JPS62223837A - 光記録原盤の製造方法 - Google Patents

光記録原盤の製造方法

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JPS62223837A
JPS62223837A JP6483986A JP6483986A JPS62223837A JP S62223837 A JPS62223837 A JP S62223837A JP 6483986 A JP6483986 A JP 6483986A JP 6483986 A JP6483986 A JP 6483986A JP S62223837 A JPS62223837 A JP S62223837A
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JP
Japan
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recording
depth
guiding groove
address signal
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP6483986A
Other languages
English (en)
Inventor
Masami Miyagi
宮城 雅美
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority to JP6483986A priority Critical patent/JPS62223837A/ja
Publication of JPS62223837A publication Critical patent/JPS62223837A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] この発明は、光ビームで情報の記録、再生を行なう例え
ば光ディスク、光カード等の光記録原盤の製造方法に関
する。
[発明の技術的背印とその問題点コ ユーザーにより記録、再生を行なうことのできる追記録
可能形の光ディスクには、通゛j;τ記録、再生ヘッド
の位置決めを行なうための案内溝、およびランダムアク
セスなどに使用する位置情報等を含むアドレス信号が記
録される。
第2図は、このような光ディスクの原盤を示すもので、
同図中、11はガラス吊板、12はフォトレジスト層(
感光材m)、13はトラッキング用の案内溝、14はア
ドレス信号のビット、15はユーザーに使用される情報
記録fllIfiとなる部分である。
情報の記録、再生用の光の波長をλ、ディスク基板の屈
折率をnとしたとき、案内溝13の深さは、トラッキン
グ用の差動出力信号を大きくするためにλ/8nに選ば
れ、またアドレス信号のビット14の深さは信号出力を
大きくするためにλ/4nに選ばれる。
第3図は、上記のような光ディスク原110の製造装置
を示すものである。第3図中、17は記録用レーザで、
Arレーデ、;にたはト1e−Cdレーザ等が用いられ
る。
18はビームスプリッタで、このビームスプリッタ18
により、記録用レーザ17からの光ビームは、案内溝1
3記録用の光ビームと、アドレス信号のビット14記録
用の光ビームとに分けられる。そして各光ビームの光路
に、光強度可変および信号変調のための光変調器2L2
2がそれぞれ配設されている。
19a〜19eはミラー、23は他のビームスプリッタ
、24は記録ヘッドである。
そし′C2つの光ビームが、各光変調器21.22によ
り、案内溝13記録用の露光パワー、およびアドレス信
号のビット14記録用の露光パワーにそれぞれ制御され
て案内溝13、およびアドレス信舅のビット14が同時
に露光される。露光後、現象処理を行なうことにより所
要の案内溝13、およびアドレス信号のビット14が形
成される。
しかしながら上記の光記録原盤の製造方法では、記録用
レーザ17からの光ビームを2系統に分け、案内溝13
とアドレス信号のビット14とを同時に露光するように
していたため、2つの光ビームの伶置合わせ、および各
露光パワーの制御が難しくなり、寸法精度の高い光記録
原盤を製造することが難しい。また光学系の構成が複雑
になるという問題点があった。
[発明の目的] この発明は、上記事情に基づいてなされたもので、比較
的簡単な)°J造装賀で寸法精度の高い光記録原盤を製
造することのできる光記録原盤の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
[発明の概要] 上記目的を達成するために、この発明は基板上に設けた
感光材層に案内溝を形成した後、当該案内溝に沿って記
録ヘッドが追随するにうに1〜ラツク制御をかけながら
