JPS62229545A - 光記録装置 - Google Patents
光記録装置Info
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- JPS62229545A JPS62229545A JP61070972A JP7097286A JPS62229545A JP S62229545 A JPS62229545 A JP S62229545A JP 61070972 A JP61070972 A JP 61070972A JP 7097286 A JP7097286 A JP 7097286A JP S62229545 A JPS62229545 A JP S62229545A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 26
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 8
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 7
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- UIZLQMLDSWKZGC-UHFFFAOYSA-N cadmium helium Chemical compound [He].[Cd] UIZLQMLDSWKZGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000013523 data management Methods 0.000 description 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は記録担体にヘッダー信号（凹凸ピット）と案内
溝（プリグルーブ）を記録する光記録装置に関し、特に
データファイル用光ディスクの原盤にヘッダー信号と案
内溝を形成するレーザカッティング装置に用いて好適な
光記録装置に関する。
溝（プリグルーブ）を記録する光記録装置に関し、特に
データファイル用光ディスクの原盤にヘッダー信号と案
内溝を形成するレーザカッティング装置に用いて好適な
光記録装置に関する。
データファイル用光ディスクは、通常ディスク上にあら
かじめ凹凸の形でｌ／４波長深さのヘッダー信号（プリ
フォーマット）とｌ／８波長深さの溝（プリグルーブ）
が形成しである。
かじめ凹凸の形でｌ／４波長深さのヘッダー信号（プリ
フォーマット）とｌ／８波長深さの溝（プリグルーブ）
が形成しである。
ユーザがデータを記録する場合には１／８波長深さの溝
の上に行なっている。データを溝の上に記録する場合に
溝の形状としては、溝巾の狭いＶ型溝をとる方法と、溝
巾の広いＵ型溝をした２通りがある。例えば、「光ディ
スク技術動向調査Ｊ光産業技術振興協会、昭和６０年３
月の第５５頁図４．１．４８を参照。このようなヘッダ
ー信号と案内溝は、ホトレジスト膜を塗布したガラス円
盤にアルゴンレーザを開口数８人’；０．９のレンズで
約Ｑ、５ａｍφに集束し、あらかじめ決められたフォー
マット信号によってレーザ光を強度変調しながら露光し
た後、その部分を現像で溶出して形成せしめ、ニッケル
電鋳メッキすることでスタンパとし、レプリカによって
ヘッダー信号及びプリグルーブつき光デイスク基板とし
て大量複製される。
の上に行なっている。データを溝の上に記録する場合に
溝の形状としては、溝巾の狭いＶ型溝をとる方法と、溝
巾の広いＵ型溝をした２通りがある。例えば、「光ディ
スク技術動向調査Ｊ光産業技術振興協会、昭和６０年３
月の第５５頁図４．１．４８を参照。このようなヘッダ
ー信号と案内溝は、ホトレジスト膜を塗布したガラス円
盤にアルゴンレーザを開口数８人’；０．９のレンズで
約Ｑ、５ａｍφに集束し、あらかじめ決められたフォー
マット信号によってレーザ光を強度変調しながら露光し
た後、その部分を現像で溶出して形成せしめ、ニッケル
電鋳メッキすることでスタンパとし、レプリカによって
ヘッダー信号及びプリグルーブつき光デイスク基板とし
て大量複製される。
ヘッダー信号のピットの巾は約０．５μｍであるが。
