JP2585527B2 - 光記録装置 - Google Patents

光記録装置

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JP2585527B2
JP2585527B2 JP61070972A JP7097286A JP2585527B2 JP 2585527 B2 JP2585527 B2 JP 2585527B2 JP 61070972 A JP61070972 A JP 61070972A JP 7097286 A JP7097286 A JP 7097286A JP 2585527 B2 JP2585527 B2 JP 2585527B2
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成二 米澤
正利 大竹
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は記録担体にヘッダー信号(凹凸ピット)と案
内溝(プリグルーブ)を記録する光記録装置に関し、特
にデータファイル用光ディスクの原盤にヘッダー信号と
案内溝を形成するレーザカッティング装置に用いて好適
な光記録装置に関する。
〔従来の技術〕
データファイル用光ディスクは、通常ディスク上にあ
らかじめ凹凸の形で1/4波長深さのヘッダー信号(プリ
フォーマット)と1/8波長深さの溝(プリグルーブ)が
形成してある。
ユーザがデータを記録する場合には1/8波長深さの溝
の上に行なっている。データを溝の上に記録する場合に
溝の形状としては、溝巾の狭いV型溝をとる方法と、溝
巾の広いU型溝をした2通りがある。例えば、「光ディ
スク技術動向調査、」光産業技術振興協会、昭和60年3
月の第55頁図4.1.48を参照。このようなヘッダー信号と
案内溝は、ホトレジスト膜を塗布したガラス円盤にアル
ゴンレーザを開口数NA0.9のレンズで約0.5μmφに集
束し、あらかじめ決められたフォーマット信号によって
レーザ光を強度変調しながら露光した後、その部分を現
像で溶出して形成せしめ、ニッケル電鋳メッキすること
でスタンパとし、レプリカによってヘッダー信号及びプ
リグルーブつき光ディスク基板として大量複製される。
ヘッダー信号のピットの巾は約0.5μmであるが、グル
ープはV型の場合はほぼヘッダー用のピット巾と同じで
あるためにアルゴンレーザ光をNA〜0.9のレンズで約0.5
μmφに集束して、V型のプリグルーブの露光ができ
る。しかし、U型プリグルーブではヘッダーピットの巾
は0.5μmであるが、U型プリグルーブ巾は0.8μm〜1.
0μmと巾広とする必要がある。この理由はU型の巾広
プリグルーブにするとデーターはその巾広溝の中に記録
できるので、データの記録・再生信号のS/NがV型溝と
比較して約5dB良くなるためである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、U型の溝巾はヘッダーピット巾より広いため
1つの光学レンズではアルゴンレーザのビームスポット
径は同じであるため、スポット径をヘッダー部とグルー
プ部とで変化させることはむづかしい。なぜならレンズ
で集束した微少な光スポットの径は、光の波長λ、対物
レンズの開口数NAによって理論的にDλ/NAで決まる
ため、λとNAが決まるとスポット径Dは一義的に決定さ
れるので、ヘッダピット巾とプリグルーブ巾とを1つの
光学系で異ならせることは理論的には無理がある。従
来、このために巾広のプリグループを作成するために
は、プリグルーブを記録する際には、アルゴンレーザ光
の強度を強くしてオーバ露光するような記録のしかたを
して、無理にプリグルーブの巾を広くする方法がとられ
ている。この方法では、ヘッダ用ピットの深さを1/4波
長とするために、ガラス原盤のホトレジストは塗布厚さ
を1/4波長厚さとしているので、プリグルーブ部分で巾
広のU型溝を形成するのにオーバ露光すると、露光は底
まできれて1/4波長深さとなったり、また無理なオーバ
露光をするた溝巾を正確に制御することが困難であっ
た。このようにヘッダー部を巾狭の1/4波長深さとし、
グループ部を巾広の1/4〜1/8波長とすることは、集束光
スポット径がアルゴンレーザの波長λとレンズの開口数
NAでほぼ決定されるため、巾狭ヘッダー、巾広グループ
などを自在に露光することは困難であった。
そこで、本発明の目的は、巾狭ヘッダーピットと巾広
プリグルーブを同じ光学系で容易に記録できる光記録装
置を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕 かかる目的を達成するため、本発明ではビーム径の異
なる2本のビームを同じ集光レンズに入射させ、ビーム
径の大きいビームでヘッダーピットを記録し、ビーム径
の小さいビームでプリグルーブを記録することにより、
巾狭のヘッダーピットと巾広のプリグルーブを記録する
ことを特徴とする。
さらに本発明の別の特徴によれば、ビーム径の大きい
ビームは集光レンズの全開口を照射するようにし、ビー
ム径の小さいビームは、集光レンズの開口中心部を部分
的に照射するようにする。
〔作用〕
ガラス原盤に塗布されたレジスト膜に集光される光ス
ポットの径は、使用する光源(例えばアルゴンレーザ)
の波長λとレンズの開口数NAで決まるが、集光レンズの
実質的な開口数はレーザ光のビーム径dが集光レンズの
開口と一致するならば、集光レンズの開口数で決まり、
その時の光スポット径は、 D=λ/NA となる。集束光スポット径をD=λ/NAより大きくする
ためには、集光レンズの実効的な開口数を小さくすれば
よい。つまり集光レンズの口径より小さなレーザ光束径
d′を用いることによって、実効的な開口数NA′は、N
A′<NAとなり、集束光スポット径D′は D′=λ/NA′ D′>D となり、集光レンズの開口数を変えることなく、集光ス