当該案内溝間に情報信号を記録することにより、単一の
光学系で案内iMおよび情報信号が記録できるとともに
、案内溝の間に精度よく情報信号が記録されるようにし
たものである。
[発明の実施例] 以下この発明の実施例を図面を参照して説明する。この
実施例は光デイスク原盤の製造方法に適用したものであ
る。
まず第1図を用いてこの発明に適用する製造装置を説明
すると、第1図中、1は記録用レーザ、2は光強度可変
、および信号変Ekiのための光変調器、3はミラー、
4は記録ヘッドで、記録ヘッドには、公知のトラッキン
グサーボ機構も内蔵されている。トラッキングサーボ機
構における光源としては、露光用のレーザ光源とは別途
にフォトレジストが感光しないような半導体レーザが用
いられる。
次に上記の装置を用いて光デイスク原盤を製造する方法
を述べる。
まずガラス基板11上にスピンコード法によりフォトレ
ジス1−を塗布してフォトレジストN12を形成する。
フォトレジスト層12の厚さは、アドレス信号のビット
14の深さであるλ/4nに、さらに現像の際の膜減り
賞を加えた厚さにする。
ディスク基板としてはPMMA (ポリメヂルアクリレ
ート)、またはPC(ポリカーボネート)等のプラスデ
ックが用いられるので、n=1.5である。また記録再
生光源としては半導体レーデが用いられるので、λ=3
3Qnmである。したがってλ/4n龜140nmとな
る。
一方、1回の現像の膜減り岳は、約20nmで、この実
施例では都合2回の現像を行なうので、2回の現像によ
る膜減りmをさらに加えると、フォトレジスト層12の
所要厚さは約180nmである。
上記のように基板を準備したのち、第1図の装置を用い
て、案内溝13の刻設、およびアドレス信号のビット1
4の刻設が順次行なわれる。
まず装置に基板を装着し、基板の回転と同時に記録ヘッ
ド4を半径方向に移動させて集束したレーザ光で露光す
ることにより、案内溝13の温性を記録する。次いで第
1回目の現像処理を行なって案内溝13を形成する。
案内溝13の深さはλ/8n=70nmとされるが、第
2回目の現像による膜減りを考慮して第1回目では5Q
nm程度の深さにする。
レーザ光の強度等の露光条件、および現条件を選ぶこと
により上記の5Qnm程度の深さが達成される。
次に第2回目の露光、現像によりアドレス信号のビット
14の刻設が行なわれる。
第2回目の露光は第1回目で形成した案内溝13を利用
してトラック制御をかけながら行なわれる。即ち、記録
ヘッド4にトラッキング動作をさせ、相隣る案内溝13
間の中心に光ビームが照射されるように制御をかけなが
ら記録信号に従ってレーザ光を照射する。
第2回目の露光、現像条件は、アドレス信号のビット1
4の深さがλ/4nに、また案内溝13の深さが最終的
にλ/8nになるように選ばれる。
なお上述の実施例では、この発明を光デイスク原盤の製
造方法に適用した場合について述べたが、この発明は光
ディスクと同様の方法により記録、再生が行なわれる光
カードの原盤の製造方法にも適用することができる。
次に具体例を)ホベる。
具体例1 ガラス基板11上にスピンコード法によりフォトレジス
トを塗布して180nm厚さのフォト−ジスl一層12
を形成した。次に第1図の装置に基板を装着し、基板を
回転さ1!ながら記録ヘッド4を半径方向に移動させて
Arレーザからの光ビームで露光することにより、ピッ
チ1.6μmのスパイラル状の案内溝13を記録した。
光ビームの露光パワーは、光変調器2で制御することに
より、基板の内、外周の線速に応じてほぼ一定となるよ
うにした。
記録後、基板を現像して案内?:/i 13を形成した
次に、再び基板を第1図の装置に装着し、案内溝13に
沿ってトラッキングをかけながら相隣る案内溝13間に
アドレス信号を記録した。
アドレス信号を記録する際の露光パワーは、前記の案内
溝13記録の際の2倍とした。
アドレス信号の記録後、第2回目の現像処理をして光デ
イスク原盤10を得た。
上記のようにして製造した光ディスク原110を光学顕
微鏡およびSEMで観察したところ、所定の案内溝13
間の中心線上にアドレス信号のビット14が形成されて
J3す、案内溝13の溝幅は0.3μm1深さは7Qn
mであり、またアドレス信号のビット14の幅は0.6
μm、深さは14Qnmで、案内溝13、およびアドレ
ス信号のビット14ともに所定の寸法に形成された。
製造した光ディスク原1lA10をマスター盤としてニ
ッケル電鋳によりスタンパを作製し、さらに射出成形に
よりPMMAEi板に案内溝13およびアドレス信号の
ビット14を転写したのち、記録膜として案内溝13お
よびビット14の形成面側にC82−Te薄膜をプラズ
マ重合法により形成し光ディスクを作製した。
このようにして得た光ディスクを半導体レーザを用いた
記録、再生装置に装着し、記録、再生をしたところ、所
定のアドレス信号の検出、および情報記録領域15での
記録、再生の動作を確認し、且つ良好な品質の再生信号
を得た。
具体例2 ガラス基板上にスピンコード法によりフォトレジストを
孕布して180nmの厚さのフォトレジスト層を形成し
た。
次に第1図に示したものとほぼ同様の構成からなる光カ
ード用原盤の製造装置に基板を装着し、基板を平行移動
させなからArレー管アの光ビームにより露光し、次い
で現象することによりピッチ2μmの直線上の案内溝を
形成した。
再び製造装置に基板を装着し、案内溝に沿ってトラッキ
ングをかけながら、相隣る案内溝間にアドレス信号を記
録した。露光条件は線速換偉で前記具体例1と同じにな
るようにし、且つアドレス信号を記録する場合の露光パ
ワーは、案内溝を記録する場合の約2倍とした。
アドレス信号の記録後、第2回目の現像処理をして光カ
ード原盤を得た。
上記のようにして装造した光カード原盤を光学顕微鏡J
3よびSEMで観察したところ、所定の案内溝の中心に
アドレス信号のビットが形成されており、案内溝の溝幅
は0.3μm、深さは70nmであり、またアドレス信
号のビットの幅は0゜6μm、深さは1/IOnmで、
案内溝およびアドレス信号のビットともに所定の寸法と
なっていた。
製造した光カード原盤をマスター板どじでニッケル電鋳
によりスタンパを作製し、さらに射出成形法によりPC
基板に案内溝およびアドレス信号のビットを転写したの
ち、案内溝およびピッ1〜の形成面側にC82−Ten
膜をプラズマ重合法により形成し、光カードを作製した
このようにして得た光カードを半導体レーザを用いた記
録、再生装置に装着し、記録、再生実験をしたところ、
所定のアドレス信すの検出、および情報記録領域での記
録、再生の動作を確認し、且つ良好な品7aの再生信号
を1qた。
[発明の効果] 以上説明したように、この発明の構成によれば、甲−の
光学系で案内溝および情報信号が記録できるとともに、
情報18号は案内溝にJζリドラック制ul+をかけな
がら記録されるので、比較的簡単な製造装置で寸法゛積
度の高い光記録原盤を製造することかでさるという利点
がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明に係わる光記録原盤の製造方法に適用
する装)4装置の一例を示す構成図、第2図は光記録原
盤の一例を部分的に示す斜視図、第3図は従来の光記録
原盤の製造方法に使用するツJj4装同を示ザ構成図で
ある。 1:記録用レーザ、   2:光変調器、4:記録ヘッ
ド、     10:記録原盤、11ニガラス基板、 12:フォトレジスト層、 13;案内溝、14ニアド
レス信号のビット、 15:情報記録領域。 第1図 第2図 第8図 =##弁

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基板上に設けた感光材層に案内溝を形成する工程と、該
    工程の後当該案内溝に沿つて記録ヘッドが追随するよう
    にトラック制御をかけながら当該案内溝間に情報信号を
    記録する工程とを有することを特徴とする光記録原盤の
    製造方法。
JP6483986A 1986-03-25 1986-03-25 光記録原盤の製造方法 Pending JPS62223837A (ja)

Priority Applications (1)

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JP6483986A JPS62223837A (ja) 1986-03-25 1986-03-25 光記録原盤の製造方法

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JPS62223837A true JPS62223837A (ja) 1987-10-01

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JP6483986A Pending JPS62223837A (ja) 1986-03-25 1986-03-25 光記録原盤の製造方法

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100224810B1 (ko) * 1994-07-28 1999-10-15 윤종용 광디스크 복제 생산용 원판의 정보신호 기록방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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