グルーブはＶ型の場合はほぼヘッダー用のピット巾と同
じであるためにアルゴンレーザ′光をＮＡ〜０．９のレ
ンズで約０．５μｍφに集束して、Ｖ型のプリグルーブ
の露光ができる。しかし、Ｕ型プリグルーブではヘッダ
ーピットの巾はＱ、５ｍｍであるが、Ｕ型プリグルーブ
巾は０．８μｍ〜１．０μｍと巾広とする必要がある。
じであるためにアルゴンレーザ′光をＮＡ〜０．９のレ
ンズで約０．５μｍφに集束して、Ｖ型のプリグルーブ
の露光ができる。しかし、Ｕ型プリグルーブではヘッダ
ーピットの巾はＱ、５ｍｍであるが、Ｕ型プリグルーブ
巾は０．８μｍ〜１．０μｍと巾広とする必要がある。
この理由はＵ型の巾広プリグルーブにするとデーターは
その巾広溝の中に記録できるので、データの記録・再生
信号のＳ／ＮがＶ型溝と比較して約５ｄＢ良くなるため
である。
その巾広溝の中に記録できるので、データの記録・再生
信号のＳ／ＮがＶ型溝と比較して約５ｄＢ良くなるため
である。
しかし、Ｕ型の溝巾はヘッダーピット巾より広いため１
つの光学レンズではアルゴンレーザのビームスポット径
は同じであるため、スポット径をヘッダ一部とグルーブ
部とで変化させることはむづかしい。なぜならレンズで
集束した微少な光スポットの径は、光の波長λ、対物レ
ンズの開口数ＮＡによって理論的にＤ＝λ／ＮＡで決ま
るため。
つの光学レンズではアルゴンレーザのビームスポット径
は同じであるため、スポット径をヘッダ一部とグルーブ
部とで変化させることはむづかしい。なぜならレンズで
集束した微少な光スポットの径は、光の波長λ、対物レ
ンズの開口数ＮＡによって理論的にＤ＝λ／ＮＡで決ま
るため。
λとＮＡが決まるとスポット径りは一義的に決定される
ので、ヘッダビット巾とプリグルーブ巾とを１つの光学
系で異ならせることは理緬的には無理がある。従来、こ
のために巾広のプリグルーブを作成するためには、プリ
グルーブを記録する際−こは、アルゴンレーザ光の強度
を強くしてオーバ露光するような記録のしかたをして、
無理にプリグルーブの巾を広くする方法がとられている
。この方法では、ヘッダ用ピット深さをｌ／４波長とす
るために、ガラス原盤のホトレジストは塗布厚さを１／
４波長厚さとしているので、プリグルーブ部分で巾広の
Ｕ型溝を形成するのにオーバ露光すると、露光は底まで
きれてｌ／４波長深さとなったり、また無理なオーバ露
光をするため溝巾を正確に制御することが困難であった
。このようにヘッダ一部を中挟の１／４波長深さとし、
グルーブ部を巾広のｌ／４〜１／８波長とすることは、
集束光スポット径がアルゴンレーザの波長λとレンズの
開口数ＮＡでほぼ決定されるため、中挟ヘッダー、巾広
プルーブなどを自在ｌこ露光することは困難であった。
ので、ヘッダビット巾とプリグルーブ巾とを１つの光学
系で異ならせることは理緬的には無理がある。従来、こ
のために巾広のプリグルーブを作成するためには、プリ
グルーブを記録する際−こは、アルゴンレーザ光の強度
を強くしてオーバ露光するような記録のしかたをして、
無理にプリグルーブの巾を広くする方法がとられている
。この方法では、ヘッダ用ピット深さをｌ／４波長とす
るために、ガラス原盤のホトレジストは塗布厚さを１／
４波長厚さとしているので、プリグルーブ部分で巾広の
Ｕ型溝を形成するのにオーバ露光すると、露光は底まで
きれてｌ／４波長深さとなったり、また無理なオーバ露
光をするため溝巾を正確に制御することが困難であった
。このようにヘッダ一部を中挟の１／４波長深さとし、
グルーブ部を巾広のｌ／４〜１／８波長とすることは、
集束光スポット径がアルゴンレーザの波長λとレンズの
開口数ＮＡでほぼ決定されるため、中挟ヘッダー、巾広
プルーブなどを自在ｌこ露光することは困難であった。
そこで１本発明の目的は、中挟ヘッダーピットと巾広プ
リグルーブを同じ光学系で容易に記録できる光記録装置
を提供することにある。
リグルーブを同じ光学系で容易に記録できる光記録装置
を提供することにある。
かかる目的を達成するため、本発明ではビーム径の異な
る２本のビームを同じ集光レンズに入射させ、ビーム径
の大きいビームでヘッダーピットを記録し、ビーム径の
小さいビームでプリグルーブを記録することにより、中