ポット径を変化させることができる。
〔実施例〕
本発明による一実施例を第1図、第2図を用いて説明
する。第1図は、本発明による光記録装置の一実施例を
示し、光ディスク用原盤カッティング装置の概略構成図
である。第2図は第1図の装置によって原盤上に記録さ
れたヘッダーピットとプリグルーブの一例を示す平面図
である。第1図において、1はアルゴンレーザ又はヘリ
ウム カドニウム レーザ等のレーザ光源であってディ
スク(ガラス原盤)11に塗布されたホトレジストに感光
する波長例えばλ=0.4579μmを用いる。レーザ光源1
より放射したレーザ光束2はハーフミラー3−1によっ
て2光束4,5に2分割される。光束4は、第2図におけ
るディスク上におけるヘッダーピット13を記録するため
のものであり、光束5はプリグルーブ14を記録するため
のものである。光束4,5は各々光変調器、例えば超音波
光変調器6,7によって、第2図に示すごとくヘッダーピ
ット13、プリグルーブ14を記録するためのフォーマッタ
ー信号に応じて光強度変調される。光変調器6,7によっ
てそれぞれ光強度変調された、ヘッダーピット13を露光
する光束8とプリグルーブ14を露光する光束9,9′はミ
ラー3−4によって光束が一致するように合成されて集
光レンズ10に入射し、光スポットをホトレジスト膜に照
射する。
ホトレジストを塗布したガラス円盤はモータによって
回転しており、光スポットをディスクの半径方向に、例
えば一定速度で送り、スパイラルトラックを露光する。
第2図は、第1図の装置によって形成されるヘッダー
ピットとプリグルーブの一例を示す。スパイラルトラッ
クは、一周当り多数のセクタに分割され、各セクタは、
データ記録管理のための番地データ等を凹凸ピット13で
プリフォーマットしたヘッダー部と、ユーザがデータを
記録するユーザデータ部とからなり、少くともユーザデ
ータ部には、データ記録再生のためのトラッキングサー
ボを助ける目的でプリグルーブ14が設けられる。第2図
においてヘッダーピット13のピット幅lより、プリグル
ーブ14の幅l′を大きくするために、第1図においてプ
リグルーブ14を記録する光束9は、ビーム径変換光学系
15によりヘッダーピット13を露光する光束8よりビーム
径を小さくして光束9′を作っている。ヘッダーピット
を露光する光束8の径をdプリグルーブを露光する光束
9′の径をd′とすると、 d>d′ とすることによって、第2図に示す如くヘッダービット
13の巾lを小さくし、プリグルーブの巾l′を巾広とす
るプリグルーブつきディスク原盤を得ることが可能とな
る。
例えばd′をdの1/2としてd=3mmφ,d′=15mmφと
することができる。
なお、第1図の装置によって露光された光ディスク原
盤は、現像処理してヘッダーピット(くぼみ)とプリグ
ルーブが溶出されて、導電化処理後ニッケル電鋳メッキ
することでスタンパを作り、レプリカによりヘッダーピ
ット及びプリグルーブつき光ディスク基板として大量複
製される。そのレプリカ基板に、所望の記録膜を設け、
必要に応じて保護層を設け、あるいはサンドイッチ構造
とする。記録膜としては、穴形成記録、相変化記録、光
磁気記録等記録の形態に応じて種々のものが使用でき
る。
〔発明の効果〕
以上、詳細してきたように本発明の光記録装置によれ
ば、ディスク上に巾広のプリグルーブ作成が可能とな
り、データファイル用光ディスクの利用分野において非
常な進歩をもたらすことができる。
本発明によれば、先に記述した従来の巾狭ヘッダーピ
ット、巾広プリグルーブを作成する場合の欠点、すなわ
ち巾広プリグルーブ作成が困難という欠点が解決でき
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す概略構成図、第2図は
第1図の装置によって記録されたヘッダーピットとプリ
グルーブ一例を示す図である。 1……アルゴンレーザ、2……レーザビーム、3−1、
3−2、3−3、3−4……反射ミラー、4……光束
(ヘッダー13露光用)、5……光束(グループ14露光
用)、6,7……光変調器、8……光束(ヘッダー13露光
用)、9,9′……(グループ14露光用)、10……集光レ
ンズ、11……ディスク、12……トラック。

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】記録担体に光ビームを集光するための集光
    レンズと、該集光レンズにビーム径の異なる2つのビー
    ムを光軸を一致させて入射させる照射手段とを有し、ビ
    ーム径の大きい第1のビームにより形成される比較的径
    の小さな第1の光スポット、及び、ビーム径の小さい第
    2のビームにより形成される比較的径の大きな第2の光
    スポットを用いて記録担体上に記録を行なうことを特徴
    とする光記録装置。
  2. 【請求項2】上記2つのビームは同一の光源の出射光で
    ありそれぞれ独立して変調されることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項に記載の光記録装置。
  3. 【請求項3】上記第2のビームは、光路中で上記第1の
    ビームよりもビーム径が小さく変換されることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項又は第2項のいずれかに記載
    の光記録装置。
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JPS62229545A JPS62229545A (ja) 1987-10-08
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