JPS6247845A - 光デイスク等の原盤の作製装置 - Google Patents
光デイスク等の原盤の作製装置Info
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- JPS6247845A JPS6247845A JP60188132A JP18813285A JPS6247845A JP S6247845 A JPS6247845 A JP S6247845A JP 60188132 A JP60188132 A JP 60188132A JP 18813285 A JP18813285 A JP 18813285A JP S6247845 A JPS6247845 A JP S6247845A
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- objective lens
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- luminous
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本発明は、光ディスク、光磁気ディスク等の円板状の記
録媒体において、その基板上に連続したトラック（グル
ープ）および凸凹情報をもったトラック（ビット）を形
成するための原盤の作製装置に関する乙のである。
録媒体において、その基板上に連続したトラック（グル
ープ）および凸凹情報をもったトラック（ビット）を形
成するための原盤の作製装置に関する乙のである。
〈従来技術〉
近年、計算機用の記憶装置や画像情報・音声情報を記録
するための大容量メモリとして光を用いて、円板状の媒
体に記録・再生を行ういわゆる光ディスクの開発が行わ
れている。これらの光ディスクは、記録密度が極めて高
く、そのため、記録または再生に用いる光のスポットの
位置決めを行うために、ディスクの基板上にガイド用の
ガイドトラックを設け、このガイドトラックにそって光
スポットを導き、そこに信号の記録もしくは再生もしく
は消去を行うものである。
するための大容量メモリとして光を用いて、円板状の媒
体に記録・再生を行ういわゆる光ディスクの開発が行わ
れている。これらの光ディスクは、記録密度が極めて高
く、そのため、記録または再生に用いる光のスポットの
位置決めを行うために、ディスクの基板上にガイド用の
ガイドトラックを設け、このガイドトラックにそって光
スポットを導き、そこに信号の記録もしくは再生もしく
は消去を行うものである。
二）プ ＋／ＴＸ４１ノＬｊＬ、？、−、、）ｙｌ斗；
市■Ｃ１去−に石、、。
市■Ｃ１去−に石、、。
りすなわちグループの場合らあるが、多くの場合、ディ
スク上のトラックの位置情報を得るため、トラックの一
部を凹凸状のピットで構成し、そのピッ１−の形状を用
いてトラックに位置情報その他の情報を記録しておくの
が普通である。
スク上のトラックの位置情報を得るため、トラックの一
部を凹凸状のピットで構成し、そのピッ１−の形状を用
いてトラックに位置情報その他の情報を記録しておくの
が普通である。
このようなディスクの場合、トラックの巾および深さに
よる信品品質の特性は、すでに（特願昭５９−１７４７
３６号）に記載されているように、およそ次のようにな
る。ずなイつち、トラックナンバ一部すなわちピット部
の信号Ｔｎｓについては第６図（ａ）、 （ｂ、）に示
すように、線巾りが〜０．２７λ／ＮＡで最大になる。
よる信品品質の特性は、すでに（特願昭５９−１７４７
３６号）に記載されているように、およそ次のようにな
る。ずなイつち、トラックナンバ一部すなわちピット部