挟のヘッダーピットと巾広のプリグルーブを記録するこ
とを特徴とする０ さらに本発明の別の特徴によれば、ビーム径の大きいビ
ームは集光レンズの全開口を照射するようにし、ビーム
径の小さいビームは、集光レンズの開口中心部を部分的
に照射するようにする。
る２本のビームを同じ集光レンズに入射させ、ビーム径
の大きいビームでヘッダーピットを記録し、ビーム径の
小さいビームでプリグルーブを記録することにより、中
挟のヘッダーピットと巾広のプリグルーブを記録するこ
とを特徴とする０ さらに本発明の別の特徴によれば、ビーム径の大きいビ
ームは集光レンズの全開口を照射するようにし、ビーム
径の小さいビームは、集光レンズの開口中心部を部分的
に照射するようにする。
ガラス原盤に塗布されたレジスト膜に集光される光スポ
ットの径は、使用する光源（例えばアルゴンレーザ）の
波長λとレンズの開口数ＮＡで決まるが、集光レンズの
実質的な開口数はレーザ光のビーム径ｄが集光レンズの
開口と一致するならば、集光レンズの開口数で決まり、
その時の光スポツト径は、 Ｄ＝λ／ＮＡ くするためには、集光レンズの実効的な開口数を小さく
すればよい。つまり集光レンズの口径より小さなレーザ
光束径ｄ′を用いることによって、実効的な開口数ＮＡ
’は、ＮＡ’（ＮＡとなり。
ットの径は、使用する光源（例えばアルゴンレーザ）の
波長λとレンズの開口数ＮＡで決まるが、集光レンズの
実質的な開口数はレーザ光のビーム径ｄが集光レンズの
開口と一致するならば、集光レンズの開口数で決まり、
その時の光スポツト径は、 Ｄ＝λ／ＮＡ くするためには、集光レンズの実効的な開口数を小さく
すればよい。つまり集光レンズの口径より小さなレーザ
光束径ｄ′を用いることによって、実効的な開口数ＮＡ
’は、ＮＡ’（ＮＡとなり。
集束光スポット径Ｄ′は
Ｄ’ ＝λ／ＮＡ’ Ｄ’＞Ｄ
となり、集光レンズの開口数を変えることなく。
集光スポット径を変化させることができる。
〔実施例〕
本発明による一実施例を第１図、第２図を用いて説明す
る。第１図は、本発明による光記録装置の一実施例を示
し、光デイスク用原盤カッティング装置の概略構成図で
ある。第２図は第１図の装置によって原盤上に記録され
たヘッダーピットとプリグルーブの一例を示す平面図で
ある。第１図において、ｌはアルゴンレーザ又はヘリウ
ム カドニウム レーザ等のレーザ光源であってディス
ク（ガラス原盤）１１に塗布されたホトレジストに感光
する波長例えばλ＝０．４５７９ａｍを用いる。レーザ
光源ｌより放射したレーザ光束２はハーフミラ−３−１
によって２光束４，５に２分割される。光束４は、第２
図におけるディスク上におけるヘッダーピット１３を記
録するためのものであり、光束５はプリグルーブ１４を
記録するためのものである。光束４，５は各々光変調器
、例えば超音波光変調器６，７によって、第２図に示す
ごとくヘッダーピット１３、プリグルーブ１４を記録す
るためのフォーマツター信号に応じて光強度変調される
。光変調器６．７によってそれぞれ光強度変調された、
ヘッダーピット１３を露光する光束８とプリグルーブ１
４を露光する光束９゜９′はミラー３−４によって光束
が一致するようζこ合成されて集光レンズ１０に入射し
、光スポットをホトレジスト膜に照射する。
る。第１図は、本発明による光記録装置の一実施例を示
し、光デイスク用原盤カッティング装置の概略構成図で
ある。第２図は第１図の装置によって原盤上に記録され
たヘッダーピットとプリグルーブの一例を示す平面図で
ある。第１図において、ｌはアルゴンレーザ又はヘリウ
ム カドニウム レーザ等のレーザ光源であってディス
ク（ガラス原盤）１１に塗布されたホトレジストに感光
する波長例えばλ＝０．４５７９ａｍを用いる。レーザ
光源ｌより放射したレーザ光束２はハーフミラ−３−１
によって２光束４，５に２分割される。光束４は、第２
図におけるディスク上におけるヘッダーピット１３を記
録するためのものであり、光束５はプリグルーブ１４を
記録するためのものである。光束４，５は各々光変調器
、例えば超音波光変調器６，７によって、第２図に示す
ごとくヘッダーピット１３、プリグルーブ１４を記録す
るためのフォーマツター信号に応じて光強度変調される
