカ基盤１上のユーザエリア４
外にウォブルピット6,7やクロックピット５の他に、仮
想トラック中心線９に沿った連続グルーブ８を形成し、
該連続グルーブ８を基準線とすることによって、作成工
程中において、ウォブルピット6,7の振り幅（ウォブル
量）を測定することができ、ウォブルピットの作成状況
が把握できるので、作成条件の良否の判別が容易とな
る。
外にウォブルピット6,7やクロックピット５の他に、仮
想トラック中心線９に沿った連続グルーブ８を形成し、
該連続グルーブ８を基準線とすることによって、作成工
程中において、ウォブルピット6,7の振り幅（ウォブル
量）を測定することができ、ウォブルピットの作成状況
が把握できるので、作成条件の良否の判別が容易とな
る。
以上述べた実施例では、光ディスクを構成するレプリカ
基盤またはレプリカ基盤を作成するためのガラス原盤に
本発明を適用した例について説明したが、ガラス原盤か
ら作成されるスタンパに本発明を適用してもやはり有効
である。
基盤またはレプリカ基盤を作成するためのガラス原盤に
本発明を適用した例について説明したが、ガラス原盤か
ら作成されるスタンパに本発明を適用してもやはり有効
である。
この様に、本発明としては、レプリカ基盤の一部の領域
またはスタンパもしくは原盤の一部の領域に、仮想トラ
ック中心線に沿って該仮想トラック中心線上にウォブル
ピットのウォブル量を測定，評価するための基準線とな
るものを形成すればよく、その基準線の寸法，形状を特
に限定するものではない。
またはスタンパもしくは原盤の一部の領域に、仮想トラ
ック中心線に沿って該仮想トラック中心線上にウォブル
ピットのウォブル量を測定，評価するための基準線とな
るものを形成すればよく、その基準線の寸法，形状を特
に限定するものではない。
例えば、第３図に示した実施例において、基準線となる
連続グルーブ８の寸法として、溝幅を約0.5μｍ、溝深
さをλ/8（λは情報記録再生時に用いられるレーザー光
の波長であり、通常830nmである。）、としても同様の
効果が得られる。
連続グルーブ８の寸法として、溝幅を約0.5μｍ、溝深
さをλ/8（λは情報記録再生時に用いられるレーザー光
の波長であり、通常830nmである。）、としても同様の
効果が得られる。
また、基準線の形状としては、連続グルーブの他に、例
えば、第４図に示すように、仮想トラック中心線９に沿
ったピット10の様な形状にして、ウォブルピット6,7の
部分にのみ基準線を形成するようにしても良い。
えば、第４図に示すように、仮想トラック中心線９に沿
ったピット10の様な形状にして、ウォブルピット6,7の
部分にのみ基準線を形成するようにしても良い。
本発明によれば、サンプルサーボ方式における光ディス
クの作成工程中において、ウォブルピットの振り幅（ウ
ォブル量）が測定でき、ウォブルピットの作製状況を容
易に評価することのできるので、光ディスクの良否判定
を行う時間を短縮することができるとともに、高精度な
光ディスクを作成することができる。
クの作成工程中において、ウォブルピットの振り幅（ウ
ォブル量）が測定でき、ウォブルピットの作製状況を容
易に評価することのできるので、光ディスクの良否判定
を行う時間を短縮することができるとともに、高精度な
光ディスクを作成することができる。
第１図は本発明の一実施例としてのガラス原盤の一部の
領域を拡大して示した部分拡大図、第２図は第１図の連
続グルーブ等をガラス原盤上に形成するためのレーザー
露光装置を概略的に示した構成図、第３図は本発明の他
の実施例としてのレプリカ基盤を示す平面図、第４図は
本発明において形成される基準線の他の具体例を示す説
明図、第５図はサンプルサーボ方式における光ディスク
を構成する従来のレプリカ基盤を示す平面図、である。 符号の説明 １……レプリカ基盤、３……サンプルマーク領域、４…
…ユーザエリア、５……クロックピット、6,7……ウォ
ブルピット（サンプルマーク）、８……連続グルーブ、
９……仮想トラック中心線、10……ピット。
領域を拡大して示した部分拡大図、第２図は第１図の連
続グルーブ等をガラス原盤上に形成するためのレーザー
露光装置を概略的に示した構成図、第３図は本発明の他
の実施例としてのレプリカ基盤を示す平面図、第４図は
本発明において形成される基準線の他の具体例を示す説
明図、第５図はサンプルサーボ方式における光ディスク
を構成する従来のレプリカ基盤を示す平面図、である。 符号の説明 １……レプリカ基盤、３……サンプルマーク領域、４…
…ユーザエリア、５……クロックピット、6,7……ウォ
ブルピット（サンプルマーク）、８……連続グルーブ、
９……仮想トラック中心線、10……ピット。
Claims (1)
- 【請求項１】仮想トラック中心線上にクロックピットを
配し、該仮想トラック中心線の両側にウォブルピットを
配した光ディスクの該仮想トラック中心線上を記録・再
生ヘッドが走査するよう、前記ウォブルピットによって
得られる信号に基づいて前記記録・再生ヘッドのトラッ
キング制御を行うサンプルサーボ方式があり、該サンプ
ルサーボ方式における前記光ディスクを構成するレプリ
カ基盤、または該レプリカ基盤を作成するためのスタン
パもしくは原盤において、 前記レプリカ基盤の一部の領域または前記スタンパもし
くは原盤の一部の領域に、前記仮想トラック中心線に沿
って該仮想トラック中心線上に前記ウォブルピットのウ
ォブル量を測定，評価するための基準線となるグルーブ
またはピットを形成したことを特徴とする光ディスク用
レプリカ基盤，スタンパまたは原盤。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62280300A JPH0721879B2 (ja) | 1987-11-07 | 1987-11-07 | 光ディスク用レプリカ基盤，スタンパまたは原盤 |
| US07/260,387 US4996682A (en) | 1987-11-07 | 1988-10-20 | Optical information medium having paired wobble pitts with continuous groove therebetween |
| DE3837745A DE3837745C2 (de) | 1987-11-07 | 1988-11-07 | Optisches Informationsmedium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62280300A JPH0721879B2 (ja) | 1987-11-07 | 1987-11-07 | 光ディスク用レプリカ基盤，スタンパまたは原盤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01124129A JPH01124129A (ja) | 1989-05-17 |