の信号Ｔｎｓについては第６図（ａ）、 （ｂ、）に示
すように、線巾りが〜０．２７λ／ＮＡで最大になる。
ここで、λは光の波長、ＮＡは使用しているレンズの開
口数である。深さｄに関しては、ｄがλ／４ｎ（ｎは屈
折率）で最大となる。
口数である。深さｄに関しては、ｄがλ／４ｎ（ｎは屈
折率）で最大となる。
従って、ピット部の巾と深さについては、第６図（ａ）
に斜線で示した領域、すなわち、０．１８λ／ＮＡ＜ｈ
＜０．３８λ／ＮＡ、λ／８ｎ＜ｄくλ／ ４ ｎの
範囲がピット部の信号を大きくするのに適した領域であ
る。
に斜線で示した領域、すなわち、０．１８λ／ＮＡ＜ｈ
＜０．３８λ／ＮＡ、λ／８ｎ＜ｄくλ／ ４ ｎの
範囲がピット部の信号を大きくするのに適した領域であ
る。
次に、信号の記録されるグループ部について考えると、
第７図（ａ）、 （ｂ）に示すように、反射率りはｈ＝
ｏ、２７λ／ＮＡで最小となり、深さｄについてはｄ＝
ｏから単調に減少する。従って、グループ部に記録され
た信号強度を大きくするためには、反射率りの高い第７
図（ａ）、 （ｂ）で斜線で示した範囲、すなわち、λ
／（４８ｎ）＜ ｄ ＜λ／（１２ｎ）、０．５λ／Ｎ
Ａ＜ｈ ＜０．７λ／ＮＡが適している。ここでＤは、
ｈ＜０．２７λ／ＮＡでし大きくなるが、この領域では
トラックエラー信号Ｔｓか小さくなるため適当でない。
第７図（ａ）、 （ｂ）に示すように、反射率りはｈ＝
ｏ、２７λ／ＮＡで最小となり、深さｄについてはｄ＝
ｏから単調に減少する。従って、グループ部に記録され
た信号強度を大きくするためには、反射率りの高い第７
図（ａ）、 （ｂ）で斜線で示した範囲、すなわち、λ
／（４８ｎ）＜ ｄ ＜λ／（１２ｎ）、０．５λ／Ｎ
Ａ＜ｈ ＜０．７λ／ＮＡが適している。ここでＤは、
ｈ＜０．２７λ／ＮＡでし大きくなるが、この領域では
トラックエラー信号Ｔｓか小さくなるため適当でない。
第６図（ａ）、 （ｂ）および第７図（ａ）、 （ｂ）
に示した結果を参照すると、グループ部とピット部を有
する光ディスクにおいて最適なトラック形状とは、グル
ープ部は［１］広く、かつ浅くし、ピット部は１１〕狭
く、深く作るのが良いといえる。
に示した結果を参照すると、グループ部とピット部を有
する光ディスクにおいて最適なトラック形状とは、グル
ープ部は［１］広く、かつ浅くし、ピット部は１１〕狭
く、深く作るのが良いといえる。
さて、従来よりトラックを有する光ディスクの基板の作
製は、第８図（ａ）、 （ｂ）、 （ｃ）に示すように
、ガラス原盤２にフォトレジストｌを塗付し、アルゴン
レーザ等を用いて露光し、現像した後、その上に第８図
（ｄ）に示すように、Ｎｉ等の金属３をメッキ等の方法
で塗付し、表面の凹凸を写しとったスタンパ３を作製し
、このスタンパ３°を用いて、樹脂４を成形してディス
ク４″を作製する。
製は、第８図（ａ）、 （ｂ）、 （ｃ）に示すように
、ガラス原盤２にフォトレジストｌを塗付し、アルゴン
レーザ等を用いて露光し、現像した後、その上に第８図
（ｄ）に示すように、Ｎｉ等の金属３をメッキ等の方法
で塗付し、表面の凹凸を写しとったスタンパ３を作製し
、このスタンパ３°を用いて、樹脂４を成形してディス
ク４″を作製する。
ここで第８図（ｂ）に示す露光を行うには、第９図に示
すようないわゆるカッティングマシンを用いて行う。す
なわち、アルゴンレーザ５を用いて原盤１１」二のフォ
トレジストにトラックを露光する。この際、光変調器６
を用いて光を断続させ、ｌ・ラックナンバ一部、すなわ
ち、ピント部分をら５己録するのが普通である。
すようないわゆるカッティングマシンを用いて行う。す
なわち、アルゴンレーザ５を用いて原盤１１」二のフォ