。光変調器６．７によってそれぞれ光強度変調された、
ヘッダーピット１３を露光する光束８とプリグルーブ１
４を露光する光束９゜９′はミラー３−４によって光束
が一致するようζこ合成されて集光レンズ１０に入射し
、光スポットをホトレジスト膜に照射する。
ホトレジストを塗布したガラス円盤はモータによって回
転しており、光スポットをディスクの半径方図に、例え
ば一定速反で送り、スパイラルトラックを露光する。
転しており、光スポットをディスクの半径方図に、例え
ば一定速反で送り、スパイラルトラックを露光する。
第２図は、第１図の装置によって形成されるヘッダーピ
ットとプリグルーブの一例を示す。スパイラルトラック
は、−周当り多数のセクタに分割され、各セクタは、デ
ータ２碌管理のための番地データ等を凹凸ピット１３で
プリフォーマットしたヘッダ一部と、ユーザがデータを
記録するユーザデータ部とからなり、少くともユーザデ
ータ部には、データ記録再生のためのトラッキングサー
ブ゛ ボを助ける目的でプリグルーブ１４が設けられる〇第２
図においてヘッダーピット１３のピット幅−より、プリ
グルーブ１４の幅Ｉ′を大きくするために、第１図にお
いてプリグルーブ１４を記録する光束９は、ビーム径変
換光学系１５によりヘッダーピット１３を露光する光束
８よりビーム径を小さくして光束９′を作っている。ヘ
ツダーピ・ントを露光する光束８の径をｄプリグルーブ
を露光す・′る光束９′の径をｄ′とすると、ｄ ）
ｄ’ とすることによって、第２図に示す如くヘッダーピッ）
１３の巾ｅを小さくシ、プリグルーブの巾６′を巾広と
するプリグルーブつきディスク原盤を得ることが可能と
なる。
ットとプリグルーブの一例を示す。スパイラルトラック
は、−周当り多数のセクタに分割され、各セクタは、デ
ータ２碌管理のための番地データ等を凹凸ピット１３で
プリフォーマットしたヘッダ一部と、ユーザがデータを
記録するユーザデータ部とからなり、少くともユーザデ
ータ部には、データ記録再生のためのトラッキングサー
ブ゛ ボを助ける目的でプリグルーブ１４が設けられる〇第２
図においてヘッダーピット１３のピット幅−より、プリ
グルーブ１４の幅Ｉ′を大きくするために、第１図にお
いてプリグルーブ１４を記録する光束９は、ビーム径変
換光学系１５によりヘッダーピット１３を露光する光束
８よりビーム径を小さくして光束９′を作っている。ヘ
ツダーピ・ントを露光する光束８の径をｄプリグルーブ
を露光す・′る光束９′の径をｄ′とすると、ｄ ）
ｄ’ とすることによって、第２図に示す如くヘッダーピッ）
１３の巾ｅを小さくシ、プリグルーブの巾６′を巾広と
するプリグルーブつきディスク原盤を得ることが可能と
なる。
例えばｄ′をｄの１／２として ｄ ＝ ３ ｍ ｍφ
。
。
ｄ’＝１．５ｍｍφとすることができる。
なお、第１図の装置によって露光された光デイスク原盤
は、現像処理してヘッダーピット（＜ぼブ み）とプリグルーブが溶出されて、導電化処理後ニッケ
ル電鋳メッキすることでスタンパを作り。
は、現像処理してヘッダーピット（＜ぼブ み）とプリグルーブが溶出されて、導電化処理後ニッケ
ル電鋳メッキすることでスタンパを作り。
レプリカによりヘッダーピット及びプリグルーブつき光
デイスク基板として大量複製される。そのレプリカ基板
に、所望の記録膜を設け、必要に応じて保護層を設け、
あるいはサンドイッチ構造とする。記録膜としては、穴
形成記録、相変化記録、光磁気記録等記録の形態に応じ
て種々のものが使用できる。
デイスク基板として大量複製される。そのレプリカ基板
に、所望の記録膜を設け、必要に応じて保護層を設け、
あるいはサンドイッチ構造とする。記録膜としては、穴
形成記録、相変化記録、光磁気記録等記録の形態に応じ
て種々のものが使用できる。
以上、詳細してきたように本発明の光記録装置によれば
、ディスク上に巾広のプリグルーブ作成が可能となり、
データファイル用光ディスクの利用分野において非常な
進歩をもたらすことができる０ 本発明によれば、先に記述した従来の中挟ヘッダービッ
ト、巾広プリグルーブを作成する場合の欠点、すなわち
巾広プリグルーブ作成が困難という欠点が解決できる。
、ディスク上に巾広のプリグルーブ作成が可能となり、