| JPH0721879B2 true JPH0721879B2 (ja) | 1995-03-08 |
Family
ID=17623063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62280300A Expired - Lifetime JPH0721879B2 (ja) | 1987-11-07 | 1987-11-07 | 光ディスク用レプリカ基盤，スタンパまたは原盤 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4996682A (ja) |
| JP (1) | JPH0721879B2 (ja) |
| DE (1) | DE3837745C2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5636195A (en) * | 1989-03-27 | 1997-06-03 | Nikon Corporation | Optical recording method and reproducing method and recording apparatus and reproducing apparatus utilizing stimulated photon echo |
| JP2723986B2 (ja) * | 1989-08-02 | 1998-03-09 | 株式会社日立製作所 | 光ディスク原盤の作製方法 |
| JP2923331B2 (ja) * | 1990-06-12 | 1999-07-26 | オリンパス光学工業株式会社 | 光記録媒体及びその再生装置 |
| JPH05128594A (ja) * | 1991-10-31 | 1993-05-25 | Sony Corp | 変位量測定方法 |
| JPH0696524A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-04-08 | Sony Corp | 記録媒体、記録方法、記録再生装置およびカッティング装置 |
| JP3089280B2 (ja) * | 1995-10-09 | 2000-09-18 | 富士通株式会社 | 光記録媒体並びにプリフォーマット情報の再生方法及びその再生装置 |
| DE19537406A1 (de) * | 1995-10-09 | 1997-04-10 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Belichten eines kreisscheibenförmigen Substrates |
| DE19643214A1 (de) * | 1996-10-19 | 1998-04-30 | Fuji Magnetics Gmbh | Leitstrukturen in optischen Speichermedien |
| US7239602B2 (en) * | 1998-08-27 | 2007-07-03 | Ricoh Company, Ltd. | Optical information recording medium with a partition wall between an information tracks groove and a preformat pit encoding information therefor |
| JP3032500B2 (ja) * | 1998-01-09 | 2000-04-17 | 株式会社リコー | 光ディスク原盤の露光装置 |
| JP4136280B2 (ja) * | 2000-07-04 | 2008-08-20 | パイオニア株式会社 | 光学式記録媒体並びにその製造方法及び製造装置 |
| JP4136293B2 (ja) * | 2000-08-10 | 2008-08-20 | パイオニア株式会社 | 光学式記録媒体並びにその製造方法及び製造装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4748609A (en) * | 1985-03-29 | 1988-05-31 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for composite tracking servo system with track offset correction and rotary optical disc having at least one correction mark for correcting track offset |
| JPH06103539B2 (ja) * | 1985-12-06 | 1994-12-14 | 株式会社日立製作所 | 光デイスクトラツキング装置 |
| US4779253A (en) * | 1985-07-30 | 1988-10-18 | Laser Magnetic Storage International Company | Sampled servo for an optical disk drive |
| JP2888484B2 (ja) * | 1985-07-30 | 1999-05-10 | オプテイカル ストレツジ インターナシヨナル−ユーエス | 記録キャリア及び光データ読み書き装置 |
| JP2559372B2 (ja) * | 1986-07-09 | 1996-12-04 | 株式会社日立製作所 | 光ディスク装置及び光情報記録方法 |
-
1987
- 1987-11-07 JP JP62280300A patent/JPH0721879B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-10-20 US US07/260,387 patent/US4996682A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-11-07 DE DE3837745A patent/DE3837745C2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3837745C2 (de) | 1994-01-13 |
| JPH01124129A (ja) | 1989-05-17 |
| US4996682A (en) | 1991-02-26 |
| DE3837745A1 (de) | 1989-05-24 |
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