トレジストにトラックを露光する。この際、光変調器６
を用いて光を断続させ、ｌ・ラックナンバ一部、すなわ
ち、ピント部分をら５己録するのが普通である。
このような方法で、カッティングを行う時、形成される
トラックｌｙおよびトラック深さは以下のようになる。
トラックｌｙおよびトラック深さは以下のようになる。
まず、第１０図（ａ）に示すように、光強度をグループ
部とピント部で同じになるようにすると、トラックの巾
は第１０図（ｂ）に示すようにグループ部１２、ピット
部１３ともに同じになる。
部とピント部で同じになるようにすると、トラックの巾
は第１０図（ｂ）に示すようにグループ部１２、ピット
部１３ともに同じになる。
の強度をグループ部より小さくすると、第１Ｉ図（ｂ）
に示すように、ピット部Ｉ５の線巾はグループ部１４よ
り細くなる。
に示すように、ピット部Ｉ５の線巾はグループ部１４よ
り細くなる。
以」二の２つの場合、トラックの深さはレジストの厚さ
に等しく、グループ部、ピット部とも等しい。従って、
前に述べたグループ部を巾広くかつ浅くし、ピット部を
巾狭く、かつ深く作ることかできない。
に等しく、グループ部、ピット部とも等しい。従って、
前に述べたグループ部を巾広くかつ浅くし、ピット部を
巾狭く、かつ深く作ることかできない。
これに対し、他の方法が提案されている。すなわち、光
強度を第１２図（ａ）に示すように変調する。そして、
グループ部、ビット部部でのパワーＰｌ、Ｐ２について
、Ｐ＋＜Ｐｔとして適当な値を選ぶと、現象した後で第
１２図（Ｃ）に示すような断面を有するトラックが形成
できる。すなわち、低いパワーしかうけないグループ部
１９ては、レジストの現像が途中までしか進行Ｕず、浅
いトラックになり、ピット部１８は光パワーが大きく、
レジストの現像が底まで進行して深いトラックになる。
強度を第１２図（ａ）に示すように変調する。そして、
グループ部、ビット部部でのパワーＰｌ、Ｐ２について
、Ｐ＋＜Ｐｔとして適当な値を選ぶと、現象した後で第
１２図（Ｃ）に示すような断面を有するトラックが形成
できる。すなわち、低いパワーしかうけないグループ部
１９ては、レジストの現像が途中までしか進行Ｕず、浅
いトラックになり、ピット部１８は光パワーが大きく、
レジストの現像が底まで進行して深いトラックになる。
しかし、この場合、トラックの巾についてみＸＪ−１’
−１に＃＜ｌ９７３１？ＡＢＩ＜ｒ７ ？ｙ＋Ａ／’
＋ｌ＋Ｘので線巾はグループｍ１９より太くなり、前述
のグループ部を広く、浅くし、ピット部を細く、深く作
るという条件に合致しない。
−１に＃＜ｌ９７３１？ＡＢＩ＜ｒ７ ？ｙ＋Ａ／’
＋ｌ＋Ｘので線巾はグループｍ１９より太くなり、前述
のグループ部を広く、浅くし、ピット部を細く、深く作
るという条件に合致しない。
〈発明の目的〉
本発明は、以上の点に鑑み、光ディスク等において再生
信号用のグループ部およびトラックナンバー信号用のピ
ット部のいずれもが最適な中および深さの組み合せを有
したトラックを形成できる原盤の作製装置を提供するこ
とにある。
信号用のグループ部およびトラックナンバー信号用のピ
ット部のいずれもが最適な中および深さの組み合せを有
したトラックを形成できる原盤の作製装置を提供するこ
とにある。
〈発明の構成〉
上記目的を達成するため、本発明の光ディスク等の原盤
の作製装置は、光束を感光性材料に収束させる対物レン
ズと、光束の径を変化させて上記対物レンズに入射させ
る光束径変換手段と、上記光束径変換手段に導く光束を
切換制御する制御手段とを備えたことを特徴としている
。
の作製装置は、光束を感光性材料に収束させる対物レン
ズと、光束の径を変化させて上記対物レンズに入射させ
る光束径変換手段と、上記光束径変換手段に導く光束を
切換制御する制御手段とを備えたことを特徴としている
。
〈実施例〉
以下、実施例に基き、本発明の内容を詳しく説明する。
第１図（ａ）に光ディスク等の原盤の作製装置の構成の
一例を示す。フォトレジストｌを塗付したガラス原盤２
■をスピンドル２２に取り付けて回転させる。アルゴン
レーザ２３からのビーム２４はハーフミラ−２５で光束
２６．２７に分けられ、それぞれ制御手段の一例である
光変調器２８，２９を通り、２つずつの凸レンズの組３
０．３＋。
一例を示す。フォトレジストｌを塗付したガラス原盤２
■をスピンドル２２に取り付けて回転させる。アルゴン
レーザ２３からのビーム２４はハーフミラ−２５で光束
２６．２７に分けられ、それぞれ制御手段の一例である
光変調器２８，２９を通り、２つずつの凸レンズの組３
０．３＋。
３２．３３を通る。その後、光束２６はλ／２板３４に
より偏光面を９０°回転させられ、偏光ビームスプリッ
タ３５で反射され、対物レンズ３６に導かれる。光束２
７は偏光ビームスプリッタ３５を通過して、対物レンズ
３６に導かれる。
より偏光面を９０°回転させられ、偏光ビームスプリッ
タ３５で反射され、対物レンズ３６に導かれる。光束２
７は偏光ビームスプリッタ３５を通過して、対物レンズ
３６に導かれる。
上記対物レンズ３６は原盤２１の回転による上下動に追
従するフォーカスザーボ系（図示せず）により、常に原
盤上にスポットを結び、同時に原盤のラジアル方向に移
動してトラックを形成する。
従するフォーカスザーボ系（図示せず）により、常に原
盤上にスポットを結び、同時に原盤のラジアル方向に移
動してトラックを形成する。
この装置では、凸レンズ３０．３１は互いに焦点を共有
する位置におかれ、また凸レンズ３２゜３３も互いに焦
点を共有する位置におかれ、凸レンズ３０．３１および
凸レンズ３２．３３は夫々光束径変換手段であるビーム
エキスパンダ４５゜４６を構成している。上記凸レンズ
３０，３１゜３２．３３の焦点距離を夫々ｆ、、 ｆ、
、 ｆ、、 ｒ３とする。
する位置におかれ、また凸レンズ３２゜３３も互いに焦
点を共有する位置におかれ、凸レンズ３０．３１および
凸レンズ３２．３３は夫々光束径変換手段であるビーム
エキスパンダ４５゜４６を構成している。上記凸レンズ
３０，３１゜３２．３３の焦点距離を夫々ｆ、、 ｆ、
、 ｆ、、 ｒ３とする。
この時、アルゴンレーザ２３から出た光束２６゜２７の
光束径すなイっちビーム径をｄ。、ビームエキスパンダ
４５およびビームエキスパンダ４６を通ったあとのビー
ム径をｄ、、 ｄ、とすると、ｄ＋ ＝ ｄｏ Ｘ （
Ｌ／ｆｏ） ｄ２ ＝ ｄｏ Ｘ （ｆ＊／ ｒ２）の関係があり、
ビーム径の拡大もしくは縮少が行われる。ここで、この
装置では、 ｆＩ／ ｆｔ） ＞ ｆ’３／ ｆｔ となるように、つまり、ｄ、＞ｄ、となるようにして、
これらビームが対物レンズ３６の第２図に示す入射ひと
み４２へ到達した時のビーム４３．４４の径をＤＩ、Ｄ
２、入射ひとみ４２の径をＡとすると、第２図に示すよ
うに、 ＤＩ＞ Ｄ２ かつ Ａ ＞ Ｄ２となるように、
ｒ、、 ｒ、、 ｒ、、 ｒ３を決めている。
光束径すなイっちビーム径をｄ。、ビームエキスパンダ
４５およびビームエキスパンダ４６を通ったあとのビー
ム径をｄ、、 ｄ、とすると、ｄ＋ ＝ ｄｏ Ｘ （
Ｌ／ｆｏ） ｄ２ ＝ ｄｏ Ｘ （ｆ＊／ ｒ２）の関係があり、
ビーム径の拡大もしくは縮少が行われる。ここで、この
装置では、 ｆＩ／ ｆｔ） ＞ ｆ’３／ ｆｔ となるように、つまり、ｄ、＞ｄ、となるようにして、
これらビームが対物レンズ３６の第２図に示す入射ひと
み４２へ到達した時のビーム４３．４４の径をＤＩ、Ｄ
２、入射ひとみ４２の径をＡとすると、第２図に示すよ
うに、 ＤＩ＞ Ｄ２ かつ Ａ ＞ Ｄ２となるように、
ｒ、、 ｒ、、 ｒ、、 ｒ３を決めている。
七）−出亦曲明ｎｏｎｎｌｊ・１づ二ｌ −＋ ＋、
ｌ −−ラ３７により第３図に示すように制御される。
ｌ −−ラ３７により第３図に示すように制御される。
すなわち、変調器２８はピット部を記録する時のみその
変調信号を強度Ｐ３で出力し、それ以外の時はＯとなる
。変調器２９はグループ部を記録する時のみ一定出力Ｐ
４の信号を出力し、それ以外の時はＯとなる。
変調信号を強度Ｐ３で出力し、それ以外の時はＯとなる
。変調器２９はグループ部を記録する時のみ一定出力Ｐ
４の信号を出力し、それ以外の時はＯとなる。
このように制御を行うと、対物レンズ３６によって生じ
るスポットの直径は次のようになる。すなわち、ピット
部を記録する時は、光はビームエキスパンダ４５を通る
のでビーム径ｄ、が大きく、対物レンズ３６のひとみ上
での直径ＤＩも大きく、対物レンズ３Ｇの開口数を大き
く使うことになるので、スポット径は小さい。また、グ
ループ部を記録する時は、光はビームエキスパンダ４６
を通るのでビーム径ｄ２が小さく、対物レンズ３６のひ
とみ上での直径り、も小さく、対物レンズ３６の開口数
を小さく使うことになるので、スポット径は大きくなる
。
るスポットの直径は次のようになる。すなわち、ピット
部を記録する時は、光はビームエキスパンダ４５を通る
のでビーム径ｄ、が大きく、対物レンズ３６のひとみ上
での直径ＤＩも大きく、対物レンズ３Ｇの開口数を大き
く使うことになるので、スポット径は小さい。また、グ
ループ部を記録する時は、光はビームエキスパンダ４６
を通るのでビーム径ｄ２が小さく、対物レンズ３６のひ
とみ上での直径り、も小さく、対物レンズ３６の開口数
を小さく使うことになるので、スポット径は大きくなる
。
さて、この時、変調器２８．２９の出力強度Ｐｓ。
Ｐ□を第３図に示すように適当な値に１−乙ことにより
、以下のような記録を行うことができる。すなわち、ス
ポットの原盤上での強度分布を第４図に示すように、ピ
ット部を記録する時は曲線３９に示すように、中心強度
を大きくかつビーム径を小さく、グループ部を記録する
時は曲線３８に示すように、中心強度を低くかつビーム
径を大きくする。
、以下のような記録を行うことができる。すなわち、ス
ポットの原盤上での強度分布を第４図に示すように、ピ
ット部を記録する時は曲線３９に示すように、中心強度
を大きくかつビーム径を小さく、グループ部を記録する
時は曲線３８に示すように、中心強度を低くかつビーム
径を大きくする。
このようにして、中心強度を適当な値に調節すると、第
５図（ａ）、 （ｂ）に示すような形状を有するトラッ
クをフォトレジストに形成できる。すなわち、グループ
部４０は巾広くかつ現像が途中までしか進行しないため
、深さは浅く、またピット部４１は巾狭くかつ現像を底
まで進行させて深さを深くできる。すなわち、前述した
ような再生信号ならびにピットによる信号を最適にする
トラック形状が得られる。
５図（ａ）、 （ｂ）に示すような形状を有するトラッ
クをフォトレジストに形成できる。すなわち、グループ
部４０は巾広くかつ現像が途中までしか進行しないため
、深さは浅く、またピット部４１は巾狭くかつ現像を底
まで進行させて深さを深くできる。すなわち、前述した
ような再生信号ならびにピットによる信号を最適にする
トラック形状が得られる。
次に、第１図（ｂ）に他の実施例を示す。
第１図（ｂ）の実施例では、第１図（ａ）のハーフミラ
−２５、変調器２８．２９のかわりに光偏向器２８−ｂ
を用いたもので、光偏向器２８−ｂによリビームをヒー
ムエキスパンタ４５−ｂ、 ４．６−ｂに切り換えて、
同等の作用を行うことによって第１図（ａ）の装置と全
く同じ記録が行えるものである。
−２５、変調器２８．２９のかわりに光偏向器２８−ｂ
を用いたもので、光偏向器２８−ｂによリビームをヒー
ムエキスパンタ４５−ｂ、 ４．６−ｂに切り換えて、
同等の作用を行うことによって第１図（ａ）の装置と全
く同じ記録が行えるものである。
なお、上記実施例ではビームエキスパンダ４５゜／ｌ
６． ４５−ｂ、 ４６−ｂの構成を凸レンズににろも
のとしたが、これに限ることはなく、凹レンズと凸レン
ズおよび他の複数のレンズとの組み合せによるものとし
ても良い。また、他の光学素子、光学系についても同等
であって、ここに記載したものに限る必要はなく、種々
の変形が考えられる。
６． ４５−ｂ、 ４６−ｂの構成を凸レンズににろも
のとしたが、これに限ることはなく、凹レンズと凸レン
ズおよび他の複数のレンズとの組み合せによるものとし
ても良い。また、他の光学素子、光学系についても同等
であって、ここに記載したものに限る必要はなく、種々
の変形が考えられる。
たとえば、第１図（ａ）の場合には、ハーフミラ−２５
でビームを２つに分けるのでなく、２台のレーザを備え
てそれぞれから変調器２８．２９へビームを入射させて
も良い。
でビームを２つに分けるのでなく、２台のレーザを備え
てそれぞれから変調器２８．２９へビームを入射させて
も良い。
〈発明の効果〉
以上より明らかなように、本発明によれば、再生信号な
らびに凹凸によるトラックナンバー信号を最適にするよ
うなグループ部およびピット部の形状を有する光ディス
ク等の原盤を作製できる。
らびに凹凸によるトラックナンバー信号を最適にするよ
うなグループ部およびピット部の形状を有する光ディス
ク等の原盤を作製できる。
第１図（ａ）、第１図（ｂ）は夫々本発明の一実施例の
概念図、第２図は対物レンズに入射したビームの径を示
す図、第３図は光変調器の出力を示す図、第４図はフォ
トレジスト上の光強度分布を示す図、第５図はフォトレ
ジスト上のグループ部およびピット部の形状を示す図、
第６図（ａ）、第６図（ｂ）は線巾および深さと信号強
度との関係を示すグラフ、第７図（ａ）、第７図（ｂ）
は線巾および深さと反射率との関係を示すグラフ、第８
図は光ディスクの基板の作製方法を示す図、第９図はカ
ッティングマシンを示す図、第１０図、第１１図、第１
２図はフォトレジスト上のグループ部とピット部との形
状を示す図である。 ｌ・・・フォトレジスト、６，２８．２９・・・変調器
、３６．３６−ｂ・・・対物レンズ、４５，４６．４５
−ｂ、４６−ｂ・・・ビームエキスパンダ、２８−ｂ・
・・光偏向器。 特 許 出 願 人 シャープ株式会社代 理 人
弁理士 前出 葆 外２名第２図 第３図 第５図 第８図 ４覧斗＝旨にコニーコ （９） 第Ｑド（０） ＴＮｓ 第’／’ｙＪ（０） 采６ ＠（ｂ） ＮＳ 宕７１７１（ｂ） ″へｎ％１〜７ 婆。′
概念図、第２図は対物レンズに入射したビームの径を示
す図、第３図は光変調器の出力を示す図、第４図はフォ
トレジスト上の光強度分布を示す図、第５図はフォトレ
ジスト上のグループ部およびピット部の形状を示す図、
第６図（ａ）、第６図（ｂ）は線巾および深さと信号強
度との関係を示すグラフ、第７図（ａ）、第７図（ｂ）
は線巾および深さと反射率との関係を示すグラフ、第８
図は光ディスクの基板の作製方法を示す図、第９図はカ
ッティングマシンを示す図、第１０図、第１１図、第１
２図はフォトレジスト上のグループ部とピット部との形
状を示す図である。 ｌ・・・フォトレジスト、６，２８．２９・・・変調器
、３６．３６−ｂ・・・対物レンズ、４５，４６．４５
−ｂ、４６−ｂ・・・ビームエキスパンダ、２８−ｂ・
・・光偏向器。 特 許 出 願 人 シャープ株式会社代 理 人
弁理士 前出 葆 外２名第２図 第３図 第５図 第８図 ４覧斗＝旨にコニーコ （９） 第Ｑド（０） ＴＮｓ 第’／’ｙＪ（０） 采６ ＠（ｂ） ＮＳ 宕７１７１（ｂ） ″へｎ％１〜７ 婆。′
Claims (4)
- （１）光束を感光性材料に収束させる対物レンズと、光
束の径を変化させて上記対物レンズに入射させる光束径
変換手段と、上記光束径変換手段に導く光束を切換制御
する制御手段とを備えたことを特徴とする光ディスク等
の原盤の作製装置。 - （２）上記特許請求の範囲第１項に記載の光ディスク等
の原盤の作製装置において、複数の光束径変換手段を備
えたことを特徴とする光ディスク等の原盤の作製装置。 - （３）上記特許請求の範囲第１項または第２項に記載の
光ディスク等の原盤の作製装置において、上記制御手段
は、光変調器であることを特徴とする光ディスク等の原
盤の作製装置。 - （４）上記特許請求の範囲第１項または第２項に記載の
光ディスク等の原盤の作製装置において、上記制御手段
は光偏向器であることを特徴とする光ディスク等の原盤
の作製装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60188132A JPS6247845A (ja) | 1985-08-26 | 1985-08-26 | 光デイスク等の原盤の作製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60188132A JPS6247845A (ja) | 1985-08-26 | 1985-08-26 | 光デイスク等の原盤の作製装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6247845A true JPS6247845A (ja) | 1987-03-02 |
Family
ID=16218290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60188132A Pending JPS6247845A (ja) | 1985-08-26 | 1985-08-26 | 光デイスク等の原盤の作製装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6247845A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04281232A (ja) * | 1991-03-11 | 1992-10-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ヘッドおよび光学的情報記録／再生装置 |
| US5568460A (en) * | 1989-03-27 | 1996-10-22 | Nikon Corporation | Optical recording and/or reproducing apparatus and method utilizing stimulated photon echo |
-
1985
- 1985-08-26 JP JP60188132A patent/JPS6247845A/ja active Pending
Cited By (2)
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