データファイル用光ディスクの利用分野において非常な
進歩をもたらすことができる０ 本発明によれば、先に記述した従来の中挟ヘッダービッ
ト、巾広プリグルーブを作成する場合の欠点、すなわち
巾広プリグルーブ作成が困難という欠点が解決できる。
第１図は本発明の一実施例を示す概略構成図、第２図は
第１図の装置によって記録されたヘッダーピットとプリ
グルーブ−例を示す図であるＯｌ・・・アルゴンレーザ
、２・・・レーザビーム、３−１．３−２．３−３．３
−４・・・反射ミラー、４・・・光束（ヘッダー１３露
光用） ５・・・光束（グルーブ１４４光用） ６．７・・・光変調器、８・・・光束（ヘッダー１３露
光用）、９．９’・・・（グルーブ１４露光用）１０・
・・集光レンズ、１１・・・ディスク、１２・・・トラ
ック。
第１図の装置によって記録されたヘッダーピットとプリ
グルーブ−例を示す図であるＯｌ・・・アルゴンレーザ
、２・・・レーザビーム、３−１．３−２．３−３．３
−４・・・反射ミラー、４・・・光束（ヘッダー１３露
光用） ５・・・光束（グルーブ１４４光用） ６．７・・・光変調器、８・・・光束（ヘッダー１３露
光用）、９．９’・・・（グルーブ１４露光用）１０・
・・集光レンズ、１１・・・ディスク、１２・・・トラ
ック。
Claims (1)
- １、記録担体に光ビームを集光するための集光レンズと
、該集光レンズにビーム径の異なる２つのビームを入射
させる照射手段とを有し、ビーム径の大きいビームでピ
ットを記録し、ビーム径の小さいビームでグルーブを記
録することを特徴とする光記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61070972A JP2585527B2 (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 光記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61070972A JP2585527B2 (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 光記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62229545A true JPS62229545A (ja) | 1987-10-08 |
| JP2585527B2 JP2585527B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=13446942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61070972A Expired - Lifetime JP2585527B2 (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | 光記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2585527B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04283424A (ja) * | 1991-03-12 | 1992-10-08 | Fujitsu Ltd | プリグルーブライタのビーム位置制御装置 |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP61070972A patent/JP2585527B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04283424A (ja) * | 1991-03-12 | 1992-10-08 | Fujitsu Ltd | プリグルーブライタのビーム位置制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2585527B2 (ja) | 1997-02-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |